CN112327580B - 灯保持用盒体及利用灯保持用盒体的曝光装置用光源 - Google Patents

灯保持用盒体及利用灯保持用盒体的曝光装置用光源 Download PDF

Info

Publication number
CN112327580B
CN112327580B CN202011171828.5A CN202011171828A CN112327580B CN 112327580 B CN112327580 B CN 112327580B CN 202011171828 A CN202011171828 A CN 202011171828A CN 112327580 B CN112327580 B CN 112327580B
Authority
CN
China
Prior art keywords
lamp
body portion
holding case
lamps
light source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202011171828.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112327580A (zh
Inventor
松本弘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Phoenix Electric Co Ltd
Original Assignee
Phoenix Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Phoenix Electric Co Ltd filed Critical Phoenix Electric Co Ltd
Publication of CN112327580A publication Critical patent/CN112327580A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112327580B publication Critical patent/CN112327580B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
    • G03F7/70016—Production of exposure light, i.e. light sources by discharge lamps
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
    • G03F7/2004—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image characterised by the use of a particular light source, e.g. fluorescent lamps or deep UV light
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
    • G03F7/7005—Production of exposure light, i.e. light sources by multiple sources, e.g. light-emitting diodes [LED] or light source arrays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Fastening Of Light Sources Or Lamp Holders (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

提供一种灯保持用盒体，即使在将多个灯彼此紧密配置的情况下，附近的灯、到该灯的布线也不易造成干扰，灯的安装作业变得容易，且能够降低灯无法安装于适当的位置的风险。将灯保持用盒体(10)至少利用第一主体部(12)以及第二主体部(14)来构成。在第一主体部(12)以及第二主体部(14)，分别形成有供多个灯(L)安装的多个灯安装凹部(20)。第一主体部(12)的第一侧面(26)与第二主体部(14)的第二侧面(28)相配合而能彼此接合。

