CN112543689A - 放电加工装置及放电加工方法 - Google Patents

Abstract

放电加工装置(100)在线电极(10)和被加工物(25)之间施加电压，在加工液中，通过在线电极(10)和被加工物(25)的间隙产生放电，从而对被加工物(25)进行加工。放电加工装置(100)具有：加工控制部，其对第1加工和第2加工进行控制，该第1加工以第1尺寸精度从被加工物(25)切出目标形状，该第2加工以比第1尺寸精度高的第2尺寸精度从实施第1加工后的被加工物(25)切出目标形状；以及氧量调整部，其进行使加工液所含的氧的量在第1加工中比第2加工多的调整。

Description

放电加工装置及放电加工方法

技术领域

本发明涉及进行被加工物的放电加工的放电加工装置及放电加工方法。

背景技术

已知放电加工装置，其利用通过在线电极和被加工物之间的放电而产生的热使被加工物熔融，对被加工物进行加工。在专利文献1中公开了使含氧的微气泡包含于加工液而进行加工的放电加工装置。根据专利文献1的技术，放电加工装置通过在由放电产生的热中加入氧化热而使加工液的气化爆炸变大，能够提高加工速度。

专利文献1：日本特开平2－100823号公报

发明内容

以往，放电加工装置有时用于以超硬合金即碳化钨(WC)为主要成分的被加工物的加工。在成为放电加工的对象的材料中WC的熔点极高为大约2900℃，因此在超硬合金的放电加工中具有下述研究报告，即，通过受到放电而熔融的部分之中的从被加工物去除的比例止于小于10％。在超硬合金的放电加工中，熔融的部分几乎都再次固化而残存于被加工物，因此放电加工装置在超硬合金的加工时需要时间。

在超硬合金的加工中，在与上述的专利文献1的技术同样地使加工液包含微气泡的情况下，由于氧的存在，在比WC的熔点低的温度下引起WC的分解反应。在与熔点相比接近常温的温度下进行WC的分解，因此与通过熔融实施的加工相比通过分解实施的加工容易进行。因此，在通过熔融实施的加工中加入通过分解实施的加工，由此能够实现加工速度的提高。放电加工装置通过加工速度的提高，从而能够缩短超硬合金的加工所需的时间。但是，通过分解实施的加工是一边使被加工物的表面崩塌一边进行的，因此难以利用通过分解实施的加工而得到高品质的加工面。因此，在被加工物的加工中应用专利文献1的技术的情况下存在下述问题，即，有时能够缩短加工时间，但另一方面难以得到高品质的加工面。

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于，得到能够缩短加工时间并且能够获得高品质的加工面的放电加工装置。

为了解决上述的课题，达到目的，本发明所涉及的放电加工装置，在线电极和被加工物之间施加电压，在加工液中，通过在线电极和被加工物的间隙产生放电，从而对被加工物进行加工。本发明所涉及的放电加工装置具有：加工控制部，其对第1加工和第2加工进行控制，该第1加工以第1尺寸精度从被加工物切出目标形状，该第2加工以比第1尺寸精度高的第2尺寸精度从实施第1加工后的被加工物切出目标形状；以及氧量调整部，其进行使加工液所含的氧的量在第1加工中比第2加工多的调整。

发明的效果

本发明所涉及的放电加工装置具有下述效果，即，能够缩短加工时间，并且能够得到高品质的加工面。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1所涉及的放电加工装置的概略结构的图。

图2是表示图1所示的放电加工装置所具有的控制装置的功能结构的框图。

图3是表示由图1所示的放电加工装置进行的放电加工方法的顺序的流程图。

图4是表示图1所示的放电加工装置中的用于气泡供给的结构的变形例的图。

图5是表示本发明的实施方式2所涉及的放电加工装置的概略结构的图。

图6是表示由图5所示的放电加工装置进行的放电加工方法的顺序的流程图。

图7是表示本发明的实施方式3所涉及的放电加工装置的概略结构的图。

图8是表示由图7所示的放电加工装置进行的放电加工方法的顺序的流程图。

具体实施方式

下面，基于附图，对本发明的实施方式所涉及的放电加工装置及放电加工方法详细地进行说明。此外，本发明不受本实施方式限定。

实施方式1.

