CN112499944B - 一种石英制品抽真空设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种石英制品抽真空设备，包括设备框架，所述设备框架包括工作基台，所述工作基台下方设置有连通于石英制品内腔的抽真空组件，所述工作基台上设置有产品密封组件，所述产品密封组件抵接石英制品，所述产品密封组件包括有柔性密封部，所述柔性密封部可包覆密封石英制品上的通口。通过产品密封组件上的柔性密封部对石英制品上的通口进行包覆密封，确保柔性密封部能够伴随石英产品形变调整位置，保证密封效果不受影响，有效提升抽真空测试结果的精确性。

Description

一种石英制品抽真空设备

技术领域

本发明涉及石英玻璃加工技术领域，尤其是涉及一种石英制品抽真空设备。

背景技术

随着半导体行业发展，硅片加工设备厂商设计开发加工机台在真空环境内进行硅片生产制造。石英制品作为硅片加工过程中重要部件，随着设备的改进，石英制品结构相应的改进升级，加工难度越来越高。为保证石英制品品质符合要求，不会出现裂缝造成密封失效，不会在使用过程中破碎而造成额外的损失，要求石英制品在出厂检测时增加抽真空检测确保石英制品符合设计要求。目前对石英制品抽真空检测时，大多采用O圈密封的方式对石英制品的通口进行密封，但这种密封方式在抽真空检测过程中无法匹配石英制品所产生的形变，容易产生真空泄漏而导致检测结果不准确。

例如一种在中国专利文献上公开的“一种石英管高真空密封结构”，其公告号“CN210287587U”，包括设于石英管端部的密封件、设于密封件和石英管之间的第一密封圈和第二密封圈、用于将密封件锁紧在石英管端部的锁紧机构、设于密封件中的位于第一密封圈和第二密封圈之间的环形间隙、开设于密封件上的与环形间隙连通的抽气口；第一密封圈和第二密封圈具有水平排列状态和竖直排列状态；第一密封圈和第二密封圈处于竖直排列状态时，密封结构还包括设于环形间隙中的环形隔垫、开设于环形隔垫上的且相互连通的第一气孔和第二气孔，第一气孔与抽气口连通，第二气孔用于连通第一密封圈和第二密封圈。这种结构通过双层密封圈进行双层密封，但是这种结构在石英制品因温度或压力作用下产生形变时，无法跟贴石英制品进行同步运动，故依然存在泄露风险。

发明内容

针对现有技术中，石英制品抽真空过程中发生形变时，真空设备的密封结构无法同步跟进形变以避免密封失效的问题，本发明提供了一种石英制品抽真空设备，通过产品密封组件上的柔性密封部对石英制品上的通口进行包覆密封，确保柔性密封部能够伴随石英产品形变调整位置，保证密封效果不受影响，有效提升抽真空测试结果的精确性。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种石英制品抽真空设备，包括设备框架，所述设备框架包括工作基台，所述工作基台下方设置有连通于石英制品内腔的抽真空组件，所述工作基台上设置有产品密封组件，所述产品密封组件抵接石英制品，所述产品密封组件包括有柔性密封部，所述柔性密封部可包覆密封石英制品上的通口。所述工作基台用于安置石英制品，确保在抽真空过程中石英制品足够稳定。柔性密封部能对石英制品的通口进行包覆贴合，当石英制品在抽真空过程中形变，柔性密封部始终贴合通口边沿，以此实现密封结构的密封稳定性。所述石英制品的主体为长方体结构，所述石英制品的通口分别位于长方体沿长度方向的两侧面，所述通口为长方形通槽。而柔性密封部则对长方形通槽的长边进行包覆密封，因为在抽真空过程中，石英制品的形变主要发生在石英制品的长边方向上，具体的表现为石英制品的顶面与底面沿石英制品长边方向收缩，石英制品沿长度方向的两侧面向石英制品中部移动，在这种变化中，柔性密封部始终包覆于通口边沿的长边。

作为优选，所述产品密封组件包括内部设置有密封腔的密封块，所述密封腔内设置有沿密封块宽度方向延伸的滑轨，所述滑轨上设置有电磁铁组件和滑移块，所述柔性密封部设置于密封块的内侧面，所述柔性密封部与滑移块连接，所述柔性密封部为片体，所述柔性密封部包括有铁制牵引条。所述电磁铁组件设置于密封块内部，所述柔性密封部伸入石英制品通口内，而在电磁铁的作用下，设置有铁制牵引条的柔性密封部贴合通口内壁，配合密封块的内侧面实现对石英制品通口的夹合式包覆密封。所述滑移块贯通密封块设置，所述滑移块一端与柔性密封部连接，另一端设置于密封块外侧。

作为优选，所述密封块内侧面还设置有静密封部，所述静密封部包括沿密封块内侧面边缘设置的密封槽，所述密封槽内设置有密封圈。所述静密封部的密封圈对石英制品的通口进行覆盖密封，所述密封圈为环形结构，由于柔性密封部主要对石英制品通口的长边进行密封，故静密封部与柔性密封部互补，不但能对石英制品通口的短边进行密封，也能在柔性密封部的基础上实现整体密封。

进一步的，所述柔性密封部包括沿密封块中轴线对称设置的上密封部和下密封部，所述上密封部包括有弹性密封件，所述弹性密封件顶部设置有安置槽，所述铁制牵引条设置于安置槽中。所述上密封部用于包覆石英制品通口的上侧长边，所述下密封部用于包覆石英制品通口的下侧长边。所述铁制牵引条设置于弹性密封件的外侧，当电磁铁启动时，能对石英制品通口另一侧的铁制牵引条进行强吸引，由于铁制牵引条为软性绳索，在电磁铁的作用下，故能够紧贴石英制品内壁以靠近电磁铁。由于铁制牵引条嵌合安装在安置槽中，故铁制牵引条远离电磁铁的一端被弹性密封件包裹，当铁制牵引条贴合石英制品内壁时，弹性密封件亦贴合于石英制品内壁。而值得注意的是，铁制牵引条自由端的弹性密封件与石英制品的光滑内壁紧紧贴合，以此实现有效密封。

进一步的，所述电磁铁组件包括上磁组和下磁组，所述上磁组设置于上密封部远离密封块内侧面的一侧，所述下磁组设置于下密封部远离密封块内侧面的一侧，所述上磁组和下磁组尾部分别设置有延伸至密封块外侧的连接部，所述上磁组底部和下磁组顶部均设置有滑移块，所述两滑移块之间设置有伸缩杆。当两片柔性密封部伸入石英制品通口后，电磁铁启动，由于每个产品的通口宽度均有差异，故通过两滑移块分别驱动上、下磁组向上、下两侧移动，使得柔性密封部同步移动直至靠合通口的上、下边沿；在靠合完成后，通过上磁组尾部的连接部将上侧电磁铁继续向上移动，通过下磁组尾部的连接部将下侧电磁铁继续向下移动，两组铁制牵引条自然对所对应的通口边沿进行包覆，并在包覆完成后隔着石英制品的侧面保持向电磁铁所在方向的靠合状态，以此保证铁制牵引条及其背部的弹性密封件对通口进行夹合式包覆密封。所述伸缩杆则用于通过电机驱动滑移块移动，以此保证柔性密封部对石英制品通口的包覆密封顺利完成。

作为优选，所述伸缩杆外部套合设置有调节臂，所述调节臂铰接于设备框架。所述调节臂用于调整产品密封组件与石英制品侧面上通口的距离，当石英制品放置于工作基台上的预设位置后，悬臂转动，使得产品密封组件靠近并抵接石英制品的侧面，所述悬臂对石英制品的抵接力及悬臂的摆动后维持力通过试验得到，以确保静密封面完成对石英制品的侧面密封为适宜。当石英制品发生形变沿长度方向收缩时，铁制牵引条始终对通口保持包覆状态，且悬臂始终与石英制品侧面为“微抵接”状态，既不会因为石英制品的收缩造成密封失效，亦不会同传统的压合密封结构对石英制品造成较大的水平方向力，该水平方向力会对石英制品的强度造成影响，同时会影响抽真空过程中升降触头上压力传感器的信息收集。

作为优选，所述设备框架上设置有减震组件，所述减震组件包括设置于工作基台与设备框架之间的减震器。所述减震组件用于将抽真空工作过程中产生的振动进行削弱，避免其振动影响石英制品的泵体以及产品密封组件与石英制品之间的密封结构，减震组件有效提高石英制品的结构稳定性和密封稳定性。

所述工作基台上设置有产品检测组件，所述产品检测组件包括设置于石英制品上方的升降触头，所述升降触头上设置有压力传感器；所述设备框架上设置有控制单元，所述压力传感器的数据输出端与控制单元的数据接收端连接。升降触头通过压力传感器实时监测抽真空过程中石英制品的压力变化，并将监测数据反馈与控制单元，能够及时发现异常，降低产品破碎风险。升降触头进行监测时，会预先对石英制品顶面施加一个预测试力，这个预测试力既能保证升降触头与石英制品接触，在测试过程中仅需要对预测试力的变化值进行记录，即可对抽真空过程进行监测。若悬臂对石英制品造成较大的水平方向力，在升降触头的抵接测试过程中，水平方向力会产生力矩影响压力传感器的测试数据，因此会对抽真空测试结果造成严重干扰，甚至会造成石英制品的弯折破裂。

作为优选，所述抽真空组件包括彼此连通的真空泵和真空罐，所述真空罐与石英制品内腔连通，所述真空泵与控制单元连接。所述真空泵配合控制单元实现抽真空工作，所述控制单元依据程序控制真空泵及真空罐，以设定的参数值抽出空气，控制单元依据不同的产品设定抽真空程序，确保设备每次使用过程稳定可控。真空泵依据程序控制可以进行石英制品保压试验。所述控制单元外接有显示系统和打印系统，在试验过程中，显示系统实时显示重要参数，打印系统依据程序控制打印相关报表。所述真空罐用于对产品进行压力稳定试验。

作为优选，所述设备框架上设置有泄压阀，所述泄压阀连通于真空罐，所述泄压阀与控制单元连接。泄压阀可以依据控制单元的对真空罐进行泄压，已实现石英制品稳定泄压，确保设备使用过程稳定可控，避免石英制品在抽真空实现时出现压力异常造成破碎。

因此，本发明具有如下有益效果：（1）通过产品密封组件上的柔性密封部对石英制品上的通口进行包覆密封，确保柔性密封部能够伴随石英产品形变调整位置，保证密封效果不受影响，有效提升抽真空测试结果的精确性；（2）静密封部与柔性密封部互补，对石英制品的通口进行覆盖密封；（3）在电磁铁的作用下，铁制牵引条能够紧贴石英制品内壁以靠近电磁铁，以此保证包裹连接于铁制牵引条外部的弹性密封件对石英制品通口进行包覆式密封；（4）在柔性密封部的包覆式密封状态下，悬臂与石英制品侧面仅保持“微抵接”状态，避免悬臂产生的水平方向力造成压力传感器的测试效果失真；（5）泄压阀可以确保设备使用过程稳定可控，避免石英制品在抽真空实现时出现压力异常造成破碎。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2为图1中石英制品的轴测图。

图3为图1中石英制品的结构示意图。

图4为图1中产品密封组件的结构示意图。

图5为图1中产品密封组件的工作示意图。

图中：100、设备框架，101、工作基台，102、泄压阀，103、定位块，1、抽真空组件，11、真空泵，12、真空罐，2、产品密封组件，3、柔性密封部，31、铁制牵引条，32、弹性密封件，4、密封块，401、密封槽，402、密封圈，41、密封腔，42、滑轨，43、电磁铁组件，431、上磁组，432、下磁组，433、连接部，44、滑移块，45、伸缩杆，5、调节臂，6、减震组件，7、产品检测组件，71、升降触头，72、压力传感器，8、控制单元，81、显示系统，9、石英制品，91，通口，92、长方体结构，93、连接管，10、打印系统。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本发明做进一步的描述。所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例

如图1所示，一种石英制品抽真空设备，包括设备框架100，所述设备框架包括工作基台101，所述工作基台下方设置有连通于石英制品9内腔的抽真空组件1，所述工作基台上设置有产品密封组件2，所述产品密封组件抵接石英制品，所述产品密封组件包括有柔性密封部3，所述柔性密封部可包覆密封石英制品上的通口91。所述工作基台用于安置石英制品，确保在抽真空过程中石英制品足够稳定。柔性密封部能对石英制品的通口进行包覆贴合，当石英制品在抽真空过程中形变，柔性密封部始终贴合通口边沿，以此实现密封结构的密封稳定性。如图2、3所示，所述石英制品的主体为长方体结构92，所述石英制品的通口分别位于长方体沿长度方向的两侧面，所述通口为长方形通槽。而柔性密封部则对长方形通槽的长边进行包覆密封，因为在抽真空过程中，石英制品的形变主要发生在石英制品的长边方向上，具体的表现为石英制品的顶面与底面沿石英制品长边方向收缩，石英制品沿长度方向的两侧面向石英制品中部移动，在这种变化中，柔性密封部始终包覆于通口边沿的长边。本实施例中，工作基台采用大理石制作，表面平面度好，耐重压。台面上设计预留有装配孔，便于装配不同的工装夹具，使得设备具有较高的通用性，无需订购其他辅助设备，节约生产资源。

如图4所示，所述产品密封组件包括内部设置有密封腔41的密封块4，所述密封腔内设置有沿密封块宽度方向延伸的滑轨42，所述滑轨上设置有电磁铁组件43和滑移块44，所述柔性密封部设置于密封块的内侧面，所述柔性密封部与滑移块连接，所述柔性密封部为片体，所述柔性密封部包括有铁制牵引条31。所述密封块内侧面还设置有静密封部，所述静密封部包括沿密封块内侧面边缘设置的密封槽401，所述密封槽内设置有密封圈402。所述柔性密封部包括沿密封块中轴线对称设置的上密封部和下密封部，所述上密封部包括有弹性密封件32，所述弹性密封件顶部设置有安置槽，所述铁制牵引条设置于安置槽中。所述电磁铁组件设置于密封块内部，所述柔性密封部伸入石英制品通口内，而在电磁铁的作用下，设置有铁制牵引条的柔性密封部贴合通口内壁，配合密封块的内侧面实现对石英制品通口的夹合式包覆密封。所述静密封部的密封圈对石英制品的通口进行覆盖密封，所述密封圈为环形结构，由于柔性密封部主要对石英制品通口的长边进行密封，故静密封部与柔性密封部互补，不但能对石英制品通口的短边进行密封，也能在柔性密封部的基础上实现整体密封。所述上密封部用于包覆石英制品通口的上侧长边，所述下密封部用于包覆石英制品通口的下侧长边。所述铁制牵引条设置于弹性密封件的外侧，当电磁铁启动时，能对石英制品通口另一侧的铁制牵引条进行强吸引，由于铁制牵引条为铁制软性绳索，在电磁铁的作用下，故能够紧贴石英制品内壁以靠近电磁铁。由于铁制牵引条嵌合安装在安置槽中，故铁制牵引条远离电磁铁的一端被弹性密封件包裹，当铁制牵引条贴合石英制品内壁时，弹性密封件亦贴合于石英制品内壁。而值得注意的是，铁制牵引条自由端的弹性密封件与石英制品的光滑内壁紧紧贴合，以此实现有效密封。

所述电磁铁组件包括上磁组431和下磁组432，所述上磁组设置于上密封部远离密封块内侧面的一侧，所述下磁组设置于下密封部远离密封块内侧面的一侧，所述上磁组和下磁组尾部分别设置有延伸至密封块外侧的连接部433，所述上磁组底部和下磁组顶部均设置有滑移块，所述两滑移块之间设置有伸缩杆45。当两片柔性密封部伸入石英制品通口后，电磁铁启动，由于每个产品的通口宽度均有差异，故通过两滑移块分别驱动上、下磁组向上、下两侧移动，使得柔性密封部同步移动直至靠合通口的上、下边沿；在靠合完成后，通过上磁组尾部的连接部将上侧电磁铁继续向上移动，通过下磁组尾部的连接部将下侧电磁铁继续向下移动，两组铁制牵引条自然对所对应的通口边沿进行包覆，并在包覆完成后隔着石英制品的侧面保持向电磁铁所在方向的靠合状态，以此保证铁制牵引条及其背部的弹性密封件对通口进行夹合式包覆密封。所述伸缩杆则用于通过电机驱动滑移块移动，以此保证柔性密封部对石英制品通口的包覆密封顺利完成。所述伸缩杆外部套合设置有调节臂5，所述调节臂铰接于设备框架。所述调节臂用于调整产品密封组件与石英制品侧面上通口的距离，当石英制品放置于工作基台上的预设位置后，悬臂转动，使得产品密封组件靠近并抵接石英制品的侧面。

所述工作基台上设置有产品检测组件7，所述产品检测组件包括设置于石英制品上方的升降触头71，所述升降触头上设置有压力传感器72；所述设备框架上设置有控制单元8，所述压力传感器的数据输出端与控制单元的数据接收端连接。所述悬臂对石英制品的抵接力及悬臂的摆动后维持力通过试验得到，以确保静密封面完成对石英制品的侧面密封为适宜。当石英制品发生形变沿长度方向收缩时，铁制牵引条始终对通口保持包覆状态，且悬臂始终与石英制品侧面为“微抵接”状态，既不会因为石英制品的收缩造成密封失效，亦不会同传统的压合密封结构对石英制品造成较大的水平方向力，该水平方向力会对石英制品的强度造成影响，同时会影响抽真空过程中升降触头上压力传感器的信息收集。升降触头通过压力传感器实时监测抽真空过程中石英制品的压力变化，并将监测数据反馈与控制单元，能够及时发现异常，降低产品破碎风险。升降触头进行监测时，会预先对石英制品顶面施加一个预测试力，这个预测试力既能保证升降触头与石英制品接触，在测试过程中仅需要对预测试力的变化值进行记录，即可对抽真空过程进行监测。若悬臂对石英制品造成较大的水平方向力，在升降触头的抵接测试过程中，水平方向力会产生力矩影响压力传感器的测试数据，因此会对抽真空测试结果造成严重干扰，甚至会造成石英制品的弯折破裂。

所述抽真空组件包括彼此连通的真空泵11和真空罐12，所述真空罐与石英制品内腔连通，所述真空泵与控制单元连接。所述设备框架上设置有泄压阀102，所述泄压阀连通于真空罐，所述泄压阀与控制单元连接。所述真空泵配合控制单元实现抽真空工作，所述控制单元依据程序控制真空泵及真空罐，以设定的参数值抽出空气，控制单元依据不同的产品设定抽真空程序，确保设备每次使用过程稳定可控。真空泵依据程序控制可以进行石英制品保压试验。所述控制单元外接有显示系统81和打印系统10，在试验过程中，显示系统实时显示重要参数，打印系统依据程序控制打印相关报表。所述真空罐用于对产品进行压力稳定试验。泄压阀可以依据控制单元的对真空罐进行泄压，已实现石英制品稳定泄压，确保设备使用过程稳定可控，避免石英制品在抽真空实现时出现压力异常造成破碎。本实施例中，真空泵、真空罐与石英制品通过真空管路连接。

所述设备框架上设置有减震组件6，所述减震组件包括设置于工作基台与设备框架之间的减震器。所述减震组件用于将抽真空工作过程中产生的振动进行削弱，避免其振动影响石英制品的泵体以及产品密封组件与石英制品之间的密封结构，减震组件有效提高石英制品的结构稳定性和密封稳定性。

如图5所示，本实施例中，石英制品抽真空设备用于石英制品进行抽真空检测。石英制品包括上部的长方体结构92和下部的连接管93。控制单元采用计算机控制系统。设备框架接电启动后，设备计算机控制系统进行自检及预热。通过自检后，将石英制品摆放在工作基台上的定位块103上，将悬臂上的产品密封组件与长方体结构的石英制品装配，密封块内侧面的静密封面对石英制品的侧面进行覆盖式密封。伸缩杆在电机驱动下向两端伸长，上侧滑移块向上滑动，下侧滑移块向下滑动，使得上、下磁组均沿滑轨向背运动，上密封部的柔性密封部在磁场力的作用下，贴合石英制品通口内壁竖直向上运动，在上磁组到达通口上边沿同一高度后，计算机控制系统控制电磁铁启动，上磁组与滑移块分离，上磁阻继续向上运动，此时柔性密封部远离电磁铁的一端贴合于通口内壁同步运动，直至上磁组碰撞滑轨边沿的挡块停止，以此实现对通口上边沿的包覆密封。相应的，下密封部及其柔性密封部对通口下边沿实现包覆密封。最后将真空管路与石英制品底部的连接管密封连接，在计算机控制系统中选择匹配的抽真空程序，确认准备工作完成后，启动程序进行石英制品真空检测过程。

计算机控制系统控制电机将升降触头下降，升降触头端部的压力传感器接触产品，并产生固定压力值后，计算机控制系统依据程序控制真空泵和真空管理控制器件，以设定的参数值抽出空气，随着空气抽出，大气压力作用在石英制品外部，配合升降触头对石英制品顶部的压力，使得石英制品产生沿长度方向的收缩形变，及长方体结构的长边略微缩短，这种微形变的产生可能会导致侧面的通口处发生泄漏，而柔性密封部对石英制品的包覆密封，当石英制品沿长度方向收缩，柔性密封部贴合于通口边沿底面的水平段延长，贴合通口内壁的竖直段缩短，有效则杜绝泄漏现象的出现，有效保证抽真空测试的准确性。同时避免传统压合密封石英制品侧面的大数值水平压力可能产生的应力集中，保证了压力传感器读数不受应力影响，同时降低了由应力集中出现的产品破裂情况的发生概率。测试结束后，显示系统实时显示重要参数，打印系统依据程序控制打印相关报表。真空泵配合真空罐依据程序控制亦可以进行石英制品保压试验。

程序自动控制泄压阀以固定参数值泄压，待真空管路中压力为零时，程序结束，打印系统打印抽真空检测结果报表。

试验结束后，操作人员断开石英制品与真空管路的连接，驱动悬臂及其上产品密封组件远离石英制品，将石英制品取出工作基台。石英制品抽真空设备完成抽真空检测过程。

在抽真空检测过程中，计算机控制系统依据检测数据判定异常或操作人员判定异常，设备可以自动中断程序，自动或手动控制泄压阀泄压，停止抽真空检测过程。防止意外发生。

不同规格的产品进行抽真空检测时，仅需更换工作基台上与石英制品匹配的定位块，如有必要还可更换适宜尺寸的密封块，即可进行抽真空检测，本装置泛用性较高。

除上述实施例外，在本发明的权利要求书及说明书所公开的范围内，本发明的技术特征可以进行重新选择及组合，从而构成新的实施例，这些都是本领域技术人员无需进行创造性劳动即可实现的，因此这些本发明没有详细描述的实施例也应视为本发明的具体实施例而在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种石英制品抽真空设备，其特征是，包括设备框架，所述设备框架包括工作基台，所述工作基台下方设置有连通于石英制品内腔的抽真空组件，所述工作基台上设置有产品密封组件，所述产品密封组件抵接石英制品，所述产品密封组件包括有柔性密封部，所述柔性密封部可包覆密封石英制品上的通口；所述产品密封组件包括内部设置有密封腔的密封块，所述密封腔内设置有沿密封块宽度方向延伸的滑轨，所述滑轨上设置有电磁铁组件和滑移块，所述柔性密封部设置于密封块的内侧面，所述柔性密封部与滑移块连接，所述柔性密封部为片体，所述柔性密封部包括有铁制牵引条；所述柔性密封部包括沿密封块中轴线对称设置的上密封部和下密封部，所述上密封部包括有弹性密封件，所述弹性密封件顶部设置有安置槽，所述铁制牵引条设置于安置槽中；

其中，所述密封块内侧面还设置有静密封部，所述静密封部包括沿密封块内侧面边缘设置的密封槽，所述密封槽内设置有密封圈；

其中，所述电磁铁组件包括上磁组和下磁组，所述上磁组设置于上密封部远离密封块内侧面的一侧，所述下磁组设置于下密封部远离密封块内侧面的一侧，所述上磁组和下磁组尾部分别设置有延伸至密封块外侧的连接部，所述上磁组底部和下磁组顶部均设置有滑移块，两滑移块之间设置有伸缩杆。

2.根据权利要求1所述的一种石英制品抽真空设备，其特征是，所述伸缩杆外部套合设置有调节臂，所述调节臂铰接于设备框架。

3.根据权利要求1所述的一种石英制品抽真空设备，其特征是，所述设备框架上设置有减震组件，所述减震组件包括设置于工作基台与设备框架之间的减震器。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种石英制品抽真空设备，其特征是，所述工作基台上设置有产品检测组件，所述产品检测组件包括设置于石英制品上方的升降触头，所述升降触头上设置有压力传感器；所述设备框架上设置有控制单元，所述压力传感器的数据输出端与控制单元的数据接收端连接。

5.根据权利要求4所述的一种石英制品抽真空设备，其特征是，所述抽真空组件包括彼此连通的真空泵和真空罐，所述真空罐与石英制品内腔连通，所述真空泵与控制单元连接。

6.根据权利要求5所述的一种石英制品抽真空设备，其特征是，所述设备框架上设置有泄压阀，所述泄压阀连通于真空罐，所述泄压阀与控制单元连接。

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