CN112626486A - 一种新型真空蒸镀机 - Google Patents
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Abstract
本申请提出一种新型真空蒸镀机，包括：蒸镀机本体、加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源、控制机构、和驱动机构，所述蒸镀机本体内部分为蒸镀腔体和控制件腔体，加热灯结构、镀锅结构、水冷隔热机构、坩埚、离子源和驱动机构均设置于蒸镀腔体内，控制机构设置于控制件腔体内，所述驱动机构包括马达和抽真空泵组，蒸镀腔体的一侧面设有主阀腔，主阀腔的下部设有与主阀腔通过真空管连通的抽真空泵组，抽真空泵组位于蒸镀机本体外部的支架上，蒸镀腔体为中空的圆柱体或者为中空的椭圆柱体，镀锅结构的伞架有3个，设置在蒸镀腔体的腔体侧面内壁上的防着板，能够与蒸镀腔体的腔体侧面内壁挂住固定及拆卸。
Description
技术领域
本发明涉及蒸镀机技术领域，较为具体的，涉及到一种新型真空蒸镀机。
背景技术
真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和电子束轰击加热和离子辅助轰击基板预清洁以及离子辅助镀膜等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
目前的真空蒸镀机的腔体大多为正方体，若想增加产能则需要增大腔体的空间，但是腔体为正方体，空间变大之后，方体的四个角会有死角，并且空间越大死角越大，因此限制了产能。
有鉴于此，本发明提供一种新型真空蒸镀机，增加真空蒸镀机的腔体的空间，并且没有死角，增加产能。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种新型真空蒸镀机，增加真空蒸镀机的腔体的空间，并且没有死角，增加产能。
一种新型真空蒸镀机，包括：蒸镀机本体1、加热灯结构2、镀锅结构3、水冷隔热机构4、坩埚5、离子源6、控制机构7、和驱动机构8，所述蒸镀机本体1内部分为蒸镀腔体11和控制件腔体12，加热灯结构2、镀锅结构3、水冷隔热机构4、坩埚5、离子源6和驱动机构8均设置于蒸镀腔体11内，控制机构7设置于控制件腔体12内，蒸镀腔体11和控制件腔体12相邻，所述驱动机构8包括马达81和抽真空泵组82，驱动机构8与控制机构7电性连接，蒸镀腔体11的顶部设有镀锅结构3，镀锅结构3的顶端连接马达81，镀锅结构3下部设有加热灯结构2、坩埚5和离子源6，加热灯结构2、坩埚5和离子源6固定在蒸镀腔体11的底板上，蒸镀腔体11的一侧面设有主阀腔13，主阀腔13与蒸镀腔体11连通，所述主阀腔13上设有水冷隔热机构4，主阀腔13的下部设有与主阀腔13通过真空管连通的抽真空泵组82，抽真空泵组82位于蒸镀机本体1外部的支架上；蒸镀腔体11为中空的圆柱体或者为中空的椭圆柱体，镀锅结构3的伞架31有3个，设置在蒸镀腔体11的腔体侧面内壁上的防着板111，能够与蒸镀腔体11的腔体侧面内壁挂住固定及拆卸。
在一些实施方式中，蒸镀腔体11还包括设置在蒸镀腔体11的腔体侧面内壁上的挂钩112，防着板111的形状为圆弧形或者折弯形，所述挂钩112包括杆体部1121、凸出部1122和端部1123，凸出部1122和端部1123的直径大于杆体部1121的直径，凸出部1122与端部1123之间具有间距，所述防着板111上具有葫芦状通孔1111和设置在葫芦状通孔1111上的凸出板1112，葫芦状通孔1111及凸出板1112的位置和数量与挂钩112相对应，将防着板111的葫芦状通孔1111放置在挂钩112的凸出部1122和端部1123之间，防着板111由于重力的作用与挂钩112连接固定，凸出板1112防止挂钩112被镀膜。
