CN112486110B - 一种硅片生产系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种硅片生产系统,涉及硅片生产技术领域,以提供一种在硅片生产过程中,自动统计各个工序信息的技术方案。包括:控制平台,与控制平台通信的切片设备、脱胶设备、插片清洗设备以及分选设备。切片设备用于向控制平台发送切片物料的切片工序信息;脱胶设备用于向控制平台发送脱胶物料的脱胶工序信息,插片清洗设备用于向控制平台发送脱胶物料的插片清洗工序信息,分选设备用于向控制平台发送硅片的分选工序信息;控制平台还用于根据切片设备的加工需求信息确定切片原料信息,将切片工序信息、脱胶工序信息、插片清洗工序信息和分选工序信息与切片原料信息进行绑定和存储。
Description
技术领域
本发明涉及硅片生产技术领域,尤其涉及一种硅片生产系统。
背景技术
硅片的生产工序包括粘胶工序、切片工序、脱胶工序、插片清洗工序、分选工序以及包装工序。目前,各个工序的信息统计主要采用人工录入的方式。在人工进行信息录入时,需要有专门的物料区域用于对物料进行标识,信息录入,故容易造成物料的堆积。再者,各个工序的采用的人工录入方式,会导致信息录入繁琐、流程复杂,造成数据差错率较高,无法为硅片的生产提供准确的数据支持。且容易导致各个工序之间的信息流转不畅,造成设备待料、带病作业等情况的发生,使设备利用率过低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种硅片生产系统,以提供一种在硅片生产过程中,自动统计各个工序信息的技术方案。
第一方面,本发明提供一种硅片生产系统,硅片生产系统包括:控制平台,与控制平台通信的切片设备、脱胶设备、插片清洗设备以及分选设备。控制平台用于根据切片设备的加工需求信息,控制切片设备对切片原料进行切片工序,获得切片物料;控制脱胶设备对切片物料进行脱胶工序,得到脱胶物料;控制插片清洗设备对脱胶物料进行插片清洗工序,得到插片物料;控制分选设备对切片物料进行分选工序,得到硅片。切片设备用于在完成切片工序之后,向控制平台发送切片物料的切片工序信息;脱胶设备用于在完成脱胶工序之后,向控制平台发送脱胶物料的脱胶工序信息,插片清洗设备用于在完成插片清洗工序之后,向控制平台发送脱胶物料的插片清洗工序信息,分选设备用于在完成分选工序之后,向控制平台发送硅片的分选工序信息;控制平台还用于根据切片设备的加工需求信息确定切片原料信息,将切片工序信息、脱胶工序信息、插片清洗工序信息和分选工序信息与切片原料信息进行绑定和存储。
在采用上述技术方案的情况下,本发明提供的硅片生产系统中,控制平台与切片设备、脱胶设备、插片清洗设备以及分选设备通信。基于此,控制平台可以控制切片设备、脱胶设备、插片清洗设备以及分选设备进行相应工序,以获得切片物料、脱胶物料、脱胶物料和硅片。切片设备还用于在完成切片工序之后,向控制平台发送切片物料的切片工序信息。脱胶设备还用于在完成脱胶工序之后,向控制平台发送脱胶物料的脱胶工序信息。插片清洗设备还用于在完成插片清洗工序之后,向控制平台发送脱胶物料的插片清洗工序信息。分选设备还用于在完成分选工序之后,向控制平台发送硅片的分选工序信息。基于此,与现有技术中各个工序的信息统计主要采用人工录入的方式,需要有专门的物料区域用于对物料进行标识信息录入,容易造成物料的堆积相比,本发明在各个工序完成之后,相应的设备会自动生成该工序信息,无需人工进行信息的录入,故不需要专门的堆料区域对物料进行标识和信息录入,避免了物料的堆积。再者,由于本发明在各个工序完成之后,相应的设备会自动生成该工序信息,可以避免人工信息录入繁琐、流程复杂,造成的数据差错率较高的技术问题,为硅片的生产提供准确的数据支持。且本发明可以提高各个工序之间的信息流转速度,避免了设备待料、带病作业等情况的发生,提高了设备的利用率。最后,本发明提供的控制平台用于根据切片设备的加工需求信息,控制切片设备对切片原料进行切片处理。基于此,本发明时根据切片设备的加工需求,自动完成切片原料的匹配,无需人工进行切片设备的加工需求确定,提升了切片设备的加工效率。
在一种可能的实现方式中,硅片生产系统还包括与控制平台通信的第一搬运设备和第二搬运设备;控制器还用于根据切片设备的加工需求信息,确定切片原料数据库中存在满足加工需求信息的切片原料信息的情况下,控制第一搬运设备从切片原料库中将切片原料信息对应的切片原料运送至切片设备上料工位;控制器还用于根据切片设备的上料任务,控制第二搬运设备将相应的切片原料上料至切片设备。
