CN112390628B - 一种氧化铝靶材的制备方法 - Google Patents

一种氧化铝靶材的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112390628B
CN112390628B CN202011324764.8A CN202011324764A CN112390628B CN 112390628 B CN112390628 B CN 112390628B CN 202011324764 A CN202011324764 A CN 202011324764A CN 112390628 B CN112390628 B CN 112390628B
Authority
CN
China
Prior art keywords
sintering
heating
temperature
speed
alumina
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202011324764.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112390628A (zh
Inventor
刘文杰
钟小华
童培云
朱刘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Vital Thin Film Materials Guangdong Co Ltd
Original Assignee
Vital Thin Film Materials Guangdong Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vital Thin Film Materials Guangdong Co Ltd filed Critical Vital Thin Film Materials Guangdong Co Ltd
Priority to CN202011324764.8A priority Critical patent/CN112390628B/zh
Publication of CN112390628A publication Critical patent/CN112390628A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112390628B publication Critical patent/CN112390628B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
    • C04B35/10—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64—Burning or sintering processes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明提供了一种氧化铝靶材的制备方法，属于靶材领域。本发明将靶材原料经混合球磨、喷雾干燥、压制成素坯、冷等静压压制、升温脱脂烧结以及升温有氧烧结后，先进行降温有氧烧结，再进行升温烧结，这样得到的氧化铝靶材密度更大，且无需进行真空烧结，对设备要求低，易于实现批量生产，并且能生产大尺寸平面靶材，如1m×1m的靶材，所得大尺寸平面靶材不易出现弯曲和开裂的问题。

