CN106868454A - 一种减小蒸镀掩膜板变形的方法 - Google Patents

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李欣
陈亮
曹顺有
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks

Abstract

本发明公开一种减小蒸镀掩膜板变形的方法，利用磁性材料制作蒸镀掩膜板，同时在腔室底部（或顶部）安装磁性材料，利用磁性材料同极相斥、异极相吸的原理，来减小因重力导致的掩膜板变形。

Description

一种减小蒸镀掩膜板变形的方法
技术领域：
本发明涉及一种减小蒸镀掩膜板变形的方法。
背景技术：
目前蒸镀用掩膜板由于自身重力的原因，水平放置时会因为重力的作用发生下垂，随着掩膜板尺寸越大，下垂的情况越严重，从而严重影响蒸镀精度，导致大量产品不良。
发明内容：
本发明提供一种减小蒸镀掩膜板变形的方法，其能够克服现有蒸镀用掩膜板由于自身重力的原因，水平放置时会因为重力的作用发生下垂的缺陷。
本发明采用如下技术方案：一种减小蒸镀掩膜板变形的方法，包括如下步骤：
步骤一：将基板、与基板紧贴于一起且位于基板下方的蒸镀掩膜板、以及磁铁设置于腔室中，其中磁铁放置于腔室底部，基板和蒸镀掩膜板放置于磁铁的上方且与磁铁相间隔开；
步骤二：将蒸镀掩膜板底部的磁性和磁铁顶部的磁极设置为相同的磁极；
步骤三：根据磁极之间同性相斥，磁铁对蒸镀掩膜板整体有个向上的无形抬力来对冲重力对蒸镀掩膜板的引力，从而极大的较少蒸镀掩膜板因重力导致的变形。
本还发明采用如下技术方案：一种减小蒸镀掩膜板变形的方法，包括如下步骤：
步骤一：将基板、与基板紧贴于一起且位于基板下方的蒸镀掩膜板、以及磁铁设置于腔室中，其中磁铁放置于腔室顶部，基板和蒸镀掩膜板放置于磁铁的下方且与磁铁相间隔开；
步骤二：将基板顶部的磁性和磁铁底部的磁极设置为相反的磁极；
步骤三：根据磁极之间异性相吸，磁铁对蒸镀掩膜板整体有个向上的无形抬力来对冲重力对蒸镀掩膜板的引力，从而极大的较少蒸镀掩膜板因重力导致的变形。
本发明具有如下有益效果：本发明利用磁性材料制作蒸镀掩膜板，同时在腔室底部（或顶部）安装磁性材料，利用磁性材料同极相斥、异极相吸的原理，来减小因重力导致的掩膜板变形。
附图说明：
图1为本发明第一实施例的示意图。
图2为本发明第二实施例的示意图。
具体实施方式：
请参照图1所示，本发明第一实施例减小蒸镀掩膜板变形的方法包括如下步骤：
步骤一：将基板1、与基板1紧贴于一起且位于基板1下方的蒸镀掩膜板2、以及磁铁3设置于腔室中，其中磁铁3放置于腔室底部，基板1和蒸镀掩膜板2放置于磁铁3的上方且与磁铁3相间隔开；
步骤二：将蒸镀掩膜板2底部的磁性和磁铁3顶部的磁极设置为相同的磁极；
步骤三：根据磁极之间同性相斥，磁铁3对蒸镀掩膜板2整体有个向上的无形抬力来对冲重力对蒸镀掩膜板2的引力，从而极大的较少蒸镀掩膜板2因重力导致的变形。
请参照图2所示，本发明第二实施例减小蒸镀掩膜板变形的方法包括如下步骤：
步骤一：将基板1、与基板1紧贴于一起且位于基板1下方的蒸镀掩膜板2、以及磁铁3设置于腔室中，其中磁铁3放置于腔室顶部，基板1和蒸镀掩膜板2放置于磁铁3的下方且与磁铁3相间隔开；
步骤二：将基板1顶部的磁性和磁铁3底部的磁极设置为相反的磁极；
步骤三：根据磁极之间异性相吸，磁铁3对蒸镀掩膜板2整体有个向上的无形抬力来对冲重力对蒸镀掩膜板2的引力，从而极大的较少蒸镀掩膜板2因重力导致的变形。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下还可以作出若干改进，这些改进也应视为本发明的保护范围。

Claims (2)

1.一种减小蒸镀掩膜板变形的方法，其特征在于：包括如下步骤
步骤一：将基板（1）、与基板（1）紧贴于一起且位于基板（1）下方的蒸镀掩膜板（2）、以及磁铁（3）设置于腔室中，其中磁铁（3）放置于腔室底部，基板（1）和蒸镀掩膜板（2）放置于磁铁（3）的上方且与磁铁（3）相间隔开；
步骤二：将蒸镀掩膜板（2）底部的磁性和磁铁（3）顶部的磁极设置为相同的磁极；
步骤三：根据磁极之间同性相斥，磁铁（3）对蒸镀掩膜板（2）整体有个向上的无形抬力来对冲重力对蒸镀掩膜板（2）的引力，从而极大的较少蒸镀掩膜板（2）因重力导致的变形。
2.一种减小蒸镀掩膜板变形的方法，其特征在于：包括如下步骤
步骤一：将基板（1）、与基板（1）紧贴于一起且位于基板（1）下方的蒸镀掩膜板（2）、以及磁铁（3）设置于腔室中，其中磁铁（3）放置于腔室顶部，基板（1）和蒸镀掩膜板（2）放置于磁铁（3）的下方且与磁铁（3）相间隔开；
步骤二：将基板（1）顶部的磁性和磁铁（3）底部的磁极设置为相反的磁极；
步骤三：根据磁极之间异性相吸，磁铁（3）对蒸镀掩膜板（2）整体有个向上的无形抬力来对冲重力对蒸镀掩膜板（2）的引力，从而极大的较少蒸镀掩膜板（2）因重力导致的变形。
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