CN112440399B - 晶棒固定治具 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种晶棒固定治具，能够将晶棒良好地固定于固定板组件上。晶棒固定治具包括基台、可转动底座、偏角调整组件以及顶定位组件。可转动底座可旋转地设置于基台上。固定板组件定位于可转动底座上。偏角调整组件可伸缩地设置于基台。偏角调整组件适于推拉可转动底座，以使可转动底座相对于基台转动。顶定位组件可移动地设置于可转动底座上方，以靠近或远离可转动底座。晶棒放置在位于可转动底座上的固定板组件上。晶棒的延伸方向与固定板组件的长边延伸方向夹有角度。晶棒位于可转动底座与顶定位组件之间并受顶定位组件向下推抵而紧密接触固定板组件。本发明的晶棒固定治具能够将晶棒良好地固定于固定板组件上。

Description

晶棒固定治具

技术领域

本发明涉及一种固定治具，尤其涉及一种晶棒固定治具。

背景技术

一般而言，在对晶棒进行切割程序，以将晶棒切割成晶片之前，通常会将晶棒固定在固定板组件(例如是以黏着的方式固定)上，后续再将晶棒与固定板组件一起移至对应的设备进行切割程序。在切割程序中，固定板组件会带着晶棒往切割芯片的线锯移动，而切割出多片晶片。目前，要如何利用简单的治具来将晶棒固定在固定板组件上一段时间，以使晶棒与固定板组件之间的黏胶固化，是欲探讨的问题。

此外，晶棒常会沿特定角度(晶向角)固定在固定板组件上，要如何使晶棒能够以所需的角度固定在固定板组件上也是欲探讨的方向。

发明内容

本发明提供一种晶棒固定治具，其能够将晶棒良好地固定于固定板组件上。

本发明的晶棒固定治具，适于将晶棒固定于固定板组件上。晶棒固定治具包括基台、可转动底座、偏角调整组件以及顶定位组件。可转动底座配置于基台上，且可旋转地设置于基台。固定板组件适于定位于可转动底座上。偏角调整组件可伸缩地设置于基台上，且位于可转动底座旁。偏角调整组件适于推拉可转动底座，以使可转动底座相对于基台转动。顶定位组件可移动地设置于可转动底座的上方，以靠近或远离可转动底座。晶棒适于放置在位于可转动底座上的固定板组件上。晶棒的延伸方向与固定板组件的长边延伸方向夹有角度。晶棒位于可转动底座与顶定位组件之间，并受顶定位组件向下推抵而紧密接触固定板组件。

在本发明的一实施例中，上述的晶棒固定治具还包括侧定位组件，立起于基台，其中侧定位组件适于接触晶棒。

在本发明的一实施例中，上述的侧定位组件还包括侧墙、柱体、定位挡板以及间隔件。侧墙垂直地设置于基台。柱体沿着侧墙的法线方向设置于侧墙。定位挡板可移动地套设于柱体而适于靠近或远离侧墙。间隔件设置柱体上且位于侧墙与定位挡板之间。定位挡板适于接触晶棒。

在本发明的一实施例中，上述的柱体上设有转钮或可调式螺帽，定位挡板通过转钮或可调式螺帽转动而相对于侧墙移动。

在本发明的一实施例中，上述的偏角调整组件包括旋钮及连动于旋钮的杆端关节轴承。可转动底座包括凸柱。杆端关节轴承套设于凸柱，以驱动可转动底座旋转。

在本发明的一实施例中，上述的可转动底座还包括底座本体以及固定于底座本体的量角凸板。底座本体可旋转地设置于基台。凸柱设置于量角凸板。杆端关节轴承适于推拉量角凸板，以驱动底座本体旋转。

在本发明的一实施例中，上述的可转动底座还包括底座本体以及连接于底座本体的量角凸板。基台面对于可转动底座的上表面具有第一色块区与第二色块区。第一色块区与第二色块区位于量角凸板下方。第一色块区的颜色不同于第二色块区的颜色。当可转动底座沿顺时针方向旋转时，量角凸板暴露第一色块区而遮蔽第二色块区。当可转动底座沿逆时针方向旋转时，量角凸板暴露第二色块区而遮蔽第一色块区。

