CN112827974A - 一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，包括主管路、喷淋管以及安装组件，主管路的两端分别通过一个分接头垂直连接有一个喷淋管，两个喷淋管的两端分别设置有一组安装组件，安装组件用于对喷淋管进行支撑固定，主管路的中间位置垂直连接有主接头，通过主接头能够向主管路内输送水源，主管路通过分接头向喷淋管内输送水源，本发明能够提高对喷淋管的变形应力的解离，保证喷淋管在各种环境的长期使用中的稳定性，以解决现有的湿法设备的喷淋管容易变形导致使用的稳定性存在不足的问题。

Description

一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置

技术领域

本发明涉及清洗技术领域，尤其涉及一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置。

背景技术

半导体湿法设备尤其以批量式槽式清洗设备在化学溶液槽体工艺进行过程中的应用，需要通过一些特定的喷淋或是液体的灌注模组将化学溶液喷洒至槽中，使在槽中放置的批量晶圆能通过喷淋的过程进行有效地清洗或是其他的湿法工艺。

现有的技术中，在对不同的晶圆尺寸的晶圆进行清洗时，所对应的喷淋管的相对尺寸不一，且需要面临抵抗各种不同操作温度以及化学反应环境，喷淋模组通常为一种特殊的直线阵列排列的喷淋孔构成，同时喷淋模组通常是刚性连接的方式进行安装固定，在各种连续性的应力与潜变作用下造成喷淋模组的损坏，或者是各种形变会造成工艺效能低下的问题。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，能够提高对喷淋管的变形应力的解离，保证喷淋管在各种环境的长期使用中的稳定性，以解决现有的湿法设备的喷淋管容易变形导致使用的稳定性存在不足的问题。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，包括主管路、喷淋管以及安装组件，所述主管路的两端分别通过一个分接头垂直连接有一个喷淋管，两个喷淋管的两端分别设置有一组安装组件，所述安装组件用于对喷淋管进行支撑固定；

所述喷淋管的轴向方向为X轴，所述主管路的轴向方向为Y轴，且垂直于X轴和Y轴所在平面的方向为Z轴；

所述安装组件包括安装板和连接板，所述安装板的一端开设有第一活动槽，所述连接板内部开设有第二活动槽，所述喷淋管分别穿过第一活动槽和第二活动槽，所述连接板上设置有伸入第二活动槽内的第一螺栓，所述连接板内还开设有第二安装孔，所述第二安装孔内贯穿有第二螺栓，所述第二螺栓与安装板螺纹连接，所述安装板远离第一活动槽的一端开设有第一安装孔；

所述第二安装孔内设置有用于连接板相对于第二螺栓的螺柱沿Y轴和Z轴进行活动的第一空间，所述第一活动槽和第二活动槽内设置有用于喷淋管沿Y轴和Z轴进行活动的第二空间和第三空间；

两组喷淋管上分别等距设置有若干喷嘴，若干喷嘴与喷淋管的连接处焊接有弧形焊道。

进一步地，所述喷嘴还包括有连接头，所述喷嘴与连接头可拆卸连接，所述连接头与喷淋管的连接处焊接有弧形焊道。

进一步地，所述连接头位于X轴方向的两侧分别设置有凸块，两个凸块内分别开设有键槽，所述喷嘴的两侧固定有与键槽相匹配的连接件。

进一步地，所述凸块与喷淋管的连接处焊接有扇形焊道。

进一步地，所述第一活动槽远离第一安装孔的一侧穿通安装板，所述第二活动槽远离第一螺栓的一侧穿通连接板。

进一步地，所述第一安装孔内匹配有第三螺栓，所述安装板通过第三螺栓与湿法设备相连接，所述第三安装孔内设置有用于安装板相对第三螺栓在X轴和Z轴方向上进行位移的第三空间。

本发明的有益效果：本发明通过添加安装组件，安装组件中通过第一螺栓能够将喷淋管与连接板进行固定，通过调整喷淋管与连接板穿过的位置能够调整喷淋管在X轴方向上的位置，连接板通过第二安装孔能够调整与第二螺栓的相对位置，从而实现在Y轴和Z轴方向上的调整，同时设置第二安装孔能够使喷淋管在变形时产生应力时，可以通过带动连接板相对于第二螺栓在Y轴和Z轴方向上进行一定范围的位移，实现一定的应力解离，防止应力的产生对喷淋管的局部造成损坏，调整后分别拧紧第一螺栓和第二螺栓实现在X轴、Y轴以及Z轴方向上对喷淋管进行固定，以提高喷淋管的变形应力的解离全面性；

本发明通过在喷孔处焊接连接头，在连接头与喷淋管的连接处焊接弧形焊道，弧形焊道能够提高连接头与喷淋管连接的稳固性，进一步提高连接头对于喷孔的内壁的支撑强度，从而提高喷淋管在喷孔处的变形应力的解离；