图1是表示本发明的实施方式1所涉及的放电加工装置100的概略结构的图。放电加工装置100对线电极10和被加工物25之间施加电压，在加工液中，在线电极10和被加工物25相向的间隙中发生放电，由此对超硬合金即被加工物25进行加工。被加工物25是以WC为主要成分，与结合剂即钴(Co)混合烧结而成的碳化钨-钴(WC－Co)类合金。

放电加工装置100具有被抽出线状的线电极10的线轴11。从线轴11抽出的线电极10在挂在带轮12后向上引导部13和下引导部14经过。上引导部13和下引导部14是引导线电极10的行进的引导部。线电极10在挂在下引导部14内的带轮17后，由在下引导部14的外部设置的线回收线轴卷绕。在图1中，省略了线回收线轴的图示。

被加工物25在加工槽19内，放置于在上引导部13的上喷嘴15和下引导部14的下喷嘴16之间配置的工作台。工作台在上引导部13和下引导部14之间的与线电极10的行进方向正交的面内进行移动。在图1中，省略了工作台的图示。在加工槽19中储存加工液即脱离子水。加工槽19中的加工液的液面到达上引导部13。上引导部13之中的包含上喷嘴15的下端部浸在加工液中。在加工槽19中，下引导部14、工作台和被加工物25在加工液中与上喷嘴15相比沉入至下方。

从上引导部13的上喷嘴15和下引导部14的下喷嘴16的至少一者朝向加工槽26喷射加工液。在图1中，省略了用于加工液的喷射的结构的图示。通过向被加工物25的放电加工，从而在被加工物25形成上引导部13和下引导部14之间的沿线电极10的行进方向的加工槽26。

在上引导部13设置有将线电极10和加工电源21进行连接的供电件18。加工电源21连接于供电件18和被加工物25，向供电件18和被加工物25之间以脉冲状供给加工能量。

放电加工装置100具有对加工液所含的氧的量进行调整的氧量调整部即气体供给装置22和开闭阀23。气体供给装置22具有填充有氧气的气体储气瓶。气体供给装置22向配管24送出氧气，由此向加工槽19的内部供给氧气。在配管24之中的与气体供给装置22相反侧的端设置有使氧气释放的喷嘴27。喷嘴27在下引导部14内配置于在下喷嘴16和带轮17之间行进的线电极10的下方。在配管24设置的开闭阀23进行使氧气经过的开启状态和将氧气切断的关闭状态之间的切换。

控制装置20对放电加工装置100的整体进行控制。控制装置20对通过加工电源21实施的脉冲电压的施加进行控制，并且对通过气体供给装置22实施的氧气的供给和开闭阀23的开闭进行控制。

图2是表示图1所示的放电加工装置100所具有的控制装置20的功能结构的框图。控制装置20具有：加工控制部31，其是对被加工物25的加工进行控制的功能部；气体供给控制部32，其是对气体供给装置22及开闭阀23进行控制的功能部；以及线供给速度控制部33，其是对线电极10的供给速度进行控制的功能部。

线供给速度控制部33通过线轴11和线回收线轴的动作的控制而对线电极10的供给速度进行控制。加工控制部31通过工作台的动作的控制而对被加工物25中的线电极10的相对位置进行控制。加工控制部31按照加工程序，对第1加工即粗加工和第2加工即精加工进行控制。粗加工是以第1尺寸精度从被加工物25切出目标形状的加工。精加工是从被实施粗加工后的被加工物25以比第1尺寸精度高的第2尺寸精度切出目标形状的加工。

放电加工装置100通过粗加工，进行从被实施加工前的初始状态下的被加工物25至中间形状为止的切削，该中间形状是残留有直至得到最终形状为止的去除量的粗略的形状。第1尺寸精度只要是会得到粗略的中间形状的尺寸精度即可。精加工是粗加工后的直至得到最终形状为止的加工。第2尺寸精度是为了得到最终形状而求出的尺寸精度。在精加工中，除了用于得到最终形状的最终精加工以外，还包含在粗加工和最终精加工之间实施的中精加工。

