CN112518725A - 一种上下料机械臂的传动机构 - Google Patents

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CN112518725A CN202010933473.2A CN202010933473A CN112518725A CN 112518725 A CN112518725 A CN 112518725A CN 202010933473 A CN202010933473 A CN 202010933473A CN 112518725 A CN112518725 A CN 112518725A
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孙文杰
王和
陆柄宇
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SUZHOU HRT ELECTRONIC EQUIPMENT TECHNOLOGY CO LTD
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Abstract

本发明公开了一种上下料机械臂的传动机构，包括安装架组件、丝杠组件、支架组件、旋转台、机械臂伸缩组件、机械手气路系统、真空头组件，所述丝杠组件置于安装架组件外侧中央位置；所述旋转台置于支架组件上方中央位置，所述机械手气路系统位于支架组件下方，并与安装架组件相连接；所述机械臂伸缩组件位于旋转台上方，所述真空头组件连接于机械臂伸缩组件的末端。该传动机构可以实现真空吸附、前后伸缩、左右摇摆、上下抬升及正反翻转的动作，有效的实现在上下料过程中的精准定位、快速转运、高效查验等作业，保证设备安全稳定运行，使上下料更加便捷化、有效提高生产效率。

Description

一种上下料机械臂的传动机构
技术领域
本发明涉及机械臂领域，具体涉及一种上下料机械臂的传动机构。
背景技术
单面抛光机是目前单晶硅、多晶硅及电子级硅、蓝宝石等硬脆材料加工的主要设备，由于工件的尺寸越来越大，工件载体的尺寸也随之越来越大，不便于进行人力搬运，且效率较低，而该上下料机械臂可以大大提高转运过程的效率和安全性，降低人力成本，实现高效自动化上下料。
发明内容
本发明的目的在于提供一种上下料机械臂的传动机构，能够实现机械臂的前后伸缩、左右摇摆、上下抬升及正反翻转的动作实现。
为了实现上述目的，本发明提供以下技术方案：
一种上下料机械臂的传动机构，包括安装架组件、丝杠组件、支架组件、旋转台、机械臂伸缩组件、机械手气路系统、真空头组件，所述丝杠组件置于安装架组件外侧中央位置；所述旋转台置于支架组件上方中央位置，所述机械手气路系统位于支架组件下方，并与安装架组件相连接；所述机械臂伸缩组件位于旋转台上方，所述真空头组件连接于机械臂伸缩组件的末端。
进一步的，所述机械臂伸缩组件包括前旋转基座板组件、翻转电机安装支架组件、直线轴、直线轴承套、连接套、石墨铜套、轴承销轴、气缸、减速机、浮动接头、电机、支架板、移动支架板。
进一步的，所述直线轴和直线轴承套组合并与石墨铜套配合后整体装配于旋转基座板组件上；气缸经支架板、连接套与直线轴连接，并驱动机械臂完成伸缩动作。
进一步的，所述的电机和减速机组合安装固定于翻转电机安装支架组件上，经移动支架板导向后，驱动机械臂完成翻转动作。
进一步的，所述丝杠组件包括：丝杠、丝杠转接座、轴承座、内隔套、电机、联轴器、线性导轨。
进一步的，所述的丝杠转接座固定于支架组件，旋转台置于支架组件上方中央位置，丝杠与丝杠转接座、轴承座、内隔套组合装配，并由联轴器与电机连接驱动在线性导轨的导向作用下完成机械臂的升降动作。
进一步的，所述真空头组件包括前臂轴、中心轴、真空盘和吸盘固定架，所述中心轴配合装入前臂轴，所述真空盘固定于吸盘固定架上并连接于中心轴下方，中心轴上方外接真空泵，并由其驱动完成真空吸附动作。
进一步的，所述旋转台的后侧与电机相连，驱动机械臂完成左右摆动动作。
有益效果：本发明提供了一种上下料机械臂的传动机构，该传动机构能够有效实现真空吸附、前后伸缩、左右摇摆、上下抬升及正反翻转动作，该机构的各动作功能独立驱动，又互不干涉同时进行，可以提高上下料工作效率，实现不同工作环境下的上下料工作。
附图说明
图1 是本发明所述传动机构的结构示意图。
图2 是本发明所述机械臂伸缩组件的结构示意图。
图3 是本发明所述真空吸附组件的结构示意图。
图4 是本发明所述丝杠组件的结构示意图；
具体实施方式
下面结合具体实施例来进一步描述本发明，但实施例仅是范例性的，并不对本发明的范围构成任何限制。本领域技术人员应该理解的是，在不偏离本发明的精神和范围下可以对本发明技术方案的细节和形式进行修改或替换，但这些修改和替换均落入本发明的保护范围内。
一种上下料机械臂的传动机构，如图1所示，包括安装架组件1、丝杠组件2、支架组件3、旋转台4、机械臂伸缩组件5、机械手气路系统6、真空头组件7，所述丝杠组件2置于安装架组件1外侧中央位置；所述旋转台4置于支架组件3上方中央位置，所述机械手气路系统6位于支架组件3下方，并与安装架组件1相连接；所述机械臂伸缩组件5位于旋转台4上方，所述真空头组件7连接于机械臂伸缩组件5的末端。
如图2所示，所述机械臂伸缩组件包括前旋转基座板组件101、翻转电机安装支架组件102、直线轴103、直线轴承套104、连接套105、石墨铜套106、轴承销轴107、气缸108、减速机109、浮动接头110、电机111、支架板112、移动支架板113。
所述直线轴103和直线轴承套104组合并与石墨铜套106配合后整体装配于旋转基座板组件101上；气缸108经支架板112、连接套105与直线轴103连接，并驱动机械臂完成伸缩动作。
所述上下料机械臂的传动结构的机械臂伸缩组件中采用轴承套座和两组轴承套定位方式，并采用了石墨铜套的配合方式，提高直线轴的同心度，使机械臂的定位更加精准，提高了整个设备运行的稳定性和精确度；
所述的电机111和减速机109组合安装固定于翻转电机安装支架组件102上，经移动支架板113导向后，驱动机械臂完成翻转动作。
如图4所示，所述丝杠组件包括：丝杠201、丝杠转接座202、轴承座203、内隔套204、电机205、联轴器206、线性导轨207，由前后两个轴承座和对整条丝杠进行位置定位，提高垂直方向的位置精度；
所述的丝杠转接座202固定于支架组件3，旋转台4置于支架组件3上方中央位置，丝杠201与丝杠转接座202、轴承座203、内隔套204组合装配，并由联轴器206与电机205连接驱动完成机械臂的升降动作。
如图3所示，所述真空头组件7包括前臂轴701、中心轴702、真空盘703和吸盘固定架704，所述中心轴702配合装入前臂轴701，所述真空盘703固定于吸盘固定架704上并连接于中心轴702下方，中心轴702上方外接真空泵，并由其驱动完成真空吸附动作；吸盘固定架下方带有密封圈，可以有效调高吸附效果。
所述旋转台4的后侧与电机相连，驱动机械臂完成左右摆动动作。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