在本发明的一实施例中，上述的晶棒固定治具还包括定位压钳，设置于基台且位于可转动底座旁。其中定位压钳适于瞬时地固定可转动底座相对于基台的位置。

在本发明的一实施例中，上述的晶棒固定治具还包括设置于基台的偏角测量组件。其中偏角测量组件包括沿轴线伸缩的伸缩件。伸缩件抵靠于可转动底座。

在本发明的一实施例中，上述的晶棒固定治具还包括透明罩体，且透明罩体罩设偏角测量组件。

在本发明的一实施例中，上述的可转动底座还包括底座本体以及连接于底座本体的量角凸板，晶棒固定治具还包括固定于基台且位于偏角测量组件下方的替换量角凸板，其中替换量角凸板支撑偏角测量组件且适于替换量角凸板。

在本发明的一实施例中，上述的基台与可转动底座的其中一者具有基准孔，另一者包括凸轴。可转动底座通过凸轴可旋转地设置于基准孔的搭配，以相对于基台转动。

在本发明的一实施例中，上述的固定板组件包括硬板以及固定于硬板上的第一垫片。硬板适于定位于可转动底座。第一垫片适于位于晶棒与硬板之间。基台面对于固定板组件的上表面具有辅助标记，且辅助标记对应于第一垫片的尺寸。

在本发明的一实施例中，上述的顶定位组件包括压板、多个定位柱以及第二垫片。这些定位柱垂直地设置于基台，压板通过这些定位柱可移动地设置于基台的上方。第二垫片固定于压板且适于位于晶棒与压板之间。

在本发明的一实施例中，上述的晶棒固定治具还包括降摩擦层，配置于可转动底座与基台面对彼此的两表面的其中一面上。

基于上述，在本发明的晶棒固定治具中，顶定位组件可移动地设置于可转动底座上方，且晶棒位于可转底座与顶定位组件之间。顶定位组件能够向下推抵晶棒，以使晶棒更紧密地接触而固定(例如是黏着)于固定板组件，晶棒与固定板组件之间的黏胶可在顶定位组件向下推抵晶棒的这段时间中固化。基于此设计，本发明的晶棒固定治具能够简便且快速地将晶棒固定于固定板组件。另外，本发明的顶定位组件为可移动地设置于可转动底座上方，如此，本发明的晶棒固定治具能够适用于不同大小的晶棒，具以极佳的通用性。另一方面，偏角调整组件能够推拉可转动底座，而使可转动底座能够相对于基台转动至特定角度。由于固定板组件能够定位于可转动底座，而可随着可转动底座旋转至特定角度。晶棒可被黏着于可转动底座上的固定板组件上。如此，晶棒的延伸方向与固定板组件的长边的延伸方向便会夹有此特定角度。换句话说，不同偏角度与尺寸的晶棒均可应用本发明的晶棒固定治具来固定至固定板组件。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图作详细说明如下。