本发明通过在连接头的两侧分别设置凸块，两个凸块沿连接头两侧的X轴方向设置，两个凸块与喷淋管的连接处分别焊接有扇形焊道，能够进一步提高连接头对于喷淋管在喷孔处的变形支撑强度。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明的结构示意图；

图2为图1中A的放大图；

图3为图1中B的放大图；

图4为本发明的另一轴视结构示意图；

图5为图4中C的放大图；

图6为图4中D的放大图；

图7为连接头与凸块和喷嘴的连接结构图。

图中：1、主管路；2、主接头；3、喷淋管；4、安装组件；11、分接头；31、喷嘴；311、连接键；32、连接头；321、弧形焊道；322、扇形焊道；323、凸块；324、键槽；41、安装板；411、第一活动槽；412、第一安装孔；42、连接板；421、第一螺栓；422、第二螺栓；423、第二安装孔；424、第二活动槽。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

请参阅图1，图1为本发明的结构示意图。

一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，包括主管路1、喷淋管3以及安装组件4，主管路1的两端分别通过一个分接头11垂直连接有一个喷淋管3，两个喷淋管3的两端分别设置有一组安装组件4，安装组件4用于对喷淋管3进行支撑固定，主管路1的中间位置垂直连接有主接头2，通过主接头2能够向主管路1内输送水源，主管路1通过分接头11向喷淋管3内输送水源。

喷淋管3的轴向方向为X轴，主管路1的轴向方向为Y轴，且垂直于X轴和Y轴所在平面的方向为Z轴。

请参阅图2-图5，图2为图1中A的放大图；图3为图1中B的放大图；图4为本发明的另一轴视结构示意图；图5为图4中C的放大图。

安装组件4包括安装板41和连接板42，安装板41的一端开设有第一活动槽411，连接板42内部开设有第二活动槽424，喷淋管3分别穿过第一活动槽411和第二活动槽424，连接板42上设置有伸入第二活动槽424内的第一螺栓421，连接板42内还开设有第二安装孔423，第二安装孔423内贯穿有第二螺栓422，第二螺栓422与安装板41螺纹连接，安装板41远离第一活动槽411的一端开设有第一安装孔412，通过第一螺栓421拧入第二活动槽424内对喷淋管3进行压紧，实现将喷淋管3固定在连接板42内。

第二安装孔423内设置有用于连接板42相对于第二螺栓422的螺柱沿Y轴和Z轴进行活动的第一空间，第一活动槽411和第二活动槽424内设置有用于喷淋管3沿Y轴和Z轴进行活动的第二空间和第三空间，通过第一活动空间能够调整连接板42在Y轴和Z轴方向上的安装位置，使喷淋管3在发生变形产生应力时能够通过带动连接板42进行一定程度的位移，实现对应力的解离，解决原有的刚性连接容易在喷淋管3进行变形时对安装位置造成损坏的问题，提高应力解离的全面性，提高喷淋管3的使用稳定性，第二空间和第三空间能够用于喷淋管3进行Y轴和Z轴方向上的变形活动。

第一活动槽411远离第一安装孔412的一侧穿通安装板41，第二活动槽424远离第一螺栓421的一侧穿通连接板42。

第一安装孔412内匹配有第三螺栓，安装板41通过第三螺栓与湿法设备相连接，第三安装孔内设置有用于安装板41相对第三螺栓在X轴和Z轴方向上进行位移的第三空间，第三空间能够使安装板41能够在X轴和Z轴方向上进行安装位置的调整。

请参与人图6和图7，图6为图4中D的放大图；图7为连接头32与凸块323和喷嘴31的连接结构图。

两组喷淋管3上分别等距设置有若干喷嘴31，若干喷嘴31与喷淋管3的连接处焊接有弧形焊道321，喷嘴31还包括有连接头32，喷嘴31与连接头32可拆卸连接，连接头32与喷淋管3的连接处焊接有弧形焊道321，喷淋管3内开设有喷孔，连接头32对应设置在喷孔内，连接头32通过与喷淋管3之间焊接弧形焊道321能够提高对喷淋管3的喷孔处进行支撑，以对喷淋管3位于喷孔处的变形应力的解离。

连接头32位于X轴方向的两侧分别设置有凸块323，两个凸块323内分别开设有键槽324，喷嘴31的两侧固定有与键槽324相匹配的连接件，凸块323与喷淋管3的连接处焊接有扇形焊道322，通过添加键槽324能够提高喷嘴31与连接头32连接的稳定性，同时X轴方向为喷淋管3的轴向方向，喷淋管3在轴向方向上最容易发生变形，因此，通过添加凸块323和扇形焊道322，能够提高对喷淋管3位于喷孔两侧的支撑强度。