Claims (8)

1.一种上下料机械臂的传动机构，其特征在于，包括安装架组件（1）、丝杠组件（2）、支架组件（3）、旋转台（4）、机械臂伸缩组件（5）、机械手气路系统（6）、真空头组件（7），所述丝杠组件（2）置于安装架组件（1）外侧中央位置；所述旋转台（4）置于支架组件（3）上方中央位置，所述机械手气路系统（6）位于支架组件（3）下方，并与安装架组件（1）相连接；所述机械臂伸缩组件（5）位于旋转台（4）上方，所述真空头组件（7）连接于机械臂伸缩组件（5）的末端。
2.如权利要求1所述的一种上下料机械臂的传动机构，其特征在于，所述机械臂伸缩组件包括前旋转基座板组件（101）、翻转电机安装支架组件（102）、直线轴（103）、直线轴承套（104）、连接套（105）、石墨铜套（106）、轴承销轴（107）、气缸（108）、减速机（109）、浮动接头（110）、电机（111）、支架板（112）、移动支架板（113）。
3.如权利要求2所述的一种上下料机械臂的传动机构，其特征在于，所述直线轴（103）和直线轴承套（104）组合并与石墨铜套（106）配合后整体装配于旋转基座板组件（101）上；气缸（108）经支架板（112）、浮动接头（110）、连接套（105）与直线轴（103）连接，并驱动机械臂完成伸缩动作。
4.如权利要求2所述的一种上下料机械臂的传动机构，其特征在于，所述电机（111）和减速机（109）组合安装固定于翻转电机安装支架组件（102）上，经移动支架板（113）导向后，驱动机械臂完成翻转动作。
5.如权利要求1所述的一种上下料机械臂的传动机构，其特征在于，所述丝杠组件包括：丝杠（201）、丝杠转接座（202）、轴承座（203）、内隔套（204）、电机（205）、联轴器（206）、线性导轨（207）。
6.如权利要求5所述的一种上下料机械臂的传动机构，其特征在于，所述的丝杠转接座（202）固定于支架组件（3），旋转台（4）置于支架组件（3）上方中央位置；所述的丝杠（201）与丝杠转接座（202）、轴承座（203）、内隔套（204）组合装配，；并由联轴器（206）与电机（205）连接驱动在线性导轨（207）导向作用下完成机械臂的升降动作。
7.如权利要求1所述的一种上下料机械臂的传动机构，其特征在于，所述真空头组件（7）包括前臂轴（701）、中心轴（702）、真空盘（703）和吸盘固定架（704），所述中心轴（702）配合装入前臂轴（701），所述真空盘（703）固定于吸盘固定架（704）上并连接于中心轴（702）下方，中心轴（702）上方外接真空泵，并由其驱动完成真空吸附动作。
8.如权利要求1所述的一种上下料机械臂的传动机构，其特征在于，所述旋转台（4）的后侧与电机相连，驱动机械臂完成左右摆动动作。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN113352336A (zh) * 2021-06-04 2021-09-07 上海广川科技有限公司 一种用于晶圆翻转的后置偏心装置

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