附图说明

图1是依照本发明的一实施例的晶棒固定治具的透视示意图；

图2是图1的晶棒固定治具的可转动底座的示意图；

图3是图1的晶棒固定治具的基座的示意图；

图4A是图1的晶棒固定治具于另一视角的示意图；

图4B是图1的晶棒固定治具的俯视示意图；

图5是图1的晶棒固定治具的间隔件的示意图；

图6是依照本发明的另一实施例的晶棒固定治具的透视示意图；

图7是图6的晶棒固定治具的间隔件的示意图；

图8是图1的晶棒固定治具的偏角调整组件的示意图；

图9是图1的晶棒固定治具的偏角测量组件的示意图；

图10A至图10B是图1的量角凸板的移动方式的示意图；

图11A至图11B是图1的晶棒固定治具的定位压钳的移动方式的示意图。

附图标记说明

10、10a：晶棒；

50：固定板组件；

52：硬板；

54：第一垫片；

100、100a：晶棒固定治具；

110：基台；

112：上表面；

112a：第一色块区；

112b：第二色块区；

1121：辅助标记；

114：基准孔；

120：可转动底座；

121：凸柱；

122：底座本体；

123：量角凸板；

123a：替换量角凸板；

124：凸轴；

125：表面；

126：下表面；

130：偏角调整组件；

132：旋钮；

134：杆端关节轴承；

136：保护罩；

140：顶定位组件；

142：压板；

144：定位柱；

146：第二垫片；

150：侧定位组件；

152：侧墙；

154：柱体；

156：定位挡板；

158、158a：间隔件；

1581、1581a：限位槽；

160：定位压钳；

162：摩擦件；

170：偏角测量组件；

172：伸缩件；

180：透明罩体；

190：降摩擦层；

D1：延伸方向；

D2：长边延伸方向；

T1、T2：厚度；

N：法线方向；

S：轴线；

S1：顺时针方向；

S2：逆时针方向；

θ：角度。

具体实施方式

现将详细地参考本发明的示范性实施例，示范性实施例的实例说明于附图中。只要有可能，相同组件符号在附图和描述中用来表示相同或相似部分。

一般来说，在晶片的制造程序中，在将晶棒切割成片状的晶片之前，需先在将晶棒黏合至固定板组件，以使后续切割程序中，固定板组件能够带着晶棒往切割芯片的线锯移动，而切割出多片晶片。由于晶棒需沿着特定角度固定至固定板组件。因此，需要通过特定的治具来将晶棒固定于固定板组件上。下面将对晶棒固定治具进行详细的说明。

图1是依照本发明的一实施例的晶棒固定治具的透视示意图。图2是图1的晶棒固定治具的可转动底座的示意图。图3是图1的晶棒固定治具的基座的示意图。请先参考图1，在本实施例中，晶棒固定治具100包括基台110、可转动底座120、偏角调整组件130以及顶定位组件140。可转动底座120配置于基台上，且可转动底座120可旋转地设置于基台110上。此外，本实施例的晶棒固定治具100适于将晶棒10固定于固定板组件50上。需说明的是，在本实施例中，晶棒10固定于固定板组件50的方式例如为利用黏胶黏合，但在其他实施例中，也可采用其他适当的固定方式，本发明并不以此为限。另外，本发明的附图中皆省略了黏胶。

进一步地说，请参考图2及图3，在本实施例中，基台110与可转动底座120的其中一者具有基准孔114，另一者包括凸轴124。如此，可转动底座120便能够借着以凸轴124可旋转地设置于基准孔114的搭配方式，而相对于该基台110转动。需说明的是，本实施例的凸轴124例如示出为设置于可转动底座120上，基准孔114例如示出为设置于基台110上。当然，在其他实施例中，凸轴124也可以设置于基台110上，基准孔114也可以设置于可转动底座120上。此外，在其他实施例中，也可以不设置为凸轴124与基准孔114配合的形式，只要能够让可转动底座120相对于基台110旋转即可，本发明不对凸轴124的位置、基准孔114的位置、凸轴124的形式以及基准孔114的形式加以限制。

此外，请参考图1及图2，在本实施例中，固定板组件50适于定位于可转动底座120上。详细而言，可转动底座120上设有定位结构，也就是说，当固定板组件50设置于可转动底座120上时，固定板组件50的长边延伸方向D2能够同步于可转动底座120相对于基台110旋转。

进一步地说，请参考图2及图3，在本实施例中，晶棒固定治具100还包括降摩擦层190，配置于可转动底座120与基台110面对彼此的两表面125的其中一面上，以提供可转动底座120与基台110之间摩擦力，且降摩擦层190还具有增加密合度与消除晃动的功能。具体而言，本实施例的降摩擦层190例如为特氟龙胶带，且特氟龙胶带黏贴于可转动底座120的下表面126上。当然，在其他实施例中，降摩擦层190也可以配置于基台110面对于可转动底座120的表面125上，且降摩擦层190也可以是其他适当的材质，本发明不对降摩擦层190的位置与材质加以限制。