Description

一种氧化铝靶材的制备方法
技术领域
本发明属于靶材领域，具体涉及一种氧化铝靶材的制备方法。
背景技术
高PVD(物理气相沉积)薄膜技术被广泛应用于刀具、高精度机械零件、模具、太阳能、激光器、汽车等多个领域，以使产品的性能更优。由于氧化铝优良的性能，常氧化铝靶材作为增透膜、多层膜、干涉膜、保护膜等以提高产品的透光性和保护作用。
目前常采用真空烧结炉高温烧结和热等静压的方法来得到氧化铝靶材。如专利CN101985735A中，在真空度高于2×10-3Pa的真空炉中将氧化铝素坯加热到1800℃进行烧结，再经过管式炉烧结得到氧化铝靶材，该方法对设备要求高，加热温度高，生产成本高，并且受真空烧结炉的影响，所得靶材尺寸小，难以大规模工业生产。采用热等静压制得的氧化铝靶材相对密度为95％左右，该密度限制了氧化铝靶材的使用。另外，采用现有技术生产大尺寸氧化铝靶材时，所得靶材易弯曲，开裂。因此，有必要优化氧化铝靶材的制备工艺，以提高所得化氧化铝靶材的密度，降低烧结温度，降低对设备的要求，避免所得大尺寸靶材出现弯曲和开裂的问题，实现大尺寸靶材的大批量生产，大大降低生产成本。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的不足之处而提供一种氧化铝靶材的制备方法，以提高靶材的密度，降低对设备的要求，实现1m×1m规格以上、无弯曲和开裂的大尺寸靶材的大批量生产，大大降低生产成本。
为实现上述目的，本发明提供了一种氧化铝靶材的制备方法，包括以下制备步骤：
(1)将靶材原料混合，球磨，得到混合浆料，其中靶材原料包括氧化铝粉末、粘结剂和水；
(2)将步骤(1)所得混合浆料进行喷雾干燥，得到混合物粉粒；
(3)将步骤(2)所得混合物粉粒置于模具中进行压制，得到素坯，再将素坯进行冷等静压处理；
(4)将经冷等静压处理后的素坯升温进行脱脂烧结；
(5)通入氧气，并先进行升温烧结，再进行降温烧结；
(6)升温烧结，即得所述氧化铝靶材。
上述制备方法采用升温-降温-升温的烧结工艺，即先升温烧结，再降温烧结，然后升温烧结，相比一直升温的工艺，所得氧化铝靶材的密度更大；另外，上述制备方法烧结过程无需在真空条件下进行，对设备要求低，易于实现批量生产，并且能生产大尺寸平面靶材，如1m×1m的靶材，所得大尺寸平面靶材不易出现弯曲和开裂的问题。
优选地，所述步骤(5)中的升温烧结为分阶段烧结。
烧结过程中，在几个温度下进行保温烧结，就分为几个阶段。分阶段烧结是指两阶段以上的烧结。相比单一阶段的有氧升温烧结，将有氧升温烧结分为多个阶段，有利于氧化铝靶材密度的提高，同时也能降低烧结温度。
进一步优选地，所述步骤(5)中升温烧结分为两阶段烧结，先以0.1～0.5℃/min速率升温至1000～1300℃，保温1～4h，再以0.1～0.5℃/min速率升温至1500-1550℃，保温4～8h。
优选地，所述步骤(5)中，氧气流量为50～100L/min。
优选地，所述步骤(5)中的降温烧结的处理为：以0.1～0.5℃/min速率降温至1200～1300℃，保温1～2h。
优选地，所述步骤(6)中升温烧结的处理为：以0.1～0.5℃/min速率升温至1550～1600℃，保温1～4h。
优选地，在进行所述步骤(6)中的烧结时，不通入氧气。采用上述升温-降温-升温的烧结工艺，在进行所述步骤(6)中的烧结时，无需通入氧气，即能获得理想的靶材密度。
优选地，所述脱脂烧结的工艺为：以0.1～0.5℃/min速率升温至150-400℃，保温。通常脱脂烧结过程中的保温烧结时间为2～4h。
优选地，所述冷等静压处理的工艺为：以5-10MPa/min速率升压至350-400MPa，保压10-30min。
优选地，所述步骤(2)中，喷雾干燥的温度为240-260℃，进料速度600-800mL/min，混合物粉粒粒度小于200微米。
优选地，所述粘结剂质量为所述氧化铝粉末质量的1-5％，所述混合浆料的固含量为60-70％。
优选地，所述球磨时间为3～6h。
优选地，所述氧化铝靶材的长度和宽度都在1m以上。
所述靶材原料可以只包含氧化铝粉末、粘结剂和水，也可以进一步包含分散剂，通常分散剂的质量为氧化铝粉末质量的1～2％。
相比现有技术，本发明的有益效果在于：本发明采用升温-降温-升温的烧结工艺，相比一直升温的工艺，所得氧化铝靶材的密度更大，同时，烧结过程无需在真空条件下进行，对设备要求低，易于实现批量生产，并且能够生产大尺寸平面靶材，如1m×1m的靶材。
具体实施方式
为更好的说明本发明的目的、技术方案和优点，下面将结合具体实施例对本发明作进一步说明。
实施例1
本实施例提供了本发明氧化铝靶材的制备方法的一种实施例。本实施例氧化铝靶材的制备方法包括以下步骤：
(1)称取一定量的氧化铝粉末，加入其质量5％的粘结剂、1％的分散剂、以及纯水，球磨4小时，得到固含量60％的混合浆料，检验混合浆料D50<0.5μm，半峰宽(粒径正态分布的半峰宽，下同)为<0.5；
(2)将步骤(1)所得混合浆料进行喷雾干燥，得到粒度小于200微米的混合物粉粒，其中，喷雾干燥的温度为250℃，进料速度为800mL/min；
(3)将步骤(2)所得混合物粉粒置于模具中，在40MPa下压制，得到素坯，再将素坯经350MPa的冷等静压处理，冷等静压处理的升压速率10MPa/min为，保压时间为20min；
(4)将步骤(3)冷等静压处理得到的素坯放入烧结炉中，以0.25℃/min的速度升温至400℃进行脱脂烧结，保温时间2h，通入氧气，氧气流量为50L/min，并以0.5℃/min的速度升温至1200℃，保温2小时，继续以0.5℃/min的速度升温至1500℃，保温4小时，再以0.5℃/min的速度降温到1300℃，保温2小时；
(5)停止通入氧气，并以0.3℃/min的速度升温到1550℃，保温4小时，冷却，即得1m×1m氧化铝靶材。