在采用上述技术方案的情况下,本发明提供的控制平台可以根据切片设备的实际加工需求信息,在切片原料数据库中确定存在满足加工需求信息的切片原料信息,故可以提高切片原料配送的准确性和及时性。再者,该控制平台还用于控制第一搬运设备对切片原料进行运送,以及控制第二搬运设备对切片原料进行上料。由于本发明利用第一搬运设备和第二搬运设备进行切片原料的自动化配送和上料,故可以提高切片原料运送和上料的效率。
在一种可能的实现方式中,硅片生产系统还包括与控制平台通信的切片下料设备;控制平台还用于控制切片下料设备对切片设备生产的切片物料进行下料处理。
在采用上述技术方案的情况下,本发明可以利用根据控制平台切片的控制,利用切片下料设备对切片设备产生的切片物料进行自动下料处理。进一步提高了本发明的自动化程度。
在一种可能的实现方式中,控制平台还用于在切片下料设备的下料操作时长大于预设下料时长时,向用户端发送下料超时提醒信息。
在采用上述技术方案的情况下,控制平台可以管控切片下料设备的下料操作时长。例如:当切片下料设备的下料操作时长大于预设下料时长时,控制平台向用户端发送下料超时提醒信息。用户端可以根据该超时提醒信息,进行下一步操作,对实现整个硅片加工过程的时间管控,提高了整个硅片加工过程的效率。
在一种可能的实现方式中,控制平台还用于在控制切片下料设备对切片设备生产的切片物料进行下料处理之前,向用户端发送切片下料任务;用户端与切片下料设备进行通信;其中,用户端用于根据切片下料任务的生成顺序,控制切片下料设备与相应的切片设备进行下料匹配,还用于在切片下料设备完成切片下料任务之后,控制切片下料设备与相应的脱胶设备进行匹配。
在采用上述技术方案的情况下,用户端根据切片下料任务的生成顺序控制切片下料设备与相应的设备进行下料匹配,以根据切片下料任务的生成顺序完成下料操作。用户端还用于在切片下料设备完成切片下料任务之后,控制切片下料设备与相应的脱胶设备进行匹配,以根据切片下料任务的生成顺序,完成切片下料设备与脱胶工序的设备匹配操作。基于此,本发明可以根据切片下料任务的生成顺序,进行切片下料操作和脱胶设备的匹配操作,以提高切片物料的流转效率,避免切片原料的堆积。
在一种可能的实现方式中,硅片生产系统还包括与控制平台通信的称量设备;控制平台还用于在接收到脱胶设备发送的脱胶任务完成信号的情况下,控制称量设备称量切片工序产生的第一边角料以及脱胶工序产生的第二边角料;并将称量设备发送的第一边角料信息和第二边角料信息与切片原料信息进行绑定和存储。
在采用上述技术方案的情况下,本发明利用称量设备对切片工序产生的第一边角料以及脱胶工序产生的第二边角料进行称量,并将称量设备发送的第一边角料信息和第二边角料信息与切片原料信息进行绑定和存储。基于此,本发明可以准确掌握切片原料去向,以及自动绑定和存储该第一边角料信息和第二边角料信息与切片原料信息,实现了硅片生产过程中信息的高效统计。
在一种可能的实现方式中,硅片生产系统还包括与控制平台通信的第三搬运设备;控制平台还用于在控制插片清洗设备对脱胶物料进行插片清洗处理之前,根据脱胶设备发送的脱胶处理完成信号的顺序,控制第三搬运设备将相应脱胶物料上料至插片清洗设备。
在采用上述技术方案的情况下,本发明根据脱胶设备发送的脱胶处理完成信号的顺序,控制第三搬运设备将相应脱胶物料上料至插片清洗设备。基于此,提高了脱胶物料的流转效率,以及提高了本发明中硅片生产系统的自动化程度。
在一种可能的实现方式中,脱胶物料位于料托中,插片物料位于插片花篮中,同一料托中的脱胶物料经过插片清洗处理后,得到的插片物料存放在多个插片花篮;插片清洗工序信息包括插片物料所在的插片花篮信息,插片花篮信息包括插片花篮标识和插片花篮实际插片数量;控制平台还用于确定插片清洗工序信息包含的插片花篮实际插片数量小于插片花篮最大插片数量的情况下,控制插片清洗设备将下一个脱胶工序得到的脱胶物料存放至插片花篮中。
在采用上述方案的情况下,本发明提供的控制平台还用于确定插片清洗工序信息包含的花篮实际插片数量小于花篮最大插片数量的情况下,控制插片清洗设备将下一个脱胶工序得到的脱胶物料存放至花篮中。基于此,本发明可以自动化的实现插片清洗工序的持续运行,节约插片花篮,进而可以提升硅片生产系统的产能。
在一种可能的实现方式中,硅片生产系统还包括与控制平台通信的第四搬运设备;控制平台还用于根据插片清洗设备发送的插片清洗完成信号,控制第四搬运设备将插片物料上料至分选设备。