另外，请参考图1，在本实施例中，固定板组件50包括硬板52以及固定于硬板52上的第一垫片54，且第一垫片54适于位于晶棒10与硬板52之间。需说明的是，在本实施例中，硬板52例如为铁板，第一垫片54例如为树脂条。当然，在其他实施例中，硬板52也可为铁板以外的材质，第一垫片54也可为其他硬质且硬度低于铁板的材料，本发明不对硬板52以及第一垫片54的材质加以限制。具体而言，在进行晶棒10切割程序时，为了避免刀具(未示出)与铁板直接接触而造成刀具磨损。因此，本实施例的铁板以及晶棒10之间设置了树脂条，以使刀具在切割终点时只会切到树脂条，而具有缓冲效果，以增加刀具的使用寿命。

需说明的是，在本实施例中，图1中所示出的晶棒10的大小仅为举例，本发明并不以此为限，在其他实施例中，各种大小的晶棒10皆能够配置于本发明的晶棒固定治具100上。也就是说，本实施例的第一垫片54为耗材，因此，当晶棒大小不同时，也能够配置不同大小的第一垫片，以避免材料的浪费。当然，在其他实施例中，也可以皆使用同样尺寸的第一垫片54，本发明并不以此为限。

另外，请参考图1及图3，在本实施例中，基台110具有面对于固定板组件50的上表面112，且上表面112具有辅助标记1121。辅助标记1121对应各种大小的第一垫片的尺寸，如此，操作者便能够通过辅助标记1121将对应的第一垫片设置于铁板上。

图4A是图1的晶棒固定治具于另一视角的示意图。图4B是图1的晶棒固定治具的俯视示意图。需说明的是，图4A及图4B中省略了顶定位组件140的构造。请参考图1、图4A及图4B，在本实施例中，偏角调整组件130可伸缩地设置于基台110上，且偏角调整组件130位于可转动底座120旁。具体而言，在本实施例中，偏角调整组件130用以推拉可转动底座120，以使可转动底座120相对于基台110转动。晶棒10适于沿着基台110的长边方向放置在位于可转动底座120上的固定板组件50上，而使晶棒10的延伸方向D1与固定板组件50的长边延伸方向D2夹有角度θ(图4B)。角度θ例如是晶棒10的偏向角，但不以此为限制。

此外，请回到图1，在本实施例中，顶定位组件140可移动地设置于可转动底座120的上方，以靠近或远离可转动底座120。详细地说，本实施例的顶定位组件140包括压板142、多个定位柱144以及第二垫片146。这些定位柱144垂直地设置于基台110。压板142会穿设于这些定位柱144，而可移动地设置于基台110的上方。第二垫片146固定于压板142且适于位于晶棒10与压板142之间。如此，当晶棒10放置在位于可转动底座120上的固定板组件50时，晶棒10会位于可转动底座120与顶定位组件140之间。基于此设计，当顶定位组件14向下推抵晶棒10时，第二垫片146接触晶棒10，而使晶棒10紧密接触于位于晶棒10下方的固定板组件50。

换言之，在本实施例中第二垫片146具有缓冲的功效，且如图1所示，在本实施例中，第二垫片146的形状对应于晶棒10的外轮廓，以使第二垫片146能够更紧密地贴合于晶棒10。基于此设计，压板142便能够更彻底地抵压晶棒10，且还能防止晶棒10或压板142的表面125受损。需说明的是，在本实施例中，第二垫片146例如为树脂条，但在其他实施例中，第二垫片146的材料可以依照实际需求而有适当的配置，本发明并不以此为限。