气体供给控制部32在粗加工时，进行从气体供给装置22送出氧气并且将开闭阀23开启的操作。从气体供给装置22送出氧气并且将开闭阀23开启，由此从喷嘴27产生氧气的气泡。氧气的气泡是比1μm至50μm左右的直径的气泡即微泡大的气泡，且是与微泡相比容易上浮并且容易在液面消失的气泡。

气泡如果从喷嘴27在下引导部14内释放，则通过从加工液受到的浮力而沿线电极10上升。从下喷嘴16喷出的气泡在线电极10和加工槽26的壁之间上浮。由此，气体供给装置22和开闭阀23向线电极10和被加工物25的间隙中的加工液供给氧。

气体供给控制部32在精加工时，进行使气体供给装置22停止氧气的供给并且将开闭阀23关闭的操作。气体供给装置22和开闭阀23使气泡从喷嘴27的释放停止。

气体供给装置22和开闭阀23在粗加工中，向线电极10和被加工物25的间隙供给氧气，在精加工中，停止氧气向线电极10和被加工物25的间隙的供给。如上所述，气体供给装置22和开闭阀23进行在线电极10和被加工物25的间隙中使加工液所含的氧的量在粗加工中比精加工多的调整。在实施方式1中，氧的量设为是加工液中的气泡的量，或者加工液中溶存的氧的量。

放电加工装置100在粗加工时，一边向线电极10和被加工物25的间隙供给氧一边使放电发生，由此使WC向钨(W)和碳(C)分解。由于氧的存在，引起由以下所示的化学反应式表示的WC的分解反应。

WC→W+C

2W+3O₂→2WO₃

C+O₂→CO₂↑

WC的分解反应是在比WC的熔点即大约2900℃低的温度即600℃至700℃中引起的。在与熔点相比接近常温的温度下进行WC的分解，因此与通过熔融实施的加工相比通过分解实施的加工更容易进行。因此，放电加工装置100在粗加工中，在通过熔融实施的加工中加入通过分解实施的加工，由此能够实现加工速度的提高。放电加工装置100通过粗加工中的加工速度的提高，从而能够缩短被加工物25的加工所需的时间。

放电加工装置100在精加工时，使氧向线电极10和被加工物25的间隙的供给停止。加工液所含的氧的量与在粗加工时向加工液供给氧气相比恢复为原来的量。在粗加工时向加工液中释放的气泡如上所述容易消失，因此能够容易地进行从存在有气泡的状况向没有气泡的状况的切换。

放电加工装置100在精加工中，在与粗加工时相比氧的量少的加工液中使放电发生，由此不进行通过WC的分解实施的加工，而是进行仅通过WC的溶解实施的加工。放电加工装置100不进行通过WC的分解实施的加工而是进行仅通过WC的溶解实施的加工，由此能够一边抑制加工面的品质恶化、一边进行加工。放电加工装置100通过抑制精加工中的加工面的品质恶化，从而能够在最终形状得到高品质的加工面。

在放电加工的加工液中有时除了水以外使用油，但水与油相比能够容易使氧溶存。在被加工物25的加工中使用的加工液为水，由此放电加工装置100能够容易地进行与精加工相比在粗加工中使加工液所含的氧的量增多的调整。

图3是表示由图1所示的放电加工装置100进行的放电加工方法的顺序的流程图。在步骤S1中，放电加工装置100从气体供给装置22送出氧气，并且将开闭阀23开启，由此开始氧气向被加工物25和线电极10的间隙的供给。在步骤S2中，放电加工装置100按照加工程序，进行被加工物25的粗加工。

放电加工装置100如果结束步骤S2的粗加工，则在步骤S3中，停止氧气从气体供给装置22的送出，并且将开闭阀23关闭，由此停止氧气的供给。在步骤S4中，放电加工装置100按照加工程序，进行被加工物25的精加工。放电加工装置100如果结束步骤S4的精加工，则结束图3所示的动作。

放电加工装置100所具有的控制装置20的功能是通过处理电路实现的。处理电路是在放电加工装置100的控制装置20搭载的专用的硬件。处理电路可以是在执行在存储器中储存的程序的处理器。

专用的硬件即处理电路为单一电路、复合电路、被程序化的处理器、被并行程序化的处理器、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)、FPGA(Field-Programmable Gate Array)或它们的组合。

控制装置20的功能可以通过由处理器执行在存储器中储存的程序而实现。处理器及存储器能够相互通信地连接。处理器为CPU(Central Processing Unit)、处理装置、运算装置、微处理器、微型计算机或DSP(Digital Signal Processor)。控制装置20所具有的加工控制部31、气体供给控制部32和线供给速度控制部33的各功能是通过处理器和软件、固件或软件和固件的组合而实现的。软件或固件作为程序被记述，储存于存储器。存储器是RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)、闪存、EPROM(ErasableProgrammable Read Only Memory)、EEPROM(注册商标)(Electrically ErasableProgrammable Read-Only Memory)等非易失性或者易失性的半导体存储器等内置存储器。

控制装置20的功能的一部分可以通过专用的硬件而实现，控制装置20的功能的其他部分可以通过软件或者固件而实现。如上所述，控制装置20的功能能够通过硬件、软件、固件或它们的组合而实现。

向线电极10和被加工物25的间隙供给的气体并不限定于纯物质即氧气，只要是含氧的混合气体即可。气体供给装置22也可以供给空气。在该情况下，气体供给装置22供给空气，由此对加工液所含的氧的量进行调整。气体供给装置22可以是从放电加工装置100的周围导入空气，将导入的空气送出的泵。

用于向下引导部14供给气泡的结构可以适当变更。图4是表示图1所示的放电加工装置100中的用于气泡供给的结构的变形例的图。在图4中示出了具有变形例所涉及的结构的下引导部51的剖面结构。在图4所示的变形例中，在粗加工中的空气供给时沿用用于对在下引导部51经过的线电极10进行输送的结构即通气路径53和通气口54。

在下引导部51设置有从下喷嘴16朝向带轮17的前方的线电极10的行进路径55。行进路径55之中的下喷嘴16侧的端部52成为随着朝向下方而直径变窄的漏斗形状。在下引导部51设置有供空气经过的通气口54和将通气口54和端部52相连的通气路径53。

在加工的准备中，在将从线轴11抽出的线电极10通向下引导部51时，从与通气口54连接的气体供给装置22经由通气路径53而向端部52送出空气。通过向端部52送出空气，从而从端部52向行进路径55的前方挤出加工液，产生朝向行进路径55的前方的加工液的流动。顺着加工液的流动，线电极10向行进路径55的前方被输送，由此线电极10经过下引导部51。在使线电极10输送的情况下，向端部52供给的空气的压力被调整为能够向行进路径55的前方使加工液与空气一起行进的压力。

放电加工装置100在粗加工中，从泵经由通气路径53向端部52送出空气。在粗加工的情况下，向端部52供给的空气的压力比使线电极10输送的情况弱。空气的压力弱，由此从通气路径53向端部52释放的气泡的大部分由于浮力而向下喷嘴16的方向上升。由此，放电加工装置100使用下引导部51中的用于线电极10的输送的结构而向线电极10和被加工物25的间隙供给空气。如上所述，放电加工装置100能够进行使线电极10和被加工物25的间隙中加工液所包含的空气的量在粗加工中比精加工多的调整。根据本变形例，放电加工装置100将用于线电极10的输送的通气路径53和通气口54利用于粗加工中的空气供给，因此与另外设置用于粗加工中的空气供给的结构的情况相比，能够减少部件个数。

放电加工装置100并不限定于从下方向线电极10和被加工物25的间隙供给氧的结构。放电加工装置100也可以从上方向线电极10和被加工物25的间隙供给气泡。放电加工装置100可以通过从上引导部13的上喷嘴15使气泡与加工液一起喷射，从而从上方向线电极10和被加工物25的间隙供给气泡。放电加工装置100为了从下方供给气泡，可以从下引导部14的下喷嘴16使气泡与加工液一起喷射。放电加工装置100在粗加工中，也可以从下方和上方这两者向线电极10和被加工物25的间隙供给气泡。放电加工装置100通过从下方和上方之中的至少一者向线电极10和被加工物25的间隙供给气泡，从而能够使加工液所含的氧的量在粗加工中比精加工多。

