CN217727510U - 一种晶圆刻号打印辅助治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于半导体封装技术领域，具体涉及一种晶圆刻号打印辅助治具，包含固定放置盘，所述固定放置盘设置有用于放置晶圆的放置台，所述放置台设置有手动放置区域和用于定位晶圆凹口的凹口定位柱，所述手动放置区域和所述凹口定位柱垂直设置，所述固定放置盘的底部设置有定位销，实现了晶圆与打印机平台之间相对固定，避免了晶圆刻号打印过程中产生偏移这一现。
Description
技术领域
本发明属于半导体封装技术领域，尤其涉及一种晶圆刻号打印辅助治具。
背景技术
目前激光打印机对晶圆进行刻号打印，是通过打印机设置有一带镂空区域的打印机平台，工作人员将晶圆手动倒扣放置在打印机平台上，使得晶圆凹口的位置落在镂空区域内，激光从打印机平台的镂空区域打印至晶圆凹口附近，由于是手动放置晶圆，晶圆和打印机平台之间没有固定位置，会存在晶圆放置不精准，从而产生晶圆刻号打印偏移这一问题。
发明内容
本实用新型目的在于提供一种晶圆刻号打印辅助治具,提高晶圆放置位置的准确性，克服打印偏移问题。
为解决上述技术问题，本实用新型的一种晶圆刻号打印辅助治具的具体技术方案如下：
一种晶圆刻号打印辅助治具，包含固定放置盘，所述固定放置盘设置有用于放置晶圆的放置台，所述放置台设置有手动放置区域和用于定位晶圆凹口的凹口定位柱，所述手动放置区域和所述凹口定位柱垂直设置，所述固定放置盘的底部设置有定位销，实现了晶圆与打印机平台之间相对固定，避免了晶圆刻号打印过程中产生偏移这一现象。
进一步，所述放置台包含12寸放置台和8寸放置台，所述12寸放置台和所述8寸放置台纵向同轴设置，所述凹口定位柱为2个，分别设置在所述12寸放置台和所述8寸放置台上。
进一步，所述手动放置区域包含第一镂空区域和第二镂空区域，所述第一镂空区域设置在所述12寸放置台上，所述第二镂空区域设置在所述8寸放置台上，所述第一镂空区域和所述第二镂空区域均与所述凹口定位柱垂直设置，便于手动精准放置晶圆。
进一步，所述12寸放置台和所述8寸放置台之间设置有辅助平台，所述辅助平台上设置有第三镂空区域，方便对12寸晶圆进行激光打印。
进一步，所述定位销的数量至少为四个，打印机平台上设置有对应的定位凹槽，将固定放置盘固定在打印机平台上，实现了晶圆刻号打印位置固定。
本实用新型的一种晶圆刻号打印辅助治具，通过固定放置盘采用凹口定位柱将晶圆精准放置，然后再利用固定放置盘底部的定位销将固定放置盘固定到打印机平台上，实现了晶圆刻号打印位置固定，避免了晶圆刻号打印过程中产生偏移这一现象。
附图说明
图1为本实用新型的晶圆结构示意图；
图2为本实用新型的一种晶圆刻号打印辅助治具俯视图；
图3为本实用新型的一种晶圆刻号打印辅助治具A-A方向剖视图；
图4为本实用新型的一种晶圆刻号打印辅助治具B-B方向剖视图；
图中标记说明：1、刻号区域；2、凹口；3、定位销；4、凹口定位柱；5、12寸放置台；6、8寸放置台；7、第一镂空区域；8、第二镂空区域；9、第三镂空区域；10、中间镂空区域；11、辅助平台。
具体实施方式
为了更好地了解本发明的目的、结构及功能，下面结合附图，对本实用新型一种晶圆刻号打印辅助治具做进一步详细的描述。
如图2至图4所示，一种晶圆刻号打印辅助治具，包含晶固定放置盘，所述固定放置盘上设置有放置台，所述放置台包含12寸放置台5和8寸放置台 6，所述12寸放置台5和所述8寸放置台6同轴设置，所述12寸放置台5位于所述8寸放置台6的上方。晶圆受制备工艺等限制，位于晶圆表面外围的芯片通常为无效芯片，将晶圆放置于放置台上时，为了不破坏晶圆上的有效芯片，需要注意将边缘无效芯片区域搭载在放置台上。在本实用新型中，将位于下方的8寸放置台设置成中间镂空区域10、边缘实体结构，8寸晶圆的边缘搭在边缘实体结构上即可，中间镂空区域10用于对8寸晶圆进行激光打印，12寸放置台5和8寸放置台6之间还设置有辅助平台11。
所述12寸放置台5和所述8寸放置台6的直径略大于所放晶圆尺寸，避免拿放晶圆时，对晶圆造成损伤，所述12寸放置台5设置有第一镂空区域7，所述8寸放置台6设置有第二镂空区域8，分别通过第一镂空区域7和第二镂空区域8手动将12寸晶圆和8寸晶圆放置在12寸放置台5和8寸放置台6上。