具体而言，本发明的晶棒固定治具100将晶棒10固定于固定板组件50的步骤为，首先，操作者会先依据例如是偏向角等信息去决定晶棒10的延伸方向D1与固定板组件50的长边延伸方向D2所需夹有的角度θ。接着，操作者利用偏角调整组件130将可转动底座120相对于基台110转动角度θ。之后，再将晶棒10沿着延伸方向D1放置于可转动底座120上，并通过顶定位组件140推抵晶棒10以将晶棒10紧密地黏合于固定板组件50。如此，本发明的晶棒固定治具100便能够简便且快速地将晶棒10与固定板组件50固定在一起，以提升产能。

请回到图1，在本实施例中，晶棒固定治具100还包括侧定位组件150，且侧定位组件150立起于基台110。详细地说，侧定位组件150包括侧墙152、至少一柱体154、定位挡板156以及间隔件158。侧墙152垂直地设指至于基台110。柱体154沿着侧墙152的法线方向N设置于侧墙152。定位挡板156可移动地套设于柱体154，而适于沿着柱体154靠近或远离侧墙152。柱体154上设有转钮或可调式螺帽，定位挡板156通过转钮或可调式螺帽转动而相对于侧墙152移动，以调整侧墙152与定位挡板156之间的距离。需说明的是，在本实施例中，柱体154的数量例如示出为三个，但并不以此为限。

此外，在本实施例中，定位挡板156用以接触晶棒10，以在侧向上对晶棒10定位。间隔件158设置于柱体154上，且间隔件158位于侧墙152与定位挡板156之间。详细地说，在本实施例中，当晶棒10放置于固定板组件50上时，定位挡板156具有定位的功能，能够作为晶棒10放置于固定板组件50时的侧基准面，以使晶棒10能够沿着延伸方向D1设置于固定板组件50，而不会偏离。

图5是图1的晶棒固定治具的间隔件的示意图。请参阅图5，在本实施例中，间隔件158具有分别对应于三个柱体154的限位槽1581，并通过限位槽1581设置于三个柱体154上。如此，间隔件158能够在法线方向N(图4A)上支撑定位挡板156，以防止定位挡板156变形或是移开。

在此必须说明的是，下述实施例沿用前述实施例的组件标号与部分内容，其中采用相同的标号来表示相同或近似的组件，并且省略了相同技术内容的说明。关于省略部分的说明可参考前述实施例，下述实施例不再重复赘述。

图6是依照本发明的另一实施例的晶棒固定治具的透视示意图。图7是图1的晶棒固定治具的间隔件的示意图。请先参考图6及图7，本实施例的晶棒固定治具100a与前一实施例的晶棒固定治具100的主要差异在于，在本实施例中，晶棒10a(图6)的尺寸小于前一实施例的晶棒10(图1)的尺寸，且本实施例的间隔件158a(图7)的厚度T2大于前一实施例的间隔件158(图5)的厚度T1。此外，如图7所示，本实施例的间隔件158a同样地具有分别对应于三个柱体154的限位槽1581a，并通过限位槽1581a设置于三个柱体154上。

请参考图4A、图5、图6及图7，简言之，图4A的实施例的间隔件158(图5)与图6的实施例的间隔件158a(图7)皆为可替换的组件。图4A的晶棒固定治具100及图6的晶棒固定治具100a大致上结构相同。也就是说，随着晶棒10、10a的尺寸不同，图4A的晶棒固定治具100与图6的晶棒固定治具100a会分别配置不同尺寸的间隔件158(图5)或间隔件158a(图7)。基于此设计，图4A的实施例的侧定位组件150的定位挡板156，能够准确地作为晶棒10配置于固定板组件50上时的侧基准面。图6的实施例的侧定位组件150a的定位挡板156，也能够准确地作为晶棒10a配置于固定板组件50上时的侧基准面。

需说明的是，上述实施例中的间隔件158、158a例如是利用3D打印的方式制作而出。如此，便能够快速且简便地制作出对应各种晶棒尺寸的间隔件。另一方面，如图5及图7所示，上述实施例中的间隔件158、158a是直接放置于柱体154(图4A)上，也就是说，上述实施例中的间隔件158、158a在配置于柱体154(图4A)上时，操作者不需要先将定位挡板156从柱体154移下，便可以直接更换各种尺寸的间隔件。当然，在其他的实施例中，间隔件的尺寸除了图5或图7示出的尺寸之外，还能够有其他不同的尺寸与形状。另外，间隔件也不一定要利用3D打印的方式制作，也可以采用其他适当的方式制造而出。本发明不对间隔件的尺寸、形状与制造方式加以限制。