根据实施方式1，放电加工装置100通过气体供给装置22和开闭阀23，进行使加工液所含的氧的量在粗加工中比精加工多的调整。放电加工装置100通过在粗加工中使氧的量增多而促进超硬合金的分解，使加工速度提高。放电加工装置100通过在精加工中与粗加工时相比减少氧的量，从而取代超硬合金的分解而是进行通过超硬合金的熔融实施的加工。放电加工装置100在精加工中，能够一边抑制加工面的品质恶化一边进行加工。由此，放电加工装置100具有下述效果，即，能够缩短加工时间，并且能够得到高品质的加工面。

实施方式2.

图5是表示本发明的实施方式2所涉及的放电加工装置101的概略结构的图。放电加工装置101具有第1罐61和第2罐62，它们用于供给氧的量彼此不同的加工液。在实施方式2中，对与实施方式1相同的部分标注同一标号，主要对与实施方式1不同的结构进行说明。

在第1罐61设置有用于使加工液所包含的溶存氧增加的气泡发生装置。在第1罐61中储存的加工液即第1加工液通过气泡发生装置的工作，与通常的加工液相比溶存氧量增加。在第2罐62中对没有进行溶存氧的增加的通常的加工液即第2加工液进行储存。第1加工液所含的氧的量比在第2罐62中储存的第2加工液多。在实施方式2中，氧的量设为是加工液中的溶存氧量。

放电加工装置101具有氧量调整部即泵63、64和开闭阀65、66、67、68。泵63将在第1罐61中储存的第1加工液向配管71送出。配管71分支为2个。开闭阀65设置于分支为2个的配管71之中的一者。开闭阀66设置于分支为2个的配管71之中的另一者。泵64将在第2罐62中储存的第2加工液向配管72送出。配管72分支为2个。开闭阀67设置于分支为2个的配管72之中的一者。开闭阀68设置于分支为2个的配管72之中的另一者。

设置有开闭阀65的配管71和设置有开闭阀67的配管72彼此合流为1个配管60。配管60与上引导部13连接。设置有开闭阀66的配管71和设置有开闭阀68的配管72彼此合流为1个配管70。配管70与下引导部14连接。向上引导部13供给经过配管60的第1加工液和第2加工液。向下引导部14供给经过配管70的第1加工液和第2加工液。

图2所示的气体供给控制部32对泵63、64的动作和开闭阀65、66、67、68的开闭进行控制。在粗加工时，气体供给控制部32使泵63动作，并且使泵64停止。另外，气体供给控制部32进行将开闭阀65、66开启的操作，并且进行将开闭阀67、68关闭的操作。与泵63的动作一起将开闭阀65开启，由此从上引导部13的上喷嘴15喷射经过配管60向上引导部13供给的第1加工液。与泵63的动作一起将开闭阀66开启，由此从下引导部14的下喷嘴16喷射经过配管70向下引导部14供给的第1加工液。

在精加工时，气体供给控制部32使泵63停止，并且使泵64动作。另外，气体供给控制部32进行将开闭阀65、66关闭的操作，并且进行将开闭阀67、68开启的操作。与泵64的动作一起将开闭阀67开启，由此从上引导部13的上喷嘴15喷射经过配管60向上引导部13供给的第2加工液。与泵64的动作一起将开闭阀68开启，由此从下引导部14的下喷嘴16喷射经过配管70向下引导部14供给的第2加工液。

泵63、64和开闭阀65、66、67、68在粗加工中向线电极10和被加工物25的间隙供给第1加工液，在精加工中向线电极10和被加工物25的间隙供给第2加工液。由此，泵63、64和开闭阀65、66、67、68进行使线电极10和被加工物25的间隙中加工液所包含的氧气的量在粗加工中比精加工多的调整。

图6是表示由图5所示的放电加工装置101进行的放电加工方法的顺序的流程图。在步骤S11中，放电加工装置101使泵63动作，并且将开闭阀65、66开启，由此开始第1加工液向被加工物25和线电极10的间隙的供给。在步骤S12中，放电加工装置101按照加工程序，进行被加工物25的粗加工。

放电加工装置101如果结束步骤S12的粗加工，则在步骤S13中，使泵63的动作停止，并且将开闭阀65、66关闭，由此停止第1加工液的供给。另外，在步骤S13中，放电加工装置101使泵64动作，并且将开闭阀67、68开启，由此开始第2加工液向被加工物25和线电极10的间隙的供给。在步骤S14中，放电加工装置101按照加工程序，进行被加工物25的精加工。

放电加工装置101如果结束步骤S14的精加工，则在步骤S15中，使泵64的动作停止，并且将开闭阀67、68关闭，由此停止第2加工液的供给。由此，放电加工装置101结束图6所示的动作。

放电加工装置101并不限定于从上引导部13和下引导部14这两者供给第1加工液和第2加工液的结构。放电加工装置101也可以从上引导部13和下引导部14的一者供给第1加工液和第2加工液。放电加工装置101从上引导部13和下引导部14之中的至少一者供给第1加工液和第2加工液，由此能够使加工液所含的氧的量在粗加工中比精加工多。

根据实施方式2，放电加工装置101在粗加工中供给第1加工液，在精加工中供给第2加工液，由此进行使线电极10和被加工物25的间隙中的加工液所含的氧的量在粗加工中比精加工多的调整。由此，放电加工装置101具有下述效果，即，能够缩短加工时间，并且能够得到高品质的加工面。

实施方式3.

图7是表示本发明的实施方式3所涉及的放电加工装置102的概略结构的图。放电加工装置102具有冷却装置82，该冷却装置82与精加工相比在粗加工中提高冷却强度而对加工液进行冷却。在实施方式3中，对与实施方式1及2相同的部分标注同一标号，主要对与实施方式1及2不同的结构进行说明。

放电加工装置102具有对加工液进行储存的罐80。罐80对经过冷却装置82之前的加工液进行储存。泵81将在罐80中储存的加工液经由冷却装置82向配管73输送。冷却装置82对来自罐80的加工液进行冷却。配管73分支为2个配管60、70。配管60与上引导部13连接。配管70与下引导部14连接。向上引导部13供给经过配管60后的加工液。向下引导部14供给经过配管70后的加工液。

已知加工液的温度越低，则加工液的溶存氧量变得越多。氧量调整部即冷却装置82在粗加工中对加工液进行冷却，并且在精加工中停止加工液的冷却，由此与精加工相比在粗加工中降低加工液的温度。冷却装置82通过与精加工相比在粗加工中降低加工液的温度，从而进行使加工液所含的氧的量在粗加工中比精加工多的调整。冷却装置82在粗加工和精加工两者中对加工液进行冷却的情况下，与精加工相比在粗加工中提高冷却强度而对加工液进行冷却，由此与精加工相比在粗加工中降低加工液的温度。在实施方式2中，氧的量设为是加工液中的溶存氧量。

图2所示的气体供给控制部32对泵81的动作和冷却装置82的动作进行控制。气体供给控制部32在粗加工中使冷却装置82进行冷却，并且在精加工中停止通过冷却装置82进行的冷却。或者，气体供给控制部32进行使粗加工中的冷却装置82中的冷却强度比精加工中的冷却装置82中的冷却强度强的控制。

图8是表示由图7所示的放电加工装置102进行的放电加工方法的顺序的流程图。在步骤S21中，放电加工装置102开始由冷却装置82冷却后的加工液的供给。放电加工装置102向被加工物25和线电极10的间隙供给加工液。在步骤S22中，放电加工装置102按照加工程序，进行被加工物25的粗加工。

放电加工装置102如果结束步骤S22的粗加工，则减弱由冷却装置82进行的冷却的强度。在步骤S23中，放电加工装置102开始减弱强度而冷却后的加工液的供给。放电加工装置102向被加工物25和线电极10的间隙供给加工液。在步骤S24中，放电加工装置102按照加工程序，进行被加工物25的精加工。

放电加工装置102如果结束步骤S24的精加工，则在步骤S25中，停止由冷却装置82进行的加工液的冷却，并且停止由泵81进行的加工液的供给。此外，冷却装置82也可以通过上述的步骤S23而停止加工液的冷却。由此，放电加工装置102结束图8所示的动作。

放电加工装置102并不限定于从上引导部13和下引导部14这两者供给加工液的结构。放电加工装置102也可以从上引导部13和下引导部14的一者供给加工液。放电加工装置102通过从上引导部13和下引导部14之中的至少一者供给加工液，并且使加工液的温度变化，从而能够使加工液所含的氧的量在粗加工中比精加工多。

在实施方式3中，放电加工装置102与精加工相比在粗加工中降低加工液的温度，由此进行使线电极10和被加工物25的间隙中的加工液所含的氧的量在粗加工中比精加工多的调整。由此，放电加工装置102具有下述效果，即，能够缩短加工时间，并且能够得到高品质的加工面。

以上的实施方式所示的结构，表示本发明的内容的一个例子，也能够与其他公知技术进行组合，在不脱离本发明的主旨的范围，也能够对结构的一部分进行省略、变更。

标号的说明

10线电极，11线轴，12、17带轮，13上引导部，14、51下引导部，15上喷嘴，16下喷嘴，18供电件，19加工槽，20控制装置，21加工电源，22气体供给装置，23、65、66、67、68开闭阀，24、60、70、71、72、73配管，25被加工物，26加工槽，27喷嘴，31加工控制部，32气体供给控制部，33线供给速度控制部，52端部，53通气路径，54通气口，55行进路径，61第1罐，62第2罐，63、64、81泵，80罐，82冷却装置，100、101、102放电加工装置。

Claims (9)

1.一种放电加工装置，其在线电极和被加工物之间施加电压，在加工液中，通过在所述线电极和所述被加工物的间隙产生放电，从而对所述被加工物进行加工，

该放电加工装置的特征在于，具有：

加工控制部，其对第1加工和第2加工进行控制，该第1加工以第1尺寸精度从所述被加工物切出目标形状，该第2加工以比所述第1尺寸精度高的第2尺寸精度从实施所述第1加工后的所述被加工物切出目标形状；以及

氧量调整部，其进行使所述加工液所含的氧的量在所述第1加工中比所述第2加工多的调整。

2.根据权利要求1所述的放电加工装置，其特征在于，

所述氧量调整部通过将含氧的气体向所述间隙供给，从而进行所述调整。

3.根据权利要求1或2所述的放电加工装置，其特征在于，

具有引导部，该引导部引导所述线电极的行进，

所述氧量调整部在所述第1加工中将含氧的气体向所述引导部供给，在所述第2加工中停止含氧的气体的供给，由此进行所述调整。

4.根据权利要求3所述的放电加工装置，其特征在于，

在所述引导部设置有通气路径，该通气路径供用于输送所述线电极的空气经过，

所述氧量调整部将含氧的所述气体向所述通气路径供给。

5.根据权利要求1所述的放电加工装置，其特征在于，

具有第1罐及第2罐，它们对所述加工液进行储存，

在所述第1罐中储存的所述加工液即第1加工液所含的氧的量，比在所述第2罐中储存的所述加工液即第2加工液多，

所述氧量调整部在所述第1加工中向所述间隙供给所述第1加工液，且在所述第2加工中向所述间隙供给所述第2加工液，由此进行所述调整。

6.根据权利要求1所述的放电加工装置，其特征在于，

所述氧量调整部通过与所述第2加工相比在所述第1加工中降低所述加工液的温度，从而进行所述调整。

7.一种放电加工方法，其在线电极和被加工物之间施加电压，在加工液中，通过在所述线电极和所述被加工物的间隙产生放电，从而对所述被加工物进行加工，

该放电加工方法的特征在于，包含下述工序：

进行第1加工，该第1加工使所述间隙中的加工液所含的氧的量增大，以第1尺寸精度从所述被加工物切出目标形状；以及

进行第2加工，该第2加工使所述间隙中的加工液所含的氧的量与所述第1加工时相比减少，以比所述第1尺寸精度高的第2尺寸精度从实施所述第1加工后的所述被加工物切出目标形状。

8.根据权利要求7所述的放电加工方法，其特征在于，

所述被加工物为超硬合金。

9.根据权利要求7或8所述的放电加工方法，其特征在于，

所述加工液为水。

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