在采用上述方案的情况下,控制平台用于根据插片清洗设备发送的插片清洗完成信号,控制第四搬运设备将插片物料上料至分选设备,不仅可以提高插片物料在插片清洗工序与分选工序之间的流转效率,还可以提高本发明的自动化程度。
在一种可能的实现方式中,硅片生产系统还包括与控制平台通信的包装设备;控制平台还用于根据分选设备发送的分选完成信号,控制包装设备对硅片进行包装,得到硅片包装物料,并将包装设备发送的包装工序信息与切片原料信息进行绑定和存储。
在采用上述方案的情况下,基于包装设备对硅片进行包装,得到硅片包装物料,实现了硅片包装的自动化,进而提高了本发明的自动化程度。再者,本发明还将包装设备发送的包装工序信息与切片原料信息进行绑定和存储,以实现包装工序信息的自动化绑定和存储,从而支持现场硅片到包装物料流转过程中信息高效统计。
在一种可能的实现方式中,硅片生产系统还包括与控制平台通信的第五搬运设备;控制平台还用于根据包装设备发送的包装完成信号,控制第五搬运设备将硅片包装物料存放至硅片物料库中,并将第五搬运设备生成的入库工序信息与切片原料信息进行绑定和存储。
在采用上述方案的情况下,利用第五搬运设备将硅片包装物料存储至硅片物料库中,可以提高硅片包装物料存放至硅片物料库过程中的存放效率,以及提高本发明的自动化程度。再者,将第五搬运设备生成的入库工序信息与切片原料信息进行绑定和存储,实现了入库工序信息与切片原料信息的自动化绑定和存储,从而支持现场将硅片包装物料存放至硅片物料库过程中信息高效统计。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解,构成本发明的一部分,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
图1示出了本发明实施例提供的一种硅片生产系统的结构示意图;
图2示出了本发明实施例提供的一种控制平台的硬件结构示意图。
具体实施方式
以下,将参照附图来描述本公开的实施例。但是应该理解,这些描述只是示例性的,而并非要限制本公开的范围。此外,在以下说明中,省略了对公知结构和技术的描述,以避免不必要地混淆本公开的概念。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上,除非另有明确具体的限定。
硅片的生产工序包括粘胶工序、切片工序、脱胶工序、插片清洗工序、分选工序以及包装工序。目前,各个工序的信息统计主要采用人工录入的方式。在人工进行信息录入时,需要有专门的物料区域用于对物料进行标识,信息录入,故容易造成物料的堆积。再者,各个工序的采用的人工录入方式,会导致信息录入繁琐、流程复杂,造成数据差错率较高,无法为硅片的生产提供准确的数据支持。最后,由于各工序的信息由人工进行统计,容易导致各个工序之间的信息流转不畅,造成设备待料、带病作业等情况的发生,使设备利用率过低。
基于此,参照图1,本发明实施例公开了一种硅片生产系统100。该硅片生产系统100包括:控制平台101,与控制平台101通信的切片设备102、脱胶设备103、插片清洗设备104以及分选设备105。
上述控制平台用于根据切片设备的加工需求信息,控制切片设备对切片原料进行切片处理,获得切片物料。该切片设备的加工需求信息为根据切片设备的加工计划和切片设备的当前加工记录确定的需求信息。其中,上述切片原料可以为单根单晶硅棒或拼接后的多根单晶硅棒。
在实际的生产过程中,在切片设备的加工需求信息生成之前,单晶硅棒周转至加工车间。此时,将单根或拼接后的单晶硅棒放置粘胶上料工位,经过粘胶自动化工序后,得到切片原料。之后,按照库位管理要求,对切片原料进行扫码入库。该扫码入库可以由扫码设备实现,以提高该硅片的加工系统的自动化程度。
控制平台可以根据切片设备的加工计划和切片设备的当前加工记录,以切片物料的长度、规格以及几拼情况为参数,按照切片设备的加工完工节点生成切片设备的加工需求信息。其中,切片物料的几拼情况包括切片物料为单拼或者多拼。当切片物料为单拼时,切片物料为单根单晶硅棒。当切片物料为多拼时,切片物料为多根单晶硅棒拼接形成的。上述切片设备的加工需求信息可以为切片设备未来时间段的加工需求信息。示例性的,该未来时间段可以为一天或者一周。
由于切片设备的加工需求信息为根据切片设备的生产计划确定,故无需进行人工干预和信息填写。由于切片设备的加工需求信息为根据切片设备的当前加工记录确定,故单台切片设备在一段时间内无需调整或部署线网,提升了切片工序的加工效率达9%以上。
