JP4346202B2 - 丸封石英管の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体工業に使用される石英炉心管として使用される石英管、特に大口径の丸封石英管の製造方法に関する。
【0002】
【関連技術】
丸封石英管の製造方法としては、従来、図6に示すように、石英管(ストレート管)101を硝子旋盤Lに取り付け、管軸を中心として回転させながら、丸封加工位置に硝子バーナBにより大きな熱量を加え、その部分を石英硝子の可塑領域まで熱するとともに、加熱部分をカーボン(黒鉛)製の治具を用いて絞り込むことによって、石英管の端部を丸封加工するという方法が一般的に知られている。
【0003】
また、他の方法として、特開平6−345470号公報には、図7に示すように、石英管本体(ストレート管)と石英円板(平板)を素材として、その石英管本体と石英円板を硝子旋盤に互いに対向するように取り付け、石英管本体の一端に石英円板を高温火災で溶着した後、その溶着一体化物を回転させながら、石英円板を高温火災で加熱するとともに、石英管本体内に他端側からブローを供給して内圧を高め、石英円板を外方に膨らませることにより、石英管端部に所定の曲率をもつアール部を加工する技術が開示されている。
【0004】
また特開平11−157856号公報には、図9に示されるように、素材として石英管本体(ストレート管)1と石英円板2を用い、その石英管本体1の端部に、製品形状に合わせた曲率のアール部1a'を成形し、石英円板2を製品形状に湾曲させ、それら石英管本体1'と石英円板2'の端部を加熱して相互に溶着して大型の丸封石英管Tを得る技術も提案されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、最近では、半導体工業で使用される炉心管(丸封石英管)が、6インチ、8インチ、12インチと大型化する傾向にあるが、図6に示す従来の方法では、その大型化に伴って石英管を可塑領域まで加熱するのに大きな熱量が必要となり、エネルギ消費も大きくなる。また石英管が大口径となると、石英管を絞り込むために要する作業時間も非常に長くなるという問題がある。
【0006】
一方、特開平6−345470号公報に記載の方法によれば、石英管本体に石英円板を溶着した後、石英円板を均一に加熱し空気圧によって外方に膨らませる方法であるので、その膨らませ加工時に、溶着部分に変形が生じる可能性があり、これを防ぐための何らかの対策を採る必要がある。具体的には、同公報の第3頁、段落15に、石英ガラス製円板を溶着した石英ガラス管の溶着端面をガラス管径よりテーパー状に拡径して該拡径部と溶着一体物を加熱し、内圧負荷により外側へ膨出させることが、後述する丸封時に、該溶着面が丸封部中心側へずれこむのを防ぎ、かつ、均一な粘性の可塑領域を保持して丸封面全体の肉厚変動を抑止する上で有効である、と記載されるごとく、図8に示すように溶着端面をガラス管径よりデーパー状に拡径する形状を採用する必要があり、それだけ余分な作業を必要とする。
【0007】
さらに、特開平11−157856号公報記載の方法によれば、石英円板を湾曲させる際に石英管本体内に気体圧力を付与するための圧力付与手段は必要でないものの、石英管本体の端部に所定の曲率のアール部を形成し、一方では石英円板を同じ曲率に湾曲させるという困難な作業を行う必要があるという新たな問題が生じている。
【0008】
本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑みなされたもので、高精度な所定の曲率を有し、かつ滑らかな曲部が形成された丸封石英管を高度な熟練度を必要とすることなく、簡単なより少ない工程で、生産性、再現性よく、かつ高品質のものを製造することができ、半導体製造用治具として、強度、寸法性共に優れた大型丸封石英管を製造することのできる方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の丸封石英管の製造方法は、所定の肉厚及び外径に研削加工した石英円板と、所定の外径及び肉厚の石英管材料を熔着して丸封石英管を製造する方法であり、該石英円板の外周部にR面取り加工を施すとともに、熔着部となる該石英円板の片面と石英管材料の端部を平面研削加工を施した後に熔着する工程と、該熔着した石英円板部及び石英管材料端部周辺を加熱軟化させ、所定のR形状をもつカーボンモールドを接触させて丸封部を形成する工程とからなることを特徴とする。
【0010】
前記石英管材料を縦置きし、該石英管材料の上端面に前記石英円板を載置した状態で両者を熔着すれば、特別な治具を要することなく、石英円板を載置するだけで両者を当接できる利点がある。
【0011】