以下将以图1的实施例来说明偏角调整组件130、可转动底座120、基台110以及晶棒固定治具100的其余构造。

图8是图1的晶棒固定治具的偏角测量组件的局部透视示意图。请参考图4A、图4B及图8，在本实施例中，偏角调整组件130包括旋钮132(图4A)、螺接于旋钮132的螺杆、位于螺杆末端且连动于旋钮132的杆端关节轴承134(图8)以及罩设于杆端关节轴承134的保护罩136(图4B)。

在本实施例中，旋钮132可转动，而使螺杆沿着侧墙152的法线方向N可移动地设置侧墙152，以控制杆端关节轴承134沿法线方向N移动。此外，可转动底座120包括还包括凸柱121(图8)、底座本体122(图4B)以及固定于该底座本体122的量角凸板123，且底座本体122可旋转地设置于基台110。详细而言，如图8所示，凸柱121设置于量角凸板123上，且杆端关节轴承134套设于凸柱121。保护罩136罩设于杆端关节轴承134与凸柱121，以提供保护和/或防止误触。当然，在其他实施例中，以可以不设置保护罩136，本发明并不以此为限。

基于此设计，杆端关节轴承134适于推拉可转动底座120的量角凸板123，以带动可转动底座120的底座本体122相对于基台110旋转。此外，如图8所示，本实施例的量角凸板123上设置了刻度，操作者能够通过量角凸板123上的刻度将可转动底座120旋转对应的角度。

值得一提的是，螺杆的螺纹间隙(也就是旋钮132转一圈时螺杆移动的距离)会影响可转动底座120转动的角度精密度，操作者可视需求更换不同螺纹间隙的螺杆，以满足所需的角度精密度。此外，量角凸板123的长度越大(也就是凸出于底座本体122越多)，代表量角凸板123上的刻度区与可转动底座120的凸轴124(也就是枢接于基台110的基准孔114的部位)之间的距离越大。量角凸板123的长度越大代表着，当可转动底座120相对于基台110转动任一角度时，量角凸板123的运动路径越大。反过来说，量角凸板123上的刻度区中的每格所对应的角度会更小，而使得转动角度更为精密。

图9是图1的晶棒固定治具的偏角测量组件的示意图。图10A至图10B是图1的量角凸板的移动方式的示意图。请参考图4B、图9、图10A及图10B，进一步而言，在本实施例中，晶棒固定治具100还包括偏角测量组件170。其中偏角测量组件170包括沿轴线S伸缩的伸缩件172，且伸缩件172抵靠于可转动底座120。需说明的是，在本实施例中，轴线S例如是平行于法线方向N(图4B)，也就是说，轴线S与法线方向N为同一条延伸线，但并不以此为限。伸缩件172例如是抵靠于可转动底座120的量角凸板123，但本发明并不以此为限。

具体而言，在本实施例中，偏角测量组件170能够测量出伸缩件172沿着轴线S的伸缩量信息，也就是说，操作者只要知道量角凸板123所欲旋转的偏角度θ(图4B)的数值换算出伸缩件172对应的伸缩量，便能够通过伸缩件172的伸缩量，来判断出是否有将量角凸板123旋转至正确的角度θ，而作为角度θ的第二重确认。在本实施例中，偏角测量组件170例如是深度仪，其可测量出伸缩件172沿着轴线S的伸缩量信息，并换算此伸缩量信息所对应的偏角度θ数值。此外，在其他实施例中，也可以设置处理器(未示出)，并通过处理器来判断或是换算出此伸缩量信息所对应的偏角度θ数值，以供操作者直接检视是否有将量角凸板123旋转至正确的角度θ(伸缩件172的伸缩量是否正确)，当然，本发明并不以此为限。