如图1所示，所述晶圆设置有刻号区域1，所述刻号区域1的宽度根据晶圆尺寸大小控制在6-8mm,所述刻号区域1处开设有凹口2，所述12寸放置台5和所述8寸放置台6上均设置有凹口定位柱4，通过凹口2与凹口定位柱4对位，实现晶圆精准放置，所述第一镂空区域7和所述第二镂空区域8均与所述凹口定位柱4垂直设置。
所述辅助平台11上设置有第三镂空区域9，所述第三镂空区域9的A-A方向上的宽度为10-40mm，由于激光从下至上打印，通过设置有第三镂空区域9方便激光对12寸晶圆进行打印。
所述固定放置盘底部四个角落处均设置有定位销3，打印机平台上相应设置有定位凹槽，通过定位销3和定位凹槽的配合使用，将固定放置盘固定到打印机平台上，所述打印机平台上也设置有对应的镂空区域，通过固定放置盘和打印机平台之间实现固定，进一步实现对晶圆刻号打印位置进行固定，避免了在打印过程中晶圆刻号偏移这一现象的产生。
可以理解，本发明是通过一些实施例进行描述的，本领域技术人员知悉的，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。另外，在本发明的教导下，可以对这些特征和实施例进行修改以适应具体的情况及材料而不会脱离本发明的精神和范围。因此，本发明不受此处所公开的具体实施例的限制，所有落入本申请的权利要求范围内的实施例都属于本发明所保护的范围内。
Claims (5)
1.一种晶圆刻号打印辅助治具，其特征在于，包含固定放置盘，所述固定放置盘设置有用于放置晶圆的放置台，所述放置台设置有手动放置区域和用于定位晶圆凹口的凹口定位柱（4），所述手动放置区域和所述凹口定位柱（4）垂直设置，所述固定放置盘的底部设置有定位销（3）。
2.根据权利要求1所述的晶圆刻号打印辅助治具，其特征在于，所述放置台包含12寸放置台（5）和8寸放置台（6），所述12寸放置台（5）和所述8寸放置台（6）纵向同轴设置，所述凹口定位柱（4）为2个，分别设置在所述12寸放置台（5）和所述8寸放置台（6）上。
3.根据权利要求2所述的晶圆刻号打印辅助治具，其特征在于，所述手动放置区域包含第一镂空区域（7）和第二镂空区域（8），所述第一镂空区域（7）设置在所述12寸放置台（5）上，所述第二镂空区域（8）设置在所述8寸放置台（6）上，所述第一镂空区域（7）和所述第二镂空区域（8）均与所述凹口定位柱（4）垂直设置。
4.根据权利要求2所述的晶圆刻号打印辅助治具，其特征在于，所述12寸放置台（5）和所述8寸放置台（6）之间设置有辅助平台（11），所述辅助平台（11）上设置有第三镂空区域（9）。
5.根据权利要求1所述的晶圆刻号打印辅助治具，其特征在于，所述定位销（3）的数量至少为四个。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221950431.0U CN217727510U (zh) | 2022-07-27 | 2022-07-27 | 一种晶圆刻号打印辅助治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221950431.0U CN217727510U (zh) | 2022-07-27 | 2022-07-27 | 一种晶圆刻号打印辅助治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217727510U true CN217727510U (zh) | 2022-11-04 |
Family
ID=83850312
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202221950431.0U Active CN217727510U (zh) | 2022-07-27 | 2022-07-27 | 一种晶圆刻号打印辅助治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN217727510U (zh) |
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2022
- 2022-07-27 CN CN202221950431.0U patent/CN217727510U/zh active Active
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