进一步的，葫芦状通孔1111上部分的直径大于等于挂钩112的杆体部1121的直径。
进一步的，防着板111的凸出板1112为凸出于防着板111平面的长方形，凸出板1112的长度大于葫芦状通孔1111的长度，凸出板1112的宽度大于葫芦状通孔1111的宽度。
进一步的，一个防着板111上设置有一个或者多个葫芦状通孔1111和凸出板1112。
进一步优选的，一个防着板111上设置有多个葫芦状通孔1111和凸出板1112，防着板111为一个整体，或者防着板111为多块拼接而成。
进一步优选的，防着板111为多块拼接而成，在真空蒸镀机的腔室的长度方向上，防着板111由多个防着板111组成。
在一些实施方式中，蒸镀腔体11还包括设置在蒸镀腔体11的腔门上的视窗结构113，视窗结构113从腔体门外部向内部的方向依次包括：外层玻璃、回转玻璃和防着板111，外层玻璃,上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴，回转轴与回转玻璃连接固定，回转玻璃能够跟随回转轴同步旋转，防着板上设置有观察孔，回转轴为一体式磁流体密封回转轴。
进一步的，视窗结构113有两个，两个视窗结构上下设置，上方的视窗结构的观察孔为水平设置，下方的视窗结构的观察孔为竖直设置。
在一些实施方式中，加热灯结构2有4个，设置在蒸镀腔体11的底板的边角上，用于在蒸镀前加速腔体内水蒸汽的蒸发，并且加热灯结构2能够调节高度和角度。
进一步的，加热灯结构2的加热灯盒21调节角度时，始终向着蒸镀腔体11的腔室的中心线。
在一些实施方式中，镀锅结构3为行星转的镀锅结构3，镀锅结构3的伞架31沿着镀锅结构3的圆轨道32进行公转旋转的同时，伞架31还进行自转旋转。
在一些实施方式中，水冷隔热机构4包括多个散热片41和水冷管42，多个散热片41固定安装在主阀腔13的底板上，所述多个散热片41呈百叶型排列，相邻的两片散热片41相互间隔平行，所述散热片41设有多个通孔，所述通孔呈矩形列阵排列，所述散热片41的两端通过水冷管42串接，所述水冷管42的一端为进水口，水冷管42的另一端为出水口，所述进水口与主阀腔13的底板可拆卸连接。
在一些实施方式中，坩埚5设置在蒸镀腔体11的底板的中间，通过电流加热和电子束轰击加热，将蒸发镀膜材料气化，气化后的粒子飞至伞架31上的基片表面形成镀膜；离子源6设置在蒸镀腔体11的底板的侧边，位于坩埚5的左边或者右边，用于在镀膜前，在真空环境下，对伞架31上的基片表面进行清洗以及打毛糙，增加镀膜材料的粘附性。
在一些实施方式中，抽真空泵组82包括初抽泵和主泵，初抽泵为钢泵或者油泵的一种，主泵为低温泵，主泵的管路上连接有真空计，当初抽泵抽至满足主泵的工作条件后启动主泵进行抽真空；控制机构7的下方设有电控柜71。
附图说明
图1为本申请实施例1的新型真空蒸镀机的结构图。
图2为本申请实施例1的新型真空蒸镀机的结构图。
图3为本申请实施例1的新型真空蒸镀机的蒸镀腔体的立体图。
图4为本申请的新型真空蒸镀机的水冷隔热机构的结构图。
图5为本申请的新型真空蒸镀机的防着板和挂钩的立体图。
图6为本申请的新型真空蒸镀机的挂钩的立体图。
主要元件符号说明：