此外，请参考图9，在本实施例中，晶棒固定治具100可选择地还包括透明罩体180以及替换量角凸板123a。透明罩体180罩设偏角测量组件170。如此，便能防止偏角测量组件170被误触而造成误差的状况。另外，替换量角凸板123a固定于基台110且位于偏角测量组件170下方，且替换量角凸板123a适于支撑偏角测量组件170。当量角凸板123损坏时替换量角凸板123a可用以替换量角凸板123。

请参考图10A及图10B，在本实施例中，基台110面对于可转动底座120的上表面112具有第一色块区112a与第二色块区112b。第一色块区112a与第二色块区112b位于量角凸板123下方。进一步地说，第一色块区112a的颜色不同于第二色块区112b的颜色，在本实施例中，第一色块区112a的颜色例如为绿色(以疏点表示)，第二色块区112b的颜色例如为黄色(以密点表示)。当然，在其他实施例中，本发明不对第一色块区112a与第二色块区112b的颜色加以限制。

详细地说，如图10B所示，当可转动底座120沿顺时针方向S1旋转时，量角凸板123暴露第一色块区112a而遮蔽第二色块区112b。如图10A所示，当可转动底座120沿逆时针方向S2旋转时，量角凸板123暴露第二色块区112b而遮蔽第一色块区112a。基于此设计，本实施例的第一色块区112a与第二色块区112b可以发挥提醒操作者的作用，进而防止操作者在转动可转动底座120时，转动的角度数值正确但方向却相反的情况。

图11A至图11B是图1的晶棒固定治具的定位压钳的移动方式的示意图。请参考图11A及图11B，在本实施例中，晶棒10固定治具可选择地还包括定位压钳160，设置于基台110且位于可转动底座120旁。其中定位压钳160适于瞬时地固定可转动底座120相对于基台110的位置。具体而言，在本实施例中，当可转动底座120在移动时，定位压钳160呈现如图11A所示的形式。当可转动底座120旋转对应的角度θ时，定位压钳160适于旋转下压可转动底座120的量角凸板123，以瞬时地固定可转动底座120相对于基台110的位置。此外，定位压钳160与量角凸板123接触之处设有摩擦件162。

也就是说，本实施例的定位压钳160是通过摩擦件162与量角凸板123之间的摩擦力与定位压钳160下压的力道，以瞬时地固定可转动底座120相对于基台110的位置。需说明的是，在其他实施例中，定位压钳160也可以利用其他方式固定可转动底座120，例如干涉或卡合等，本发明不对定位压钳的形式与定位压钳固定可转动底座120的方式加以限制，只要能够瞬时地固定可转动底座120相对于基台110的位置，以防止调整完成的角度θ在放置晶棒10的过程中移位而造成误差即可。

综上所述，在本发明的晶棒固定治具中，偏角调整组件能够推拉可转动底座，而使可转动底座能够相对于基台转动至特定角度。由于固定板组件能够定位于可转动底座，而可随着可转动底座旋转至特定角度。晶棒可被放置(和/或黏着)于可转动底座上的固定板组件上。如此，晶棒的延伸方向与固定板组件的长边的延伸方向便会夹有此特定角度。另一方面，顶定位组件可移动地设置于可转动底座上方，且晶棒位于可转底座与顶定位组件之间。顶定位组件能够向下推抵晶棒，以使晶棒更紧密地接触而固定(例如是黏着)于固定板组件。基于此设计，本发明的晶棒固定治具能够简便且快速地将晶棒沿着特定角度固定于固定板组件。另外，本发明的顶定位组件为可移动地设置于可转动底座上方，如此，本发明的晶棒固定治具能够适用于不同大小的晶棒，具以极佳的通用性。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (12)