Description

灯保持用盒体及利用灯保持用盒体的曝光装置用光源
技术领域
本发明涉及例如用作曝光装置用光源的、将多个灯合在一起保持的灯保持用盒体。
背景技术
对于例如曝光装置中所使用的光源等需要大光量的光源，现有主流是设置1个大型的放电灯等的灯，但存在若该灯发生故障则光源失光而必须停止整个曝光装置、维护困难等问题，因此近年开发了通过将小型的放电灯等的灯排列配置多个来构成能放射需要的光量的光源的技术。
例如在专利文献1中公开了使用盒体(cassette)的技术，为了将多个灯进行排列并容易配置于期望的位置，该盒体具备将这些灯分个保持的多个凹部。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开2016-200751号公报
发明内容
(发明要解决的课题)
然而，专利文献1公开的灯保持用盒体也存在需要改善之处。
在使用多个灯的曝光装置用光源中，例如如图9以及图10所示，为了提高来自各灯L的光的利用效率，将各灯L彼此紧密地配置。故而，在想要将1个灯L安装于盒体C时，附近的灯L、到该灯L的布线X会产生干扰，灯L的安装作业变难，故认为若一不慎，则不能将灯L安装至适当的位置。
若灯L的安装作业变难，则将多个灯L安装于1个曝光装置用光源的作业时间变长，成为推升曝光装置整体的维护成本上扬的主因。另外，在灯L无法安装于适当的位置的情况下，有可能曝光面的照度下降而导致曝光质量下降。
本发明鉴于上述课题而提出，其目的在于，提供一种灯保持用盒体以及利用灯保持用盒体的曝光装置用光源，即使在将多个灯彼此紧密配置的情况下，附近的灯、到该灯的布线也不易造成干扰，灯的安装作业容易，且能够降低灯无法安装于适当的位置的风险。
(用于解决课题的技术方案)
根据本发明的一技术方案，提供一种灯保持用盒体，至少具备第一主体部以及第二主体部，在所述第一主体部以及所述第二主体部，分别形成有供多个灯安装的多个灯安装凹部，所述第一主体部的第一侧面与所述第二主体部的第二侧面相配合而能彼此接合。
优选地，所述第一主体部的所述第一侧面的一端部相对于所述第二主体部的所述第二侧面的一端部以圆柱状的销进行安装，所述第一主体部能相对于所述第二主体部以所述销为中心进行转动。
优选地，所述灯保持用盒体还具备引导构件，在所述第一主体部的所述第一侧面与所述第二主体部的所述第二侧面彼此对置的状态下，所述引导构件能加宽或缩窄所述第一主体部与所述第二主体部之间的间隔。
优选地，在所述灯安装凹部的内侧面，形成有从所述内侧面突出设置的突部，在安装于所述灯安装凹部的所述灯不位于正确的位置的情况下，所述突部触碰所述灯。
根据本发明的另一技术方案，提供一种曝光装置用光源，具备上述灯保持用盒体。
(发明效果)
根据本发明所涉及的灯保持用盒体，该灯保持用盒体至少分为第一主体部与第二主体部来构成，第一主体部的第一侧面能与第二主体部的第二侧面相结合而彼此接合。
由此，在第一主体部的灯安装凹部中的给定的位置处安装灯且使对该灯的布线完成，针对第二主体部也同样完成后，将第一主体部以及第二主体部彼此结合从而使灯保持用盒体得以完成，因此即使在将多个灯彼此紧密配置的情况下，附近的灯、到该灯的布线也不易造成干扰，灯的安装作业变得容易，且能够降低灯无法安装于适当的位置的风险。
附图说明
图1是表示适用本发明的、实施方式所涉及的灯保持用盒体10(打开的状态)的主视图。
图2是表示适用本发明的、实施方式所涉及的灯保持用盒体10(安装灯L而打开的状态)的立体图。
图3是表示适用本发明的、实施方式所涉及的灯保持用盒体10(安装灯L以及布线X而打开的状态)的主视图。
图4是表示适用本发明的、实施方式所涉及的灯保持用盒体10(关闭的状态)的主视图。
图5是基于V-V矢视的剖视图。
图6是VI-VI部分的放大图。
图7是表示变形例1所涉及的灯保持用盒体10(安装灯L而打开的状态)的立体图。
图8是表示变形例2所涉及的灯保持用盒体10(安装灯L而打开的状态)的立体图。
图9是表示现有技术的图。
图10是表示现有技术的图。
具体实施方式
(灯保持用盒体10的构成)
以下，使用附图来说明本发明所涉及的灯保持用盒体10的构成。
如图1至图3所示，灯保持用盒体10大致利用第一主体部12、第二主体部14和销16来构成。
第一主体部12是供多个灯L安装的构件，形成有多个用于安装这些灯L的灯安装凹部20。
此外，在本实施方式中，使用了带反射器的放电灯来作为灯L，但灯L的种类不限于此，例如也可以是白炽灯、LED，关于反射器的有无，不作限定。
另外，在本实施方式中，在第一主体部12，形成有2列灯安装凹部20，每1列形成有5处灯安装凹部20，因此总共形成有10处灯安装凹部20。灯安装凹部20的列数不作特别限定，但鉴于对灯L的布线作业的容易度，优选形成为2列。另外，每1列的灯安装凹部20的个数也不作特别限定。
如图4至图6所示，1个灯L中的反射器R的开口O侧嵌入各灯安装凹部20。另外，从各灯安装凹部20的内侧面S的底端部起，形成有由反射器R中的开口O侧的开口端部T的端缘面H所抵接的灯抵接部22，通过使反射器R的端缘面H与该灯抵接部22抵接，能够使灯L相对于灯保持用盒体10的定位正确。
