CN112556921A - 一种多接头的真空检测装置和薄膜规真空度检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种多接头的真空检测装置和薄膜规真空度检测方法，可通过多个接头同时连接多个待测薄膜规进行检测，检测时，若标准真空测量仪器的测得值没变化表示所有薄膜规均合格，若有变化表示其中至少一个薄膜规不合格，从而可通过对半排查的方式确定不合格薄膜规；与现有技术中只能逐个检测的方式相比，检测效率更高，操作更方便，且该多接头的真空检测装置的结构简单、成本低廉。
Description
技术领域
本发明涉及真空检测设备技术领域，尤其涉及一种多接头的真空检测装置和薄膜规真空度检测方法。
背景技术
目前，在真空机械行业常常需要用薄膜规来检测一些设备的真空度，一般地，薄膜规在使用一段时间后，需要送到检测中心去检测其真空度，以保证其测量精度。
目前，一般用氦气检测仪对薄膜规进行真空度的检测，其原理是：把被检测仪器连接到测试仪中，然后在真空环境下注入氦气，如果检测到氦气被吸入检测仪中，就说明被检测的仪器漏气。但是现有的氦气检测仪的价格比较贵，而且要检测不同接口的薄膜规或其他需检测仪器时需要更换不同型号的波纹管，使用麻烦。尤其是对于检测中心的工作人员来说，由于每天都要对大量的薄膜规进行检测，而一般的氦气检测仪一次只能检测一个薄膜规，因此只能逐个地进行检测，工作效率极低。
发明内容
鉴于上述现有技术的不足之处，本发明的目的在于提供一种多接头的真空检测装置和薄膜规真空度检测方法，可同时连接多个薄膜规进行真空度检测，提高检测效率，且结构简单、成本低廉。
为了达到上述目的，本发明采取了以下技术方案：
一种多接头的真空检测装置，包括具有密封内腔的壳体，所述壳体上设置有多个与所述密封内腔连通的接头、与所述密封内腔连通的第一接口、以及用于对所述密封内腔抽真空的真空泵；
所述接头用于与待检测的仪器连接；所述第一接口用于与外部的标准真空测量仪器连接。
所述的多接头的真空检测装置中，每个所述接头处均设置有第一开关阀。
所述的多接头的真空检测装置中，多个所述接头中，至少包括两种不同型号的标准接头。
一些实施方式中，所述接头设置有至少八个，且至少八个所述接头中包括至少八种不同型号的标准接头。
一些实施方式中，多个所述接头中包括KF10 、KF16 、KF25 、KF40、CF16、CF35、CF40、CF63中的至少一种型号的标准接头。
所述的多接头的真空检测装置，还包括与所述密封内腔连通的第二接口，所述第二接口用于与外部的抽真空装置连接；所述真空泵为分子泵。
所述的多接头的真空检测装置，还包括用于对所述密封内腔排真空的排真空口，所述排真空口处设置有第二开关阀。
一种薄膜规真空度检测方法，基于所述的多接头的真空检测装置，所述薄膜规真空度检测方法包括步骤：
A1.用多个接头连接多个待测薄膜规；
A2.用第一接口连接外部的标准真空测量仪器；
A3.对壳体的密封内腔抽真空；
A4.根据所述标准真空测量仪器的测得值变化情况判断是否有薄膜规的真空度不达标；
A5.若否，则判定所述多个待测薄膜规均合格；
A6.若是，则采用对半排查的方式确定不合格薄膜规。
所述的薄膜规真空度检测方法中，步骤A3包括：
用外部的真空泵通过第二接口对壳体的密封内腔抽真空，使所述密封内腔的真空度到达预设的前级真空度；
用分子泵对所述密封内腔再次抽真空，使所述密封内腔的真空度到达目标真空度。
所述的薄膜规真空度检测方法中，步骤A6包括：
把多个薄膜规均分为两部分，分别对两部分薄膜规执行步骤A3和A4；若检测到没有薄膜规的真空度不达标，则判定相关部分的薄膜规合格，并拆除相应的薄膜规；若检测到有薄膜规的真空度不达标，则再次把相应部分的薄膜规均分为两部分并重复前述步骤，直到确定出不合格的薄膜规。
有益效果：
本发明提供的一种多接头的真空检测装置和薄膜规真空度检测方法，可通过多个接头同时连接多个待测薄膜规进行检测，检测时，若标准真空测量仪器的测得值没变化表示所有薄膜规均合格，若有变化表示其中至少一个薄膜规不合格，从而可通过对半排查的方式确定不合格薄膜规；与现有技术中只能逐个检测的方式相比，检测效率更高，操作更方便，且该多接头的真空检测装置的结构简单、成本低廉。
附图说明
图1为本发明提供的一种多接头的真空检测装置的结构示意图。
图2为本发明提供的薄膜规真空度检测方法的流程图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
下文的公开提供的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
请参阅图1，本发明提供的一种多接头的真空检测装置，包括具有密封内腔的壳体1，壳体1上设置有多个与密封内腔连通的接头2、与密封内腔连通的第一接口3、以及用于对密封内腔抽真空的真空泵4；
接头2用于与待检测的仪器连接（待检测的仪器一般指薄膜规，但也可以是其它仪器）；第一接口3用于与外部的标准真空测量仪器连接。
使用时，可同时把多个待检测的仪器与多个接头2连接，并用把外部的标准真空测量仪器连接第一接口3，然后对壳体1的密封内腔抽真空，并检测标准真空测量仪器的测得值的变化情况，若该测得值在观察时间内（观察时间为预设的时间，例如，1min）没有变化，则表示所有待检测的仪器均合格，若有变化，则表示至少有一个待检测的仪器不合格，此时可逐个进行排查以确定不合格薄膜规，也可通过对半排查的方式确定不合格薄膜规；与现有技术中只能逐个检测的方式相比，检测效率更高，操作更方便，且该多接头的真空检测装置的结构简单、成本低廉。
在一些优选的实施方式中，每个接头2处均设置有第一开关阀5（图1中仅画出了部分接头2的第一开关阀5）。当一些接头2在某次测试过程中无需使用时，可关闭对应的第一开关阀5，以避免漏气。根据接头2的具体型号的不同，有些型号的接头2本身具有启闭功能，当不与待检测的仪器对应的接口连接时会自动关闭通道的，但此处依然为其设置第一开关阀5，看提高密封的可靠性。
为了能够无需进行转接就能够对具有不同信号接口的待检测仪器连接，在一些优选实施方式中，该多个接头2中，至少包括两种不同型号的标准接头。只要是具有相应型号接口的待检测仪器，均可直接与对应的接头2连接以进行检测，无需进行转接，使用更加方便。接头的型号和数量可根据实际需要进行设置。
实际上，现有的薄膜规中常用的标准接头的型号主要有八种，分别为KF10 、KF16、KF25 、KF40、CF16、CF35、CF40、CF63接头；因此，在一些实施方式中，多个接头2中包括KF10、KF16 、KF25 、KF40、CF16、CF35、CF40、CF63中的至少一种型号的标准接头，从而可提高该多接头的真空检测装置的适用性。
在一些优选实施方式中，接头2设置有至少八个，且至少八个接头2中包括至少八种不同型号的标准接头。该至少八种不同型号的标准接头包括KF10 、KF16 、KF25 、KF40、CF16、CF35、CF40和CF63接头。可满足目前市面上大部分的薄膜规的使用要求，其适用性较佳。
其中，每个型号的接头2可以设置一个或多个；如图1中，设置有八个接头2，分别为第一接头21（型号为KF10）、第二接头22（型号为KF16）、第三接头23（型号为KF25）、第四接头24（型号为KF40）、第五接头25（型号为CF16）、第六接头26（型号为CF35）、第七接头27（型号为CF40）、第八接头28（型号为CF63）。
在一些优选实施方式中，见图1，该多接头的真空检测装置，还包括与密封内腔连通的第二接口6，第二接口6用于与外部的抽真空装置（如普通真空泵）连接；真空泵4为分子泵。分子泵能够达到的极限真空比较高，一般可达到8-10Pa，但是要使分子泵正常工作，需要一定的前级真空度，该前级真空度根据分子泵的具体型号不同而不同，为了使密封内腔达到前级真空度，可由外部的抽真空装置通过第二接口6把密封内腔抽至需要的前级真空度，再启动分子泵，从而保证密封内腔具有较高的真空度。
在一些实施方式中，见图1，该多接头的真空检测装置，还包括用于对密封内腔排真空的排真空口7，排真空口7处设置有第二开关阀（图中没画）。当完成测试后，一般需要先对密封内腔排真空，此时可打开第二开关阀，外部空气会从排真空口7进入密封内腔，从而使密封内腔的压强回复常压。
在一些实施方式中，见图1，壳体1包括主体部11和连接在主体部11和真空泵4之间的连接管部12，其中，主体部11为五通管状，连接管部12与主体部11的一个管部的端部连接，主体部11的其它四个管部的端部各设置有两个接头2。其中，主体部11的其中四个管部呈十字排布，还有一个管部垂直地连接在该四个管部的连接中心处，该壳体1在使用时可平放在桌面上，可防止发生滚动，稳定性较好。其中，第二接口6、第一接口3和排真空口7均设置在连接管部12上。优选的，主体部11、连接管部12和真空泵4两两之间通过可拆卸方式连接（如通过法兰连接），各部件损坏后可单独更换，有利于降低维修成本。
请参阅图2，本发明提供的一种薄膜规真空度检测方法，基于上述的多接头的真空检测装置，该薄膜规真空度检测方法包括步骤：
A1.用多个接头连接多个待测薄膜规；
A2.用第一接口连接外部的标准真空测量仪器；
A3.对壳体的密封内腔抽真空；
A4.根据标准真空测量仪器的测得值变化情况判断是否有薄膜规的真空度不达标；
A5.若否，则判定多个待测薄膜规均合格；
A6.若是，则采用对半排查的方式确定不合格薄膜规。
其中，步骤A3包括：
用外部的真空泵通过第二接口6对壳体1的密封内腔抽真空，使密封内腔的真空度到达预设的前级真空度；
用分子泵对密封内腔再次抽真空，使密封内腔的真空度到达目标真空度。
通过外部真空泵的第一次抽真空，使密封内腔的真空度达到分子泵正常工作所需的前级真空度（前级真空度的具体值与分子泵的具体型号有关，因此是根据分子泵的具体型号而预先设置的），再启动分子泵再次抽真空，可使密封内腔达到较高的真空度，有利于提高检测结果的准确性。
其中，步骤A4包括：
在预设的观察时间内检测标准真空测量仪器的测得值是否有变化；
若有变化，则判定有薄膜规的真空度不达标；
若没有变化，则判定没有薄膜规的真空度不达标。
预设的观察时间可根据需要进行设置，例如，1min，但不限于此。
其中，步骤A6包括：
把多个薄膜规均分为两部分，分别对两部分薄膜规执行步骤A3和A4；若检测到没有薄膜规的真空度不达标，则判定相关部分的薄膜规合格，并拆除相应的薄膜规；若检测到有薄膜规的真空度不达标，则再次把相应部分的薄膜规均分为两部分并重复前述步骤，直到确定出不合格的薄膜规。
例如，步骤A1中的待测薄膜规有8个，若有薄膜规不达标，则把该8个薄膜规平分为两部分，每部分有4个，分别对两部分薄膜规执行步骤A3和A4以检测其中是否有薄膜规不达标（在检测其中一部分薄膜规时，把另一部分对应的第一开关阀5关闭）；若发现其中一部分薄膜规有不达标的，则再把该4个薄膜规平分为两部分，每部分有2个，然后再分别对两部分薄膜规执行步骤A3和A4以检测其中是否有薄膜规不达标；若发现其中一部分薄膜规有不达标的，再一次把该2个薄膜规平分为两部分，每部分有1个，然后再分别对两部分薄膜规执行步骤A3和A4以检测其中是否有薄膜规不达标，最终可确定不合格的薄膜规。
若薄膜规的总数量为奇数，则在均分时，其中一部分比另一部分多一个。
采用该方法进行薄膜规真空度检测，若连接的薄膜规均合格，则一次检测就可以确定多个薄膜规合格，效率高，若连接的薄膜规有不达标的，则通过对半排查的方式来确定不合格薄膜规，依然比逐个地进行检测的方式效率高。因此，采用该方法进行薄膜规真空度检测可提高检测效率。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，其方案与本发明实质上相同。
Claims (10)
1.一种多接头的真空检测装置，其特征在于，包括具有密封内腔的壳体，所述壳体上设置有多个与所述密封内腔连通的接头、与所述密封内腔连通的第一接口、以及用于对所述密封内腔抽真空的真空泵；
所述接头用于与待检测的仪器连接；所述第一接口用于与外部的标准真空测量仪器连接。
2.根据权利要求1所述的多接头的真空检测装置，其特征在于，每个所述接头处均设置有第一开关阀。
3.根据权利要求1所述的多接头的真空检测装置，其特征在于，多个所述接头中，至少包括两种不同型号的标准接头。
4.根据权利要求3所述的多接头的真空检测装置，其特征在于，所述接头设置有至少八个，且至少八个所述接头中包括至少八种不同型号的标准接头。
5.根据权利要求1所述的多接头的真空检测装置，其特征在于，多个所述接头中包括KF10 、KF16 、KF25 、KF40、CF16、CF35、CF40、CF63中的至少一种型号的标准接头。
6.根据权利要求1所述的多接头的真空检测装置，其特征在于，还包括与所述密封内腔连通的第二接口，所述第二接口用于与外部的抽真空装置连接；所述真空泵为分子泵。
7.根据权利要求1所述的多接头的真空检测装置，其特征在于，还包括用于对所述密封内腔排真空的排真空口，所述排真空口处设置有第二开关阀。
8.一种薄膜规真空度检测方法，其特征在于，基于权利要求1-7任一项所述的多接头的真空检测装置，所述薄膜规真空度检测方法包括步骤：
A1.用多个接头连接多个待测薄膜规；
A2.用第一接口连接外部的标准真空测量仪器；
A3.对壳体的密封内腔抽真空；
A4.根据所述标准真空测量仪器的测得值变化情况判断是否有薄膜规的真空度不达标；
A5.若否，则判定所述多个待测薄膜规均合格；
A6.若是，则采用对半排查的方式确定不合格薄膜规。
9.根据权利要求8所述的薄膜规真空度检测方法，其特征在于，步骤A3包括：
用外部的真空泵通过第二接口对壳体的密封内腔抽真空，使所述密封内腔的真空度到达预设的前级真空度；
用分子泵对所述密封内腔再次抽真空，使所述密封内腔的真空度到达目标真空度。
10.根据权利要求8所述的薄膜规真空度检测方法，其特征在于，步骤A6包括：
把多个薄膜规均分为两部分，分别对两部分薄膜规执行步骤A3和A4；若检测到没有薄膜规的真空度不达标，则判定相关部分的薄膜规合格，并拆除相应的薄膜规；若检测到有薄膜规的真空度不达标，则再次把相应部分的薄膜规均分为两部分并重复前述步骤，直到确定出不合格的薄膜规。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20210326 |