前記石英円板及び石英管材料を平面研削加工する際、ダイヤモンド砥石を使用し、そのダイヤモンド粒度は#50(約0.8〜0.9mm)より細かいもの、好ましくは#200(約0.20〜0.25mm)より細かいものであるのが好適である。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の一つの実施の形態を添付図面中、図1〜図5に基づいて説明するが、図示例は例示的に示されるもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことはいうまでもない。
【0013】
図1は本発明方法において縦置き石英管材料の上端面に石英円板を載置する工程を示す側面的説明図である。図2は石英管材料とその上端面に載置された石英円板とを熔着する工程を示す側面的説明図である。図3は熔着した石英円板と石英管材料上端部に丸封部を形成する工程を示す側面的説明図である。図4は縦置き石英管材料の上端内面に石英円板を載置する工程を示す側面的説明図である。図5は作製される石英管の例を示す側面図で、(a)は平封石英管、(b)は丸封石英管をそれぞれ示す。
【0014】
本発明の石英管の製造方法においては、所定の肉厚及び外径に研削加工した石英円板10と、所定の外径及び肉厚の石英管材料12とをまず用意する。次に、この石英円板10を石英管材料12の一方の端面に当接させる。この当接作業において石英管材料12は縦置きであっても横置きであってもよいが、図1(a)に示したように石英管材料12を縦置きとしておけば、石英円板10を石英管材料12の上端面に載置するだけで当接させることができるので、支持手段を必要とする横置きの場合よりも好適である。
【0015】
本発明方法においては、上記した当接作業の前に、石英円板10の外周部にR面取り加工を施す〔図1(b)〕。石英円板10の外周部にR面取り加工を施さない場合には、熔着後に空気圧によって外方に膨らませて後述する丸封部21aを形成する際に、熔着部分に不必要な変形が生じてしまい、良好な丸封部21aを形成することができない。このR面取り加工は、石英管材料12の肉厚をdmmとした場合に、(d±1)R程度とすればよい。
【0016】
一方、熔着部となる石英円板10の片面、図1(a)の場合には下面10aに平面研削加工を施し、かつ同じく熔着部となる石英管材料12の円周端部、図1(a)の場合には円周上端面12aに平面研削加工を施すことが必須である。この平面研削加工を施した石英円板10の面10aの表面粗さはRa(中心線平均粗さ)≦5μm、Ry(最大高さ)≦40μmとするのが好ましい。また、上記した熔着部に対する事前の平面研削加工を施さない場合には熔着部の馴染みが悪く良好な熔着部を形成できないこととなる。
【0017】
続いて、石英円板10と石英管材料12とを熔着するには、図2に示すように、該石英円板10を上面に載置した石英管材料12をターンテーブル14上に縦置きし、熔着用インナーバーナー16を石英管材料12の内部に配置し、また熔着用アウターバーナー18を石英管材料12の外周部に配置する。該インナーバーナー16及びアウターバーナー18を用いて、石英円板10と石英管材料12の当接部を加熱熔融することによって石英円板10と石英管材料12とを熔着する。この熔着工程によって石英円板10と石英管材料12とが熔着され、その溶着部、即ち平封部20aが溶着された石英管溶着体、即ち平封石英管20が作製される〔図5(a)〕。
【0018】
次いで、図3に示すように、該平封石英管20をガラス旋盤22に片持状態でセットする。該平封石英管20の開口部にガス導入管26が付いたキャップ24を装着する。該平封石英管20を回転しつつ該平封部20aの周辺をバーナー28によって加熱し、石英円板部分を軟化させ、カーボン製R治具30を押し当てながら、平封石英管20内にガス導入管26からクリーンエアを供給して石英円板部分を膨らませてカーボン製R治具30のRに合わせた形状の丸封部21aが形成されるとともに丸封石英管21が製造される〔図5(b)〕。
【0019】
丸封石英管21の製造に際しては、図5に示したように作製しようとする丸封部21aの体積Vを計算し、その体積Vよりも若干大きくなるように石英円板10の肉厚tを設定するのが好適である。この肉厚tは次の式(1)によって算出することができる。
【0020】
【数1】
t=4V/(3.14×OD2)……(1)
但しV=〔3.14/3×H1×(3×R1−H1)〕−〔3.14/3×H22×(3×R2−H2)〕
【0021】
上式において、t:石英円板の肉厚、V:丸封部の体積、OD:石英管材料の外径、R1:丸封部外周面のR、R2:丸封部内周面のR,H1:丸封部の内径高さ、H2:丸封部の外径高さである。
【0022】
上記した実施の形態においては、石英管材料12の上端面に石英円板10を載置する場合を説明したが、石英管材料12の端部と石英円板10の片面を当接状態とする態様としては、他の例も考えられるものであり、図4に示すように、石英管材料12の上端開口部の上端内周面12bに石英円板10の外周側面10bを当接させて熔着することも可能である。この場合、それぞれの当接面である上端内周面12b及び外周側面10bをそれぞれ平面研削加工とする必要があることはいうまでもない。
【0023】
【実施例】
以下実施例をあげて本発明をさらに詳細に説明するが、この実施例は例示的に示されるもので限定的に解釈すべきでないことはいうまでもない。
【0024】
(実施例1)
外径φ316、肉厚4.5mm、長さ1300mmの石英管材料を円筒研削機にセットし、レジンボンド#400ダイヤモンド砥石を使用し、石英管材料の片側端部を平面研削加工を施し、この加工面のRa=0.19μm、Ry=1.4μmとした。また、350×350mm、厚さ6.0mmの石英板から、レーザー加工機にてφ316に切り出した後、平面研削機にセットし、レジンボンド#400ダイヤモンド砥石を使用して石英円板の両面を平面研削加工を施すとともにこの加工面のRa=0.19μm、Ry=1.4μmとし、厚さ5.3mmに仕上げた。その後、石英円板をマシニングセンターにセットし、レジンボンド#230ダイヤモンド砥石を使用して石英円板の外周部を4.5Rに面取り加工を施した。
【0025】
平面研削加工を施した端部が上になるように石英管材料をターンテーブルに載せた後、熔着用インナーバーナーを石英管材料内に挿入し固定した。その後、ゆっくり回転させながら、石英管材料がターンテーブルの中心に配置されるよう、位置合わせをした。ターンテーブルを停止後、石英円板を静かに石英管材料の上に載せ、中心を合わせた。再びゆっくりとターンテーブルを回転させ、熔着用アウターバーナーを石英管外周部に配置し点火した。同時にインナーバーナーも点火し、石英管端部にバーナーの炎の中心がくるように位置合わせを行い、そのまま放置すると、約3分後に石英管材料と石英円板が完全に熔着し、この段階で平封石英管を作製することができた。
【0026】
ターンテーブルからこの平封石英管を取り外し、ガラス旋盤にセットした。平封石英管開口部にガス導入管が付いたキャップを装着し、ロータリージョイントを介したシリコンゴムホースにて、クリーンエア供給部に接続した。
【0027】
平封石英管を回転させ、石英円板及び石英管材料との熔着部周辺をバーナーにて加熱した。約5分後、石英円板部分が軟化したので、R254のカーボン製R治具を押し当てながら、平封石英管内にクリーンエアを供給すると石英円板部分が膨らみ所望の形状の丸封部が形成された。この段階で丸封石英管を作製することができた。
【0028】
約30分後、充分に冷却された丸封石英管をガラス旋盤から取り外し、寸法を測定してみると、丸封部がR254、肉厚4.5mmであった。また、石英円板の熔着部もよく馴染んでおり、ほとんど繋ぎ目がわからない程度であった。
【0029】
【発明の効果】
以上述べたごとく、従来の石英管の製造においては、石英管材料と円板のつなぎ目に段差が残るため、熟練者が注意深く作業をしないと、高品質な製品はできなかったが、本発明方法によれば、丸封面が滑らかな曲面で形成され、高精度に所定の曲率を持つ大型丸封石英ガラス管が高度な熟練度を必要とすることなく、ガラス旋盤のような通常的な装置を改良することによって、一体的な連続作業で生産性よく、かつ再現性よく製造することができる。
【0030】
特に、管外形のストレート部長さ及び丸封部の頂点間距離等の制御性もよいことから、半導体製造用治具として、強度、寸法性に優れた大型丸封石英ガラス管を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明方法における縦置き石英管材料の上端面に石英円板を載置する工程を示し、(a)は側面的説明図及び(b)は丸A部の拡大図である。
【図2】 本発明方法における石英管材料とその上端面に載置された石英円板とを熔着する工程を示す側面的説明図である。
【図3】 本発明方法における熔着した石英円板と石英管材料上端部に丸封部を形成する工程を示す側面的説明図である。
【図4】 本発明方法における縦置き石英管材料の上端内面に石英円板を載置する工程を示し、(a)は側面的説明図及び(b)は丸B部の拡大図である。
【図5】 本発明方法における作製される石英管の例を示す側面図で、(a)は平封石英管、(b)は丸封石英管をそれぞれ示す。
【図6】 丸封石英管の従来の製造方法の1例を示す説明図である。
【図7】 丸封石英管の従来の製造方法の他の例を示す説明図である。
【図8】 図7の方法の際に用いられる石英管の熔着端面をテーパー状に拡径した概念図である。
【図9】 丸封石英管の従来の製造方法の別の例を示す説明図である。
【符号の説明】
10:石英円板、10a:石英円板の下面、10b:石英円板の外周側面、12:石英管材料、12a:石英管材料の円周上端面、12b:石英管材料の上端内周面、14:ターンテーブル、16:熔着用インナーバーナー、18:熔着用アウターバーナー、20:平封石英管、20a:平封部、21:丸封石英管、21a:丸封部、22:ガラス旋盤、24:キャップ、26:ガス導入管、28:バーナー、30:カーボン製R治具、L:旋盤。
Claims (3)
- 所定の肉厚及び外径に研削加工した石英円板と、所定の外径及び肉厚の石英管材料を熔着して丸封石英管を製造する方法であり、該石英円板の外周部にR面取り加工を施すとともに、熔着部となる該石英円板の片面と石英管材料の端部を平面研削加工を施した後に熔着する工程と、該熔着した石英円板部及び石英管材料端部周辺を加熱軟化させ、所定のR形状をもつカーボン製R治具を接触させて丸封部を形成する工程とからなることを特徴とする丸封石英管の製造方法。
- 前記石英管材料を縦置きし、該石英管材料の上端面に前記石英円板を載置した状態で両者を熔着することを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記石英円板及び石英管材料を平面研削加工する際、ダイヤモンド砥石を使用し、そのダイヤモンド粒度が#50(0.8〜0.9mm)より細かいものであることを特徴とする請求項1又は2記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000089412A JP4346202B2 (ja) | 2000-03-28 | 2000-03-28 | 丸封石英管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000089412A JP4346202B2 (ja) | 2000-03-28 | 2000-03-28 | 丸封石英管の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001270727A JP2001270727A (ja) | 2001-10-02 |
JP4346202B2 true JP4346202B2 (ja) | 2009-10-21 |
Family
ID=18605179
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000089412A Expired - Lifetime JP4346202B2 (ja) | 2000-03-28 | 2000-03-28 | 丸封石英管の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4346202B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102424519A (zh) * | 2011-09-16 | 2012-04-25 | 北京金格兰石英玻璃有限公司 | 异型石英玻璃管生产方法 |
CN108863028A (zh) * | 2017-05-10 | 2018-11-23 | 张忠恕 | 一种新型石英管加工方法 |
JP2019005330A (ja) * | 2017-06-27 | 2019-01-17 | ネクサス株式会社 | 石英バイアル瓶の製造方法 |
JP6699682B2 (ja) * | 2018-03-12 | 2020-05-27 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス接合体の製造方法 |
JP6755028B2 (ja) * | 2018-12-19 | 2020-09-16 | ネクサス株式会社 | 石英バイアル瓶の製造方法 |
CN111453977A (zh) * | 2020-04-17 | 2020-07-28 | 新沂市赛立科石英制品有限公司 | 一种u型石英管热弯成型装置 |
CN112499944B (zh) * | 2020-12-04 | 2022-07-15 | 杭州大和热磁电子有限公司 | 一种石英制品抽真空设备 |
-
2000
- 2000-03-28 JP JP2000089412A patent/JP4346202B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001270727A (ja) | 2001-10-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061213 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090430 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090714 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120724 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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