喷淋管3的安装方法为：首先将喷淋管3的两端分别套入一个安装板41和一个连接板42，再将连接板42通过两个第二螺栓422与安装板41进行初步连接，或者将安装板41从第一活动槽411穿通处沿Y轴方向插在喷淋管3上，再将连接板42从第二活动槽424的穿通处沿Z轴方向插在喷淋管3上，然后将连接板42通过两个第二螺栓422与安装板41进行初步连接，最后通过第三螺栓穿过第一安装孔412将安装板41固定在湿法设备上，实现对喷淋管3的初步安装固定；

下一步对喷淋管3的安装位置进行调整，将第一螺栓421拧入连接板42并伸入第二活动槽424内，使第一螺栓421与喷淋管3相抵接，调整喷淋管3在X轴方向上的位置，继续拧紧第一螺栓421使喷淋管3远离第一螺栓421的一侧与连接板42相贴合；再将连接板42通过第二安装孔423调整与第二螺栓422的相对位置，通过第二安装孔423调整连接板42在Y轴和Z轴方向上的位置，调整后拧紧第二螺栓422将连接板42固定在安装板41上，将两组喷淋管3分别通过两组分接头11与主管路1的两端进行安装连接，实现对喷淋管3的安装固定。

喷嘴31的安装方法以及喷孔处的应力解离方法为：将连接头32插入喷孔内，在连接头32与喷淋管3的连接处焊接弧形焊道321以使连接头32与喷淋管3相固定，并且使连接头32对喷孔的内壁进行贴合支撑；凸块323与喷淋管3的连接处焊接扇形焊道322，以使凸块323通过扇形焊道322对喷孔的两侧进行支撑。

最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本发明的具体实施方式，用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，本发明的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (6)

1.一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，其特征在于，提供一种喷淋机构，所述喷淋机构包括主管路(1)、喷淋管(3)以及安装组件(4)，所述主管路(1)的两端分别通过一个分接头(11)垂直连接有一个喷淋管(3)，两个喷淋管(3)的两端分别设置有一组安装组件(4)，所述安装组件(4)用于对喷淋管(3)进行支撑固定；

所述喷淋管(3)的轴向方向为X轴，所述主管路(1)的轴向方向为Y轴，且垂直于X轴和Y轴所在平面的方向为Z轴；

所述安装组件(4)包括安装板(41)和连接板(42)，所述安装板(41)的一端开设有第一活动槽(411)，所述连接板(42)内部开设有第二活动槽(424)，所述喷淋管(3)分别穿过第一活动槽(411)和第二活动槽(424)，所述连接板(42)上设置有伸入第二活动槽(424)内的第一螺栓(421)，所述连接板(42)内还开设有第二安装孔(423)，所述第二安装孔(423)内贯穿有第二螺栓(422)，所述第二螺栓(422)与安装板(41)螺纹连接，所述安装板(41)远离第一活动槽(411)的一端开设有第一安装孔(412)；

所述第二安装孔(423)内设置有用于连接板(42)相对于第二螺栓(422)的螺柱沿Y轴和Z轴进行活动的第一空间，所述第一活动槽(411)和第二活动槽(424)内设置有用于喷淋管(3)沿Y轴和Z轴进行活动的第二空间和第三空间；

两组喷淋管(3)上分别等距设置有若干喷嘴(31)，若干喷嘴(31)与喷淋管(3)的连接处焊接有弧形焊道(321)。

2.根据权利要求1所述的一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，其特征在于，所述喷嘴(31)还包括有连接头(32)，所述喷嘴(31)与连接头(32)可拆卸连接，所述连接头(32)与喷淋管(3)的连接处焊接有弧形焊道(321)。

3.根据权利要求2所述的一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，其特征在于，所述连接头(32)位于X轴方向的两侧分别设置有凸块(323)，两个凸块(323)内分别开设有键槽(324)，所述喷嘴(31)的两侧固定有与键槽(324)相匹配的连接件。

4.根据权利要求3所述的一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，其特征在于，所述凸块(323)与喷淋管(3)的连接处焊接有扇形焊道(322)。

5.根据权利要求1所述的一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，其特征在于，所述第一活动槽(411)远离第一安装孔(412)的一侧穿通安装板(41)，所述第二活动槽(424)远离第一螺栓(421)的一侧穿通连接板(42)。

6.根据权利要求1所述的一种能够进行有效应力解离的湿法设备槽体喷淋装置，其特征在于，所述第一安装孔(412)内匹配有第三螺栓，所述安装板(41)通过第三螺栓与湿法设备相连接，所述第三安装孔内设置有用于安装板(41)相对第三螺栓在X轴和Z轴方向上进行位移的第三空间。

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