使用阿基米德法测定本实施例所得氧化铝靶材的密度，其相对密度为99.56％，且该靶材无开裂无变形。
实施例2
本实施例提供了本发明氧化铝靶材的制备方法的一种实施例。本实施例氧化铝靶材的制备方法包括以下步骤：
(1)称取一定量的氧化铝粉末，加入其质量5％的粘结剂、1％的分散剂、以及纯水，球磨4小时，得到固含量60％的混合浆料，检验混合浆料D50<0.5μm，半峰宽为<0.5；
(2)将步骤(1)所得混合浆料进行喷雾干燥，得到粒度小于200微米的混合物粉粒，其中，喷雾干燥的温度为250℃，进料速度为700mL/min；
(3)将步骤(2)所得混合物粉粒置于模具中，在40MPa下压制，得到素坯，再将素坯经380MPa的冷等静压处理，冷等静压处理的升压速率10MPa/min为，保压时间为20min；
(4)将步骤(3)冷等静压处理得到的素坯放入烧结炉中，以0.2℃/min的速度升温至400℃进行脱脂烧结，保温时间2h，通入氧气，氧气流量为50L/min，并以0.4℃/min的速度升温至1300℃，保温2小时，继续以0.5℃/min的速度升温至1530℃，保温4小时，再以0.5℃/min的速度降温到1300℃，保温2小时；
(5)停止通入氧气，并以0.35℃/min的速度升温到1560℃，保温3小时，冷却，即得1m×1m氧化铝靶材。
使用阿基米德法测定本实施例所得氧化铝靶材的密度，其相对密度为99.62％，且该靶材无开裂无变形。
实施例3
本实施例提供了本发明氧化铝靶材的制备方法的一种实施例。本实施例氧化铝靶材的制备方法包括以下步骤：
(1)称取一定量的氧化铝粉末，加入其质量5％的粘结剂、1％的分散剂、以及纯水，球磨4小时，得到固含量60％的混合浆料，检验混合浆料D50<0.5μm，半峰宽为<0.5；
(2)将步骤(1)所得混合浆料进行喷雾干燥，得到粒度小于200微米的混合物粉粒，其中，喷雾干燥的温度为250℃，进料速度为600mL/min；
(3)将步骤(2)所得混合物粉粒置于模具中，在40MPa下压制，得到素坯，再将素坯经400MPa的冷等静压处理，冷等静压处理的升压速率为10MPa/min，保压时间为20min；
(4)将步骤(3)冷等静压处理得到的素坯放入烧结炉中，以0.3℃/min的速度升温至400℃进行脱脂烧结，保温时间2h，通入氧气，氧气流量为50L/min，并以0.25℃/min的速度升温至1100℃，保温2小时，继续以0.25℃/min的速度升温至1530℃，保温4小时，再以0.35℃/min的速度降温到1300℃，保温1小时；
(5)停止通入氧气，并以0.3℃/min的速度升温到1580℃，保温4小时，冷却，即得1m×1m氧化铝靶材。
使用阿基米德法测定本实施例所得氧化铝靶材的密度，其相对密度为99.73％，且该靶材无开裂无变形。
实施例4
本实施例提供了本发明氧化铝靶材的制备方法的一种实施例。本实施例氧化铝靶材的制备方法包括以下步骤：
(1)称取一定量的氧化铝粉末，加入其质量3％的粘结剂、1％的分散剂、以及纯水，球磨4小时，得到固含量60％的混合浆料，检验混合浆料D50<0.5μm，半峰宽为<0.5；
(2)将步骤(1)所得混合浆料进行喷雾干燥，得到粒度小于200微米的混合物粉粒，其中，喷雾干燥的温度为250℃，进料速度为700mL/min；
(3)将步骤(2)所得混合物粉粒置于模具中，在40MPa下压制，得到素坯，再将素坯经400MPa的冷等静压处理，冷等静压处理的升压速率为10MPa/min，保压时间为20min；
(4)将步骤(3)冷等静压处理得到的素坯放入烧结炉中，以0.2℃/min的速度升温至400℃进行脱脂烧结，保温时间2h，通入氧气，氧气流量为100L/min，并以0.25℃/min的速度升温至1200℃，保温1小时，继续以0.3℃/min的速度升温至1500℃，保温4小时，再以0.35℃/min的速度降温到1300℃，保温1小时；
(5)停止通入氧气，并以0.5℃/min的速度升温到1600℃，保温1小时，冷却，即得1m×1m氧化铝靶材。
使用阿基米德法测定本实施例所得氧化铝靶材的密度，其相对密度为99.71％，且该靶材无开裂无变形。
实施例5
本实施例提供了本发明氧化铝靶材的制备方法的一种实施例。本实施例氧化铝靶材的制备方法包括以下步骤：
(1)称取一定量的氧化铝粉末，加入其质量3％的粘结剂、1％的分散剂、以及纯水，球磨4小时，得到固含量60％的混合浆料，检验混合浆料D50<0.5μm，半峰宽为<0.5；
(2)将步骤(1)所得混合浆料进行喷雾干燥，得到粒度小于200微米的混合物粉粒，其中，喷雾干燥的温度为250℃，进料速度为800mL/min；
(3)将步骤(2)所得混合物粉粒置于模具中，在40MPa下压制，得到素坯，再将素坯经400MPa的冷等静压处理，冷等静压处理的升压速率为10MPa/min，保压时间为20min；
(4)将步骤(3)冷等静压处理得到的素坯放入烧结炉中，以0.4℃/min的速度升温至400℃进行脱脂烧结，保温时间2h，通入氧气，氧气流量为50L/min，并以1℃/min的速度升温至1300℃，保温4小时，继续以0.3℃/min的速度升温至1550℃，保温8小时，再以0.1℃/min的速度降温到1200℃，保温2小时；
(5)停止通入氧气，并以0.15℃/min的速度升温到1600℃，保温4小时，冷却，即得1m×1m氧化铝靶材。
使用阿基米德法测定本实施例所得氧化铝靶材的密度，其相对密度为99.79％，且该靶材无开裂无变形。
最后所应当说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本发明作了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的实质和范围。

Claims (6)

1.一种氧化铝靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
(1)将靶材原料混合，球磨，得到混合浆料，其中靶材原料包括氧化铝粉末、粘结剂和水；
(2)将步骤(1)所得混合浆料进行喷雾干燥，得到混合物粉粒；
(3)将步骤(2)所得混合物粉粒置于模具中进行压制，得到素坯，再将素坯进行冷等静压处理；
(4)将经冷等静压处理后的素坯升温进行脱脂烧结；
(5)通入氧气，并先进行升温烧结，再进行降温烧结；
(6)升温烧结，即得所述氧化铝靶材；
所述步骤(5)中的升温烧结为分阶段烧结；所述步骤(5)中的升温烧结分为两阶段烧结，先以0.1～0.5℃/min速率升温至1000～1300℃，保温1～4h，再以0.1～0.5℃/min速率升温至1500-1550℃，保温4～8h；
所述步骤(5)中降温烧结的处理为：以0.1～0.5℃/min速率降温至1200～1300℃，保温1～2h；
所述步骤(6)中升温烧结的处理为：以0.1～0.5℃/min速率升温至1550～1600℃，保温1～4h。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤(5)中，氧气流量为50～100L/min。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在进行所述步骤(6)中的烧结时，不通入氧气。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述脱脂烧结的工艺为：以0.1～0.5℃/min速率升温至150-400℃，保温。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述冷等静压的工艺为：以5-10MPa/min速率升压至350-400MPa，保压10-30min；所述步骤(2)中，喷雾干燥的温度为240-260℃，进料速度600-800mL/min，混合物粉粒粒度小于200微米；所述粘结剂质量为所述氧化铝粉末质量的1-5％，所述混合浆料的固含量为60-70％。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述氧化铝靶材的长度和宽度都在1m以上。
CN202011324764.8A 2020-11-23 2020-11-23 一种氧化铝靶材的制备方法 Active CN112390628B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011324764.8A CN112390628B (zh) 2020-11-23 2020-11-23 一种氧化铝靶材的制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011324764.8A CN112390628B (zh) 2020-11-23 2020-11-23 一种氧化铝靶材的制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112390628A CN112390628A (zh) 2021-02-23
CN112390628B true CN112390628B (zh) 2022-08-05

Family

ID=74607113

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011324764.8A Active CN112390628B (zh) 2020-11-23 2020-11-23 一种氧化铝靶材的制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112390628B (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113149613B (zh) * 2021-05-24 2022-11-18 先导薄膜材料（广东）有限公司 一种itwo靶材及其制备方法
CN115353373B (zh) * 2022-08-31 2023-06-23 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种氧化铝靶材及其制备方法与应用
CN116253560A (zh) * 2022-12-15 2023-06-13 先导薄膜材料（广东）有限公司 一种氧化铝靶材及其制备方法
CN116835981A (zh) * 2023-07-05 2023-10-03 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种金属氧化物靶材及其制备方法与应用

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101985735A (zh) * 2009-07-29 2011-03-16 中国科学院福建物质结构研究所 一种氧化铝靶材和该靶材制备的透明导电薄膜
CN104773998A (zh) * 2015-03-31 2015-07-15 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 一种高致密度ito靶材的烧结方法
JP2017095339A (ja) * 2015-11-28 2017-06-01 京セラ株式会社 アルミナ粒子、アルミナ粉末、アルミナ多孔質体および吸着部材
CN106977179A (zh) * 2017-04-07 2017-07-25 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 一种两步分段烧结法制备高致密ito靶材的方法
CN107522483A (zh) * 2017-06-26 2017-12-29 广西新未来信息产业股份有限公司 一种azo靶材的制备方法
CN108675812A (zh) * 2018-06-21 2018-10-19 河北工业大学 一种增韧氧化铝陶瓷手机背板及其制备方法
CN108706965A (zh) * 2018-06-21 2018-10-26 郑州大学 一种氧化铟镓锌管状靶材的短流程制备方法
CN110590339A (zh) * 2019-09-30 2019-12-20 哈尔滨理工大学 一种氧化铝陶瓷部件的制备方法
CN111039663A (zh) * 2019-12-30 2020-04-21 中国工程物理研究院电子工程研究所 一种氧化铝陶瓷烧结方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101985735A (zh) * 2009-07-29 2011-03-16 中国科学院福建物质结构研究所 一种氧化铝靶材和该靶材制备的透明导电薄膜
CN104773998A (zh) * 2015-03-31 2015-07-15 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 一种高致密度ito靶材的烧结方法
JP2017095339A (ja) * 2015-11-28 2017-06-01 京セラ株式会社 アルミナ粒子、アルミナ粉末、アルミナ多孔質体および吸着部材
CN106977179A (zh) * 2017-04-07 2017-07-25 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 一种两步分段烧结法制备高致密ito靶材的方法
CN107522483A (zh) * 2017-06-26 2017-12-29 广西新未来信息产业股份有限公司 一种azo靶材的制备方法
CN108675812A (zh) * 2018-06-21 2018-10-19 河北工业大学 一种增韧氧化铝陶瓷手机背板及其制备方法
CN108706965A (zh) * 2018-06-21 2018-10-26 郑州大学 一种氧化铟镓锌管状靶材的短流程制备方法
CN110590339A (zh) * 2019-09-30 2019-12-20 哈尔滨理工大学 一种氧化铝陶瓷部件的制备方法
CN111039663A (zh) * 2019-12-30 2020-04-21 中国工程物理研究院电子工程研究所 一种氧化铝陶瓷烧结方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN112390628A (zh) 2021-02-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112390628B (zh) 一种氧化铝靶材的制备方法
CN102173813B (zh) 一种含硼化锆复相陶瓷材料的制备方法
CN109553419B (zh) 一种气压固相烧结碳化硼复相陶瓷及其制备方法
CN110407213B (zh) 一种(Ta, Nb, Ti, V)C高熵碳化物纳米粉体及其制备方法
CN112830785A (zh) 一种层状高熵双硼碳化物陶瓷粉体及其制备方法
CN108516820B (zh) 一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺
CN113754435B (zh) 一种Y2O3-MgO红外透明陶瓷的制备方法
CN102627450A (zh) 一种细晶透明氧化铝陶瓷材料及制备方法
CN116332645A (zh) 一种氧化钼钽靶材及其制备方法与应用
CN115353373B (zh) 一种氧化铝靶材及其制备方法与应用
CN113121237A (zh) 一种碳化硼基复合陶瓷及其制备工艺
CN115745607A (zh) 一种红外透明陶瓷材料及其制备方法
CN111393170A (zh) 一种通过多因素优化制备高致密度氮化硅陶瓷的方法及制备的氮化硅陶瓷
CN114941127A (zh) 一种钽硅氧化物溅射靶材的制备方法
CN101525716B (zh) 铁铝金属间化合物-二硼化钛复合材料及制备方法
CN107164803A (zh) 一种简单控制相变制备β‑氮化硅晶须的方法
CN101265109A (zh) 一种h相氮化铝钛陶瓷粉体的常压合成方法
CN114671689A (zh) 一种热压液相烧结碳化硼复合陶瓷及其制备方法
CN114835473B (zh) 一种氧化铝陶瓷及其制备方法
CN104591743B (zh) 氮化硅-碳化铪复相陶瓷的制备方法
CN110919003A (zh) 直径大于300mm真空热压铍材的制备方法及铍材
CN114853347A (zh) 一种高导热低温共烧玻璃陶瓷基片及其制备方法
CN112194485A (zh) 一种热障涂层陶瓷材料及其制备方法和应用
CN107935597B (zh) 一种节约能源的碳化硅陶瓷材料低温烧结方法
CN102351540B (zh) LiAlON透明陶瓷的无压烧结制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant