CN112687582A - 晶圆贴片机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种晶圆贴片机，包括元件贴装部件、工件传送机构、贴装部件前后移动机构、贴装部件左右移动机构、晶圆托盘机构、托盘前后移动机构和托盘左右移动机构；工件传送机构水平设置；贴装部件前后移动机构设在工件传送机构传送方向端，贴装部件左右移动机构设置在工件传送机构的顶部，且贴装部件左右移动机构与贴装部件前后移动机构滑动连接；元件贴装部件滑动安装在贴装部件左右移动机构上；托盘前后移动机构设置在工件传送机构的一侧，托盘前后移动机构邻近工件传送机构设置；托盘左右移动机构滑动安装在托盘前后移动机构的顶部；晶圆托盘机构固定安装在托盘左右移动机构的顶部。其可以在同一设备上对普通元件和晶圆进行贴片。

Description

晶圆贴片机

技术领域

本公开涉及半导体加工设备领域，尤其涉及一种晶圆贴片机。

背景技术

晶圆贴片机是用来实现高速、高精度地贴放元器件的设备，是整个SMI、生产中最关键、最复杂的设备。晶圆贴片机是SMT的生产中要用到贴片设备，现在，晶圆贴片机已从早期的低速机械晶圆贴片机是对中发展为高速光学对中晶圆贴片机，并向多功能、柔性连接模块化发展。

现有的晶圆贴片机进行贴片时不能兼顾对晶圆和其他电子元器件在同一晶圆贴片机上进行贴片。

发明内容

有鉴于此，本公开提出了一种晶圆贴片机，其可以在同一设备上高精度的对工件传送机构上的普通元件和晶圆托盘机构上的晶圆进行贴片。

根据本公开的一方面，提供了一种晶圆贴片机，包括元件贴装部件、工件传送机构、贴装部件前后移动机构、贴装部件左右移动机构、晶圆托盘机构、托盘前后移动机构和托盘左右移动机构；

其中，所述工件传送机构水平设置，用于元件沿水平方向传送；

所述贴装部件前后移动机构设在所述工件传送机构传送方向端，所述贴装部件左右移动机构设置在所述工件传送机构的顶部，且所述贴装部件左右移动机构与所述贴装部件前后移动机构滑动连接；

所述元件贴装部件滑动安装在所述贴装部件左右移动机构上，所述元件贴装部件的贴装头朝向所述工件传送机构设置；

所述托盘前后移动机构设置在所述工件传送机构的一侧，所述托盘前后移动机构邻近所述工件传送机构设置；

所述托盘左右移动机构滑动安装在所述托盘前后移动机构的顶部，所述托盘前后移动机构与所述托盘左右移动机构之间设有夹角；

所述晶圆托盘机构固定安装在所述托盘左右移动机构的顶部，用于放置被所述元件贴装部件贴装的晶圆。

在一种可能的实现方式中，所述托盘前后移动机构包括第一驱动件、第一滑道和第一连接座；

所述第一滑道设置在所述工件传送机构的一侧，所述第一滑道沿所述贴装部件前后移动机构设置；

所述第一驱动件固定安装在所述第一滑道背离所述工件传送机构的一侧，所述第一驱动件的输出轴朝向所述工件传送机构设置，所述第一驱动件的输出轴上固定安装有第一丝杠，所述第一连接座螺纹连接在所述第一丝杠上，且所述第一连接座与所述第一滑道滑动连接；

所述托盘左右移动机构固定安装在所述第一连接座的顶部。

在一种可能的实现方式中，所述第一滑道包括顶部设有开口的第一盒体和第一顶板；

所述第一盒体沿所述贴装部件前后移动机构设置，所述第一驱动件固定安装在所述第一盒体背离所述工件传送机构的一侧，所述第一驱动件的输出轴贯穿所述第一盒体的侧壁；

所述第一顶板固定安装在所述第一盒体的顶部开口处，所述第一顶板的大小小于所述第一盒体的顶部开口的大小，所述第一顶板处于所述第一盒体开口的中部位置；

所述第一连接座设置有与所述第一丝杠相匹配的螺纹孔，所述第一连接座滑动设置在所述第一盒体的腔体内部；

所述第一连接座的顶部设有第一伸出部，所述第一伸出部贯穿并伸出所述第一顶板与所述第一盒体开口之间形成的空隙，所述托盘左右移动机构固定安装在所述第一伸出部的顶部。

在一种可能的实现方式中，所述第一盒体的侧壁上固定有第一放置台，所述第一放置台呈开口朝上的凹形板状；

所述第一放置台上固定有第一拖链，所述第一拖链用于归置所述第一驱动件的线路。

在一种可能的实现方式中，所述托盘前后移动机构与所述托盘左右移动机构垂直设置，所述托盘前后移动机构与所述托盘左右移动机构的结构相同。

在一种可能的实现方式中，所述晶圆托盘机构包括晶圆蓝膜托盘、晶圆蓝膜顶针和晶圆蓝膜支架；

所述晶圆蓝膜支架固定安装在所述托盘前后移动机构的顶部，所述晶圆蓝膜托盘固定安装在所述晶圆蓝膜支架的顶端，所述晶圆蓝膜托盘伸出所述托盘前后移动机构；

所述晶圆蓝膜顶针设置在所述晶圆蓝膜托盘的底部，用于将贴片后的晶圆顶出。

在一种可能的实现方式中，所述贴装部件前后移动机构包括左支架、左滑道、左丝杠、右支架和右滑道；

所述左支架和所述右支架均呈门状，所述左支架设置在所述工件传送部件传送方向上的左端，所述右支架设置在所述工件传送部件传送方向上的右端；

所述左滑道固定安装在所述左支架的顶端，所述左滑道沿所述左支架的长度方向设置，所述右滑道固定安装在所述右支架的顶端，所述右滑道沿所述右支架的长度方向设置；

所述左丝杠转动安装在所述左支架的顶部，所述左丝杠与所述左滑道平行设置，所述左丝杠长度方向上的一端设有左丝杠驱动电机；

所述贴装部件左右移动机构的两端与所述左滑道、所述右滑道均滑动连接；

所述贴装部件左右移动机构邻近所述左丝杠的一侧设有与所述左丝杠螺纹连接的左传动部件。

在一种可能的实现方式中，所述贴装部件左右移动机构还包括左滑块、转动丝杠、右滑块和贴装机构滑道；

所述左滑块固定安装在所述贴装机构滑道的滑动方向上的一端，所述右滑块固定安装在所述贴装机构滑动的滑动方向上的另一端；

所述左滑块与所述左滑道滑动连接，所述右滑块与所述右滑道滑动连接；

所述转动丝杠的一端转动安装在所述左滑块的顶端，所述转动丝杠的另一端固定安装在所述右滑块的顶端；

所述元件贴装部件邻近所述转动丝杠的一侧设有贴装机构滑块，所述贴装机构滑块与所述转动丝杠转动连接，所述贴装机构滑块与所述贴装机构滑道滑动连接。

在一种可能的实现方式中，所述工件传送机构包括沿水平方向平行设置的第一传送道和第二传送道；

所述第一传送道朝向所述第二传送道的一侧开设有第一凹槽，所述第一凹槽沿所述第一传送道的长度方向开设，所述第二传送道朝向所述第一传送道的一侧开设有第二凹槽，所述第二凹槽沿所述第二传送道的长度方向设置；

所述第一凹槽的内部设有第一带传送机构，所述第二凹槽的内部第二带传送机构，所述第一带传动机构的传送带顶部和所述第二带传送机构的传送带顶部搭接有载物板，用于带动所述载物板。

在一种可能的实现方式中，还包括元件供料部件，所述元件供料部件设置在所述工件传送机构远离所述晶圆托盘机构的一侧，所述元件供料部件的供料方向朝向所述工件传送机构设置。

本申请实施例晶圆贴片机设有工件传送机构和晶圆托盘机构可以在同一设备上对普通元件和晶圆进行贴片。具体如下，贴装部件左右移动机构滑动连接在贴装部件前后移动机构上，通过贴装部件前后移动机构控制贴装部件左右移动机构沿Y轴方向移动，由此控制安装在贴装部件左右移动机构上的元件贴装部件沿Y轴方向移动，同时贴装部件左右移动机构可以控制元件贴片部件沿X轴方向移动。由此，元件贴装部件可以在同一水平面上在任意方向对工件传送机构上的普通元件进行贴片。当对晶圆进行贴片时，元件贴装部件移动至圆晶托盘机构上方，托盘前后移动机构可以控制托盘左右移动机构沿Y轴方式移动，由此，控制安装在托盘左右移动机构上的晶圆托盘机构沿Y轴移动，同时，托盘左右移动机构可以控制晶圆托盘机构沿X轴移动，由此，可以使得元件贴片部件可以在同一平面内对晶圆托盘机构上的晶圆在任意位置上进行贴片。综上所述，本申请实施例晶圆贴片机可以在同一设备上高精度的对工件传送机构上的普通元件和晶圆托盘机构上的晶圆进行贴片。

根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本公开的其它特征及方面将变得清楚。

附图说明

包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本公开的示例性实施例、特征和方面，并且用于解释本公开的原理。

图1示出本公开实施例的晶圆贴片机的轴测图；

图2示出本公开实施例的晶圆贴片机的另一侧方向上的轴测图；

图3示出本公开实施例的晶圆贴片机的俯视图。

具体实施方式

以下将参考附图详细说明本公开的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。

其中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明或简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在这里专用的词“示例性”意为“用作例子、实施例或说明性”。这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例。

另外，为了更好的说明本公开，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节。本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本公开同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法、手段、元件和电路未作详细描述，以便于凸显本公开的主旨。

图1示出本公开一实施例的晶圆贴片机的轴测图。图2示出本公开一实施例的晶圆贴片机的另一侧方向上的轴测图。图3示出本公开一实施例的晶圆贴片机的俯视图。如图1、图2或图3所示，该晶圆贴片机包括：元件贴装部件100、工件传送机构200、贴装部件前后移动机构300、贴装部件左右移动机构400、晶圆托盘机构500、托盘前后移动机构600和托盘左右移动机构700、机座800。其中，机座800的顶部为工作平台，工件传送机构200水平固定在机座800的顶部，此时，工件传送机构200上的工件沿水平方向传送(即X轴方向)。贴装部件前后移动机构300设在工件传送机构200传送方向端，且贴装部件前后移动机构300固定在机座800的顶部，贴装部件前后移动机构300沿Y轴设置。贴装部件左右移动机构400设置在工件传送机构200的顶部，且贴装部件左右移动机构400与贴装部件前后移动机构300滑动连接，贴装部件左右移动机构400沿X轴设置。元件贴装部件100滑动安装在贴装部件左右移动机构400上，元件贴装部件100的贴装头朝向工件传送机构200设置。托盘前后移动机构600设置在工件传送机构200的一侧，托盘前后移动机构600邻近工件传送机构200设置，且托盘前后移动机构600固定在机座800的顶部。托盘左右移动机构700滑动安装在托盘前后移动机构600的顶部，以使托盘前后移动机构600控制托盘左右移动机构700沿Y轴移动。机构托盘前后移动机构600与托盘左右移动机构700之间设有夹角。晶圆托盘机构500固定安装在托盘左右移动机构700的顶部，用于放置被元件贴装部件100贴装的晶圆，托盘左右移动机构700控制晶圆托盘机构500沿Y轴移动。

本申请实施例晶圆贴片机设有工件传送机构200和晶圆托盘机构500可以在同一设备上对普通元件和晶圆进行贴片。具体如下，贴装部件左右移动机构400滑动连接在贴装部件前后移动机构300上，通过贴装部件前后移动机构300控制贴装部件左右移动机构400沿Y轴方向移动，由此控制安装在贴装部件左右移动机构400上的元件贴装部件100沿Y轴方向移动，同时贴装部件左右移动机构400可以控制元件贴片部件沿X轴方向移动。由此，元件贴装部件100可以在同一水平面上在任意方向对工件传送机构200上的普通元件进行贴片。当对晶圆进行贴片时，元件贴装部件100移动至圆晶托盘机构上方，托盘前后移动机构600可以控制托盘左右移动机构700沿Y轴方式移动，由此，控制安装在托盘左右移动机构700上的晶圆托盘机构500沿Y轴移动，同时，托盘左右移动机构700可以控制晶圆托盘机构500沿X轴移动，由此，可以使得元件贴片部件可以在同一平面内对晶圆托盘机构500上的晶圆在任意位置上进行贴片。综上所述，本申请实施例晶圆贴片机可以在同一设备上高精度的对工件传送机构200上的普通元件和晶圆托盘机构500上的晶圆进行贴片。

在一种可能的实现方式中，托盘前后移动机构600包括第一驱动件610、第一滑道620和第一连接座，其中，第一滑道620的底部固定安装在机座800的顶部，且第一滑道620设置在工件传送机构200的一侧，第一滑道620沿贴装部件前后移动机构300设置(即第一滑道620沿Y轴方向设置)。第一驱动件610固定安装在第一滑道620背离工件传送机构200的一侧，第一驱动件610的输出轴朝向工件传送机构200设置，第一驱动件610的输出轴上固定安装有第一丝杠，第一连接座螺纹连接在第一丝杠上，且第一连接座与第一滑道620滑动连接。托盘左右移动机构700固定安装在第一连接座的顶部。

此处，应当指出的是，第一驱动件610可以为旋转电机，此处，不做赘述。

更进一步的，在一种可能的实现方式中，第一滑道620包括顶部设有开口的第一盒体621和第一顶板622，第一盒体621的底部固定安装在机座800的顶部。第一盒体621沿贴装部件前后移动机构300设置，第一驱动件610固定安装在第一盒体621背离工件传送机构200的一侧，第一驱动件610的输出轴贯穿第一盒体621的侧壁。第一顶板622固定安装在第一盒体621的顶部开口处，第一顶板622的大小小于第一盒体621的顶部开口的大小，第一顶板622处于第一盒体621开口的中部位置。第一连接座开设有与第一丝杠相匹配的螺纹孔，第一连接座滑动设置在第一盒体621的腔体内部。第一连接座的顶端设有第一伸出部，第一伸出部贯穿并伸出第一顶板622与第一盒体621开口之间形成的空隙，托盘左右移动机构700固定安装在第一伸出部的顶部。

此处，应当指出的是，第一盒体621内部远离第一驱动件610的一侧上可以设置有滚动轴承，滚动轴承的外侧内壁可以与第一盒体621的底端内壁固定连接，滚动轴承的内侧与第一丝杠相匹配，以使第一丝杠架在滚动轴承上。

由此，可以将使得托盘前后移动机构600的结构更加的稳定，通过第一驱动件610控制第一丝杠的转动，从而控制螺纹连接在第一丝杠上的第一连接座沿Y轴移动。第一盒体621和第一顶板622之间形成的缝隙为对第一连接座起到导向作用的，将第一伸出部限制在第一盒体621和第一顶板622之间形成的缝隙中，使得第一连接座沿着第一盒体621和第一顶板622之间形成的缝隙滑动。

在一种可能的实现方式中，第一盒体621的侧壁上固定有第一放置台，第一放置台呈开口朝上的凹形板状，第一放置台上固定有第一拖链630，第一拖链630用于归置第一驱动件610的线路。由此，防止外露的线路对本申请实施例晶圆贴片机中托盘前后移动机构600移动造成影响。

在一种可能的实现方式中，托盘前后移动机构600与托盘左右移动机构700垂直设置，托盘前后移动机构600与托盘左右移动机构700的结构相同。

此处，应当指出的是，托盘左右移动机构700包括第二驱动件710、第二滑道720和第二连接座730，其中，第二滑道720的底部固定安装在第一连接座的顶部，且与第一盒体621垂直设置。第二驱动件710固定安装在第二滑道720滑动方向上的一侧，第二驱动件710的输出轴与第一驱动件610的输出轴垂直设置，第二驱动件710的输出轴上固定安装有第二丝杠，第二连接座730螺纹连接在第二丝杠上，且第二连接座730与第二滑道720滑动连接。圆晶托盘机构固定安装在第二连接座730的顶部。

更进一步的，在一种可能的实现方式中，第二滑道720包括顶部设有开口的第二盒体和第二顶板，第二盒体的底部固定安装在第一连接座的顶部，且与第一盒体621之间形成90°夹角。第二驱动件710固定安装在第二盒体的一侧，且第一驱动件610的输出轴与第二驱动件710的输出轴垂直设置，第二驱动件710的输出轴贯穿第二盒体的侧壁。第二顶板固定安装在第二盒体的顶部开口处，第二顶板的大小小于第二盒体的顶部开口的大小，第二顶板处于第二盒体开口的中部位置。第二连接座730开设有与第二丝杠相匹配的螺纹孔，第二连接座730滑动设置在第二盒体的腔体内部。第二连接座730的顶端设有第二伸出部，第二伸出部贯穿并伸出第二顶板与第二盒体开口之间形成的空隙，圆晶托盘机构固定安装在第二伸出部的顶部。

此处，应当指出的是，第二盒体的侧壁上固定有第二放置台，第二放置台呈开口朝上的凹形板状，第二放置台上固定有第二拖链，第二拖链用于归置第二驱动件710的线路。由此，防止外露的线路对本申请实施例晶圆贴片机中托盘左右移动机构700移动造成影响。

在一种可能的实现方式中，晶圆托盘机构500包括晶圆蓝膜支架510、晶圆蓝膜托盘520和晶圆蓝膜顶针530，晶圆蓝膜支架510固定安装在托盘前后移动机构600的顶部，晶圆蓝膜托盘520固定安装在晶圆蓝膜支架510的顶端，晶圆蓝膜托盘520伸出托盘前后移动机构600。晶圆蓝膜顶针530设置在晶圆蓝膜托盘520的底部，用于将贴片后的晶圆顶出。通过晶圆蓝膜支架510的高度将晶圆蓝膜托盘520设置成方便对圆晶贴片的最适高度，通过晶圆蓝膜顶针530可以将贴片完成后的晶圆从晶圆蓝膜托盘520上顶出。且此处，应当指出的是，晶圆蓝膜顶针530可以设置在机座800上，当晶圆贴片完成之后，晶圆蓝膜托盘520移动至晶圆蓝膜顶针530顶端合适的位置处，晶圆蓝膜顶针530将晶圆顶出。

此处，应当指出的是，晶圆蓝膜托盘520、晶圆蓝膜顶针530和晶圆蓝膜支架510均为本领域相关技术人员的常规技术手段，此处，不做赘述。

在一种可能的实现方式中，贴装部件前后移动机构300包括左支架310、左滑道320、左丝杠330、右支架340和右滑道350，左支架310和右支架340均呈门状，左支架310设置在工件传送部件传送方向上的左端，且左支架310与机座800的顶部固定，右支架340设置在工件传送部件传送方向上的右端，且右支架340与机座800的底部固定。左滑道320固定安装在左支架310的顶端，左滑道320沿左支架310的长度方向设置，右滑道350固定安装在右支架340的顶端，右滑道350沿右支架340的长度方向设置。左丝杠330转动安装在左支架310的顶部，左丝杠330与左滑道320平行设置，左丝杠330长度方向上的一端设有左丝杠330驱动电机。贴装部件左右移动机构400的两端与左滑道320、右滑道350均滑动连接，贴装部件左右移动机构400邻近左丝杠330的一侧设有与左丝杠330螺纹连接的左传动部件。

此处，应当指出的是，左滑道320设置在左支架310邻近右支架340的一侧，左丝杠330设置在左支架310远离右支架340的一侧，且左支架310的顶部设有第一旋转支架和第二旋转支架。第一旋转支架呈块状，第一旋转支架上开设有与左丝杠330相匹配的第一穿孔，第一旋转支架设置在左支架310长度方向上的一侧。第二旋转支架呈块状，第二旋转支架上开设有与左丝杠330相匹配的第二穿孔，第一穿孔和第二穿孔同轴设置。左丝杠330贯穿第一穿孔和第二穿孔，以使左丝杠330架在第一旋转支架和第二旋转支架上，左丝杠330驱动电机可以固定安装在第一旋转支架背离第二旋转支架的一侧，且左丝杠330驱动电机可以通过联轴器与左丝杠330固定。

此处，还应当指出的是，右支架340的顶端可以设置有光杠，光杠与右滑动平行设置，由此，增加对贴装部件左右移动机构400的导向作用。

在一种可能的实现方式中，贴装部件左右移动机构400还包括左滑块410、转动丝杠420、右滑块430和贴装机构滑道440，左滑块410固定安装在贴装机构滑道440的滑动方向上的一端，右滑块430固定安装在贴装机构滑动的滑动方向上的另一端。左滑块410与左滑道320滑动连接，右滑块430与右滑道350滑动连接。转动丝杠420的一端转动安装在左滑块410的顶端，转动丝杠420的另一端固定安装在右滑块430的顶端。元件贴装部件100邻近转动丝杠420的一侧设有贴装机构滑块，贴装机构滑块与转动丝杠420转动连接，贴装机构滑块与贴装机构滑道440滑动连接。

此处，应当指出的是，转动丝杠420的安装方式可以与左丝杠330的安装方式相同，也可以通过轴承架在左滑块410和右滑块430之间。

此处，还应当指出的是，左滑块410与右滑块430之间可以固定有加强件，加强件呈矩形板状，加强件长度方向上的一侧与左滑块410固定连接，加强件长度方向上的另一侧与右滑块430固定连接，贴装机构滑道440固定安装在加强件的顶部。此处，还应当指出的是，贴装机构滑道440可以包括两条平行设置的轨道。

此处，还应当指出的是，贴装机构滑块可以呈块状，贴装机构滑块的底部与贴装机构滑道440滑动连接，贴装机构滑块沿转动丝杠420上中心轴方向开设有与转动丝杠420相匹配的螺纹孔，将转动丝杠420的旋转方向上的运动转变为沿直线方式上的运动。此处，还应当指出的是，元件贴装部件100为本领域相关技术人员的常规技术手段，此处，不做赘述。

在一种可能的实现方式中，工件传送机构200包括沿水平方向平行设置的第一传送道210和第二传送道220，第一传送道210朝向第二传送道220的一侧开设有第一凹槽，第一凹槽沿第一传送道210的长度方向开设，第二传送道220朝向第一传送道210的一侧开设有第二凹槽，第二凹槽沿第二传送道220的长度方向设置。第一凹槽的内部设有第一带传送机构，第二凹槽的内部第二带传送机构，第一带传动机构的传送带顶部和第二带传送机构的传送带顶部搭接有载物板，用于带动载物板。

此处，应当指出的是，第一带传送机构和第二带传送机构的设置本领域相关技术人员的常规技术手段，此处，不做赘述。

在一种可能的实现方式中，还包括元件供料部件900，元件供料部件900设置在工件传送机构200远离晶圆托盘机构500的一侧，元件供料部件900的供料方向朝向工件传送机构200设置。此处，应当指出的是，元件供料部件900为本领域技术人员的常规技术手段，此处，不做赘述。

以上已经描述了本公开的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术的改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。

Claims (10)

1.一种晶圆贴片机，其特征在于，包括元件贴装部件、工件传送机构、贴装部件前后移动机构、贴装部件左右移动机构、晶圆托盘机构、托盘前后移动机构和托盘左右移动机构；

其中，所述工件传送机构水平设置，用于元件沿水平方向传送；

所述贴装部件前后移动机构设在所述工件传送机构传送方向端，所述贴装部件左右移动机构设置在所述工件传送机构的顶部，且所述贴装部件左右移动机构与所述贴装部件前后移动机构滑动连接；

所述元件贴装部件滑动安装在所述贴装部件左右移动机构上，所述元件贴装部件的贴装头朝向所述工件传送机构设置；

所述托盘前后移动机构设置在所述工件传送机构的一侧，所述托盘前后移动机构邻近所述工件传送机构设置；

所述托盘左右移动机构滑动安装在所述托盘前后移动机构的顶部，所述托盘前后移动机构与所述托盘左右移动机构之间设有夹角；

所述晶圆托盘机构固定安装在所述托盘左右移动机构的顶部，用于放置被所述元件贴装部件贴装的晶圆。

2.根据权利要求1所述的晶圆贴片机，其特征在于，所述托盘前后移动机构包括第一驱动件、第一滑道和第一连接座；

所述第一滑道设置在所述工件传送机构的一侧，所述第一滑道沿所述贴装部件前后移动机构设置；

所述第一驱动件固定安装在所述第一滑道背离所述工件传送机构的一侧，所述第一驱动件的输出轴朝向所述工件传送机构设置，所述第一驱动件的输出轴上固定安装有第一丝杠，所述第一连接座螺纹连接在所述第一丝杠上，且所述第一连接座与所述第一滑道滑动连接；

所述托盘左右移动机构固定安装在所述第一连接座的顶部。

3.根据权利要求2所述的晶圆贴片机，其特征在于，所述第一滑道包括顶部设有开口的第一盒体和第一顶板；

所述第一盒体沿所述贴装部件前后移动机构设置，所述第一驱动件固定安装在所述第一盒体背离所述工件传送机构的一侧，所述第一驱动件的输出轴贯穿所述第一盒体的侧壁；

所述第一顶板固定安装在所述第一盒体的顶部开口处，所述第一顶板的大小小于所述第一盒体的顶部开口的大小，所述第一顶板处于所述第一盒体开口的中部位置；

所述第一连接座设置有与所述第一丝杠相匹配的螺纹孔，所述第一连接座滑动设置在所述第一盒体的腔体内部；

所述第一连接座的顶部设有第一伸出部，所述第一伸出部贯穿并伸出所述第一顶板与所述第一盒体开口之间形成的空隙，所述托盘左右移动机构固定安装在所述第一伸出部的顶部。

4.根据权利要求3所述的晶圆贴片机，其特征在于，所述第一盒体的侧壁上固定有第一放置台，所述第一放置台呈开口朝上的凹形板状；

所述第一放置台上固定有第一拖链，所述第一拖链用于归置所述第一驱动件的线路。

5.根据权利要求1所述的晶圆贴片机，其特征在于，所述托盘前后移动机构与所述托盘左右移动机构垂直设置，所述托盘前后移动机构与所述托盘左右移动机构的结构相同。

6.根据权利要求1所述的晶圆贴片机，其特征在于，所述晶圆托盘机构包括晶圆蓝膜托盘、晶圆蓝膜顶针和晶圆蓝膜支架；

所述晶圆蓝膜支架固定安装在所述托盘前后移动机构的顶部，所述晶圆蓝膜托盘固定安装在所述晶圆蓝膜支架的顶端，所述晶圆蓝膜托盘伸出所述托盘前后移动机构；

所述晶圆蓝膜顶针设置在所述晶圆蓝膜托盘的底部，用于将贴片后的晶圆顶出。

7.根据权利要求1所述的晶圆贴片机，其特征在于，所述贴装部件前后移动机构包括左支架、左滑道、左丝杠、右支架和右滑道；

所述左支架和所述右支架均呈门状，所述左支架设置在所述工件传送部件传送方向上的左端，所述右支架设置在所述工件传送部件传送方向上的右端；

所述左滑道固定安装在所述左支架的顶端，所述左滑道沿所述左支架的长度方向设置，所述右滑道固定安装在所述右支架的顶端，所述右滑道沿所述右支架的长度方向设置；

所述左丝杠转动安装在所述左支架的顶部，所述左丝杠与所述左滑道平行设置，所述左丝杠长度方向上的一端设有左丝杠驱动电机；

所述贴装部件左右移动机构的两端与所述左滑道、所述右滑道均滑动连接；

所述贴装部件左右移动机构邻近所述左丝杠的一侧设有与所述左丝杠螺纹连接的左传动部件。

8.根据权利要求7所述的晶圆贴片机，其特征在于，所述贴装部件左右移动机构还包括左滑块、转动丝杠、右滑块和贴装机构滑道；

所述左滑块固定安装在所述贴装机构滑道的滑动方向上的一端，所述右滑块固定安装在所述贴装机构滑动的滑动方向上的另一端；

所述左滑块与所述左滑道滑动连接，所述右滑块与所述右滑道滑动连接；

所述转动丝杠的一端转动安装在所述左滑块的顶端，所述转动丝杠的另一端固定安装在所述右滑块的顶端；

所述元件贴装部件邻近所述转动丝杠的一侧设有贴装机构滑块，所述贴装机构滑块与所述转动丝杠转动连接，所述贴装机构滑块与所述贴装机构滑道滑动连接。

9.根据权利要求1所述的晶圆贴片机，其特征在于，所述工件传送机构包括沿水平方向平行设置的第一传送道和第二传送道；

所述第一传送道朝向所述第二传送道的一侧开设有第一凹槽，所述第一凹槽沿所述第一传送道的长度方向开设，所述第二传送道朝向所述第一传送道的一侧开设有第二凹槽，所述第二凹槽沿所述第二传送道的长度方向设置；

所述第一凹槽的内部设有第一带传送机构，所述第二凹槽的内部第二带传送机构，所述第一带传动机构的传送带顶部和所述第二带传送机构的传送带顶部搭接有载物板，用于带动所述载物板。

10.根据权利要求1所述的晶圆贴片机，其特征在于，还包括元件供料部件，所述元件供料部件设置在所述工件传送机构远离所述晶圆托盘机构的一侧，所述元件供料部件的供料方向朝向所述工件传送机构设置。

Images