进而，在各灯安装凹部20的内侧面S，形成有从该内侧面S突出设置的突部24。该突部24被设定为：在如上所述通过使灯L中的反射器R的端缘面H与灯抵接部22抵接来正确定位了该灯L的状态下，该突部24与反射器R的开口端部T的端缘面H的相反侧的端缘背面F抵接，或者位于该端缘背面F的附近。由此，在灯L相对于灯安装凹部20发生了偏离时，也就是，灯L相对于灯安装凹部20不处于正确的位置的情况下，突部24将触碰反射器R的端缘背面F，从而能够避免灯L从灯安装凹部20的正确的位置发生不期望的偏离。
此外，该突部24并非本件发明的必须构成要素，因此也可以在不设置突部24的前提下构成灯保持用盒体10。
回到图1至图3，第二主体部14也基本是与第一主体部12相同的构成，将迄今为止与第一主体部12有关的说明援引为第二主体部14的说明。
在本实施方式所涉及的灯保持用盒体10中，第一主体部12的第一侧面26的一端部相对于第二主体部14的第二侧面28的一端部以圆柱状的销16进行安装，第一主体部12能相对于第二主体部14以销16为中心进行转动。
由此，第一主体部12的第一侧面26能够相对于第二主体部14的第二侧面28接近或远离，能够与该第二侧面28相配合而彼此接合。另外，在本实施方式中，在第一主体部12的第一侧面26的另一端部安装有锁闩金属件27。通过在第一主体部12与第二主体部14相配合而彼此接合的状态下使该锁闩金属件27与形成于第二主体部14的第二侧面28的另一端部的卡合部29卡合，能够维持第一主体部12与第二主体部14彼此接合的状态。
此外，在本实施方式中，销16成为与第一主体部12以及第二主体部14相独立的单独的构件，但也可以将该销16与第一主体部12或者第二主体部14一体形成。
另外，在本实施方式所涉及的灯保持用盒体10，从第二主体部14的第二侧面28突出设置有导销40，在第一主体部12的第一侧面26的对应的位置处，形成有供该导销40插入的导销插入孔42。在将第一侧面26与第二侧面28相配合而彼此接合时，通过将导销40插入导销插入孔42，能够不发生偏离而在正确的位置处将第一主体部12与第二主体部14进行接合。
(灯保持用盒体10的特征)
根据本实施方式所涉及的灯保持用盒体10，该灯保持用盒体10划分为第一主体部12与第二主体部14而构成，通过使第一主体部12能相对于第二主体部14以销16为中心进行转动，从而第一主体部12的第一侧面26能相对于第二主体部14的第二侧面28进行配合而彼此接合，或者彼此远离。
由此，在第一主体部12的灯安装凹部20中的给定的位置处安装灯L且使对该灯L的布线X完成，针对第二主体部14也同样完成后，将第一主体部12以及第二主体部14彼此结合从而使灯保持用盒体10得以完成，因此即使在将多个灯L彼此紧密配置的情况下，附近的灯L、到该灯L的布线X也不易造成干扰，灯L的安装作业变得容易，且能够降低灯L无法安装于适当的位置的风险。
(变形例1)
在上述实施方式中，以销16为中心使第一主体部12相对于第二主体部14能够转动，但也可以取而代之，如图7所示，设置引导构件30，在第一主体部12的第一侧面26与第二主体部14的第二侧面28彼此对置的状态下，引导构件30能使第一主体部12与第二主体部14之间的间隔平行地扩大或者缩小。
在灯保持用盒体10中，以2根该引导构件30为一组进行了使用。各引导构件30分别架设于与第一主体部12的第一侧面26正交的滑动面32和与第二主体部14的第二侧面28正交的滑动面34之间。另外，各滑动面32、34相对于引导构件30滑动自如。
由此，与上述实施方式所涉及的灯保持用盒体10同样，能使第一主体部12的第一侧面26相对于第二主体部14的第二侧面28进行配合而彼此接合，或者彼此远离。
(变形例2)
若进一步讲，如图8所示，可以使第一主体部12与第二主体部14完全分离地构成。在该情况下同样，在第一主体部12的第一侧面26与第二主体部14的第二侧面28相配合而彼此接合的状态下，通过使设置于第一侧面26的两端的锁闩金属件27与形成于第二主体部14的第二侧面28的两端的卡合部29卡合，能够维持第一主体部12与第二主体部14彼此接合的状态。
(变形例3)
另外，第一主体部12、第二主体部14的面形状不限于实施方式那样的长方形状(矩形状)，也可以是多边形状或L字状等任意的形状。
(变形例4)
在迄今为止说明的各实施方式中，灯保持用盒体10利用第一主体部12以及第二主体部14的大大致2个构件来构成，但例如还可以进一步设置与第二主体部14的第二侧面28所对置的侧面相配合的第三主体部，从而将灯保持用盒体10利用大致3个构件来构成。进而，也可以利用大致4个以上的构件来构成灯保持用盒体10。
应该认为，本次公开的实施方式在全部方面只是例示而并非用于限制。本发明的范围不是由上述说明而是由权利要求书示出，旨在包含与权利要求书等同的含义以及范围内的全部变更。
(标号说明)
10…灯保持用盒体，12…第一主体部，14…第二主体部，16…销
20…灯安装凹部，22…灯抵接部，24…突部，26…(第一主体部12的)第一侧面，27…锁闩金属件，28…(第二主体部14的)第二侧面，29…卡合部
30…引导构件，32…滑动面，34…滑动面
40…导销，42…导销插入孔
L…灯，X…布线，R…反射器，O…(反射器R的)开口，T…(反射器R的)开口端部，H…(开口O侧的)端缘面，S…内侧面，F…端缘背面，C…(现有的)盒体。

Claims (3)

1.一种灯保持用盒体，至少具备第一主体部以及第二主体部，
在所述第一主体部以及所述第二主体部，分别形成有供多个灯安装的多个灯安装凹部，
所述第一主体部的第一侧面与所述第二主体部的第二侧面相配合而能彼此接合，
所述第一主体部的所述第一侧面的一端部相对于所述第二主体部的所述第二侧面的一端部以圆柱状的销进行安装，
所述第一主体部能相对于所述第二主体部以所述销为中心进行转动。
2.根据权利要求1所述的灯保持用盒体，其中，
在所述灯安装凹部的内侧面，形成有从所述内侧面突出设置的突部，
在安装于所述灯安装凹部的所述灯不位于正确的位置的情况下，所述突部触碰所述灯。
3.一种曝光装置用光源，具备权利要求1所述的灯保持用盒体。
CN202011171828.5A 2019-11-18 2020-10-28 灯保持用盒体及利用灯保持用盒体的曝光装置用光源 Active CN112327580B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019-208327 2019-11-18
JP2019208327A JP7253798B2 (ja) 2019-11-18 2019-11-18 ランプ保持用カセット、およびそれを用いた露光装置用光源

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112327580A CN112327580A (zh) 2021-02-05
CN112327580B true CN112327580B (zh) 2023-10-27

Family

ID=74296610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011171828.5A Active CN112327580B (zh) 2019-11-18 2020-10-28 灯保持用盒体及利用灯保持用盒体的曝光装置用光源

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7253798B2 (zh)
KR (1) KR20210060313A (zh)
CN (1) CN112327580B (zh)
TW (1) TW202121068A (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101608752A (zh) * 2009-06-26 2009-12-23 刘东光 远化镜台灯
CN101872133A (zh) * 2009-04-23 2010-10-27 优志旺电机株式会社 光照射装置
CN101915406A (zh) * 2010-06-25 2010-12-15 海洋王照明科技股份有限公司 角度调节装置及使用该角度调节装置的灯具
WO2014104013A1 (ja) * 2012-12-28 2014-07-03 Ｈｏｙａ Ｃａｎｄｅｏ Ｏｐｔｒｏｎｉｃｓ株式会社 光源装置
CN207179354U (zh) * 2017-08-16 2018-04-03 南京勤绿光电科技有限公司 一种轨道灯以及led轨道灯

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2011096365A1 (ja) 2010-02-05 2013-06-10 Ｎｓｋテクノロジー株式会社 露光装置用光照射装置及びその点灯制御方法、並びに露光装置、露光方法及び基板
JP2011206731A (ja) 2010-03-30 2011-10-20 Harison Toshiba Lighting Corp 紫外線照射装置
JP5869713B1 (ja) 2015-04-13 2016-02-24 フェニックス電機株式会社 光源装置及び露光装置とその検査方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101872133A (zh) * 2009-04-23 2010-10-27 优志旺电机株式会社 光照射装置
JP2010256531A (ja) * 2009-04-23 2010-11-11 Ushio Inc 光照射装置
CN101608752A (zh) * 2009-06-26 2009-12-23 刘东光 远化镜台灯
CN101915406A (zh) * 2010-06-25 2010-12-15 海洋王照明科技股份有限公司 角度调节装置及使用该角度调节装置的灯具
WO2014104013A1 (ja) * 2012-12-28 2014-07-03 Ｈｏｙａ Ｃａｎｄｅｏ Ｏｐｔｒｏｎｉｃｓ株式会社 光源装置
CN207179354U (zh) * 2017-08-16 2018-04-03 南京勤绿光电科技有限公司 一种轨道灯以及led轨道灯

Also Published As

Publication number Publication date
CN112327580A (zh) 2021-02-05
JP2021081560A (ja) 2021-05-27
KR20210060313A (ko) 2021-05-26
TW202121068A (zh) 2021-06-01
JP7253798B2 (ja) 2023-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20200341210A1 (en) Fiber Optic Ferrule and A Guide Pin Clamp with Field Changeable Guide Pins
US8469737B2 (en) Latch assembly for mounting power supply base for a process fieldbus on a DIN rail and method
US10530090B2 (en) Holding frame for a plug connector and methods of populating same
JP6192814B2 (ja) 車両ヘッドライト用照明装置
JP3992726B1 (ja) クリップ及び光源装置
US10564364B2 (en) Optical fiber assembly
US20160276761A1 (en) Electrical connector
CN112327580B (zh) 灯保持用盒体及利用灯保持用盒体的曝光装置用光源
US20150017823A1 (en) Connector
EP3242075A1 (en) Light guide assembly and vehicle lamp
US20080007703A1 (en) Lamp mount system for projection systems
JP6349020B1 (ja) パネル連結装置及び間仕切り用パネル
JP6566199B2 (ja) 照明装置
JP5356151B2 (ja) 照明器具
KR20160094489A (ko) 천정 매립형 엘이디 조명 장치용 루버
EP1968164B1 (en) A bulb socket and an assembling method therefor
JP4851917B2 (ja) ランプソケット及びそれを用いた照明器具
JP7293943B2 (ja) 照明装置
US20150162694A1 (en) Locking structure of terminal fitting and bulb socket
CN115359734A (zh) Led显示装置及其定位组件
JPH09161531A (ja) 照明器具用反射板の取付構造
KR20230001244U (ko) Led 조명 장치
JP2016149307A (ja) 直管型ｌｅｄランプ及び直管型ｌｅｄランプの取付方法
JPH0473877A (ja) ランプソケット
KR20210135733A (ko) 조명등

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant