CN112683092A - 环路式热管及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够提高散热性能的环路式热管及其制造方法，环路式热管具有用于使工作流体气化的蒸发器、用于使所述工作流体液化的冷凝器、用于将所述蒸发器和所述冷凝器连接起来的液管、用于将所述蒸发器和所述冷凝器连接起来并且和所述液管共同形成环路式的流路的蒸气管、以及设于所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管以及所述蒸气管的一部分的内部的多孔体，所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管以及所述蒸气管具有第一主面，在所述第一主面的所位于所述流路正上或正下的第一区域的至少一部分形成有凹部，不在所述第一主面的位于所述流路的管壁正上或正下的第二区域以及所述第一主面的位于所述多孔体正上或正下的第三区域形成所述凹部。

Description

环路式热管及其制造方法
技术领域
本发明涉及环路式热管及其制造方法。
背景技术
已知热管是用于冷却诸如安装在电子设备上的CPU(Central Processing Unit)等发热构件的装置。热管是利用工作流体的相变化来传递热量的装置。
环路式热管是热管的一个例子，环路式热管包括：蒸发器，其利用发热构件的热量使工作流体气化；以及冷凝器，其使气化的工作流体冷却并液化。蒸发器和冷凝器通过用来形成环路式流路的液管和蒸气管连接起来。在环路式热管中，工作流体沿着环路式流路的一个方向流动。
并且，环路式热管的蒸发器和液管内设有多孔体，通过多孔体产生的毛细管力将液管内的工作流体诱导至蒸发器，并抑制蒸气自蒸发器向液管逆流。多孔体中形成有许多细孔。各个细孔以金属层的形成于一面侧的有底孔和形成于另一面侧的有底孔部分连通的方式形成(例如，参照专利文献1)。
<现有技术文献>
<专利文献>
专利文献1：日本发明专利第6400240号公报
专利文献2：日本特开2019-082309号公报
专利文献3：日本特开2015-094490号公报
发明内容
<本发明要解决的问题>
以往的环路式热管中，有时并不能获得充分的散热性能。
本发明的一个目的在于提供一种能够提高散热性能的环路式热管及其制造方法。
<用于解决问题的手段>
根据本发明的一个方面，提供一种环路式热管，其具有用于使工作流体气化的蒸发器、用于使所述工作流体液化的冷凝器、用于将所述蒸发器和所述冷凝器连接起来的液管、用于将所述蒸发器和所述冷凝器连接起来并且和所述液管共同形成环路式的流路的蒸气管、以及设于所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管以及所述蒸气管的一部分的内部的多孔体，所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管以及所述蒸气管具有第一主面，在所述第一主面的所位于所述流路正上或正下的第一区域的至少一部分形成有凹部，不在所述第一主面的位于所述流路的管壁正上或正下的第二区域以及所述第一主面的位于所述多孔体正上或正下的第三区域形成所述凹部。
<发明的效果>
根据本发明，能够提高散热性能。
附图说明
图1是举例示出第一实施方式的环路式热管的俯视示意图。
图2是第一实施方式的环路式热管的蒸发器及其周围的剖视图。
图3是举例示出第一实施方式的液管的俯视图。
图4是举例示出第一实施方式的液管以及液管内的多孔体的剖视图。
图5是举例示出自第二层至第五层的各金属层中的有底孔的配置的俯视图。
图6是第一实施方式的环路式热管的蒸发器及其周围的俯视图。
图7是举例示出第一实施方式的蒸发器以及蒸发器内的多孔体的剖视图(其一)。
图8是举例示出第一实施方式的蒸发器以及蒸发器内的多孔体的剖视图(其二)。
图9是举例示出第一实施方式的蒸气管的俯视图。
图10是举例示出第一实施方式的蒸气管的剖视图。
图11是举例示出第一实施方式的环路式热管的制造工序的图(其一)。
图12是举例示出第一实施方式的环路式热管的制造工序的图(其二)。
图13是举例示出第一实施方式的环路式热管的制造工序的图(其三)。
图14是举例示出第一实施方式的环路式热管的制造工序的图(其四)。
图15是举例示出第一实施方式的环路式热管的制造工序的图(其五)。
图16是举例示出第一实施方式的环路式热管的制造工序的图(其六)。
图17是举例示出第一实施方式的变形例的液管的俯视图。
图18是举例示出第一实施方式的变形例的液管以及液管内的多孔体的剖视图。
图19是举例示出第二实施方式的液管的俯视图。
图20是举例示出第二实施方式的蒸气管的俯视图。
图21是举例示出第二实施方式的变形例的液管的俯视图。
图22是举例示出第三实施方式的液管的俯视图。
图23是举例示出第三实施方式的蒸气管的俯视图。
图24是举例示出第三实施方式的变形例的液管的俯视图。
图25是举例示出第四实施方式的液管的俯视图。
图26是举例示出第四实施方式的蒸气管的俯视图。
图27是举例示出第四实施方式的变形例的液管的俯视图。
图28是举例示出凹部的形状的剖视图。
附图标记说明：
1 环路式热管
10 蒸发器
20 冷凝器
30 蒸气管
40 液管
50 流路
60 多孔体
61～66 金属层
71、72、73、73A、73B、74、74A、74B、75、76、77 凹部
91 第一区域
92 第二区域
93 第三区域
具体实施方式
以下，参照附图对用于实施本发明的实施方式进行说明。另外，在各附图中，有时对相同的构成部分给予相同的附图标记，并省略重复的说明。
<第一实施方式>
[第一实施方式的环路式热管的构造]
首先，对第一实施方式的环路式热管的构造进行说明。图1是举例示出第一实施方式的环路式热管的俯视示意图。
参照图1，环路式热管1具有蒸发器10、冷凝器20、蒸气管30以及液管40。环路式热管1能够容纳在例如智能手机、平板终端等的便携式电子设备2中。
在环路式热管1中，蒸发器10具有使工作流体C气化并生成蒸气Cv的功能。冷凝器20具有使工作流体C的蒸气Cv液化的功能。蒸发器10和冷凝器20通过蒸气管30以及液管40连接起来，通过蒸气管30和液管40来形成作为供工作流体C或者蒸气Cv流动的环路的流路50。
图2是第一实施方式的环路式热管的蒸发器及其周围的剖视图。如图1以及图2所示，在蒸发器10上例如形成有四个通孔10x。将螺栓150插入到形成于蒸发器10的每个通孔10x和形成于电路板100的每个通孔100x中，并且从电路板100的下表面侧通过螺母160固定螺栓150，使得蒸发器10和电路板100彼此固定。蒸发器10、冷凝器20、蒸气管30以及液管40具有上表面1a以及和上表面1a相反一侧的下表面1b。上表面1a是第1主面的一个例子，下表面1b是第2主面的一个例子。本发明中俯视是指自和上表面1a或者下表面1b垂直的方向进行观察。