上述切片设备用于在控制平台的控制下,根据切片设备的加工需求信息,对切片原料进行切片工序,获得切片物料。其中,切片物料为经过切片设备加工后的片状物料。
上述切片设备还用于在完成切片工序之后,向控制平台发送切片工序信息。在此之前,控制平台还可以用于根据切片设备的加工需求信息确定切片原料信息,并将该切片原料信息与切片工序信息进行绑定和存储。基于此,上述切片工序信息的生成、发送以及与切片原料信息的绑定均由切片设备和控制平台自动完成,无需人工进行信息的记录,避免人工信息录入繁琐、流程复杂,造成的数据差错率较高的技术问题,为硅片的生产提供准确的数据支持。
示例性的,上述切片工序信息包括相应切片设备的设备信息以及切片原料经过切片工序后得到的切片物料信息。其中,切片设备的设备信息可以为切片设备的编号信息,切片物料信息可以为切片原料经过切片工序后得到的切片物料的数量。
按照硅片的生产顺序,在进行了上述切片工序之后,控制平台还用于控制脱胶设备对切片物料进行脱胶处理,以得到脱胶物料。在实际中,由于切片原料为经过粘胶自动化工序后得到的,故切片物料上还存在粘胶工序中粘接的胶水,在经过切片工序后,为了得到脱胶物料,需要对切片工序后的切片物料进行脱胶处理。
上述脱胶设备用于在控制平台的控制下,对切片物料进行脱胶处理,以得到无胶的片状物料,即脱胶物料。在完成脱胶工序之后,脱胶设备还用于生成脱胶工序信息,并将该脱胶工序信息发送给控制平台。控制平台用于将该脱胶工序信息与切片原料信息和切片工序信息进行绑定,以实现各工序信息的自动统计和各工序信息之间的自动流转。
示例性的,脱胶工序信息包括脱胶设备信息以及脱胶物料信息。
在实际的生产过程中,在进行脱胶工序之后,脱胶物料位于料托中。具体的,同一切片原料得到的脱胶物料位于同一料托中,每个料托均粘贴有代表该料托信息的二维码或者条形码。上述料托信息可以包括该料托中脱胶物料的物料信息和该脱胶物料形成的时刻信息。
在进行了脱胶工序之后,控制平台还用于控制插片清洗设备对脱胶物料进行插片清洗处理,以得到插片物料。在实际的生产过程中,在进行插片清洗工序之前,按照脱胶工序的完结信号,将料托以及料托中的脱胶物料运送至插片上料区域。之后,按照料托运送至插片上料区域的先后顺序,将料托上料至插片清洗设备。
可以理解,为了确保上料至插片清洗设备的料托中的脱胶物料满足实际需求,该插片清洗设备在对料托上的脱胶物料进行插片清洗工序之前,还用于获取料托上的料托信息,并将该料托信息发送给控制平台,控制平台根据该料托信息判断该料托中的脱胶物料是否正常。当该料托中的脱胶物料正常时,给出正常加工信息,进行插片清洗工序。当该料托中的脱胶物料不正常时,利用人工或者利用控制平台控制机械臂将该料托从插片清洗设备中取出,然后获取下一个料托。
示例性的,当利用料托信息中的脱胶物料形成的时刻信息与当前时刻信息确定的第一时长,大于或等于第一预设时长时,确定该料托中的脱胶物料正常物料。当利用料托信息中的脱胶物料形成的时刻信息与当前时刻信息确定的第一时长,小于第一预设时长时,确定该料托中的脱胶物料不正常物料。其中,第一预设时长为脱胶工序完成时刻至插片清洗工序开始时刻需要停留的时长,该时长用于保证脱胶物料在进行插片清洗工序之前已具备插片条件。
其中,在插片清洗设备进行插片清洗工艺时,插片清洗设备对料托中的脱胶物料进行清洗,并将清洗后的物料插入插片花篮中,得到插片物料。示例性的,同一料托中的脱胶物料经过插片清洗工艺后,插在多个插片花篮中。
当插片清洗设备开始加工时,插片清洗设备将花篮卸料信号发送给控制平台。插片清洗设备还用于在插片清洗工艺中,生成上述多个插片花篮的插片花篮信息,并将该多个插片花篮的插片花篮信息发送给控制平台。其中,插片花篮信息包括插片花篮标识和插片花篮实际插片数量。多个插片花篮的插片花篮信息组成插片清洗工序信息。插片花篮标识可以为插片花篮的编号。
上述控制平台还可以用于当料托中的物料完成插片工序后,在插片花篮实际插片数量小于插片花篮最大插片数量的情况下,控制插片清洗设备将下一个脱胶工序得到的脱胶物料存放至插片花篮中。具体的,当料托中的物料完成插片清洗工序后,插片花篮未满时,控制平台采集未完结信号,标记未满的插片花篮标识信息、插片花篮的当前已用片数及下一个料托的标识信息和剩余片数。基于此,本发明实施例提供的硅片生产系统可以自动化的实现插片清洗工序的持续运行,节约插片花篮,进而可以提升硅片生产系统的产能。
上述控制平台还用于将上述插片清洗工序信息与切片原料信息、切片工序信息以及脱胶工序信息进行绑定,以进一步实现各工序信息的自动流转。
在经过插片清洗工序之后,控制平台还用于控制分选设备对插片物料进行分选处理,以得到硅片。具体的,当控制平台接收到插片清洗设备的完结信号之后,控制相应的设备插片物料上料至分选设备。当设备出现异常时,现场的工作人员通过用户端录入异常信息,并通过其他设备或者通过人工完成分选设备上料操作。用户端还用于将该异常信息发送给控制平台,控制平台用于将该异常信息进行存储。
在进行分选工序时,分选设备用于根据分选结果,生成分选花篮信息。该分选花篮信息包括分选花篮标识信息以及分选花篮中存放的硅片分选信息。在分选工序中,需要确定每个分选花篮中存放的每一片硅片的分选信息。基于此,控制平台完成了分选设备对单片硅片分选结果的数据采集和汇总。解决了插片清洗工序和分选工序单板加工的模式,实现了插片清洗设备和分选设备连续运行且数据自动统计方式,插片清洗设备和分选设备效率提升20%。
上述分选花篮信息形成了分选工序信息。分选设备还用于将该分选工序信息发送给控制平台,控制平台将该分选工序信息与前述的切片原料信息、切片工序信息、脱胶工序信息、插片清洗工序信息进行绑定。
基于此,控制平台根据各个插片花篮标识信息形成的插片花篮标识信息队列和各个分选标识信息形成的分选花篮标识信息队列,完成插片和分选花篮匹配,同时将物料流水号赋值给分选花篮,分选展示界面按照花篮完工时间刷新界面,完成单板物料数据汇总、展示。对单板良率和片数小于管控标准物料,自动推送信息至相关人员,由其完成异常分析、改善原因确认。控制平台自动根据原因持续追踪、落实方案实施效果,当效果未满足要求时,重新发送消息至相关人员,持续改善和解决。当解决方案满足此类异常时候,控制平台形成知识库,对同类问题给予分析人员建议。
基于此,本发明实施例提供的硅片生产系统通过控制平台控制切片设备、脱胶设备、插片清洗设备以及分选设备进行相应工序,以获得切片物料、脱胶物料、脱胶物料和硅片。切片设备还用于在完成切片工序之后,向控制平台发送切片物料的切片工序信息。脱胶设备还用于在完成脱胶工序之后,向控制平台发送脱胶物料的脱胶工序信息。插片清洗设备还用于在完成插片清洗工序之后,向控制平台发送脱胶物料的插片清洗工序信息。分选设备还用于在完成分选工序之后,向控制平台发送硅片的分选工序信息。基于此,与现有技术中各个工序的信息统计主要采用人工录入的方式,需要有专门的物料区域用于对物料进行标识信息录入,容易造成物料的堆积相比,本发明在各个工序完成之后,相应的设备会自动生成该工序信息,无需人工进行信息的录入,故不需要专门的堆料区域对物料进行标识和信息录入,避免了物料的堆积。再者,由于本发明在各个工序完成之后,相应的设备会自动生成该工序信息,可以避免人工信息录入繁琐、流程复杂,造成的数据差错率较高的技术问题,为硅片的生产提供准确的数据支持。且本发明可以提高各个工序之间的信息流转速度,避免了设备待料、带病作业等情况的发生,提高了设备的利用率。最后,本发明提供的控制平台用于根据切片设备的加工需求信息,控制切片设备对切片原料进行切片处理。基于此,本发明时根据切片设备的加工需求,自动完成切片原料的匹配,无需人工进行切片设备的加工需求确定,提升了切片设备的加工效率。
本发明实施例针对硅片加工行业,利用切片设备调度、插片清洗设备以及分选设备及脱胶设备循环利用特性,结合工作任务调度和问题解决方案推动,对硅片加工过程中物料信息统计自动、高效且准确及时,提升各设备加工效率和利用率,进而提高现场物料流转效率,降低员工劳动强度和现场生产成本。
在一种实施方式中,为了进一步提高本发明实施例提供的硅片生产系统的自动化程度,该硅片生产系统还包括与控制平台通信的切片下料设备。控制平台还用于控制切片下料设备对切片设备生产的切片物料进行下料处理。
控制平台还用于在切片下料设备的下料操作时长大于预设下料时长时,向用户端发送下料超时提醒信息。具体为:当切片下料设备的下料操作时长大于预设下料时长时,向用户端发送下料超时提醒信息。用户端可以根据该超时提醒信息,进行下一步操作,对实现整个硅片加工过程的时间管控,提高了整个硅片加工过程的效率。