蒸镀机本体1、加热灯结构2、镀锅结构3、水冷隔热机构4、坩埚5、离子源6、控制机构7、驱动机构8、蒸镀腔体11、控制件腔体12、主阀腔13、防着板111、挂钩112、葫芦状通孔1111、凸出板1112、杆体部1121、凸出部1122、端部1123、视窗结构113、加热灯盒21、伞架31、圆轨道32、散热片41、水冷管42、电控柜71、马达81、抽真空泵组82。
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
一种新型真空蒸镀机，如图1-图6，包括：蒸镀机本体1、加热灯结构2、镀锅结构3、水冷隔热机构4、坩埚5、离子源6、控制机构7、和驱动机构8，所述蒸镀机本体1内部分为蒸镀腔体11和控制件腔体12，加热灯结构2、镀锅结构3、水冷隔热机构4、坩埚5、离子源6和驱动机构8均设置于蒸镀腔体11内，控制机构7设置于控制件腔体12内，蒸镀腔体11和控制件腔体12相邻，所述驱动机构8包括马达81和抽真空泵组82，驱动机构8与控制机构7电性连接，蒸镀腔体11的顶部设有镀锅结构3，镀锅结构3的顶端连接马达81，镀锅结构3下部设有加热灯结构2、坩埚5和离子源6，加热灯结构2、坩埚5和离子源6固定在蒸镀腔体11的底板上，蒸镀腔体11的一侧面设有主阀腔13，主阀腔13与蒸镀腔体11连通，所述主阀腔13上设有水冷隔热机构4，主阀腔13的下部设有与主阀腔13通过真空管连通的抽真空泵组82，抽真空泵组82位于蒸镀机本体1外部的支架上；蒸镀腔体11为中空的圆柱体，镀锅结构3的伞架31有3个，设置在蒸镀腔体11的腔体侧面内壁上的防着板111，能够与蒸镀腔体11的腔体侧面内壁挂住固定及拆卸。
蒸镀腔体11还包括设置在蒸镀腔体11的腔体侧面内壁上的挂钩112，防着板111的形状为圆弧形或者折弯形，所述挂钩112包括杆体部1121、凸出部1122和端部1123，凸出部1122和端部1123的直径大于杆体部1121的直径，凸出部1122与端部1123之间具有间距，所述防着板111上具有葫芦状通孔1111和设置在葫芦状通孔1111上的凸出板1112，葫芦状通孔1111及凸出板1112的位置和数量与挂钩112相对应，将防着板111的葫芦状通孔1111放置在挂钩112的凸出部1122和端部1123之间，防着板111由于重力的作用与挂钩112连接固定，凸出板1112防止挂钩112被镀膜。葫芦状通孔1111上部分的直径等于挂钩112的杆体部1121的直径。防着板111的凸出板1112为凸出于防着板111平面的长方形，凸出板1112的长度大于葫芦状通孔1111的长度，凸出板1112的宽度大于葫芦状通孔1111的宽度。一个防着板111上设置有多个葫芦状通孔1111和凸出板1112。防着板111为多块拼接而成，在真空蒸镀机的腔室的长度方向上，防着板111由多个防着板111组成。
蒸镀腔体11还包括设置在蒸镀腔体11的腔门上的视窗结构113，视窗结构113从腔体门外部向内部的方向依次包括：外层玻璃、回转玻璃和防着板111，外层玻璃,上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴，回转轴与回转玻璃连接固定，回转玻璃能够跟随回转轴同步旋转，防着板上设置有观察孔，回转轴为一体式磁流体密封回转轴。视窗结构113有两个，两个视窗结构上下设置，上方的视窗结构的观察孔为水平设置，下方的视窗结构的观察孔为竖直设置。加热灯结构2有4个，设置在蒸镀腔体11的底板的边角上，用于在蒸镀前加速腔体内水蒸汽的蒸发，并且加热灯结构2能够调节高度和角度。加热灯结构2的加热灯盒21调节角度时，始终向着蒸镀腔体11的腔室的中心线。镀锅结构3为行星转的镀锅结构3，镀锅结构3的伞架31沿着镀锅结构3的圆轨道32进行公转旋转的同时，伞架31还进行自转旋转。水冷隔热机构4包括多个散热片41和水冷管42，多个散热片41固定安装在主阀腔13的底板上，所述多个散热片41呈百叶型排列，相邻的两片散热片41相互间隔平行，所述散热片41设有多个通孔，所述通孔呈矩形列阵排列，所述散热片41的两端通过水冷管42串接，所述水冷管42的一端为进水口，水冷管42的另一端为出水口，所述进水口与主阀腔13的底板可拆卸连接。坩埚5设置在蒸镀腔体11的底板的中间，通过电流加热和电子束轰击加热，将蒸发镀膜材料气化，气化后的粒子飞至伞架31上的基片表面形成镀膜；离子源6设置在蒸镀腔体11的底板的侧边，位于坩埚5的左边或者右边，用于在镀膜前，在真空环境下，对伞架31上的基片表面进行清洗以及打毛糙，增加镀膜材料的粘附性。抽真空泵组82包括初抽泵和主泵，初抽泵为钢泵或者油泵的一种，主泵为低温泵，主泵的管路上连接有真空计，当初抽泵抽至满足主泵的工作条件后启动主泵进行抽真空；控制机构7的下方设有电控柜71。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种新型真空蒸镀机，包括：蒸镀机本体(1)、加热灯结构(2)、镀锅结构(3)、水冷隔热机构(4)、坩埚(5)、离子源(6)、控制机构(7)、和驱动机构(8)，所述蒸镀机本体(1)内部分为蒸镀腔体(11)和控制件腔体(12)，加热灯结构(2)、镀锅结构(3)、水冷隔热机构(4)、坩埚(5)、离子源(6)和驱动机构(8)均设置于蒸镀腔体(11)内，控制机构(7)设置于控制件腔体(12)内，蒸镀腔体(11)和控制件腔体(12)相邻，所述驱动机构(8)包括马达(81)和抽真空泵组(82)，驱动机构(8)与控制机构(7)电性连接，蒸镀腔体(11)的顶部设有镀锅结构(3)，镀锅结构(3)的顶端连接马达(81)，镀锅结构(3)下部设有加热灯结构(2)、坩埚(5)和离子源(6)，加热灯结构(2)、坩埚(5)和离子源(6)固定在蒸镀腔体(11)的底板上，蒸镀腔体(11)的一侧面设有主阀腔(13)，主阀腔(13)与蒸镀腔体(11)连通，其特征在于，所述主阀腔(13)上设有水冷隔热机构(4)，主阀腔(13)的下部设有与主阀腔(13)通过真空管连通的抽真空泵组(82)，抽真空泵组(82)位于蒸镀机本体(1)外部的支架上，蒸镀腔体(11)为中空的圆柱体或者为中空的椭圆柱体，镀锅结构(3)的伞架(31)有3个，设置在蒸镀腔体(11)的腔体侧面内壁上的防着板(111)，能够与蒸镀腔体(11)的腔体侧面内壁挂住固定及拆卸。
2.如权利要求1所述的新型真空蒸镀机，其特征在于，蒸镀腔体(11)还包括设置在蒸镀腔体(11)的腔体侧面内壁上的挂钩(112)，防着板(111)的形状为圆弧形或者折弯形，所述挂钩(112)包括杆体部(1121)、凸出部(1122)和端部(1123)，凸出部(1122)和端部(1123)的直径大于杆体部(1121)的直径，凸出部(1122)与端部(1123)之间具有间距，所述防着板(111)上具有葫芦状通孔(1111)和设置在葫芦状通孔(1111)上的凸出板(1112)，葫芦状通孔(1111)及凸出板(1112)的位置和数量与挂钩(112)相对应，将防着板(111)的葫芦状通孔(1111)放置在挂钩(112)的凸出部(1122)和端部(1123)之间，防着板(111)由于重力的作用与挂钩(112)连接固定，凸出板(1112)防止挂钩(112)被镀膜。
3.如权利要求2所述的新型真空蒸镀机，其特征在于，葫芦状通孔(1111)上部分的直径大于等于挂钩(112)的杆体部(1121)的直径；防着板(111)的凸出板(1112)为凸出于防着板(111)平面的长方形，凸出板(1112)的长度大于葫芦状通孔(1111)的长度，凸出板(1112)的宽度大于葫芦状通孔(1111)的宽度；一个防着板(111)上设置有一个或者多个葫芦状通孔(1111)和凸出板(1112)。
4.如权利要求3所述的新型真空蒸镀机，其特征在于，一个防着板(111)上设置有多个葫芦状通孔(1111)和凸出板(1112)，防着板(111)为一个整体，或者防着板(111)为多块拼接而成。
5.如权利要求1所述的新型真空蒸镀机，其特征在于，蒸镀腔体(11)还包括设置在蒸镀腔体(11)的腔门上的视窗结构(113)，视窗结构(113)从腔体门外部向内部的方向依次包括：外层玻璃、回转玻璃和防着板(111)，外层玻璃,上设有一贯穿外层玻璃并可转动的回转轴，回转轴与回转玻璃连接固定，回转玻璃能够跟随回转轴同步旋转，防着板上设置有观察孔，回转轴为一体式磁流体密封回转轴。
6.如权利要求5所述的新型真空蒸镀机，其特征在于，视窗结构(113)有两个，两个视窗结构上下设置，上方的视窗结构的观察孔为水平设置，下方的视窗结构的观察孔为竖直设置。
7.如权利要求1所述的新型真空蒸镀机，其特征在于，加热灯结构(2)有4个，设置在蒸镀腔体(11)的底板的边角上，用于在蒸镀前加速腔体内水蒸汽的蒸发，并且加热灯结构(2)能够调节高度和角度。
8.如权利要求7所述的新型真空蒸镀机，其特征在于，加热灯结构(2)的加热灯盒(21)调节角度时，始终向着蒸镀腔体(11)的腔室的中心线。
9.如权利要求1所述的新型真空蒸镀机，其特征在于，镀锅结构(3)为行星转的镀锅结构(3)，镀锅结构(3)的伞架(31)沿着镀锅结构(3)的圆轨道(32)进行公转旋转的同时，伞架(31)还进行自转旋转。
10.如权利要求1所述的新型真空蒸镀机，其特征在于，所述新型真空蒸镀包括选自下组的一个或多个特征：
(a)机水冷隔热机构(4)包括多个散热片(41)和水冷管(42)，多个散热片(41)固定安装在主阀腔(13)的底板上，所述多个散热片(41)呈百叶型排列，相邻的两片散热片(41)相互间隔平行，所述散热片(41)设有多个通孔，所述通孔呈矩形列阵排列，所述散热片(41)的两端通过水冷管(42)串接，所述水冷管(42)的一端为进水口，水冷管(42)的另一端为出水口，所述进水口与主阀腔(13)的底板可拆卸连接；
(b)坩埚(5)设置在蒸镀腔体(11)的底板的中间，通过电流加热和电子束轰击加热，将蒸发镀膜材料气化，气化后的粒子飞至伞架(31)上的基片表面形成镀膜；
(c)离子源(6)设置在蒸镀腔体(11)的底板的侧边，位于坩埚(5)的左边或者右边，用于在镀膜前，在真空环境下，对伞架(31)上的基片表面进行清洗以及打毛糙，增加镀膜材料的粘附性；
(d)抽真空泵组(82)包括初抽泵和主泵，初抽泵为钢泵或者油泵的一种，主泵为低温泵，主泵的管路上连接有真空计，当初抽泵抽至满足主泵的工作条件后启动主泵进行抽真空；
(e)控制机构(7)的下方设有电控柜(71)。
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