CN210292176U - 一种无尘室用加湿装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种无尘室用加湿装置，包括安装箱、第一电机、螺纹杆、环形安装板、第二电机、电动推杆、通孔、防护框、雾化喷头、环形板、排水管、高压喷气头、导气管、导水箱、环形转板、导水管、进气管、排气管、抽气管、鼓风机、抽水泵、滑孔、水箱、伸缩杆、第二链轮、链条、第一链轮和连接杆。本实用新型通过设置导水箱、环形转板、雾化喷头、高压喷气头、导气管以及环形板之间的相互配合，可以更好的对雾化后的水雾进行吹动，从而加速水雾的移动速度，极大的加快了对无尘室的加湿效率；可以更好的对雾化喷头和高压喷气头进行防护，避免了碰撞时造成损伤，极大的提高了使用寿命，同时也增强了实用性。

Description

一种无尘室用加湿装置

技术领域

本实用新型涉及一种加湿装置，具体是一种无尘室用加湿装置，属于无尘室技术领域。

背景技术

在芯片的制作过程中，对生产环境的要求，是精确地温、湿度控制，无尘及免于化学物质的干扰，现有的无尘室为了维持无尘室内的空气品质，需使对无尘室内部进行过滤、除湿、升温、加湿、再微调温度，并反复此流程进行运作，因此对无尘室的加湿是空气调节必不可少的一部分。

现有的无尘室加湿装置大多数是支架将水形成水雾进行喷出，这样一来对无尘时加湿的比较缓慢，从而极大的降低了无尘室的加湿效率，而且现有的雾化喷头大多数使裸露在外的，当发生碰撞时，从而造成雾化喷头的损失，从而极大的的缩短了使用寿命。因此，针对上述问题提出一种无尘室用加湿装置。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种无尘室用加湿装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种无尘室用加湿装置，包括从左到右依次安装在安装箱表面的防护机构和加湿机构，所述安装箱顶端开设有通孔；

所述防护机构包括环形安装板和伸缩杆，所述环形安装板底端安装有第一电机，所述第一电机输出端通过轴杆套接有第一链轮，且环形安装板一安装箱内侧壁相互固定连接，所述伸缩杆表面套接有第二链轮，所述伸缩杆顶端通过轴承转动连接有防护框，所述防护框表面开设有滑孔，且伸缩杆底端与安装箱内腔底端相互固定连接；

所述加湿机构包括第二电机、鼓风机以及水箱，所述第二电机输出端通过轴杆固定连接有电动推杆，所述电动推杆顶端固定连接有导气管，所述导气管顶端固定连接有高压喷气头，所述导气管表面套接有导水箱，所述导水箱顶端固定连接有排水管，所述排水管一端固定连接有雾化喷头，所述导水箱表面转动连接有环形转板，所述导气管表面转动连接有环形板，所述导气管内侧壁固定连接有连接杆，所述鼓风机抽风端和排风端分别固定连接有抽气管和排气管，且第二电机和鼓风机均安装在安装箱内腔底端，所述水箱内腔安装有抽水泵，所述抽水泵输出端固定连接有导水管，所述水箱顶端固定连接有进气管。

优选的，所述抽气管和排气管一端均分别贯穿安装箱内侧壁和环形板表面并分别延伸至水箱内腔顶端以及导气管内腔。

优选的，所述第二链轮数目为两个，两个所述第二链轮均通过第一链轮相互传动连接。

优选的，所述导水管顶端依次贯穿水箱内腔顶端、滑孔以及环形转板表面并延伸至导水箱内腔。

优选的，所述伸缩杆和螺纹杆数目均为两个，两个所述伸缩杆均由两个套管套接组成，两个所述螺纹杆连接防护框一端贯穿环形安装板底端并延伸至环形安装板顶部，且螺纹杆与环形安装板相互螺纹连接。

优选的，所述雾化喷头和高压喷气头数目均为两个，且雾化喷头和高压喷气头位于同一水平面上。

本实用新型的有益效果是：

1.通过设置导水箱、环形转板、雾化喷头、高压喷气头、导气管以及环形板之间的相互配合，可以更好的对雾化后的水雾进行吹动，从而加速水雾的移动速度，极大的加快了对无尘室的加湿效率。

2.通过设置螺纹杆、链轮、伸缩杆、防护框以及环形安装板之间的相互配合，可以更好的对雾化喷头和高压喷气头进行防护，避免了碰撞时造成损伤，极大的提高了使用寿命，同时也增强了实用性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型导气管与环形板连接结构示意图；

图3为本实用新型防护罩侧壁结构示意图；

图4为本实用新型图1的A处局部放大结构示意图。

图中：1、安装箱，2、第一电机，3、螺纹杆，4、环形安装板，5、第二电机，6、电动推杆，7、通孔，8、防护框，9、雾化喷头，10、环形板，11、排水管，12、高压喷气头，13、导气管，14、导水箱，15、环形转板，16、导水管，17、进气管，18、排气管，19、抽气管，20、鼓风机，21、抽水泵，22、滑孔，23、水箱，24、伸缩杆，25、第二链轮，26、链条，27、第一链轮，28、连接杆。

具体实施方式

为使得本实用新型的实用新型目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1-4所示，一种无尘室用加湿装置，包括从左到右依次安装在安装箱1表面的防护机构和加湿机构，所述安装箱1顶端开设有通孔7；

所述防护机构包括环形安装板4和伸缩杆24，所述环形安装板4底端安装有第一电机2，所述第一电机2输出端通过轴杆套接有第一链轮27，且环形安装板4一安装箱1内侧壁相互固定连接，所述伸缩杆24表面套接有第二链轮25，所述伸缩杆24顶端通过轴承转动连接有防护框8，所述防护框8表面开设有滑孔22，且伸缩杆24底端与安装箱1内腔底端相互固定连接；

所述加湿机构包括第二电机5、鼓风机20以及水箱23，所述第二电机5输出端通过轴杆固定连接有电动推杆6，所述电动推杆6顶端固定连接有导气管13，所述导气管13顶端固定连接有高压喷气头12，所述导气管13表面套接有导水箱14，所述导水箱14顶端固定连接有排水管11，所述排水管11一端固定连接有雾化喷头9，便于更好的形成水雾对无尘室进行加湿，所述导水箱14表面转动连接有环形转板15，所述导气管13表面转动连接有环形板10，所述导气管13内侧壁固定连接有连接杆28，便于更好的对环形板10顶部和底部的导气管13内侧壁进行固定，所述鼓风机20抽风端和排风端分别固定连接有抽气管19和排气管18，且第二电机5和鼓风机20均安装在安装箱1内腔底端，所述水箱23内腔安装有抽水泵21，所述抽水泵21输出端固定连接有导水管16，所述水箱23顶端固定连接有进气管17，便于更好的使水箱23内气体的流通。

所述抽气管19和排气管18一端均分别贯穿安装箱1内侧壁和环形板10表面并分别延伸至水箱23内腔顶端以及导气管13内腔，便于更好的将水箱23内的湿气导进导气管13内；所述第二链轮25数目为两个，两个所述第二链轮25均通过第一链轮27相互传动连接，便于更好的使第一链轮27带动两个第二链轮25的转动；所述导水管16顶端依次贯穿水箱23内腔顶端、滑孔22以及环形转板15表面并延伸至导水箱14内腔，便于更好的将水箱23内的水导进导水箱14内；所述伸缩杆24和螺纹杆3数目均为两个，两个所述伸缩杆24均由两个套管套接组成，两个所述螺纹杆3连接防护框8一端贯穿环形安装板4底端并延伸至环形安装板4顶部，且螺纹杆3与环形安装板4相互螺纹连接，便于更好的带动螺纹杆3转动，使螺纹杆3带动防护框8在竖直方向的移动；所述雾化喷头9和高压喷气头12数目均为两个，且雾化喷头9和高压喷气头12位于同一水平面上，便于更好的使高压喷气头12喷出的气体对水雾进行吹动。

本实用新型在使用时，本申请中出现的电器元件在使用时均外接连通电源和控制开关，当对无尘室进行加湿时，首先开启第二电机5，使第二电机5输出端通过电动推杆6带动导气管13转动，使导气管13带动高压喷气头12转动，同时使导气管13将通过导水箱14和排水管11带动雾化喷头9转动，再开启抽水泵21和鼓风机20，使抽水泵21将水箱23内的水通过导水管16导进导水箱14内，使导水箱14内的水通过排水管11雾化喷头9内形成水雾并喷出，同时使鼓风机20通过抽气管19和排气管18将水箱23内的湿润的空气导进导气管13内，使导气管13内的气体导进高压喷气头12内并喷出，使喷出的气体对水雾进行吹动，从而加速水雾在无尘室内的蔓延，从而完成对无尘室的加湿，当加湿完成后，再开启电动推杆6，使电动推杆6带动导气管13向下移动一定距离，使导气管13带动高压喷气头12向下移动一定距离，同时使导气管13将通过导水箱14和排水管11带动雾化喷头9向下移动一定距离，再开启第一电机2，使第一电机2输出端通过轴杆带动第一链轮27转动，使第一链轮27通过链条26带动第二链轮25转动，使第二链轮25通过伸缩杆24带动螺纹杆3转动，使螺纹杆3在环形安装板4的作用下带动防护框8向上移动，使移动的防护罩对雾化喷头9罩住，从而完成对雾化喷头9的抵挡。

第一电机2和第二电机5均采用的是南京苏玛电机有限公司生产的YVP90L-4步进电机，其配套电路可由商家提供。

鼓风机20采用的是深圳市鸿冠电机有限公司销售的HF-150P鼓风机，及其相关的配套电源和电路。

电动推杆6采用中山市大象电器有限公司提供的TGA-100电动推杆及其配套电源和电路。

抽水泵21采用的是上海朝隆泵业有限公司生产的QDN1.5-7-0.12KW型号及其相关的配套电源和电路。

涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的得同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

以上所述，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.一种无尘室用加湿装置，其特征在于：包括从左到右依次安装在安装箱(1)表面的防护机构和加湿机构，所述安装箱(1)顶端开设有通孔(7)；

所述防护机构包括环形安装板(4)和伸缩杆(24)，所述环形安装板(4)底端安装有第一电机(2)，所述第一电机(2)输出端通过轴杆套接有第一链轮(27)，且环形安装板(4)一安装箱(1)内侧壁相互固定连接，所述伸缩杆(24)表面套接有第二链轮(25)，所述伸缩杆(24)顶端通过轴承转动连接有防护框(8)，所述防护框(8)表面开设有滑孔(22)，且伸缩杆(24)底端与安装箱(1)内腔底端相互固定连接；

所述加湿机构包括第二电机(5)、鼓风机(20)以及水箱(23)，所述第二电机(5)输出端通过轴杆固定连接有电动推杆(6)，所述电动推杆(6)顶端固定连接有导气管(13)，所述导气管(13)顶端固定连接有高压喷气头(12)，所述导气管(13)表面套接有导水箱(14)，所述导水箱(14)顶端固定连接有排水管(11)，所述排水管(11)一端固定连接有雾化喷头(9)，所述导水箱(14)表面转动连接有环形转板(15)，所述导气管(13)表面转动连接有环形板(10)，所述导气管(13)内侧壁固定连接有连接杆(28)，所述鼓风机(20)抽风端和排风端分别固定连接有抽气管(19)和排气管(18)，且第二电机(5)和鼓风机(20)均安装在安装箱(1)内腔底端，所述水箱(23)内腔安装有抽水泵(21)，所述抽水泵(21)输出端固定连接有导水管(16)，所述水箱(23)顶端固定连接有进气管(17)。

2.根据权利要求1所述的一种无尘室用加湿装置，其特征在于：所述抽气管(19)和排气管(18)一端均分别贯穿安装箱(1)内侧壁和环形板(10)表面并分别延伸至水箱(23)内腔顶端以及导气管(13)内腔。

3.根据权利要求1所述的一种无尘室用加湿装置，其特征在于：所述第二链轮(25)数目为两个，两个所述第二链轮(25)均通过第一链轮(27)相互传动连接。

4.根据权利要求1所述的一种无尘室用加湿装置，其特征在于：所述导水管(16)顶端依次贯穿水箱(23)内腔顶端、滑孔(22)以及环形转板(15)表面并延伸至导水箱(14)内腔。

5.根据权利要求1所述的一种无尘室用加湿装置，其特征在于：所述伸缩杆(24)和螺纹杆(3)数目均为两个，两个所述伸缩杆(24)均由两个套管套接组成，两个所述螺纹杆(3)连接防护框(8)一端贯穿环形安装板(4)底端并延伸至环形安装板(4)顶部，且螺纹杆(3)与环形安装板(4)相互螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种无尘室用加湿装置，其特征在于：所述雾化喷头(9)和高压喷气头(12)数目均为两个，且雾化喷头(9)和高压喷气头(12)位于同一水平面上。

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