CN112345597A - 具备多个气体传感器的气体检测装置和气体检测方法 - Google Patents

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Abstract

提供具备多个气体传感器的气体检测装置和气体检测方法。使用多个气体传感器，通过附带电路使其动作。附带电路进行如下处理：将动作时间计时，存储空气中的电阻值与环境气体中的电阻值的比的初始值；对空气中的电阻值进行学习，当金属氧化物半导体的电阻值变得比学习到的空气中的电阻值与比的初始值的商低时，检测到气体；当使最初的气体传感器动作了规定时间时，使下个气体传感器和最初的气体传感器在学习期间中一起动作，由最初的气体传感器继续进行检测，对下个气体传感器中的空气中的电阻值进行学习，如果学习期间结束，则由下个气体传感器进行检测。使气体检测装置的寿命提高，并且在气体传感器的切换时维持检测的可靠性。

Description

具备多个气体传感器的气体检测装置和气体检测方法
技术领域
本发明涉及具备多个气体传感器的气体检测装置和气体检测方法。
背景技术
已知有具备多个金属氧化物半导体气体传感器的气体检测装置。例如，在专利文献1(JP S60－31049A)中，将4个气体传感器依次各使用1个。通过气体传感器的信号发出的警报次数表示气体传感器与气体接触的次数，如果该次数较多，则评价为气体传感器达到了寿命。所以，将警报次数计数，如果计数次数达到规定值，则切换为下个气体传感器。
在专利文献2(JP 6288613B)中，将多个气体传感器中的1个置于动作状态，将其余置于预热状态，检测来自冷冻空调设备的氟利昂气体的泄漏。如果动作状态的气体传感器检测到氟利昂气体，则使其他的气体传感器中的1个转移到动作状态，确认氟利昂气体的泄漏。
在专利文献3(EP 3153849A)中，通过依次使用多个气体传感器，增加对于由硅氧烷等造成的中毒的耐久性。即，如果将气体传感器使用规定时间，则推断气体传感器有可能中毒，将检测切换为下个气体传感器。另外，如果将多个气体传感器集成在1个MEMS芯片，则与传感器成本的增加相比，有寿命延长的效果较大的情况。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：JP S60－31049A
专利文献2：JP 6288613B
专利文献3：EP 3153849A
发明内容
发明要解决的课题
发明者研究了将氟利昂气体等的检测装置的寿命延长。在氟利昂气体等的检测中，如果将气体传感器使用若干年，则气体传感器的电阻值增加。但是，空气中和含有氟利昂气体等的环境气体中的气体传感器的电阻值的比大致被保持为一定值。因而，如果不是基于气体传感器的电阻值自身，而是基于空气中与含有氟利昂气体等的环境气体中的电阻值的比检测到气体，则能够延长寿命。另外，将基于空气中与气体中的电阻值的比的气体检测称作相对值检测。
设置多个气体传感器，例如在规定期间将最初的气体传感器使用之后，切换为下个气体传感器。如果使用例如两个气体传感器，则能够使气体检测装置的寿命变为约2倍。但是，在相对值检测中，关于新使用的气体传感器，需要学习空气中的电阻值。在到学习完成为止的期间中，新使用的气体传感器不能进行有可靠性的检测。
本发明的目的是：
·通过将多个气体传感器依次使用及进行相对值检测，提高气体检测装置的寿命；以及
·通过在气体传感器的切换时，适当地学习新使用的气体传感器中的空气中的电阻值，维持检测的可靠性。
用来解决课题的手段
本发明的气体检测装置具备多个气体传感器和使上述多个气体传感器动作的附带电路，所述气体传感器具备通过与气体的接触而电阻值变化的金属氧化物半导体和加热器。
附带电路具备：计时器机构，计时使气体传感器动作的时间；存储机构，按照每个气体传感器，存储与金属氧化物半导体的空气中的初始的电阻值和包含规定浓度的检测对象气体的环境气体中的初始的电阻值的比对应的值；学习机构，用来对正在动作的气体传感器中的、金属氧化物半导体的空气中的电阻值进行学习；以及检测机构，当金属氧化物半导体的电阻值变得比将正在动作的气体传感器中的由学习机构学习的空气中的电阻值除以上述比而所得到的值所对应的值低时，输出检测对象气体的发生；上述附带电路构成为，当使最初的气体传感器动作了规定时间时，使下个气体传感器和最初的气体传感器在学习期间中一起动作，由最初的气体传感器继续进行检测对象气体的检测，并且由学习机构学习下个气体传感器中的上述金属氧化物半导体的空气中的电阻值；如果学习期间结束，则由下个气体传感器对检测对象气体进行检测。
在本发明的气体检测方法中，使用多个具备通过与气体的接触而电阻值变化的金属氧化物半导体和加热器的气体传感器；并且通过附带电路使上述多个气体传感器动作。
通过附带电路，计时使气体传感器动作的时间；按照每个气体传感器，存储与金属氧化物半导体的空气中的初始的电阻值和包含规定浓度的检测对象气体的环境气体中的初始的电阻值的比对应的值；对正在动作的气体传感器中的、金属氧化物半导体的空气中的电阻值进行学习；当金属氧化物半导体的电阻值变得比将正在动作的气体传感器中的由学习机构学习的空气中的电阻值除以上述比而所得到的值所对应的值低时，输出检测对象气体的发生；上述附带电路当使最初的气体传感器动作了规定时间时，使下个气体传感器和最初的气体传感器在学习期间中一起动作，由最初的气体传感器继续进行检测对象气体的检测，并且由学习机构学习下个气体传感器中的金属氧化物半导体的空气中的电阻值；如果学习期间结束，则由下个气体传感器对检测对象气体进行检测。
即使气体传感器的金属氧化物半导体的电阻值变化，空气中与气体中的电阻值的比被保持为大致一定的情况也较多。所以，通过将与由学习机构学习的空气中的电阻值除以初始的电阻值的比而所得到的值对应的值、和金属氧化物半导体的电阻值，来检测气体。因此，能够使气体传感器的寿命变长。为了使下个气体传感器动作，需要空气中的电阻值的学习。所以，使下个气体传感器和最初的气体传感器在学习期间中一起动作，由最初的气体传感器继续进行检测对象气体的检测，并且由学习机构对下个气体传感器中的金属氧化物半导体的空气中的电阻值进行学习。因此，下个气体传感器从最初起就能够可靠地检测气体。
对于从空调设备、冷冻设备的制冷剂的泄漏的检测，需要能够长期间无维护而使用的气体检测装置。本发明的气体检测装置优选的是氟利昂气体检测用。
气体传感器例如是在基板上设有通过与气体的接触而电阻值变化的金属氧化物半导体膜和加热器膜的结构。但是，也可以是在珠状的金属氧化物半导体中埋设有加热器和电极的气体传感器等。如果长期间使用则气体传感器的可靠性下降的现象，不取决于气体传感器的种类。
为了对下个气体传感器学习适当的空气中的电阻值，学习期间优选的是设为1周以上且3个月以下。
对下个气体传感器的加热器施加比正在动作的气体传感器小的电力，将下个气体传感器的金属氧化物半导体预热到动作温度与室温之间的温度。通过预热，能够防止吸附水等的杂质的积蓄，并提高气体传感器的耐久性。
优选的是，上述附带电路使正在动作的气体传感器以规定的动作温度动作。并且，如果正在动作的气体传感器检测到规定浓度以上的氟利昂气体，则向外部输出氟利昂气体的泄漏。与此同时，使正在动作的气体传感器的温度从通常的动作温度降低到例如100℃以上。优选的是将加热器关闭而使气体传感器向室温附近冷却。如果在动作温度下被暴露于高浓度的氟利昂气体，则由于氟利昂气体的燃烧热，气体传感器的金属氧化物半导体的特性变化，例如金属氧化物半导体的电阻值增加。若向外部输出氟利昂气体的泄漏，则气体传感器的下个任务是检测氟利昂气体的浓度下降。由于该任务不是需要紧急性的，所以使气体传感器的温度降低，防止金属氧化物半导体的变化。
更优选的是，上述附带电路在使正在动作的气体传感器的温度从动作温度降低之后，使正在动作的气体传感器的温度间歇地回到动作温度。于是，还能够检测出氟利昂气体浓度是否下降了。
特别优选的是，上述附带电路根据正在动作的气体传感器中的电阻值的单位时间的减小率、以及正在动作的气体传感器中的电阻值与学习到的空气中的电阻值之间的电阻值的比的两者，检测氟利昂气体的泄漏。如果这样做，则能够在气体传感器的电阻值充分减小之前，迅速地检测到氟利昂气体的泄漏。此外，由于也考虑电阻值与学习到的空气中的电阻值的比，所以对因空调设备的清洗液中的溶媒、其他的杂质气体带来的误动作的担心较小。
附图说明
图1是实施例的气体检测装置的框图。
图2是在实施例中使用的气体传感器的主要部剖视图。
图3是在实施例中使用的气体传感器的剖视图。
图4是实施例中的初始设定算法的流程图。
图5是实施例中的气体检测装置的动作算法的流程图。
图6是表示实施例中的金属氧化物半导体的电阻值的抽样的波形图，1)表示检测电压的波形，2)表示输出电压的抽样。
图7是表示实施例中的空气中的电阻值的抽样的图。
图8是表示气体传感器的变形例的剖视图。
图9是表示气体传感器的第2变形例的剖视图。
图10是变形例的气体检测装置的主要部框图
图11是表示变形例中的气体检测装置的动作的波形图，(A)表示气体传感器的电阻值，(B)表示警报(外部输出)的有无，(C)表示气体传感器的加热器电力。
图12是第2变形例的气体检测装置的主要部框图
图13是表示第2变形例中的氟利昂气体的检测机构的图。
标号说明
2 气体检测装置
4、5 气体传感器
6 金属氧化物半导体膜
7 加热器膜
8 基板
9、10 电极
11 导体
12 基座
13 销
15 帽
16 过滤器
17 金属网
18 支撑圈
21 热敏电阻
20、22 负载电阻
23、24 开关
30 微型计算机
31 驱动器
32 A/D转换器
33 计时器
34 存储器
35 学习部
36 切换部
37 检测部
38 初始设定部
39 输出部
45、55 气体传感器
46、56 加热器
58 金属块
60 微型计算机
61 加热器控制部
70 微型计算机
71 变化率检测部
D 延迟时间
具体实施方式
以下表示用来实施本发明的优选实施例。
[实施例]
在图1～图7中表示实施例。图1表示实施例的气体检测装置2的构造，4、5是相同种类的两个金属氧化物半导体气体传感器，在实施例中是氟利昂气体(例如微燃性的R32气体)检测用。除氟利昂气体以外，也可以检测空气中的VOC或来自生物体的气体等，检测对象气体是任意的。实施例适合于学习空气中的电阻值、基于与所学习的电阻值的比来检测气体的相对值检测。气体传感器4是最初的传感器，气体传感器5是下一个的传感器，也可以设置第3个以后的气体传感器。
图2、图3表示气体传感器4、5的构造。在基板8处支承着金属氧化物半导体膜6和加热器膜7，在金属氧化物半导体膜6处例如连接着一对电极9、10。此外，从未图示的垫板，引出了与加热器膜7及电极9、10连接的例如4条导体11。金属氧化物半导体膜6是SnO2的厚膜，但材质和膜厚是任意的，通过与氟利昂等的可燃性气体的接触而电阻值减小。金属氧化物半导体膜6的动作温度例如是400℃左右，与检测对象气体对应而设定，待机中(使用开始前)的传感器5也可以放置于室温中，但优选的是加热到100℃左右(金属氧化物半导体膜6的动作温度和室温的中间的温度)。
导体11与被固定于基座12的销13连接。基板8的周围由帽15覆盖，从帽15的例如顶部的开口将环境气体经由过滤器16向基板8的周围导入。另外，17是金属网，18是过滤器16的支承圈。过滤器16例如是沸石，将硅氧烷等的中毒物质除去，并将乙醇等与氟利昂气体的检测冲突的气体除去。气体传感器4的种类和构造是任意的。例如，也可以是在将硅芯片的空洞覆盖的绝缘膜上设有金属氧化物半导体膜6、电极9、10及加热器膜7的MEMS气体传感器。此外，也可以将加热器膜7兼用作电极，检测金属氧化物半导体膜6和加热器膜7的并联电阻。在此情况下，不需要电极9、10。
气体传感器4、5的问题在于，如果长期间被保持为高温，则金属氧化物半导体膜6的电阻值增加。例如如果连续使用7年，则金属氧化物半导体膜6的电阻值不论在空气中还是在氟利昂气体中，都最大增加10倍左右。但是，即使金属氧化物半导体膜6的电阻值增加，空气中与气体中的电阻值的比Rair/Rgas也保持为大致一定。因而，学习空气中的金属氧化物半导体膜6的电阻值Rair，并存储空气中和规定浓度的氟利昂气体中的电阻值的比Rair0/Rgas0，如果将学习到的空气中的电阻值Rair除以存储的比Rair0/Rgas0所得到的值与测量出的电阻值Rs比较，则能够大致正确地检测出氟利昂气体。
另外，不需要使用金属氧化物半导体膜6的电阻值自身，也可以使用电阻值的倒数的导电度，此外，也可以使用与电阻值对应的其他信号(例如，对气体传感器4、5的负载电阻的电压、导电度进行幂乘而相对于气体浓度呈线性的信号)等。此外，也可以不需要使用空气中的电阻值Rair与规定浓度的氟利昂气体中的电阻值Rgas的比Rair/Rgas，而使用其倒数的Rgas/Rair等。即，只要基于与将学习到的空气中的电阻值Rair除以初始的空气中的电阻值和规定浓度的氟利昂气体中的电阻值的比Rair0/Rgas0所得到的值对应的值、以及与金属氧化物半导体膜6的电阻值对应的值进行检测就可以。由附带电路处置的信号是电阻值还是导电度、或者作为初始的感度是使用空气中的电阻值与氟利昂气体中的电阻值的比还是使用其他参数等是任意的。
如果将接着最初的气体传感器4使用的气体传感器5总是预热到例如100℃左右，则能够减轻因向金属氧化物半导体膜6积蓄吸附水等而带来的老化。因此，优选的是在使气体传感器4动作的期间中将气体传感器5预热。
回到图1，P.S.是电源，20是对气体传感器4、5的负载电阻。21是热敏电阻作为温度传感器的例子，被连接于负载电阻22。23、24是晶体管等的开关，30是微型计算机，是附带电路的主要部。
驱动器31将开关23、24驱动，最先将气体传感器4驱动，例如如果经过了7年半，则将气体传感器5驱动。通过开关23，将向加热器膜7的电力例如进行PWM(脉冲宽度调制)控制，将金属氧化物半导体膜6向动作温度加热。此外，例如通过开关24对金属氧化物半导体膜6施加较短宽度的脉冲电压。
A/D转换器32将向负载电阻20、20、22的电压等进行AD变换。计时器33将微型计算机30内的时钟信号等累计，进行气体传感器4、5的使用时间的计算、从气体传感器4向气体传感器5的切换时的学习期间的计时、开关23、24的接通/断开信号的发生等。存储器34按照气体传感器4、5存储初始的感度S0(空气中的电阻值Rair0与规定浓度的氟利昂气体中的电阻值Rgs0的比)，在实施例中，除此以外还存储初始的空气中的电阻值Rair0。另外，由于在金属氧化物半导体膜6的电阻值中有对于温度的依存关系，所以在微型计算机30中，使用将所测量的电阻值用热敏电阻21修正后的电阻值。
学习部35学习气体传感器4、5的空气中的电阻值Rair。在实施例中学习过去30天间的空气中的电阻值的移动平均，特别是学习1天期间的气体传感器的电阻值的最大值的移动平均。也可以代替平均值而学习众数、中位数等。由于可以认为气体传感器4、5被放置的环境中的空气质量以1天周期变化，所以测量每天的电阻值的最大值作为与1天期间中的最洁净的空气对应的电阻值。由于空气质量以1天周期变化，所以在学习中需要多天，优选的是在1周以上3个月以下的期间(在实施例中是30天)中进行学习。
切换部36当气体检测装置2的动作期间达到了7年半时、或气体传感器的空气中的电阻值Rair成为初始值Rair0的10倍以上时，进行从气体传感器4向气体传感器5的切换。在切换中，在学习期间的例如30天期间中，用气体传感器4继续进行氟利昂气体的检测，学习通往气体传感器5的空气中的电阻值Rair。然后，将气体传感器4的动作停止，用气体传感器5检测氟利昂气体。
初始设定部38对初始的感度S0的设定和初始的空气中的电阻值Rair0的设定(向存储器34的存储)进行处理。检测部37对将学习到的空气中的电阻值Rair除以初始的感度S0而得到的阈值与金属氧化物半导体膜6的电阻值Rs进行比较，如果电阻值Rs下降到阈值以下，则检测出氟利昂气体的发生，从输出部39向外部输出。
在图4～图7中表示气体检测装置2的动作。在图4的初始设定算法中，在步骤S1中对气体传感器4、5中的各个气体传感器测量空气中的电阻值Rair0，在步骤S2中对气体传感器4、5中的各个气体传感器测量规定浓度的氟利昂气体中的电阻值Rgas0。在步骤S3中，对气体传感器4、5中的各个气体传感器存储初始感度S0(空气中的电阻值Rair0与气体中的电阻值Rgas0的比)。
图5表示气体检测装置2的整体的动作算法，在过程P1中，对动作的气体传感器的加热器膜7例如进行PWM控制，待机中的气体传感器以例如更小的占空比进行PWM控制而预热。在过程P2中，对动作的气体传感器的金属氧化物半导体膜6和其负载电阻20例如脉冲性地施加检测电压Vc。在图6－1)中表示检测电压Vc的波形，例如1秒1次施加2msec宽度的检测电压Vc。如图6－2)所示，在施加检测电压Vc的期间的后半，例如7次对朝向负载电阻20的电压进行A/D变换，求出除了最大值和最小值以外的5次数据的平均值。将该平均值用由热敏电阻21求出的温度进行修正，求出金属氧化物半导体膜6的已温度修正的电阻值。另外，在实施例中使用的电阻值是已温度修正的电阻值。
在过程P3中，对空气中的电阻值Rair进行学习，存储过去30天份的金属氧化物半导体膜6的电阻值的1天内的最大值。图7的点表示这些数据，求出除了最高3个数据和最低3个数据以外的24点的数据的平均值。将该平均值与作为空气中的电阻值Rair存储的值比较，如果差是3％以内，则将平均值作为新的空气中的电阻值Rair存储。在差超过了3％的情况下，将当前存储的空气中的电阻值Rair变更±3％。空气中的电阻值Rair的学习方法是任意的，但优选的是反映过去1周以上3个月以内的期间的数据而逐渐变更。
在过程P4中，在金属氧化物半导体膜6的电阻值下降到对学习到的空气中的电阻值Rair除以感度的初始值S0所得到的值以下的情况下，检测到氟利昂气体的发生(在许多情况下是从空调设备、冷冻设备的制冷剂的泄漏)。
在过程P5中，进行从气体传感器4向气体传感器5的切换。将学习期间例如设为30天，在该期间中继续进行由气体传感器4进行的氟利昂气体的检测，并与过程P3同样，学习对于气体传感器5的空气中的电阻值。并且，从30天期间的数据中删除最高3点和最低3点，将对其余24点的数据进行平均的值设为气体传感器5中的空气中的电阻值。
如果学习期间结束，则例如使气体传感器4停止，进行由气体传感器5进行的检测、和空气中的电阻值的学习。并且，如果气体检测装置2的累计使用期间达到例如15年，则输出检测装置2达到了寿命。
气体传感器的变形例
在图8、图9中表示变形例中的下个使用的气体传感器45、55。在待机中，有在气体传感器的过滤器16中积存硅氧烷等的中毒气体、氟利昂气体、有机溶媒等的情况。当开始了下个气体传感器的动作时，有可能通过来自气体传感器的加热器膜7的热而这些气体脱离并与金属氧化物半导体膜6接触，气体传感器的动作变得不稳定。所以，在待机中将过滤器16例如连续地加热到50℃～150℃等，抑制硅氧烷等的气体向过滤器16的吸附。或者，在向下个气体传感器45、55切换前，将下个气体传感器45、55的过滤器16例如以1小时～1天加热至例如100℃～200℃等，使硅氧烷等的气体脱离。并且，在硅氧烷等的气体充分脱离后，与实施例同样地开始下个气体传感器45、55的动作。在其他的点上与实施例是同样的。
对于图8的气体传感器45，将环状的加热器46安装到气体传感器45的帽15(例如金属、陶瓷等的耐热性的帽)的外周、并且将过滤器16包围的位置。加热器46例如是在合成树脂的环上固定着加热器用的绕线的结构。
对于图9的气体传感器55，在气体传感器55的周围设置铝等的金属块58，在金属块58内设置加热器56。另外，气体传感器55的帽15例如是金属或陶瓷制，有耐热性。来自加热器56的热将气体传感器55整体加热，将过滤器16和基板8这两者加热。
变形例1
在图10、图11中表示如果检测到警报浓度以上的氟利昂气体则将气体传感器4、5的加热器关闭的变形例。警报浓度是将氟利昂气体的泄漏向外部输出的浓度，例如是氟利昂5000ppm。微型计算机60还具备加热器控制部61，当检测到警报浓度以上的氟利昂气体时，将正在动作的气体传感器的加热器关闭。在其他的点上，微型计算机60与图1的微型计算机30是同样的。
如图11的(A)所示，如果正在动作的气体传感器的电阻值(金属氧化物半导体膜6的电阻值)下降到警报阈值以下，则在延迟时间D后向外部输出(B)。并且，将气体传感器的加热器关闭，每规定时间(例如5分钟)、例如每30秒使加热器动作(C)，检测气体传感器的电阻值是否已恢复(A)。在电阻值还是较低的情况下，再次将加热器关闭规定时间，接着确认电阻值是否已恢复(C)。并且，如果气体传感器的电阻值恢复，则使气体传感器回到通常的动作温度。
如果这样做，则能够防止由于与高浓度的氟利昂气体的接触而金属氧化物半导体膜6的电阻值变动。另外，并不限于将加热器关闭，只要使金属氧化物半导体膜6的温度降低到例如100℃以上、优选的是200℃以上就可以。
变形例2
图12、图13表示根据金属物半导体膜6的电阻值减小率检测氟利昂气体的泄漏的变形例。在该变形例中，来自气体传感器的输出是已学习的空气中的电阻值与测量的电阻值Rgas的比Rair/Rgas。根据单位时间的Rair/Rgas的对数，求出气体传感器的输出的变化率，以下忽视变化率的正负的符号而进行说明。如果变化率为规定值以上的时间持续例如10秒等的规定时间以上，并且气体传感器的输出与比警报阈值低浓度侧的辅助阈值(Rair/Rgas例如相当于氟利昂3000ppm)相比是高浓度侧，则发生氟利昂气体的泄漏的可能性较高。所以，在满足这些条件的情况下向外部输出。于是，能够在达到作为本来的警报浓度的5000ppm之前检测到氟利昂气体的泄漏。
使用的微型计算机70具备变化率检测部71，例如检测Rair/Rgas的对数的变化。该变化可以通过简单的差或平滑化的差等来检测。在其他的点上，微型计算机70与图1的微型计算机30是同样的。

Claims (8)

1.一种具备多个气体传感器的气体检测装置，
具备多个气体传感器和使上述多个气体传感器动作的附带电路，所述气体传感器具备通过与气体的接触而电阻值变化的金属氧化物半导体和加热器；
上述附带电路具备：
计时器机构，计时使气体传感器动作的时间；
存储机构，按照每个气体传感器，存储与上述金属氧化物半导体的空气中的初始的电阻值和包含规定浓度的检测对象气体的环境气体中的初始的电阻值的比对应的值；
学习机构，用来对正在动作的气体传感器中的、上述金属氧化物半导体的空气中的电阻值进行学习；以及
检测机构，当上述金属氧化物半导体的电阻值变得比将正在动作的气体传感器中的由学习机构学习到的空气中的电阻值除以上述比而得到的值所对应的值低时，输出检测对象气体的发生；
上述附带电路构成为，当使最初的气体传感器动作了规定时间时，使下个气体传感器和最初的气体传感器在学习期间中一起动作，由最初的气体传感器继续进行检测对象气体的检测，并且由学习机构学习下个气体传感器中的上述金属氧化物半导体的空气中的电阻值，
如果学习期间结束，则由下个气体传感器对检测对象气体进行检测。
2.如权利要求1所述的具备多个气体传感器的气体检测装置，
检测对象气体是氟利昂气体。
3.如权利要求2所述的具备多个气体传感器的气体检测装置，
上述学习期间是1周以上且3个月以下。
4.如权利要求2或3所述的具备多个气体传感器的气体检测装置，
上述附带电路构成为，对上述下个气体传感器的加热器施加比上述正在动作的气体传感器小的电力。
5.如权利要求2所述的具备多个气体传感器的气体检测装置，其特征在于，
上述附带电路构成为，使正在动作的气体传感器以规定的动作温度动作，并且如果正在动作的气体传感器检测到规定浓度以上的氟利昂气体，则向外部输出氟利昂气体的泄漏，并且使正在动作的气体传感器的温度从动作温度降低。
6.如权利要求5所述的具备多个气体传感器的气体检测装置，其特征在于，
上述附带电路构成为，在使正在动作的气体传感器的温度从动作温度降低之后，间歇地使正在动作的气体传感器的温度回到动作温度，检测氟利昂气体浓度是否下降了。
7.如权利要求2所述的具备多个气体传感器的气体检测装置，其特征在于，
上述附带电路构成为，以使根据正在动作的气体传感器中的电阻值的单位时间的减小率、以及正在动作的气体传感器中的电阻值与学习到的空气中的电阻值之间的电阻值的比的两者，检测氟利昂气体的泄漏。
8.一种具备多个气体传感器的气体检测方法，
使用多个具备通过与气体的接触而电阻值变化的金属氧化物半导体和加热器的气体传感器；
并且通过附带电路使上述多个气体传感器动作；
通过上述附带电路，
计时使气体传感器动作的时间；
按照每个气体传感器，存储与上述金属氧化物半导体的空气中的初始的电阻值和包含规定浓度的检测对象气体的环境气体中的初始的电阻值的比对应的值；
对正在动作的气体传感器中的、上述金属氧化物半导体的空气中的电阻值进行学习；
当上述金属氧化物半导体的电阻值变得比将正在动作的气体传感器中的由学习机构学习到的空气中的电阻值除以上述比而得到的值所对应的值低时，输出检测对象气体的发生；
上述附带电路当使最初的气体传感器动作了规定时间时，使下个气体传感器和最初的气体传感器在学习期间中一起动作，由最初的气体传感器继续进行检测对象气体的检测，并且由学习机构学习下个气体传感器中的上述金属氧化物半导体的空气中的电阻值，
如果学习期间结束，则由下个气体传感器对检测对象气体进行检测。
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