将诸如CPU等的发热构件120例如通过凸块110安装在电路板100上，并且发热构件120的上表面与蒸发器10的下表面紧密接触。蒸发器10内的工作流体C被由发热构件12产生的热量气化，从而产生蒸气Cv。
如图1所示，蒸发器10中生成的蒸气Cv通过蒸气管30被导入冷凝器20，并在冷凝器20中液化。由此，发热构件120产生的热量转移至冷凝器20，发热构件120的温度上升被抑制。在冷凝器20中液化的工作流体C通过液管40被导入蒸发器10。可以设定蒸气管30的宽度W1为例如约8mm。并且，可以设定液管40宽度W2为例如约6mm。
工作流体C的种类不受特定限制。然而，优选地使用具有高蒸发压力和高蒸发潜热的流体，以通过蒸发潜热有效地冷却发热构件120。作为这种流体，可以例举例如氨、水、氟利昂和丙酮。
蒸发器10、冷凝器20、蒸气管30和液体管40可以具有例如多个金属层堆叠的结构。金属层例如是具有高导热率的铜层，并且通过固相接合而直接彼此接合。每个金属层的厚度例如可以设定为约50μm～200μm。
另外，金属层不限于铜层，也可以由不锈钢层、铝层、镁合金层等形成。并且，金属层的堆叠数量不受特定限制。
在液管40内设有多孔体。图3举例说明第一实施方式的液管的俯视图，图4是举例说明第一实施方式的液管以及液管内的多孔体的剖视图。图4示出了沿图1以及图3的B-B线的剖面。如图4所示，液管40内设有多孔体60。并且，在多孔体60的两侧面和两侧的管壁面60x(金属层62～65的内壁面)之间形成供工作流体C流动的流路50。接下来，对多孔体60进行详细说明。
图5是举例示出自第二层至第五层的各金属层中的有底孔的配置的俯视图。在图5中，A-A线所示部分相当于图4中的多孔体60的剖面。
多孔体60可以为例如四层金属层62～65堆叠的构造。金属层62～65例如为热传导性优异的铜层，并且通过固相接合而直接彼此接合。金属层61～66各自的厚度可以设定为例如约50μm～200μm。另外，金属层61～66不限于铜层，也可以由不锈钢层、铝层或者镁合金层等形成。并且，金属层的堆叠数量不受限制、可以堆叠五层以下或七层以上的金属层。
另外，在图4以及图5中，设定金属层61～66的堆叠方向为Z方向，与Z方向垂直的平面内的任意方向为X方向，该平面内与X方向正交的方向为Y方向(其他图也相同)。
多孔体60与第一层(一侧的最外层)的金属层61的下表面以及第6层(另一侧的最外层)的金属层66的上表面相接。不在金属层61和金属层66中形成孔或槽。与此相对，如图4以及图5(a)所示，构成多孔体60的第二层的金属层62中，分别形成有多个自上表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的有底孔62x以及自下表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的有底孔62y。
俯视时，有底孔62x和有底孔62y在X方向上交替配置。并且，俯视时，有底孔62x和有底孔62y在Y方向上交替配置。俯视时，在X方向上交替配置的有底孔62x和有底孔62y部分重叠，并且重叠部分彼此连通，从而形成细孔62z。在Y方向上交替配置的有底孔62x和有底孔62y间形成有预定间隔，俯视时并不重叠。因此，在Y方向上交替配置的有底孔62x和有底孔62y不形成细孔。
有底孔62x以及有底孔62y可以设定为例如直径约100μm～300μm的圆形，但也可以设定为椭圆形、多边形等任意的形状。有底孔62x以及有底孔62y的深度可以设定为例如金属层62的厚度的约一半。相邻的有底孔62x的间隔L1可以设定为例如约100μm～400μm。相邻的有底孔62y的间隔L2可以设定为例如约100μm～400μm。
有底孔62x以及有底孔62y的内壁可以设定为自底面侧向开口侧扩宽的锥形状。但是，并不限于此，有底孔62x以及有底孔62y的内壁也可以相对底面垂直。有底孔62x以及有底孔62y的内壁面的形状并不限定为锥形状或垂直。例如，有底孔62x以及有底孔62y的内壁面可以设定为由曲面构成的凹形状。作为由曲面构成的凹形状，可以例举出剖面形状为大致半圆形或大致半椭圆形的凹形状。细孔62z在宽度方向的宽度W3可以设定为例如约10μm～50μm程度。并且，细孔62z在长度方向的宽度W4可以设定为例如约50μm～150μm。
如图4以及图5(b)所示，构成多孔体60的第三层的金属层63中，分别形成有多个自上表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的有底孔63x以及自下表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的有底孔63y。
在金属层63中，在X方向上仅配置有底孔63x的列和在X方向上仅配置有底孔63y的列在Y方向上交替配置。在Y方向上交替配置的列中，相邻列的有底孔63x和有底孔63y俯视时部分重叠，且重叠的部分相连通并形成细孔63z。
然而，形成细孔63z的相邻有底孔63x和有底孔63y的中心位置在X方向上错位。换言之，形成细孔63z的有底孔63x和有底孔63y相对于X方向以及Y方向在斜向上交替配置。有底孔63x、63y以及细孔63z的形状等可以设定为例如与有底孔62x、62y以及细孔62z的形状等相同。
金属层62的有底孔62y和金属层63的有底孔63x形成在俯视时重叠的位置。因此，在金属层62和金属层63的交界面不形成细孔。
如图4以及图5(c)所示，在构成多孔体60的第四层的金属层64中，分别形成有多个自上表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的有底孔64x以及自下表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的有底孔64y。
有底孔64x和有底孔64y俯视时在X方向上交替配置。并且，有底孔64x和有底孔64y俯视时在Y方向上交替配置。在X方向上交替配置的有底孔64x和有底孔64y俯视时部分重叠，重叠的部分连通并形成细孔64z。在Y方向上交替配置的有底孔64x和有底孔64y形成为具有预定间隔并且俯视时不重叠。因此，在Y方向上交替配置的有底孔64x和有底孔64y不形成细孔。有底孔64x、64y以及细孔64z的形状等可以设定为例如与有底孔62x、62y以及细孔62z的形状等相同。
金属层63的有底孔63y和金属层64的有底孔64x形成在俯视时重叠的位置。因此，在金属层63和金属层64的交界面不形成细孔。
如图4以及图5(d)所示，在构成多孔体60的第5层的金属层65中，分别形成有多个自上表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的有底孔65x以及自下表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的有底孔65y。
在金属层65中，在X方向上仅配置有底孔65x的列和在X方向上仅配置有底孔65y的列在Y方向上交替配置。在Y方向交替配置的列中，相邻列的有底孔65x和有底孔65y俯视时部分重叠，且重叠的部分相连通并形成细孔65z。
然而，形成细孔65z的相邻有底孔65x和有底孔65y的中心位置在X方向上错位。换言之，形成细孔65z的有底孔65x和有底孔65y相对于X方向以及Y方向在斜向上交替配置。有底孔65x、65y以及细孔65z的形状等可以设定为例如与有底孔62x、62y以及细孔62z的形状等相同。
金属层64的有底孔64y和金属层65的有底孔65x形成在俯视时重叠的位置。因此，在金属层64和金属层65的交界面不形成细孔。
形成在各金属层中的细孔彼此相互连通，相互连通的细孔在多孔体60内三维分布。因此，工作流体C在毛细管力的作用下在相互连通的细孔内三维分布。
构成多孔体60的有底孔的至少一部分与流路50相连通。由此，工作流体C能够渗透进多孔体60内。并且，由于多孔体60设于液管40的大致中央部，因此也起到支柱的功能。由此，能够防止例如因固相接合时的加压导致液管40被压变形。
如此，液管40中设有多孔体60，多孔体60沿液管40延伸至蒸发器10附近。由此，在多孔体60内产生的毛细管力的作用下，液管40内的液相的工作流体C被引导至蒸发器10。
其结果，即使因来自蒸发器10的热泄露等导致蒸气Cv想要在液管40内逆流，也能够在由多孔体60作用于液相的工作流体C的毛细管力的作用下将蒸气Cv推回，使防止蒸气Cv的逆流成为可能。
另外，在液管40中形成有用于注入工作流体C的注入口(未图示)，注入口被密封部件封住，使环路式热管1内保持气密。
如图3以及图4所示，液管40的上表面1a以及下表面1b具有：位于流路50正上或正下的第一区域91；位于流路50的管壁(金属层62w～65w)正上或正下的第二区域92；以及位于多孔体60正上或正下的第三区域93。液管40的上表面1a是第一层的金属层61的上表面61a，液管40的下表面1b是第六层的金属层66的下表面66a。在从液管40的上表面1a或下表面1b俯视时第一区域91与流路50重叠。
如图3以及图4所示，在液管40的上表面1a、即剖视中的金属层61的上表面61a形成有多个凹部71。多个凹部71形成在第一区域91内。换言之，多个凹部71形成于金属层61的上表面61a的位于流路50正上的第一区域91内。凹部71为例如自上表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的有底孔。例如，多个凹部71可以形成为点状。凹部71可以设定为例如直径为约50μm～300μm的圆形，但也可以设定为椭圆形或多边形等的任意形状。凹部71的深度可以设定为例如金属层61的厚度的约一半。相邻凹部71的间隔可以设定为例如约100μm～400μm。多个凹部71可以规则地配置，多个凹部71也可以不规则地配置。
如图4所示，在液管40的下表面1b、即剖视中的金属层66的下表面66a形成有多个凹部76。多个凹部76和凹部71同样地形成于第一区域91内(未图示)。换言之，多个凹部76形成于位于流路50正下的金属层66的下表面66a的第一区域91。凹部76为例如自下表面侧向厚度方向大致中央部凹陷的有底孔。例如，多个凹部76可以形成为点状。凹部76可以设定为例如直径约50μm～300μm的圆形，但也可以设定为椭圆形或多边形等任意的形状。凹部76的深度可以设定为例如约金属层66的厚度的一半。相邻凹部76的间隔可以设定为例如约100μm～400μm。多个凹部76可以规则地配置，多个凹部76也可以不规则地配置。
凹部71以及凹部76的内壁可以设定为自底面侧向开口侧扩宽的锥形状。但是，并不限于此，凹部71以及凹部76的内壁也可以相对底面垂直。
如图3以及图4所示，凹部71以及凹部76以俯视时不与液管40的流路50的管壁(金属层62w～65w)重叠的方式分别形成于液管40的上表面1a以及下表面1b。即，不在金属层61的上表面61a的位于液管40的流路50的管壁正上的第二区域92形成多个凹部71。并且，不在金属层66的下表面66a的位于液管40的流路50的管壁正下的第二区域92形成多个凹部76。详细内容会有后述，但环路式热管1虽然能够通过金属层彼此的固相接合来制造，却难以使来自外部的压力充分作用于凹部71以及凹部76所形成的部分。在压力未充分作用于第二区域92的情况下，管壁的金属层彼此的接合力变小，担心难以确保足够的气密性。另外，上表面1a以及下表面1b的第二区域92不需要为完全的平坦面。例如，可以在第二区域92形成纳米级的凹部，以使压力在固相接合时充分作用。
如图3以及图4所示，凹部71以及凹部76以俯视时不与多孔体60重叠的方式分别形成于液管40的上表面1a以及下表面1b。即，不在金属层61的上表面61a的位于液管40的多孔体60正上的第三区域93形成多个凹部71。并且，不在金属层66的下表面66a的位于液管40的多孔体60正下的第三区域93形成多个凹部76。在压力未充分作用于第三区域93的情况下，多孔体60的金属层彼此的接合力降低，担心细孔的大小不均匀而难以确保期望的毛细管力。另外，上表面1a以及下表面1b的第三区域93不需要为完全的平坦面。例如，可以在第二区域93形成纳米级的凹部，以使压力在固相接合时充分作用。
在蒸发器10内设有与液管40相同的多孔体60。图6是蒸发器10及其周围的俯视图。图7以及图8是举例示出蒸发器10以及设于蒸发器10内的多孔体60的剖视图。图7表示沿图6的E-E线的剖面，图8表示沿图6的F-F线的剖面。图6中所示的X方向表示自液管40侧朝向蒸气管30侧的长度的方向，Y方向表示与自液管40侧朝向蒸气管30侧的长度的方向正交的长度的方向。
图6所示蒸发器10内的多孔体60包括连接部60v和突起部60w。
连接部60v俯视时设于X方向的最靠液管40一侧(蒸发器10与液管40连接的那一侧)，其沿Y方向延伸。连接部60v的靠液管40一侧的面的一部分与蒸发器10的管壁相接，剩下的一部分与设于液管40的流路内的多孔体40t相连。并且，连接部60v的靠蒸气管30一侧的面的一部分与突起部60w相连接，剩下的一部分与空间80相接。
突起部60w俯视时自连接部60v向蒸气管30侧突起有多个。
各个突起部60w在Y方向上以预定间隔并列设置，各个突起部60w的靠蒸气管30一侧的端部与蒸发器10的管壁隔开距离。并且，各个突起部60w的靠蒸气管30一侧的端部相互不连接。另一方面，各个突起部60w的靠液管40一侧的端部通过连接部60v连接在一起。换言之，俯视时蒸发器10内的多孔体60形成为具有连接部60v和多个突起部60w的梳齿状。
在蒸发器10内，在没有设置多孔体60的区域形成有空间80。空间80与蒸气管30的流路50相连。工作流体C的蒸气Cv在空间80中流动。蒸发器10内的空间80也是流路50。
工作流体C自液管40侧被引导至蒸发器10，进而渗透进多孔体60。在蒸发器10内，渗透进多孔体60的工作流体C因发热构件120产生的热量气化并生成蒸气Cv，蒸气Cv通过蒸发器10内的空间80流向蒸气管30。另外，在图6以及图8中，作为一个例子将突起部60w(梳齿)的数量设定为七个，突起部60w(梳齿)的数量可以适当决定。突起部60w与空间80的接触面积增大时工作流体C易于蒸发，能够降低压力损失。
设于蒸发器10内的多孔体60原则上与设于液管40内的多孔体60相同。例如，形成于金属层62～65的有底孔以及细孔的位置可以设定为与图4、图5相同。
这样，在蒸发器10中设有多孔体60。在蒸发器10内的多孔体60之中，液相的工作流体C渗透进靠近液管40的部分。此时，自多孔体60作用于工作流体C的毛细管力成为使工作流体C在环路式热管1内循环的输送力。
而且，由于该毛细管力与蒸发器10内的蒸气Cv对抗，从而使得抑制蒸气Cv在液管40内逆流成为可能。
并且，如图6～图8所示，在与蒸发器10的空间80重叠的第一区域91内，也在上表面1a形成有多个部71，在下表面1b形成有多个凹部76。如上所述，工作流体C的蒸气Cv在空间80内流动，蒸发器10内的空间80也是流路50。凹部71以及凹部76以俯视时不与蒸发器10的空间80的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60重叠的方式分别形成于蒸发器10的上表面1a以及下表面1b。换言之，多个凹部71形成于金属层61的上表面61a的位于空间80正上的第一区域91。并且，多个凹部76形成于金属层66的位于空间80正下的下表面66a的第一区域91。另外，不在金属层61的上表面61a的位于蒸发器10的空间80的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60正上的第二区域92以及第三区域93中形成多个凹部71。并且，不在金属层66的下表面66a的位于蒸发器10的空间80的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60正下的第二区域92以及第三区域93中形成多个凹部76。
图9是举例示出第一实施方式的蒸气管30的俯视图，图10是举例示出第一实施方式的蒸气管30的剖视图。图10示出了沿图1以及图9的D-D线的剖面。如图10所示，未在蒸气管30内设置多孔体60，在两侧的管壁面60x(金属层62～65的内壁面)之间形成有供工作流体C的蒸气Cv流动的流路50。
如图9以及图10所示，俯视时，蒸气管30也在与流路50重叠的第一区域91内，在上表面1a形成有多个凹部71，在下表面1b形成有多个凹部76。凹部71以及凹部76以俯视时不与蒸气管30的流路50的管壁(金属层62w～65w)重叠的方式分别形成于蒸气管30的上表面1a以及下表面1b。换言之，多个凹部71形成于金属层61的上表面61a的位于蒸气管30的流路50正上的第一区域91内。并且，多个凹部76形成于金属层66的下表面66a的位于蒸气管30的流路50正下的第一区域91。并且，不在金属层61的上表面61a的位于蒸气管30的管壁(金属层62w～65w)正上的第二区域92内形成多个凹部71。并且，不在金属层66的下表面66a的位于蒸气管30的管壁(金属层62w～65w)正下的第二区域92内形成多个凹部76。
与蒸气管30相同地，未在冷凝器20内设置多孔体60，在两侧的管壁面60x(金属层62～65的内壁面)之间形成有供工作流体C的蒸气Cv或者蒸气Cv液化后的工作流体C流动的流路50。在冷凝器20的俯视时与流路50重叠的第一区域91内，也在上表面1a形成有多个凹部71，在下表面1b形成有多个凹部76。凹部71以及凹部76以俯视时不与冷凝器20的流路50的管壁(金属层62w～65w)重叠的方式分别形成于冷凝器20的上表面1a以及下表面1b。换言之，多个凹部71形成于金属层61的上表面61a的位于冷凝器20的流路50正上的第一区域91。并且，多个凹部76形成于金属层66的下表面66a的位于冷凝器20的流路50正下的第一区域91。并且，不在金属层61的上表面61a的位于冷凝器20的管壁(金属层62w～65w)正上的第二区域92形成多个凹部71。并且，不在金属层66的下表面66a的位于冷凝器20的管壁(金属层62w～65w)正下的第二区域92形成多个凹部76。
[第一实施方式的环路式热管的制造方法]
接下来，以多孔体的制造工序为中心对第一实施方式的环路式热管的制造方法进行说明。图11～图16是举例示出第一实施方式的环路式热管的制造工序的图。图11、图13以及图15示出了与图4对应的剖面，图12、图14以及图16示出了与图10对应的剖面。
首先，在图11(a)以及图12(a)所示工序中，准备形成为图1的俯视形状的金属片620。然后，在金属片620的上表面形成抗蚀层410，在金属片620的下表面形成抗蚀层420。金属片620是最终成为金属层62部件，其可以由例如铜、不锈钢、铝、镁合金等形成。金属片620的厚度例如可以设定为约50μm～200μm。可以使用例如感光干膜抗蚀剂等作为抗蚀层410、420。
接下来，在金属片620的要形成多孔体60的区域(成为蒸发器10的区域以及成为液管40的区域)中，使抗蚀层410曝光并显影以形成开口部410x，以便使金属片620的上表面选择性地露出。并且，使抗蚀层420曝光并显影以形成开口部420x，以便使金属片620的下表面选择性地露出。开口部410x、420x的形状以及配置与图5所示的有底孔62x、62y的形状和配置对应。
在抗蚀层410曝光以及显影时，也在金属片620的要形成流路50的区域中，形成使金属片620的上表面选择性地露出的开口部410y。并且，在抗蚀层420曝光以及显影时，也在要形成流路50的区域中，形成使金属片620的下表面选择性地露出的开口部420y。开口部410y以及开口部420y的形状以及配置与图4以及图10所示流路50的形状以及配置对应。
接下来，在图11(c)以及图12(c)所示工序中，自金属片620的上表面侧对在开口部410x以及开口部410y内露出的金属片620进行半刻蚀，同时自金属片620的下表面侧对在开口部420x以及开口部420y内露出的金属片620进行半刻蚀。由此，在金属片620的上表面侧形成有底孔62x，在下表面侧形成有底孔62y，同时形成贯穿金属片620的开口部620x。并且，因为在X方向上于正反面交替配置的开口部410x和开口部420x俯视时部分重叠，因此重叠的部分相连通并形成细孔62z。在金属片620的半刻蚀中，可以使用例如氯化铁溶液。
接下来，在图11(d)以及图12(d)所示工序中，利用剥离液来将抗蚀层410以及抗蚀层420剥离。由此，金属层62完成。
并且，在图13(a)以及图14(a)所示工程中，准备形成为图1的俯视形状的金属片610。然后，在金属片610的上表面形成抗蚀层310，在金属片610的下表面形成抗蚀层320。金属片610是最终成为金属层61的部件，其可以由例如不锈钢、铝、镁合金等形成。金属片610的厚度例如可以设定为约50μm～200μm。可以使用例如感光干膜抗蚀剂等作为抗蚀层310、320。
接下来，在图13(b)以及图14(b)所示工序中，在金属片610的要形成凹部71的区域(第一区域91)中，使抗蚀层310曝光并显影以形成开口部310z，以便使金属片610的上表面选择性地露出。开口部310z的形状以及配置与图3以及图9所示的凹部71的形状和配置对应。形成有开口部310z的抗蚀层310是掩模的一个例子。
接下来，在图13(c)以及图14(c)所示工序中，自金属片610的上表面侧对在开口部310z内露出的金属片610进行半刻蚀。由此，在金属片610的上表面侧形成由有底孔构成的凹部71。在金属片620的半刻蚀中，可以使用例如氯化铁溶液。
接下来，在图13(d)以及图14(d)所示工序中，利用剥离液将抗蚀层310以及抗蚀层320剥离。由此，金属层61完成。
接下来，在图15(a)以及图16(a)所示工程中，利用和金属层61同样的方法来形成金属层66，利用和金属层62同样的方法来形成金属层63、金属层64以及金属层65。在金属层63、金属层64以及金属层65上形成的有底孔以及细孔的位置为例如与图5所示相同。
接下来，在图15(b)以及图16(b)所示工序中，按照图15(a)以及图16(a)所示顺序堆叠各金属层，并通过加压以及加热进行固相接合。由此，相邻金属层彼此直接接合，完成具有蒸发器10、冷凝器20、蒸气管30以及液管40的环路式热管1，并且在蒸发器10以及液管40中形成多孔体60。并且，在蒸发器10中形成空间80，在冷凝器20、蒸气管30以及液管40中形成流路50。之后，使用真空泵等对液管40内进行排气，然后自未图示的注入口将工作流体注入液管40内，随后封闭注入口。
此处，所谓固相接合，是指如下方法：使接合对象物在彼此不熔融而保持固相(固体)状态下对其进行加热软化，并且对其加压使其塑性变形从而进行接合。另外，优选将全部金属层61～66的材料设定为相同，由此能够利用固相接合使相邻金属层彼此良好接合。
在第一实施方式中，在蒸发器10、冷凝器20、蒸气管30以及液管40的第一区域91内，在上表面1a形成有多个凹部71，在下表面1b形成有多个凹部76。因此，与不形成凹部71以及凹部76的平坦面的情况相比较，上表面1a以及下表面1b与大气的接触面积大，能够提高散热效率。
并且，俯视时，在第二区域92以及第三区域93中不形成凹部71以及凹部76。因此，在环路式热管1的制造中，在堆叠各金属层，通过加压以及加热进行固相接合时，不论在第二区域92还是第三区域93中，来自外部的压力都能够充分作用于金属层的堆叠体。由此，能够在管壁处确保充分的气密性，并在多孔体处确保期望的毛细管力。
<第一实施方式的变形例>
在第一实施方式的变形例中，示出了多孔体在液管内与管壁相接的例子。另外，在第一实施方式的变形例中，有时省略与已经说明的实施方式相同的构成部的说明。
图17是举例说明第一实施方式的变形例中的液管40的俯视图，图18是举例说明第一实施方式的变形例中的液管40以及液管40内的多孔体的剖视图。图18示出了沿图1以及图17的B-B线的剖面。如图17以及图18所示，在液管40内的两处设有多孔体60。其中一侧的多孔体60与液管40的一侧的管壁相连地形成，另一侧的多孔体60与液管40的另一侧的管壁相连地形成。而且，在一侧的多孔体60的与另一侧的多孔体60相对的面和另一侧的多孔体60的与一侧的多孔体60相对的面之间形成有供工作流体C流动的流路50。
如图17以及图18所示，两个第三区域93位于两个第二区域92之间，第一区域91位于两个第三区域93之间。而且，在第一区域91内，在液管40的上表面1a形成多个凹部71，在液管40的下表面1b形成多个凹部76。俯视时，凹部71以及凹部76以与液管40的流路50的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60不重叠的方式分别形成于液管40的上表面1a以及下表面1b。换言之，多个凹部71形成于金属层61的上表面61a的位于液管40的流路50正上的第一区域91。并且，多个凹部76形成于金属层66的下表面66a的位于液管40的流路50正下的第一区域91。而且，不在金属层61的上表面61a的位于液管40的流路50的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60正上的第二区域92以及第三区域93形成多个凹部71。并且，不在金属层66的下表面66a的位于液管40的流路50的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60正下的第二区域92以及第三区域93形成多个凹部76。
其他构成与第一实施方式相同。
根据变形例能够获得与第一实施方式相同的效果。
另外，在第一实施方式及其变形例中，凹部71以及凹部76的直径以及深度可以不完全相同。例如，可以设定为凹部71以及凹部76越靠近第三区域93，即越靠近多孔体60则其直径以及深度越小。在凹部71以及凹部76越靠近第三区域93其直径以及深度越小的情况下，在第三区域93与第一区域91的边界附近，更易于可靠地使来自外部的压力作用于构成多孔体60的金属层。
<第二实施方式>
第二实施方式主要在凹部的形态这点与第一实施方式相异。另外，在第二实施方式中，有时省略与已经说明的实施方式相同的构成部的说明。
图19是举例说明第二实施方式中的液管40的俯视图。在第二实施方式中，在第一区域91内，在液管40的上表面1a(金属层61的上表面61a)形成有多个凹部72来代替多个凹部71。凹部72形成为例如在与工作流体C流动的方向(Y方向)正交的方向(X方向)上延伸的槽状，该工作流体在与该凹部72重叠的流路50内流动。X方向和Y方向相交时的角度可以适当设定。凹部72为例如自上表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的有底槽。凹部72的宽度为例如约50μm～300μm。凹部72的深度为例如金属层61的厚度的约一半。相邻凹部72的间隔可以设定为例如约50μm～300μm。凹部72的间隔可以完全相同，也可以不完全相同。
虽省略了图示，但在第一区域91内，在液管40的下表面1b(金属层61的下表面66a)形成有与凹部72相同形态的多个凹部来代替多个凹部76。即，这些凹部形成为例如在与工作流体C流动的方向(Y方向)正交的方向(X方向)上延伸的槽状，该工作流体在与该凹部重叠的流路50内流动，这些凹部是自下表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的有底槽。以下，有时将凹部72和第二实施方式中形成于下表面1b的凹部统称为凹部72等。
凹部72等的内壁可以设定为自底面侧向开口侧扩宽的锥形状。但是不限于此，凹部72等的内壁也可以相对底面垂直。
如图19所示，不在液管40的上表面1a以及下表面1b的第二区域92以及第三区域93形成凹部72等。即，俯视时，凹部72等以不与液管40的流路50的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60重叠的方式，分别形成于液管40的上表面1a以及下表面1b。
在蒸发器10中，也可以形成凹部72等来代替凹部71以及凹部76。凹部72等不形成于蒸发器10的上表面1a以及下表面1b的第二区域92以及第三区域93。即，俯视时，凹部72等以不与蒸发器10的空间80的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60重叠的方式，分别形成于蒸发器10的上表面1a以及下表面1b。
图20是举例示出第二实施方式中的蒸气管30的俯视图。蒸气管30在俯视时，也在与流路50重叠的第一区域91内，在蒸气管30的上表面1a(金属层61的上表面61a)形成有多个凹部72来代替多个凹部71。并且，虽省略图示，但在蒸气管30的下表面1b(金属层66的下表面66a)形成有与凹部72相同形态的多个凹部来代替多个凹部76。凹部72等不形成于蒸气管30的上表面1a以及下表面1b的第二区域92。即，凹部72等以俯视时与蒸气管30的流路50的管壁(金属层62w～65w)不重叠的方式分别形成于蒸气管30的上表面1a以及下表面1b。
在冷凝器20中，也可以在冷凝器20的俯视时与流路50不重叠的第一区域91内形成凹部72等来代替凹部71以及凹部76。凹部72等不形成于冷凝器20的上表面1a以及下表面1b的第二区域92。即，凹部72等以俯视时与冷凝器20的流路50的管壁(金属层62w～65w)不重叠的方式分别形成于冷凝器20的上表面1a以及下表面1b。
其他的构成与第一实施方式相同。
根据第二实施方式也能够获得与第一实施方式相同的效果。
<第二实施方式的变形例>
在第二实施方式的变形例中，示出了多孔体设置为在液管内与管壁相接的例子。另外，在第二实施方式的变形例中，有时省略与已经说明的实施方式相同的构成部。
图21是举例示出第二实施方式的变形例中的液管40的俯视图。如图21所示，与第一实施方式的变形例相同地，两个第三区域93位于两个第二区域92之间，第一区域91位于两个第三区域93之间。并且，在第一区域91内，在液管40的上表面1a(金属层61的上表面61a)形成有多个凹部72。并且，虽省略图示，但在液管40的下表面1b(金属层66的下表面66a)形成有与凹部72相同形态的多个凹部。凹部72等不形成于液管40的上表面1a以及下表面1b的第二区域92以及第三区域93。即，凹部72等以俯视时与液管40的流路50的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60不重叠的方式分别形成于液管40的上表面1a以及下表面1b。
其他的构成与第二实施方式相同。
根据变形例也能够获得与第二实施方式相同的效果。
另外，在第二实施方式及其变形例中，凹部72等的宽度以及深度可以不完全相同。例如，可以设定为越靠近第三区域93的部分，即越靠近多孔体60的部分则其宽度以及深度越小。在越靠近第三区域93的部分其宽度以及深度越小的情况下，在第三区域93与第一区域91的边界附近，更易于可靠地使来自外部的压力作用于构成多孔体60的金属层。
<第三实施方式>
第三实施方式主要在凹部的形态这点与第一实施方式等相异。另外，在第三实施方式中，有时省略与已经说明的实施方式相同的构成部的说明。
图22是举例说明第三实施方式的液管40的俯视图。在第三实施方式中，在第一区域91内，在液管40的上表面1a(金属层61的上表面61a)形成有凹部73来替代多个凹部71。凹部73包括俯视时互相交叉的多个凹部73A和多个凹部73B。凹部73A例如形成为在与工作流体C在与该凹部73A重叠的流路50内流动的方向(Y方向)正交的方向(X方向)上延伸的槽状。凹部73B例如形成为与工作流体C在与该凹部73A重叠的流路50内流动的方向(Y方向)平行地延伸的槽状。凹部73例如为自上表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的有底槽。凹部73A以及凹部73B的宽度为例如约50μm～300μm。凹部73A以及凹部73B的深度为例如金属层61的厚度的约一半。相邻的凹部73A的间隔以及相邻凹部73B的间隔为例如约50μm～300μm。凹部73A的间隔可以完全相同，也可以不完全相同。凹部73B的间隔可以完全相同，也可以不完全相同。
虽省略图示，但在第一区域91内，在液管40的下表面1b(金属层66的下表面66a)，形成有与凹部73相同形态的凹部来代替多个凹部76。即，该凹部例如包括俯视时相互交叉的多个凹部，这些多个凹部形成为槽状，并且为自下表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的有底槽。以下，有时将凹部73和第三实施方式中形成于下表面1b的凹部统称为凹部73等。
凹部73等的内壁可以设定为自底面侧向开口侧扩宽的锥形。而且，不限于此，凹部73等的内壁也可以相对底面垂直。
如图22所示，凹部73等不形成于液管40的上表面1a以及下表面1b的第二区域92以及第三区域93。即，凹部73等以俯视时与液管40的流路50的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60不重叠的方式，分别形成于液管40的上表面1a以及下表面1b。
在蒸发器10中，也可以形成凹部73等来代替凹部71以及凹部76。凹部73等不形成于蒸发器10的上表面1a以及下表面1b的第二区域92以及第三区域93。即，凹部73等以俯视时与蒸发器10的空间80的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60不重叠的方式分别形成于蒸发器10的上表面1a以及下表面1b。
图23是举例示出第三实施方式的蒸气管30的俯视图。在蒸气管30的俯视时与流路50重叠的第一区域91内，也在蒸气管30的上表面1a(金属层61的上表面61a)形成有凹部73来代替多个凹部71。并且，虽省略图示，但在蒸气管30的下表面1b(金属层66的下表面66a)，形成有与凹部73同样形态的凹部来代替多个凹部76。凹部73等不形成于蒸气管30的上表面1a以及下表面1b的第二区域92。即，凹部73等以俯视时与蒸气管30的流路50的管壁(金属层62w～65w)不重叠的方式分别形成于蒸气管30的上表面1a以及下表面1b。
在冷凝器20中，也可以在冷凝器20的俯视时与流路50重叠的第一区域91内形成凹部73等来代替凹部71以及凹部76。凹部73等不形成于冷凝器20的上表面1a以及下表面1b的第二区域92以及第三区域93。即，凹部73等以俯视时与冷凝器20的流路50的管壁(金属层62w～65w)不重叠的方式分别形成于冷凝器20的上表面1a以及下表面1b。
其他构成与第一实施方式相同。
根据第三实施方式也能够获得与第一实施方式下相同的效果。
<第三实施方式的变形例>
第三实施方式的变形例示出了多孔体设置为在液管内与管壁相接的例子。另外，在第三实施方式的变形例中，有时省略与已经说明的实施方式相同的构成部的说明。
图24是举例示出第三实施方式的变形例中的液管40的俯视图。如图24所示，与第一实施方式的变形例相同地，两个第三区域93位于两个第二区域92之间，第一区域91位于两个第三区域93之间。而且，在第一区域91内，在液管40的上表面1a(金属层61的上表面61a)形成有凹部73。并且，虽省略图示，但在液管40的下表面1b(金属层66的下表面66a)形成有与凹部73同样形态的凹部。凹部73等不形成于液管40的上表面1a以及下表面1b的第二区域92以及第三区域93。即，凹部73等以俯视时与液管40的流路50的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60不重叠的方式分别形成于液管40的上表面1a以及下表面1b。
其他的构成与第三实施方式相同。
根据变形例也能够获得与第三实施方式相同的效果。
另外，在第三实施方式及其变形例中，凹部73等的宽度以及深度可以不完全相同。例如，可以设定为越靠近第三区域93的部分、即越靠近多孔体60的部分则其宽度以及深度越小。在越靠近第三区域93的部分其宽度以及深度越小的情况下，在第三区域93与第一区域91的边界附近，更易于可靠地使来自外部的压力作用于构成多孔体60的金属层。
<第四实施方式>
第四实施方式主要在凹部的形态这点与第三实施方式相异。另外，在第四实施方式中，有时省略与已经说明的实施方式相同的构成部的说明。
图25是举例示出第四实施方式中的液管40的俯视图。在第四实施方式中，在第一区域91内，在液管40的上表面1a(金属层61的上表面61a)形成有凹部74来代替凹部73。凹部74包括俯视时相互交叉的多个凹部74A和多个凹部74B。凹部74具有俯视时将凹部73绕逆时针旋转45度的形态，凹部74A相当于旋转前的凹部73A，凹部74B相当于旋转前的凹部73B。
虽省略图示，但在第一区域91内，在液管40的下表面1b(金属层66的下表面66a)形成有与凹部74相同形态的凹部来代替第三实施方式中形成于液管40的下表面1b(金属层66的下表面66a)的凹部。即，该凹部例如包括俯视时相互交叉的多个凹部，这些多个凹部形成为槽状，是自下表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的有底槽。以下，有时将凹部74和第四实施方式中形成于液管40的下表面1b(金属层66的下表面66a)的凹部统称为凹部74等。
凹部74等的内壁可以设定为自底面侧向开口侧扩宽的锥形状。但是，不限于此，凹部74等的内壁也可以相对底面垂直。
如图25所示，凹部74等不形成于液管40的上表面1a以及下表面1b的第二区域92以及第三区域93。即，凹部74等以俯视时与液管40的流路50的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60不重叠的方式形成于液管40的上表面1a以及下表面1b。
在蒸发器10中，也可以形成凹部74等来代替凹部73等。凹部74等不形成于蒸发器10的上表面1a以及下表面1b的第二区域92以及第三区域93。即，凹部73等以俯视时与蒸发器10的空间80的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60不重叠的方式分别形成于蒸发器10的上表面1a以及下表面1b。
图26是举例说明第四实施方式中的蒸气管30的俯视图。第四实施方式中，在蒸气管30的俯视时与流路50不重叠的第一区域91内，也在蒸气管30的上表面1a(金属层61的上表面61a)形成有凹部74来代替凹部73。并且，虽省略图示，但在蒸气管30的下表面1b(金属层66的下表面66a)形成有与凹部74同样形态的凹部来代替第三实施方式中形成的凹部。凹部74等不形成于蒸气管30的上表面1a以及下表面1b的第二区域92。即，凹部74等以俯视时与蒸气管30的流路50的管壁(金属层62w～65w)不重叠的方式分别形成于蒸气管30的上表面1a以及下表面1b。
在冷凝器20中，也可以在冷凝器20的俯视时与流路50不重叠的第一区域91内形成凹部74等来代替凹部73等。凹部74等不形成于冷凝器20的上表面1a以及下表面1b的第二区域92以及第三区域93。即，凹部74等以俯视时与冷凝器20的流路50的管壁(金属层62w～65w)不重叠的方式分别形成于冷凝器20的上表面1a以及下表面1b。
其他的构成与第三实施方式相同。
根据第四实施方式也能够获得与第三实施方式相同的效果。
<第四实施方式的变形例>
第四实施方式的变形例中，示出了多孔体设置为在液管内与管壁相接的例子。另外，在第四实施方式的变形例中，有时省略与已经说明的实施方式相同的构成部的说明。
图27是举例示出第四实施方式的变形例中的液管40的俯视图。如图27所示，与第一实施方式的变形例相同地，两个第三区域93位于两个第二区域92之间，第一区域91位于两个第三区域93之间。而且，在第一区域91内，在液管40的上表面1a(金属层61的上表面61a)形成有凹部74。并且，虽省略图示，但在液管40的下表面1b(金属层66的下表面66a)形成有与凹部74同样形态的凹部。凹部74等不形成于液管40的上表面1a以及下表面1b的第二区域92以及第三区域93。即，凹部74等以俯视时与液管40的流路50的管壁(金属层62w～65w)以及多孔体60不重叠的方式分别形成于液管40的上表面1a以及下表面1b。
其他构成与第四实施方式相同。
根据变形例也能够获得与第四实施方式相同的效果。
另外，在第四实施方式及其变形例中，凹部74等的宽度以及深度可以不完全相同。例如，可以设定为越靠近第三区域93的部分，即越靠近多孔体60的部分其宽度以及深度越小。在越靠近第三区域93的部分其宽度以及深度越小的情况下，在第三区域93与第一区域91的边界附近，更易于可靠地使来自外部的压力作用于构成多孔体60的金属层。
另外，凹部的剖面形状不限于图4、图7、图8、图10等中所示的具有棱角部的形状。图28是举例说明凹部的形状的剖视图。例如，如图28(a)所示，也可以在金属层61中形成内壁面由曲面构成的凹形状的凹部75来代替凹部71。并且，也可以在金属层61中形成内壁面由曲面构成的凹形状的凹部77来代替凹部76。作为内壁面由曲面构成的凹形状，例如可以举出剖面形状由大致半圆形或大致半椭圆形构成的凹形状。对于槽状的凹部，与长度方向垂直的剖面的形状也可以为大致半圆形或大致半椭圆形。
对于使多孔体60位于液管40内的哪个部位并不特别限定。只是，优选自液管40的管壁隔开间隔地设置多孔体60。这是为了在管壁和多孔体60之间形成供工作流体C流动的微细的流路50，从而工作流体C变得易于在液管40内流动。
对于多孔体60的构成，可以在多孔体60的最外层也形成有底孔。例如，也可以在第一层的金属层61中形成自下表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的多个有底孔，并且也可以在第六层的金属层66中形成自上表面侧向厚度方向的大致中央部凹陷的多个有底孔。
对于多孔体60的构成，也可以在相邻的金属层的交界面也形成细孔。例如，在金属层62～65中，也可以通过有底孔俯视时在相邻金属层间部分重叠来形成细孔。
并且，构成多孔体60的细孔不限于使自各金属层的两面侧形成的有底孔部分连通而构成的细孔。例如，构成多孔体60的细孔也可以为如下细孔，即，将形成有在厚度方向贯穿的通孔的金属层彼此以通孔部分重叠的方式堆叠而构成的细孔。
以上，详细说明了优选的实施方式等，但本发明并不限于所述实施方式等，其能够在不脱离权利要求记载的范围的情况下对所述实施方式等进行各种变形以及置换。

Claims (9)

1.一种环路式热管，包括：
蒸发器，其用于使工作流体气化；
冷凝器，其用于使所述工作流体液化；
液管，其用于将所述蒸发器和所述冷凝器连接起来；
蒸气管，其用于将所述蒸发器和所述冷凝器连接起来，并且和所述液管共同形成环路式的流路；以及
多孔体，其设于所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管以及所述蒸气管的一部分的内部，其中，
所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管以及所述蒸气管具有第一主面，
在所述第一主面的位于所述流路正上或正下的第一区域的至少一部分形成有凹部，
不在所述第一主面的位于所述流路的管壁正上或正下的第二区域以及所述第一主面的位于所述多孔体正上或正下的第三区域形成所述凹部。
2.根据权利要求1所述的环路式热管，其中，
所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管以及所述蒸气管具有与所述第一主面相反一侧的第二主面，
在所述第二主面的所述第一区域的至少一部分形成有所述凹部，
不在所述第二主面的所述第二区域和所述第二主面的所述第三区域形成所述凹部。
3.根据权利要求1或2所述的环路式热管，其中，所述多孔体至少设于所述蒸发器内。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的环路式热管，其中，
所述凹部至少形成于所述蒸发器、所述冷凝器以及所述蒸气管的所述第一区域。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的环路式热管，其中，
所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管、所述蒸气管以及所述多孔体分别由多个金属层堆叠而成。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的环路式热管，其中，多个所述凹部形成为点状。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的环路式热管，其中，
多个所述凹部形成为在与工作流体在俯视时与该凹部重叠的所述流路内流动的方向正交的方向上延伸的槽状。
8.一种环路式热管的制造方法，其中，
在形成用于使工作流体气化的蒸发器、用于使所述工作流体液化的冷凝器、用于将所述蒸发器和所述冷凝器连接起来的液管、用于将所述蒸发器和所述冷凝器连接起来并且和所述液管共同形成环路式的流路的蒸气管、以及设于所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管以及所述蒸气管的一部分的内部的多孔体的工序中，包括如下工序：
在所述蒸发器、所述冷凝器、所述液管以及所述蒸气管设置第一主面，在所述第一主面的位于所述流路正上或正下的第一区域的至少一部分形成凹部，
不在所述第一主面的位于所述流路的管壁正上或正下的第二区域以及所述第一主面的位于所述多孔体正上或正下的第三区域形成所述凹部。
9.根据权利要求8所述的环路式热管的制造方法，其中，形成所述凹部的工序包括：
准备包括所述第一主面的金属层的工序；以及
利用掩模覆盖要成为所述金属层的所述第二区域的部分以及要成为所述金属层的所述第三区域的部分，并且自所述第一主面侧对所述金属层进行半刻蚀的工序。
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