CN112768553B - 一种丝网印刷返工片的清洗方法 - Google Patents

一种丝网印刷返工片的清洗方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,所述清洗方法包括如下步骤:(1)无水乙醇浸泡擦拭后的丝网印刷返工片;(2)无水乙醇浸泡后的丝网印刷返工片浸泡于第一混合酸液中进行酸浸,酸浸结束后进行第一水洗;(3)第一水洗后使用第二混合酸液进行酸洗,酸洗结束后依次进行第二水洗与醇洗;(4)干燥后完成对丝网印刷返工片的清洗;步骤(2)所述第一混合酸液为体积比(2.8‑3.2):1的盐酸与硝酸的混合液。本发明通过合理地混合酸液选择,提高了丝网印刷返工片表面浆料的去除效果,有效避免了Ag颗粒的残留,降低了返工片重新利用时表面烧穿现象的比例,也能够避免重新利用时Ag颗粒对前序工段的污染。

Description

一种丝网印刷返工片的清洗方法
技术领域
本发明属于太阳能电池技术领域,涉及一种太阳能电池生产方法,尤其涉及一种丝网印刷返工片的清洗方法。
背景技术
现有技术中,太阳能电池片的正极片、背电场以及背电极通常采用丝网印刷的方式进行。典型的,正电极和背电极的材料为银浆,背电场的材料为铝浆。在进行丝网印刷的实际过程中,由于机械因素以及人为因素的存在,经常会出现丝网印刷不合格的情况,从而产生丝网印刷不良片。而这些丝网印刷不良片最终会影响太阳能电池片产线的产率及效率。
若将丝网印刷不良片全部降级处理或者报废,则会造成极大的经济损失,因此常见的做法是收集丝网印刷不良片并对其进行返工处理,常规的返工方法包括:利用有机溶剂将丝网印刷不良片表面银浆手工擦拭,然后重新印刷;或手工擦拭掉以后对死亡印刷不良片进行洗膜,然后经两次制绒扩散后按照常规流程进行生产。上述方法可以对丝网印刷返工片进行处理,但步骤繁琐、费时费力,还存在不能将银颗粒完全去除的风险,而Ag颗粒在硅片表面残留则会导致漏电比例提高,造成资源与时间的浪费。
CN 102306683A公开了一种经丝网印刷后返工硅片的处理方法,所述处理方法先采用酒精加松油醇将硅片清洗干净,然后将硅片放在质量百分比浓度在3-8%的盐酸中浸泡1-3h,之后,使用去离子水将硅片表面残留的盐酸去除,最后,将带水的硅片放入酒精中浸泡脱水。CN 111628048A公开了一种晶硅电池丝网印刷返工片清洗方法,首先使用工业酒精擦除固化于返工片上的银铝浆料,然后将返工片浸泡于盐酸和双氧水混合液中,最后在等离子水中浸泡冲洗干净后烘干。
上述两种方法能够去除丝网印刷返工片表面95wt%左右的金属物质,但不能去除残留的Ag颗粒。
CN 109755352A公开了一种丝网印刷不良片的表面处理方法,该表面处理方法包括:对丝网印刷不良片的表面进行擦拭或利用超声波清洗机对丝网印刷不良片进行清洗,然后进行第一水洗;利用第一盐酸对丝网印刷不良片进行第一酸洗,然后进行第二水洗;利用硝酸对所述丝网印刷不良片进行第二酸洗,第二酸洗后进行第三水洗;利用第二盐酸对丝网印刷不良片进行第三酸洗,然后进行第四水洗,随后进行烘干。岁数表面处理方法不仅工艺繁琐,而且不能将丝网印刷不良片表面的银颗粒完全去除,影响丝网印刷不良片再次利用的成功率。
CN 104009122A公开了一种丝网印刷返工硅片的处理方法,所述处理方法采用如下步骤:(1)用有机溶剂对硅片表面印刷的金属浆料进行均匀的擦拭;(2)将擦拭后的硅片放入混酸溶液中进行清洗;(3)将清洗过的硅片放入超纯水中进行冲洗;(4)将冲洗后的硅片放入超纯水中进行喷淋水洗;(5)将喷淋水洗后的硅片烘干,然后重新进行丝网印刷。但该处理方法仍然耗时较长,且混酸溶液只能去除表面的铝颗粒,无法对银颗粒进行有效去除。
对此,需要提供一种新的丝网印刷返工片的清洗方法,使所述清洗方法操作简单,且能够去除丝网印刷返工片表面的银颗粒,提高其再次利用后的电性能。
发明内容
针对现有技术存在的不足,本发明的目的在于提供一种丝网印刷返工片的清洗方法,所述清洗方法操作简单,且能够有效去除丝网印刷返工片表面的Ag颗粒,经过本发明所述清洗方法处理后的丝网印刷返工片回用于常规的丝网印刷步骤后,能够避免表面烧穿现象,有效降低EL发黑比例;还能够降低Ag颗粒对前序工段的污染。
为达此目的,本发明采用以下技术方案:
本发明提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,所述清洗方法包括如下步骤:
(1)无水乙醇浸泡擦拭后的丝网印刷返工片;
(2)无水乙醇浸泡后的丝网印刷返工片浸泡于第一混合酸液中进行酸浸,酸浸结束后进行第一水洗;
(3)第一水洗后使用第二混合酸液进行酸洗,酸洗结束后依次进行第二水洗与醇洗;
(4)干燥后完成对丝网印刷返工片的清洗;
步骤(2)所述第一混合酸液为体积比(2.8-3.2):1的盐酸与硝酸的混合液。
本发明所述第一混合酸液为盐酸与硝酸的混合液,其中盐酸与硝酸的体积比为(2.8-3.2):1,例如可以是2.8:1、2.9:1、3:1、3.1:1或3.2:1,但不限于所列举的数值,数值范围内其它未列举的数值同样适用。
本发明通过使第一混合酸液为体积比(2.8-3.2):1的盐酸与硝酸的混合液,提高了酸浸对丝网印刷返工片表面金属的去除效果,当体积比偏离(2.8-3.2):1的范围时,所得第一混合酸液对表面金属的去除效果不佳,难以得到表面Ag颗粒的完全去除。
本发明所述第一混合酸液中的盐酸能够有效去除铝浆,硝酸能够用于去除银浆,而后特定比例混合的盐酸与硝酸相互协同,去除电池片表面以及绒面结构内的Ag颗粒,降低了丝网印刷返工片的失效比例,避免表面烧穿现象,有效降低了EL发黑比例。
优选地,步骤(2)所述第一混合酸液所用盐酸的浓度为35-38wt%,例如可以是35wt%、35.5wt%、36wt%、36.5wt%、37wt%、37.5wt%或38wt%,但不限于所列举的数值,数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地,步骤(2)所述第一混合酸液所用硝酸的浓度为60-64wt%,例如可以是60wt%、61wt%、62wt%、63wt%或64wt%,但不限于所列举的数值,数值范围内其它未列举的数值同样适用。
本发明步骤(1)所述擦拭为本领域常规的擦拭方法,所述擦拭方法包括但不限于CN 105449036A、CN 104009122A、CN 109755352A、CN 102306683A或CN 111628048A公开的使用酒精和/或松油醇进行擦拭的方法,本领域技术人员能够根据需要进行合理地选择。
优选地,步骤(1)所述浸泡的时间为30-90s,例如可以是30s、40s、50s、60s、70s、80s或90s,但不限于所列举的数值,数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地,步骤(1)所述浸泡时,无水乙醇液面高出丝网印刷返工片3-5cm,例如可以是3cm、3.5cm、4cm、4.5cm或5cm,但不限于所列举的数值,数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地,步骤(1)所述浸泡的温度为10-30℃,例如可以是10℃、15℃、20℃、25℃或30℃,但不限于所列举的数值,数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地,步骤(2)所述酸浸的时间为300-1500s,例如可以是300s、400s、500s、600s、700s、800s、900s、1000s、1100s、1200s、1300s、1400s或1500s,但不限于所列举的数值,数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地,步骤(2)所述酸浸的温度为10-30℃,例如可以是10℃、15℃、20℃、25℃或30℃,但不限于所列举的数值,数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地,步骤(3)所述第二混合酸液为氢氟酸与盐酸的混合酸液,第二混合酸液中氢氟酸与盐酸的总浓度为8-10wt%,例如可以是8wt%、8.5wt%、9wt%、9.5wt%或10wt%,但不限于所列举的数值,数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地,第二混合酸液中氢氟酸的浓度为4-6wt%,例如可以是4wt%、4.5wt%、5wt%、5.5wt%或6wt%,但不限于所列举的数值,数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地,第二混合酸液中盐酸的浓度为4-6wt%,例如可以是4wt%、4.5wt%、5wt%、5.5wt%或6wt%,但不限于所列举的数值,数值范围内其它未列举的数值同样适用。
本发明在酸浸后进行酸洗,能够有效提高所述清洗方法的清洗效果。
优选地,步骤(3)所述酸洗的时间为60-160s,例如可以是60s、70s、80s、90s、100s、110s、120s、130s、140s、150s或160s,但不限于所列举的数值,数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地,步骤(3)所述酸洗的温度为10-30℃,例如可以是10℃、15℃、20℃、25℃或30℃,但不限于所列举的数值,数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地,所述第一水洗为去离子水清洗。
优选地,所述第二水洗为去离子水清洗。
优选地,所述醇洗为使用无水乙醇清洗。
优选地,步骤(4)所述干燥为隔绝氧气干燥;
优选地,步骤(4)所述干燥为在氮气气氛中进行甩干。
本发明所述在氮气气氛中进行甩干为在本领域常规的氮气加热甩干机中进行,加热条件下进行甩干能够提高干燥的效率,减少干燥所需时间。
无氧气氛包括氮气气氛和/或惰性气体气氛,本领域技术人员能够根据需要进行合理地选择。
作为本发明所述清洗方法的优选技术方案,所述清洗方法包括如下步骤:
(1)无水乙醇于10-30℃浸泡擦拭后的丝网印刷返工片30-90s;浸泡时,无水乙醇液面高出丝网印刷返工片3-5cm;
(2)无水乙醇浸泡后的丝网印刷返工片在10-30℃的条件下浸泡于第一混合酸液中进行酸浸300-1500s,酸浸结束后进行第一水洗;
(3)第一水洗后于10-30℃使用第二混合酸液进行酸洗60-160s,酸洗结束后依次进行第二水洗与醇洗;所述第二混合酸液为氢氟酸与盐酸的混合酸液,第二混合酸液中氢氟酸与盐酸的总浓度为8-10wt%,其中氢氟酸的浓度为4-6wt%,盐酸的浓度为4-6wt%;
(4)干燥后完成对丝网印刷返工片的清洗;
步骤(2)所述第一混合酸液为体积比(2.8-3.2):1的盐酸与硝酸的混合液;所述第一混合酸液所用盐酸的浓度为35-38wt%;所述第一混合酸液所用硝酸的浓度为60-64wt%。
本发明所述的数值范围不仅包括上述例举的点值,还包括没有例举出的上述数值范围之间的任意的点值,限于篇幅及出于简明的考虑,本发明不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。
与现有技术相比,本发明的有益效果为:
(1)本发明通过合理地混合酸液选择,提高了丝网印刷返工片表面浆料的去除效果,有效避免了Ag颗粒的残留,降低了返工片重新利用时表面烧穿现象的比例,也能够避免重新利用时Ag颗粒对前序工段的污染;
(2)按照常规工艺对清洗方法所得电池片重新进行丝网印刷后,所得产品的电性能优良;
(3)本发明提供的清洗方法能够有效降低丝网印刷返工片的失效比例。
具体实施方式
下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
本发明具体实施方式所处理丝网印刷返工片为采用常规方法进行擦拭处理后的同一批次丝网印刷返工片。
实施例1
本实施例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,所述清洗方法包括如下步骤:
(1)无水乙醇于20℃浸泡擦拭后的丝网印刷返工片60s;浸泡时,无水乙醇液面高出丝网印刷返工片4cm;
(2)无水乙醇浸泡后的丝网印刷返工片在20℃的条件下浸泡于第一混合酸液中进行酸浸300s,酸浸结束后使用去离子水进行第一水洗;
(3)第一水洗后于20℃使用第二混合酸液进行酸洗100s,酸洗结束后依次进行去离子水洗与无水乙醇洗;所述第二混合酸液为氢氟酸与盐酸的混合酸液,第二混合酸液中氢氟酸与盐酸的总浓度为8wt%,其中氢氟酸的浓度为4wt%,盐酸的浓度为4wt%;
(4)氮气气氛中进行甩干,完成对丝网印刷返工片的清洗;
步骤(2)所述第一混合酸液为体积比3:1的盐酸与硝酸的混合液;所述第一混合酸液所用盐酸的浓度为36.5wt%;所述第一混合酸液所用硝酸的浓度为62wt%。
本实施例提供的清洗方法使丝网印刷返工片的失效率降低至2%以下。
实施例2
本实施例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,除酸浸的时间为600s外,其余均与实施例1相同。
本实施例提供的清洗方法使丝网印刷返工片的失效率降低至2%以下。
实施例3
本实施例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,除酸浸的时间为900s外,其余均与实施例1相同。
本实施例提供的清洗方法使丝网印刷返工片的失效率降低至1.6%以下。
实施例4
本实施例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,除酸浸的时间为1200s外,其余均与实施例1相同。
本实施例提供的清洗方法使丝网印刷返工片的失效率降低至1.5%以下。
实施例5
本实施例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,除酸浸的时间为1500s外,其余均与实施例1相同。
本实施例提供的清洗方法使丝网印刷返工片的失效率降低至1.5%以下。
实施例6
本实施例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,所述清洗方法包括如下步骤:
(1)无水乙醇于20℃浸泡擦拭后的丝网印刷返工片60s;浸泡时,无水乙醇液面高出丝网印刷返工片4cm;
(2)无水乙醇浸泡后的丝网印刷返工片在20℃的条件下浸泡于第一混合酸液中进行酸浸1200s,酸浸结束后使用去离子水进行第一水洗;
(3)第一水洗后于20℃使用第二混合酸液进行酸洗60s,酸洗结束后依次进行去离子水洗与无水乙醇洗;所述第二混合酸液为氢氟酸与盐酸的混合酸液,第二混合酸液中氢氟酸与盐酸的总浓度为8wt%,其中氢氟酸的浓度为4wt%,盐酸的浓度为4wt%;
(4)氮气气氛中进行甩干,完成对丝网印刷返工片的清洗;
步骤(2)所述第一混合酸液为体积比3:1的盐酸与硝酸的混合液;所述第一混合酸液所用盐酸的浓度为36.5wt%;所述第一混合酸液所用硝酸的浓度为62wt%。
本实施例提供的清洗方法使丝网印刷返工片的失效率降低至2%以下。
实施例7
本实施例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,除步骤(3)所述酸洗的时间为160s外,其余均与实施例6相同。
本实施例提供的清洗方法使丝网印刷返工片的失效率降低至2%以下。
实施例8
本实施例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,所述清洗方法包括如下步骤:
(1)无水乙醇于30℃浸泡擦拭后的丝网印刷返工片30s;浸泡时,无水乙醇液面高出丝网印刷返工片5cm;
(2)无水乙醇浸泡后的丝网印刷返工片在30℃的条件下浸泡于第一混合酸液中进行酸浸1200s,酸浸结束后使用去离子水进行第一水洗;
(3)第一水洗后于30℃使用第二混合酸液进行酸洗100s,酸洗结束后依次进行去离子水洗与无水乙醇洗;所述第二混合酸液为氢氟酸与盐酸的混合酸液,第二混合酸液中氢氟酸与盐酸的总浓度为10wt%,其中氢氟酸的浓度为5wt%,盐酸的浓度为5wt%;
(4)氮气气氛中进行甩干,完成对丝网印刷返工片的清洗;
步骤(2)所述第一混合酸液为体积比2.8:1的盐酸与硝酸的混合液;所述第一混合酸液所用盐酸的浓度为38wt%;所述第一混合酸液所用硝酸的浓度为60wt%。
本实施例提供的清洗方法使丝网印刷返工片的失效率降低至2.4%以下。
实施例9
本实施例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,所述清洗方法包括如下步骤:
(1)无水乙醇于10℃浸泡擦拭后的丝网印刷返工片90s;浸泡时,无水乙醇液面高出丝网印刷返工片3cm;
(2)无水乙醇浸泡后的丝网印刷返工片在10℃的条件下浸泡于第一混合酸液中进行酸浸1200s,酸浸结束后使用去离子水进行第一水洗;
(3)第一水洗后于10℃使用第二混合酸液进行酸洗100s,酸洗结束后依次进行去离子水洗与无水乙醇洗;所述第二混合酸液为氢氟酸与盐酸的混合酸液,第二混合酸液中氢氟酸与盐酸的总浓度为10wt%,其中氢氟酸的浓度为6wt%,盐酸的浓度为4wt%;
(4)氮气气氛中进行甩干,完成对丝网印刷返工片的清洗;
步骤(2)所述第一混合酸液为体积比3.2:1的盐酸与硝酸的混合液;所述第一混合酸液所用盐酸的浓度为35wt%;所述第一混合酸液所用硝酸的浓度为64wt%。
本实施例提供的清洗方法使丝网印刷返工片的失效率降低至2%以下。
实施例10
本实施例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,除第二混合酸液中氢氟酸与盐酸的总浓度为10wt%,其中氢氟酸的浓度为4wt%,盐酸的浓度为6wt%外,其余均与实施例9相同。
本实施例提供的清洗方法使丝网印刷返工片的失效率降低至2%以下。
实施例11
本实施例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,除第一混合酸液所用盐酸的浓度为32wt%外,其余均与实施例4相同。
本实施例提供的清洗方法只能使丝网印刷返工片的失效率降低至3%以上。
实施例12
本实施例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,除第一混合酸液所用硝酸的浓度为56wt%外,其余均与实施例4相同。
本实施例提供的清洗方法只能使丝网印刷返工片的失效率降低至4%以上。
对比例1
本对比例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,除步骤(2)所述第一混合酸液为体积比2.5:1的盐酸与硝酸的混合液外,其余均与实施例4相同。
本实施例提供的清洗方法只能使丝网印刷返工片的失效率降低至4%以上。
对比例2
本对比例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,除步骤(2)所述第一混合酸液为体积比3.5:1的盐酸与硝酸的混合液外,其余均与实施例4相同。
本实施例提供的清洗方法只能使丝网印刷返工片的失效率降低至4%以上。
对比例3
本对比例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,除步骤(2)所述酸浸为先使用36.5wt%的盐酸处理600s,再使用62wt%的硝酸处理600s外,其余均与实施例4相同。
本实施例提供的清洗方法只能使丝网印刷返工片的失效率降低至4%以上。
对比例4
本对比例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,除步骤(2)所述酸浸为先使用62wt%的硝酸处理600s,再使用36.5wt%的盐酸处理600s外,其余均与实施例4相同。
本实施例提供的清洗方法只能使丝网印刷返工片的失效率降低至6%以上。
对比例5
本对比例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,除步骤(2)所述酸浸仅使用62wt%的硝酸处理1200s外,其余均与实施例4相同。
本实施例提供的清洗方法只能使丝网印刷返工片的失效率降低至8%以上。
对比例6
本对比例提供了一种丝网印刷返工片的清洗方法,所述清洗方法包括如下步骤:
(1)无水乙醇于20℃浸泡擦拭后的丝网印刷返工片60s;浸泡时,无水乙醇液面高出丝网印刷返工片4cm;
(2)无水乙醇浸泡后的丝网印刷返工片在20℃的条件下浸泡于第一混合酸液中进行酸浸1200s,酸浸结束后使用去离子水进行第一水洗;
(3)第一水洗后进行无水乙醇洗;
(4)氮气气氛中进行甩干,完成对丝网印刷返工片的清洗;
步骤(2)所述第一混合酸液为体积比3:1的盐酸与硝酸的混合液;所述第一混合酸液所用盐酸的浓度为36.5wt%;所述第一混合酸液所用硝酸的浓度为62wt%。
本实施例提供的清洗方法只能使丝网印刷返工片的失效率降低至6%以上。
按照常规方法将实施例1-12以及对比例1-6清洗完成的丝网印刷返工片制备PERC电池,分别对其电性能进行测试,并测定其CID、LID以及PID,所述电性能的测试结果如表1所示。
表1
Figure BDA0002872154150000131
Figure BDA0002872154150000141
由表1可知,实施例1-5中的酸浸时间逐渐增长,所得清洗完成后的丝网印刷返工片制备PERC的转换效率逐渐升高;当酸浸时间由1200s升高至1500s时,转换效率增长不明显。由本发明的实施例1-10可知,本发明提供的清洗方法能够使清洗后的丝网印刷返工片的效率保持22.46%以上。
由实施例11与实施例4的对比可知,当酸浸所用第一混合酸液的盐酸浓度偏低时,转换效率由22.58%降低至22.43%;由实施例12与实施例4的对比可知,当酸浸所用第一混合酸液的硝酸浓度偏低时,转换效率由22.58%降低至22.42%。由此可知,本发明所述第一混合酸所用盐酸的浓度需要为35wt%以上,硝酸的浓度需要60wt%以上,综合考虑处理成本,使盐酸的浓度为35-38wt%,使硝酸的浓度为60-64wt%。
由对比例1与实施例4的对比可知,当盐酸的用量较少时,转换效率由22.58%降低至22.42%;由对比例2与实施例4的对比可知,当盐酸的用量较多时,转换效率由22.58%降低至22.41%。
由对比例3-4与实施例4的对比可知,分别使用盐酸与硝酸对丝网印刷返工片进行处理,无法发挥盐酸与硝酸的协同作用,从而无法对Ag颗粒进行有效处理,使转换效率分别由22.58%降低至22.36%以及22.32%。
由对比例5与实施例4的对比可知,单独使用硝酸对丝网印刷返工片进行处理,无法克服铝浆对银浆的影响,也无法发挥盐酸与硝酸的协同作用,因此,转换效率分别由22.58%降低至22.28%。
由对比例6与实施例4的对比可知,不进行酸洗时,转换效率由22.58%降低至22.39%。
本发明所述测定LID的条件为:光照强度1000W/m2,温度为<75℃,时间为5h;所述测定CID的条件为:电流1A,时间8h,温度110℃。所得LID与CID的数据如表2所示。
表2
Figure BDA0002872154150000151
Figure BDA0002872154150000161
本发明所述测试PID的条件为:85%相对湿度,温度为85℃,光照强度1000W/m2,测试时间为96h,负电压1500V,电性能衰减<3%;通过PID测试所得衰减率的结果如表3所示。
表3
Figure BDA0002872154150000162
Figure BDA0002872154150000171
综上所述,本发明通过合理地混合酸液选择,提高了丝网印刷返工片表面浆料的去除效果,有效避免了Ag颗粒的残留,降低了返工片重新利用时表面烧穿现象的比例,也能够避免重新利用时Ag颗粒对前序工段的污染;按照常规工艺对清洗方法所得电池片重新进行丝网印刷后,所得产品的电性能优良;本发明提供的清洗方法能够有效降低丝网印刷返工片的失效比例。
以上所述的具体实施例,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (16)

1.一种丝网印刷返工片的清洗方法,其特征在于,所述清洗方法包括如下步骤:
(1)无水乙醇浸泡擦拭后的丝网印刷返工片;
(2)无水乙醇浸泡后的丝网印刷返工片浸泡于第一混合酸液中进行酸浸,酸浸结束后进行第一水洗;
(3)第一水洗后使用第二混合酸液进行酸洗,酸洗结束后依次进行第二水洗与醇洗;所述第二混合酸液为氢氟酸与盐酸的混合酸液,第二混合酸液中氢氟酸与盐酸的总浓度为8-10wt%;
(4)干燥后完成对丝网印刷返工片的清洗;
步骤(2)所述第一混合酸液为体积比(2.8-3.2):1的盐酸与硝酸的混合液;所述第一混合酸液所用盐酸的浓度为35-38wt%;所述第一混合酸液所用硝酸的浓度为60-64wt%。
2.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,步骤(1)所述浸泡的时间为30-90s。
3.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,步骤(1)所述浸泡时,无水乙醇液面高出丝网印刷返工片3-5cm。
4.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,步骤(1)所述浸泡的温度为10-30℃。
5.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,步骤(2)所述酸浸的时间为300-1500s。
6.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,步骤(2)所述酸浸的温度为10-30℃。
7.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,第二混合酸液中氢氟酸的浓度为4-6wt%。
8.根据权利要求7所述的清洗方法,其特征在于,第二混合酸液中盐酸的浓度为4-6wt%。
9.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,步骤(3)所述酸洗的时间为60-160s。
10.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,步骤(3)所述酸洗的温度为10-30℃。
11.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,所述第一水洗为去离子水清洗。
12.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,所述第二水洗为去离子水清洗。
13.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,所述醇洗为使用无水乙醇清洗。
14.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,步骤(4)所述干燥为隔绝氧气干燥。
15.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,步骤(4)所述干燥为在氮气气氛中进行甩干。
16.根据权利要求1所述的清洗方法,其特征在于,所述清洗方法包括如下步骤:
(1)无水乙醇于10-30℃浸泡擦拭后的丝网印刷返工片30-90s;浸泡时,无水乙醇液面高出丝网印刷返工片3-5cm;
(2)无水乙醇浸泡后的丝网印刷返工片在10-30℃的条件下浸泡于第一混合酸液中进行酸浸300-1500s,酸浸结束后进行第一水洗;
(3)第一水洗后于10-30℃使用第二混合酸液进行酸洗60-160s,酸洗结束后依次进行第二水洗与醇洗;所述第二混合酸液为氢氟酸与盐酸的混合酸液,第二混合酸液中氢氟酸与盐酸的总浓度为8-10wt%,其中氢氟酸的浓度为4-6wt%,盐酸的浓度为4-6wt%;
(4)干燥后完成对丝网印刷返工片的清洗;
步骤(2)所述第一混合酸液为体积比(2.8-3.2):1的盐酸与硝酸的混合液;
所述第一混合酸液所用盐酸的浓度为35-38wt%;所述第一混合酸液所用硝酸的浓度为60-64wt%。
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