在另一种实施方式中,控制平台还用于在控制切片下料设备对切片设备生产的切片物料进行下料处理之前,向用户端发送切片下料任务。其中,该用户端与切片下料设备进行通信。该用户端用于根据切片下料任务的生成顺序控制切片下料设备与相应的设备进行下料匹配,以根据切片下料任务的生成顺序完成下料操作。用户端还用于在切片下料设备完成切片下料任务之后,控制切片下料设备与相应的脱胶设备进行匹配,以根据切片下料任务的生成顺序,完成切片下料设备与脱胶工序的设备匹配操作。基于此,本发明可以根据切片下料任务的生成顺序,进行切片下料操作和脱胶设备的匹配操作,以提高切片物料的流转效率,避免切片原料的堆积。
在另一种实施方式中,硅片生产系统还包括与控制平台通信的称量设备;控制平台还用于在接收到脱胶设备发送的脱胶任务完成信号的情况下,控制称量设备称量切片工序产生的第一边角料以及脱胶工序产生的第二边角料;并将称量设备发送的第一边角料信息和第二边角料信息与切片原料信息进行绑定和存储。基于此,本发明可以准确掌握切片原料去向,以及自动绑定和存储该第一边角料信息和第二边角料信息与切片原料信息,实现了硅片生产过程中信息的高效统计。
在另一种实施方式中,为了提高本发明实施例中硅片生产系统的自动化程度,该硅片生产系统还包括与控制平台通信的第三搬运设备;控制平台还用于在控制插片清洗设备对脱胶物料进行插片清洗处理之前,根据脱胶设备发送的脱胶处理完成信号的顺序,控制第三搬运设备将相应脱胶物料上料至插片清洗设备。
在另一种实施方式中,为了提高插片物料在插片清洗工序与分选工序之间的流转效率,以及进一步提高本发明实施例的自动化程度,上述硅片生产系统还包括与控制平台通信的第四搬运设备。控制平台还用于根据插片清洗设备发送的插片清洗完成信号,控制第四搬运设备将插片物料上料至分选设备。
在另一种实施方式中,上述硅片生产系统还包括与控制平台通信的包装设备;控制平台还用于根据分选设备发送的分选完成信号,控制包装设备对硅片进行包装,得到硅片包装物料,并将包装设备发送的包装工序信息与切片原料信息进行绑定和存储。基于此,实现了硅片包装的自动化,进而提高了本发明的自动化程度。再者,本发明还将包装设备发送的包装工序信息与切片原料信息进行绑定和存储,以实现包装工序信息的自动化绑定和存储,从而支持现场硅片到包装物料流转过程中信息高效统计。
在另一种实施方式中,硅片生产系统还包括与控制平台通信的第五搬运设备;控制平台还用于根据包装设备发送的包装完成信号,控制第五搬运设备将硅片包装物料存放至硅片物料库中,并将第五搬运设备生成的入库工序信息与切片原料信息进行绑定和存储。基于此,利用第五搬运设备将硅片包装物料存储至硅片物料库中,可以提高硅片包装物料存放至硅片物料库过程中的存放效率,以及提高本发明的自动化程度。再者,将第五搬运设备生成的入库工序信息与切片原料信息进行绑定和存储,实现了入库工序信息与切片原料信息的自动化绑定和存储,从而支持现场将硅片包装物料存放至硅片物料库过程中信息高效统计。具体的,每箱硅片包装物料上均粘贴有表示该硅片包装物料信息的二维码或条形码。例如,上述第五搬运设备具有扫码模块,在硅片包装物料入库前,通过该扫码模块获取硅片包装物料信息,即该硅片包装物料的入库工序信息。又例如,可以通过用户端获取硅片包装物料信息,用户端通过第五搬运设备将硅片包装物料信息发送给控制平台。控制平台还用于在硅片包装物料入库后生成入库清单,在硅片包装物料退库进行退库评审。
基于以上,本发明实施例借助各个搬运设备的循环利用和各个设备的数据采集,取消了现存物料流转单据和人工信息录入,实现了各个工序信息信息自动高效统计,数据准确和及时率可以达到100%。
本发明实施例采用工作任务管理、异常消息推动、问题解决方案提出等,结合“知识库”概念,实现硅片生产现场异常解决效率提升40%,加快各个工序物料流转效率,有效降低现场物料积压。
参照图2,上述控制平台执行的动作可以作为计算机指令存储在控制平台的存储器220中,存储器220中存储的计算机指令由处理器来执行。
控制平台200包括:处理器210和通信接口230,通信接口230和处理器耦合210,处理器210用于运行计算机程序或指令。控制平台200可以通过通信接口230与切片设备、脱胶设备、插片分选设备以及分选设备的驱动组件进行通信。
如图2所示,上述处理器210可以是一个通用中央处理器(centralprocessingunit,CPU),微处理器,专用集成电路(application-specific integrated circuit,ASIC),或一个或多个用于控制本发明方案程序执行的集成电路。上述通信接口230可以为一个或多个。通信接口230可使用任何收发器一类的装置,用于与其他设备或通信网络通信。
如图2所示,上述控制平台200还可以包括通信线路240。通信线路240可包括一通路,在上述组件之间传送信息。
可选的,如图2所示,控制平台200还可以包括存储器220。存储器220用于存储执行本发明方案的计算机指令,并由处理器210来控制执行。处理器210用于执行存储器220中存储的计算机指令。
如图2示,存储器220可以是只读存储器(read-only memory,ROM)或可存储静态信息和指令的其他类型的静态存储设备,随机存取存储器(random access memory,RAM)或者可存储信息和指令的其他类型的动态存储设备,也可以是电可擦可编程只读存储器(electrically erasable programmable read-only memory,EEPROM)、只读光盘(compactdisc read-only memory,CD-ROM)或其他光盘存储、光碟存储(包括压缩光碟、激光碟、光碟、数字通用光碟、蓝光光碟等)、磁盘存储介质或者其他磁存储设备、或者能够用于携带或存储具有指令或数据结构形式的期望的程序代码并能够由计算机存取的任何其它介质,但不限于此。存储器220可以是独立存在,通过通信线路240与处理器210相连接。存储器220也可以和处理器210集成在一起。
可选的,本发明实施例中的计算机指令也可以称之为应用程序代码,本发明实施例对此不作具体限定。
在具体实现中,作为一种实施例,如图2所示,处理器210可以包括一个或多个CPU,如图2中的CPU0和CPU1。
在具体实现中,作为一种实施例,如图2所示,控制平台200可以包括多个处理器210,如图2中的处理器210和处理器250。这些处理器中的每一个可以是一个单核处理器,也可以是一个多核处理器。
本发明实施例还提供一种计算机可读存储介质。该计算机可读存储介质中存储有指令,当指令被运行时,实现上述实施例中由控制平台执行的功能。
在上述实施例中,可以全部或部分地通过软件、硬件、固件或者其任意组合来实现。当使用软件实现时,可以全部或部分地以计算机程序产品的形式实现。计算机程序产品包括一个或多个计算机程序或指令。在计算机上加载和执行计算机程序或指令时,全部或部分地执行本发明实施例的流程或功能。计算机可以是通用计算机、专用计算机、计算机网络、终端、用户设备或者其它可编程装置。计算机程序或指令可以存储在计算机可读存储介质中,或者从一个计算机可读存储介质向另一个计算机可读存储介质传输,例如,计算机程序或指令可以从一个网站站点、计算机、服务器或数据中心通过有线或无线方式向另一个网站站点、计算机、服务器或数据中心进行传输。计算机可读存储介质可以是计算机能够存取的任何可用介质或者是集成一个或多个可用介质的服务器、数据中心等数据存储设备。可用介质可以是磁性介质,例如,软盘、硬盘、磁带;也可以是光介质,例如,数字视频光盘(digital video disc,DVD);还可以是半导体介质,例如,固态硬盘(solid state drive,SSD)。
尽管在此结合各实施例对本发明进行了描述,然而,在实施所要求保护的本发明过程中,本领域技术人员通过查看附图、公开内容、以及所附权利要求书,可理解并实现公开实施例的其他变化。在权利要求中,“包括”(comprising)一词不排除其他组成部分或步骤,“一”或“一个”不排除多个的情况。单个处理器或其他单元可以实现权利要求中列举的若干项功能。相互不同的从属权利要求中记载了某些措施,但这并不表示这些措施不能组合起来产生良好的效果。
尽管结合具体特征及其实施例对本发明进行了描述,显而易见的,在不脱离本发明的精神和范围的情况下,可对其进行各种修改和组合。相应地,本说明书和附图仅仅是所附权利要求所界定的本发明的示例性说明,且视为已覆盖本发明范围内的任意和所有修改、变化、组合或等同物。显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包括这些改动和变型在内。
Claims (9)
1.一种硅片生产系统,其特征在于,所述硅片生产系统包括:控制平台,与所述控制平台通信的切片设备、脱胶设备、插片清洗设备以及分选设备;
所述控制平台用于根据所述切片设备的加工需求信息,控制所述切片设备对切片原料进行切片工序,获得切片物料;控制脱胶设备对所述切片物料进行脱胶工序,得到脱胶物料;控制所述插片清洗设备对所述脱胶物料进行插片清洗工序,得到插片物料;控制所述分选设备对所述插片物料进行分选工序,得到硅片;
所述控制平台还用于根据所述切片设备的加工计划和所述切片设备的当前加工记录,以所述切片物料的长度、规格以及几拼情况为参数,按照所述切片设备的加工完工节点生成所述切片设备的加工需求信息;
其中,所述切片设备用于在完成所述切片工序之后,向所述控制平台发送切片物料的切片工序信息;所述脱胶设备用于在完成所述脱胶工序之后,向所述控制平台发送脱胶物料的脱胶工序信息,所述插片清洗设备用于在完成所述插片清洗工序之后,向所述控制平台发送所述脱胶物料的插片清洗工序信息,所述分选设备用于在完成所述分选工序之后,向所述控制平台发送所述硅片的分选工序信息;
所述控制平台还用于根据所述切片设备的加工需求信息确定切片原料信息,将所述切片工序信息、脱胶工序信息、插片清洗工序信息和分选工序信息与所述切片原料信息进行绑定和存储;
所述硅片生产系统还包括与控制平台通信的称量设备;
所述控制平台还用于在接收到所述脱胶设备发送的脱胶任务完成信号的情况下,控制所述称量设备称量所述切片工序产生的第一边角料以及所述脱胶工序产生的第二边角料;并将所述称量设备发送的第一边角料信息和第二边角料信息与所述切片原料信息进行绑定和存储。
2.根据权利要求1所述的硅片生产系统,其特征在于,所述硅片生产系统还包括与所述控制平台通信的第一搬运设备和第二搬运设备;
所述控制平台还用于根据所述切片设备的加工需求信息,确定切片原料数据库中存在满足所述加工需求信息的切片原料信息的情况下,控制第一搬运设备从切片原料库中将切片原料信息对应的切片原料运送至切片设备上料工位;
所述控制平台还用于根据所述切片设备的上料任务,控制第二搬运设备将相应的切片原料上料至切片设备。
3.根据权利要求1所述的硅片生产系统,其特征在于,所述硅片生产系统还包括与所述控制平台通信的切片下料设备;
所述控制平台还用于控制所述切片下料设备对所述切片设备生产的所述切片物料进行下料处理;
和/或,所述控制平台还用于在所述切片下料设备的下料操作时长大于预设下料时长时,向用户端发送下料超时提醒信息。
4.根据权利要求3所述的硅片生产系统,其特征在于,所述控制平台还用于在控制所述切片下料设备对所述切片设备生产的所述切片物料进行下料处理之前,向所述用户端发送所述切片下料任务;所述用户端与所述切片下料设备进行通信;
其中,所述用户端用于根据所述切片下料任务的生成顺序,控制所述切片下料设备与相应的所述切片设备进行下料匹配,还用于在所述切片下料设备完成切片下料任务之后,控制所述切片下料设备与相应的所述脱胶设备进行匹配。
5.根据权利要求1-4任一项所述的硅片生产系统,其特征在于,所述硅片生产系统还包括与所述控制平台通信的第三搬运设备;
所述控制平台还用于在控制所述插片清洗设备对所述脱胶物料进行插片清洗处理之前,根据所述脱胶设备发送的脱胶处理完成信号的顺序,控制所述第三搬运设备将相应脱胶物料上料至插片清洗设备。
6.根据权利要求1-4任一项所述的硅片生产系统,其特征在于,所述脱胶物料位于料托中,所述插片物料位于插片花篮中,同一所述料托中的脱胶物料经过插片清洗处理后,得到的所述插片物料存放在多个所述插片花篮;
所述插片清洗工序信息包括所述插片物料所在的插片花篮信息,所述插片花篮信息包括插片花篮标识和插片花篮实际插片数量;
所述控制平台还用于确定所述插片清洗工序信息包含的插片花篮实际插片数量小于插片花篮最大插片数量的情况下,控制所述插片清洗设备将下一个所述脱胶工序得到的脱胶物料存放至所述插片花篮中。
7.根据权利要求1-4任一项所述的硅片生产系统,其特征在于,所述硅片生产系统还包括与控制平台通信的第四搬运设备;
所述控制平台还用于根据所述插片清洗设备发送的插片清洗完成信号,控制所述第四搬运设备将所述插片物料上料至分选设备。
8.根据权利要求1-4任一项所述的硅片生产系统,其特征在于,所述硅片生产系统还包括与所述控制平台通信的包装设备;
所述控制平台还用于根据所述分选设备发送的分选完成信号,控制所述包装设备对所述硅片进行包装,得到硅片包装物料,并将所述包装设备发送的包装工序信息与所述切片原料信息进行绑定和存储。
9.根据权利要求8所述的硅片生产系统,其特征在于,所述硅片生产系统还包括与所述控制平台通信的第五搬运设备;
所述控制平台还用于根据所述包装设备发送的包装完成信号,控制所述第五搬运设备将所述硅片包装物料存放至硅片物料库中,并将所述第五搬运设备生成的入库工序信息与所述切片原料信息进行绑定和存储。
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