1.一种晶棒固定治具，适于将晶棒固定于固定板组件上，其特征在于，所述晶棒固定治具包括：

基台；

可转动底座，配置于所述基台上且可旋转地设置于所述基台，其中所述固定板组件适于定位于所述可转动底座上；

偏角调整组件，可伸缩地设置于所述基台上且位于所述可转动底座旁，而适于推拉所述可转动底座，以使所述可转动底座相对于所述基台转动；

顶定位组件，可移动地设置于所述可转动底座的上方，以靠近或远离所述可转动底座，其中所述晶棒适于放置在位于所述可转动底座上的所述固定板组件上，所述晶棒的延伸方向与所述固定板组件的长边延伸方向夹有角度，且所述晶棒位于所述可转动底座与所述顶定位组件之间并受所述顶定位组件向下推抵而紧密接触所述固定板组件；以及

设置于所述基台的偏角测量组件，其中所述偏角测量组件包括沿轴线伸缩的伸缩件，所述伸缩件抵靠于所述可转动底座，还包括侧定位组件，立起于所述基台，其中所述侧定位组件适于接触所述晶棒，所述侧定位组件包括侧墙、柱体、定位挡板以及间隔件，所述侧墙垂直地设置于所述基台，所述柱体沿着所述侧墙的法线方向设置于所述侧墙，所述定位挡板可移动地套设于所述柱体而适于靠近或远离所述侧墙，所述间隔件设置所述柱体上且位于所述侧墙与所述定位挡板之间，所述定位挡板适于接触所述晶棒。

2.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述柱体上设有转钮或可调式螺帽，所述定位挡板通过所述转钮或所述可调式螺帽转动而相对于所述侧墙移动。

3.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述偏角调整组件包括旋钮及连动于所述旋钮的杆端关节轴承，所述可转动底座包括凸柱，所述杆端关节轴承套设于所述凸柱，以驱动所述可转动底座旋转。

4.根据权利要求3所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述可转动底座还包括底座本体以及固定于所述底座本体的量角凸板，所述底座本体可旋转地设置于所述基台，所述凸柱设置于所述量角凸板，所述杆端关节轴承适于推拉所述量角凸板，以驱动所述底座本体旋转。

5.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述可转动底座还包括底座本体以及连接于所述底座本体的量角凸板，所述基台面对于所述可转动底座的上表面具有第一色块区与第二色块区，所述第一色块区与所述第二色块区位于所述量角凸板下方，所述第一色块区的颜色不同于所述第二色块区的颜色，当所述可转动底座沿顺时针方向旋转时，所述量角凸板暴露所述第一色块区而遮蔽所述第二色块区，当所述可转动底座沿逆时针方向旋转时，所述量角凸板暴露所述第二色块区而遮蔽所述第一色块区。

6.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，还包括定位压钳，设置于所述基台且位于所述可转动底座旁，其中所述定位压钳适于瞬时地固定所述可转动底座相对于所述基台的位置。

7.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，还包括透明罩体，且所述透明罩体罩设所述偏角测量组件。

8.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述可转动底座还包括底座本体以及连接于所述底座本体的量角凸板，所述晶棒固定治具还包括固定于所述基台且位于所述偏角测量组件下方的替换量角凸板，其中所述替换量角凸板支撑所述偏角测量组件且适于替换所述量角凸板。

9.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述基台与所述可转动底座的其中一者具有基准孔，另一者包括凸轴，且所述可转动底座通过所述凸轴可旋转地设置于所述基准孔的搭配，以相对于所述基台转动。

10.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述固定板组件包括硬板以及固定于所述硬板上的第一垫片，且所述硬板适于定位于所述可转动底座，所述第一垫片适于位于所述晶棒与所述硬板之间，所述基台面对于所述固定板组件的上表面具有辅助标记，且所述辅助标记对应于所述第一垫片的尺寸。

11.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述顶定位组件包括压板、多个定位柱以及第二垫片，所述多个定位柱垂直地设置于所述基台，所述压板通过所述多个定位柱可移动地设置于所述基台的上方，所述第二垫片固定于所述压板且适于位于所述晶棒与所述压板之间。

12.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，还包括降摩擦层，配置于所述可转动底座与所述基台面对彼此的两表面的其中一面上。

Images