KR20210060313A - 램프 유지용 카세트, 및 이를 이용한 노광 장치용 광원 - Google Patents

램프 유지용 카세트, 및 이를 이용한 노광 장치용 광원 Download PDF

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KR20210060313A
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히로무 마츠모토
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페닉스덴키가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 복수의 램프가 서로 조밀하게 배치되는 경우에도, 근방의 램프나 그 램프로의 배선이 방해가 되기 어려워 램프의 장착 작업을 용이하게 하여, 적절한 위치에 램프가 장착되지 않을 우려를 감소시킬 수 있는 램프 유지용 카세트를 제공하는 것으로,
램프 유지용 카세트(10)를 적어도 제1 본체부(12) 및 제2 본체부(14)로 구성하고. 제1 본체부(12) 및 제2 본체부(14)에는 각각 복수의 램프(L)가 장착되는 복수의 램프 장착 오목부(20)를 형성하며, 제1 본체부(12)에서의 제1 측면(26)을, 제2 본체부(14)에서의 제2 측면(28)과 조합하여 서로 접합할 수 있도록 한다.

Description

램프 유지용 카세트, 및 이를 이용한 노광 장치용 광원{LAMP HOLDING CASSETTE AND LIGHT SOURCE FOR EXPOSURE DEVICE USING THE SAME}
본 발명은 예를 들어 노광 장치용 광원으로서 사용되는, 복수의 램프를 통합하여 유지하는 램프 유지용 카세트에 관한 것이다.
예를 들어 노광 장치에 사용되는 광원 등 큰 광량이 필요한 광원에 대하여, 종래에는 대형의 방전등 등의 램프를 하나 설치하는 것이 주류였지만, 상기 램프가 고장나면 광원이 빛을 잃게 되어 노광 장치 전체를 정지시키야 하게 되는 경우나, 유지 관리의 곤란성 등의 문제로부터, 최근에는 소형의 방전등 등의 램프를 복수 나열하여 배치함으로써, 필요한 광량을 방사시킬 수 있는 광원을 구성하는 기술이 개발되고 있다.
예를 들어, 특허 문헌 1에는 복수의 램프를 나열하여 원하는 위치에 용이하게 배치할 수 있도록, 이들 램프를 개개로 유지하는 복수의 오목부를 구비하는 카세트를 사용하는 기술이 개시되어 있다.
일본 공개 특허 제2016-200751호 공보
그러나, 특허 문헌 1에 개시된 램프 유지용 카세트에도 개선해야 할 점이 있었다.
복수의 램프를 사용하는 노광 장치용 광원으로는, 예를 들어 도 9 및 도 10에 도시한 바와 같이 각 램프(L)로부터의 광의 이용 효율을 향상시키기 위해, 각 램프(L)가 서로 조밀하게 배치된다. 이 때문에, 하나의 램프(L)를 카세트(C)에 장착하고자 할 때, 근방의 램프(L)나 그 램프(L)로의 배선(X)이 방해가 되어, 램프(L)의 장착 작업이 곤란해져 자칫하면, 적절한 위치에 램프(L)가 장착되지 않는 경우가 생각되었다.
램프(L)의 장착 작업이 곤란해지면, 하나의 노광 장치용 광원에 복수의 램프(L)를 장착하는 작업 시간이 길어져, 노광 장치 전체의 유지 관리 비용을 끌어 올리는 요인이 된다. 또한, 적절한 위치에 램프(L)가 장착되지 않는 경우에는 노광면에서의 조도가 저하되어 노광 품질의 저하를 초래할 우려가 있었다.
본 발명은 상술한 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 복수의 램프가 서로 조밀하게 배치되는 경우에도, 근방의 램프나 그 램프로의 배선이 방해가 되기 어려워 램프의 장착 작업을 용이하게 하여, 적절한 위치에 램프가 장착되지 않을 우려를 감소시킬 수 있는 램프 유지용 카세트 및 이를 이용한 노광 장치용 광원을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 일 형태에 따르면,
적어도 제1 본체부 및 제2 본체부를 구비하고 있고,
상기 제1 본체부 및 상기 제2 본체부에는 각각 복수의 램프가 장착되는 복수의 램프 장착 오목부가 형성되어 있으며,
상기 제1 본체부에서의 제1 측면은, 상기 제2 본체부에서의 제2 측면과 조합하여 서로 접합할 수 있게 되어 있는
램프 유지용 카세트가 제공된다.
바람직하게는,
상기 제1 본체부에서의 상기 제1 측면의 일방 단부는 상기 제2 본체부에서의 상기 제2 측면의 일방 단부에 대하여 원기둥 형상의 핀으로 장착되어 있고,
상기 제1 본체부는 상기 제2 본체부에 대하여, 상기 핀을 중심으로 하여 회전 가능하게 되어 있다.
바람직하게는,
상기 제1 본체부에서의 상기 제1 측면과 상기 제2 본체부에서의 상기 제2 측면이 서로 대향한 상태에서, 상기 제1 본체부와 상기 제2 본체부의 간격을 넓히거나 좁힐 수 있는 가이드 부재를 추가로 구비하고 있다.
바람직하게는,
상기 램프 장착 오목부의 내측면에는 상기 내측면으로부터 돌출된 돌출부가 형성되어 있고,
상기 돌출부는 상기 램프 장착 오목부에 장착되는 상기 램프가 올바른 위치에 있지 않은 경우에 상기 램프에 닿도록 이루어져 있다.
본 발명의 다른 형태에 의하면,
상술한 램프 유지용 카세트를 구비하는
노광 장치용 광원이 제공된다.
본 발명에 관한 램프 유지용 카세트에 의하면, 상기 램프 유지용 카세트는 적어도 제1 본체부와 제2 본체부로 나뉘어 구성되어 있고, 제1 본체부에서의 제1 측면은 제2 본체부에서의 제2 측면과 조합하여 서로 접합할 수 있도록 되어 있다.
이에 의해, 제1 본체부의 램프 장착 오목부에서의 소정의 위치에 램프를 장착함과 함께 상기 램프에 대한 배선을 끝내 두고, 제2 본체부에 대해서도 동일하게 끝내 둔 후, 제1 본체부 및 제2 본체부를 서로 조합하여 램프 유지용 카세트를 완성시킬 수 있으므로, 복수의 램프가 서로 조밀하게 배치되는 경우에도, 근방의 램프나 그 램프로의 배선이 방해가 되기 어려워져 램프의 장착 작업이 용이해짐과 동시에, 적절한 위치에 램프가 장착되지 않게 될 우려를 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명이 적용된, 실시 형태에 관한 램프 유지용 카세트(10)(오픈된 상태)를 도시한 정면도이다.
도 2는 본 발명이 적용된, 실시 형태에 관한 램프 유지용 카세트(10)(램프(L)를 장착하고 오픈된 상태)를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명이 적용된, 실시 형태에 관한 램프 유지용 카세트(10)(램프(L) 및 배선(X)을 장착하고 오픈된 상태)를 도시한 정면도이다.
도 4는 본 발명이 적용된, 실시 형태에 관한 램프 유지용 카세트(10)(닫힌 상태)를 도시한 정면도이다.
도 5는 Ⅴ-Ⅴ 화살표에 따른 단면도이다.
도 6은 Ⅵ-Ⅵ 부분의 확대도이다.
도 7은 변형예 1에 관한 램프 유지용 카세트(10)(램프(L)를 장착하고 오픈된 상태)를 도시한 사시도이다.
도 8은 변형예 2에 관한 램프 유지용 카세트(10)(램프(L)를 장착하고 오픈된 상태)를 도시한 사시도이다.
도 9는 종래 기술을 도시한 도면이다.
도 10은 종래 기술을 도시한 도면이다.
(램프 유지용 카세트(10)의 구성)
이하, 도면을 이용하여 본 발명에 관한 램프 유지용 카세트(10)의 구성에 대하여 설명한다.
도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 램프 유지용 카세트(10)는 대략 제1 본체부(12), 제2 본체부(14), 및 핀(16)으로 구성되어 있다.
제1 본체부(12)는 복수의 램프(L)가 장착되는 부재이고, 이들 램프(L)를 장착하기 위한 램프 장착 오목부(20)가 복수 형성되어 있다.
또한, 본 실시 형태에서는 램프(L)로서 리플렉터 부착의 방전등이 사용되고 있지만, 램프(L)의 종류는 이에 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 백열등이나 LED이어도 되고, 리플렉터의 유무에 대해서도 한정되지 않는다.
또한, 본 실시 형태에서는 제1 본체부(12)에는 램프 장착 오목부(20)가 2 열로 형성되어 있고, 1 열 당 5 개소의 램프 장착 오목부(20)가 형성되어 있는 점에서, 총 10 개소의 램프 장착 오목부(20)가 형성되어 있다. 램프 장착 오목부(20)의 열수는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 램프(L)에 대한 배선 작업의 용이성을 감안하면 2 열로 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 1 열 당의 램프 장착 오목부(20)의 개수도 특별히 한정되지 않는다.
도 4 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 각 램프 장착 오목부(20)에는 1 개의 램프(L)에서의 리플렉터(R)의 개구(O)측이 끼워 넣어지도록 이루어져 있다. 또한, 각 램프 장착 오목부(20)의 내측면(S)에서의 저(底)단부로부터는 리플렉터(R)에서의 개구(O)측의 개구 단부(T)에서의 단 가장자리면(H)이 맞닿는 램프 접촉부(22)가 형성되어 있고, 리플렉터(R)의 단 가장자리면(H)을 상기 램프 접촉부(22)에 맞닿게 함으로써, 램프 유지용 카세트(10)에 대한 램프(L)의 위치 결정을 올바르게 할 수 있도록 이루어져 있다.
또한, 각 램프 장착 오목부(20)의 내측면(S)에는 상기 내측면(S)으로부터 돌출된 돌출부(24)가 형성되어 있다. 상기 돌출부(24)는 상술한 바와 같이 램프(L)에서의 리플렉터(R)의 단 가장자리면(H)을 램프 접촉부(22)에 맞닿게 함으로써 상기 램프(L)를 올바르게 위치 결정한 상태에서, 리플렉터(R)의 개구 단부(T)에서의 단 가장자리 면(H)과는 반대측의 단 가장자리 배면(F)에 맞닿거나, 또는 상기 단 가장자리 배면(F)의 근방에 위치하도록 설정되어 있다. 이에 의해, 램프(L)가 램프 장착 오목부(20)에 대하여 어긋났을 때, 즉 램프(L)가 램프 장착 오목부(20)에 대하여 올바른 위치에 있지 않은 경우에 돌출부(24)가 리플렉터(R)의 단 가장자리 배면(F)에 닿게, 램프(L)가 램프 장착 오목부(20)의 올바른 위치로부터 원하지 않게 어긋나는 것을 피할 수 있게 되어 있다.
또한, 상기 돌출부(24)는 본건 발명의 필수 구성 요소가 아니므로, 돌출부 (24)를 설치하지 않고 램프 유지용 카세트(10)를 구성해도 된다.
도 1 내지 도 3으로 되돌아가, 제2 본체부(14)도 기본적으로 제1 본체부(12)와 동일한 구성이고, 지금까지의 제1 본체부(12)에 관한 설명을 제2 본체부(14)의 설명으로서 원용한다.
본 실시 형태에 관한 램프 유지용 카세트(10)에서, 제1 본체부(12)에서의 제1 측면(26)의 일방 단부는 제2 본체부(14)에서의 제2 측면(28)의 일방 단부에 대하여 원기둥 형상의 핀(16)으로 장착되어 있고, 제1 본체부(12)가 제2 본체부(14)에 대하여 핀(16)을 중심으로 하여 회전 가능하게 되어 있다.
이에 의해, 제1 본체부(12)에서의 제1 측면(26)은 제2 본체부(14)에서의 제2 측면(28)에 대하여 근접 이격 가능하게 되어 있고, 상기 제2 측면(28)과 조합하여 서로 접합할 수 있도록 되어 있다. 또한, 본 실시 형태에서는 제1 본체부(12)에서의 제1 측면(26)의 타방 단부에 래치 금구(27)가 장착되어 있다. 제1 본체부(12)와 제2 본체부(14)가 조합되어 서로 접합된 상태로 상기 래치 금구(27)를 제2 본체부(14)에서의 제2 측면(28)의 타방 단부에 형성된 걸어 맞춤부(29)와 걸어 맞춤으로써, 제1 본체부(12)와 제2 본체부(14)가 서로 접합된 상태를 유지할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서 핀 (16)은 제1 본체부(12) 및 제2 본체부(14)로부터 독립된 별개의 부재로 이루어져 있지만, 상기 핀(16)을 제1 본체부(12) 또는 제2 본체부(14)와 일체로 형성해도 된다.
또한, 본 실시 형태에 관한 램프 유지용 카세트(10)에는 제2 본체부(14)에서의 제2 측면(28)으로부터 가이드 핀(40)이 돌출 설치되어 있고, 제1 본체부(12)에서의 제1 측면(26)의 대응하는 위치에는, 상기 가이드 핀(40)이 삽입되는 가이드 핀 삽입 구멍(42)이 형성되어 있다. 제1 측면(26)과 제2 측면(28)을 조합하여 서로 접합할 때, 가이드 핀(40)을 가이드 핀 삽입 구멍(42)에 삽입함으로써, 어긋남이 발생하지 않고 올바른 위치에서 제1 본체부(12)와 제2 본체부(14)를 접합할 수 있다.
(램프 유지용 카세트(10)의 특징)
본 실시 형태에 관한 램프 유지용 카세트(10)에 의하면, 상기 램프 유지용 카세트(10)가 제1 본체부(12)와 제2 본체부(14)로 나뉘어 구성되어 있고, 제1 본체부(12)가 제2 본체부(14)에 대하여 핀(16)을 중심으로 하여 회전 가능하게 이루어져 있음으로써, 제1 본체부(12)에서의 제1 측면(26)은 제2 본체부(14)에서의 제2 측면(28)과 조합하여 서로 접합시키거나, 서로 이격시킬 수 있게 되어 있다.
이에 의해, 제1 본체부(12)의 램프 장착 오목부(20)에서의 소정의 위치에 램프(L)를 장착함과 함께 상기 램프(L)에 대한 배선(X)을 끝내 두고, 제2 본체부(14)에 대해서도 동일하게 끝내 놓은 후, 제1 본체부(12) 및 제2 본체부(14)를 서로 조합하여 램프 유지용 카세트(10)를 완성시킬 수 있으므로, 복수의 램프(L)가 서로 조밀하게 배치되는 경우에도, 근방의 램프(L)나 그 램프(L)로의 배선(X)이 방해가 되기 어려워져 램프(L)의 장착 작업이 용이해짐과 동시에, 적절한 위치에 램프(L)가 장착되지 않게 될 우려를 감소시킬 수 있다.
(변형예 1)
상술한 실시 형태에서는 핀(16)을 중심으로 하여 제1 본체부(12)를 제2 본체부(14)에 대하여 회전 가능하게 하고 있었지만, 이를 대신하여 도 7에 도시한 바와 같이, 제1 본체부(12)에서의 제1 측면(26)과 제2 본체부(14)에서의 제2 측면(28)이 서로 대향한 상태에서, 제1 본체부(12)와 제2 본체부(14)의 간격을 평행하게 넓히거나 좁힐 수 있는 가이드 부재(30)를 설치해도 된다.
램프 유지용 카세트(10)에는 상기 가이드 부재(30)가 2개 1세트로 사용되고 있다. 각 가이드 부재(30)는 각각 제1 본체부(12)에서의 제1 측면(26)에 직교하는 슬라이드면(32)과, 제2 본체부(14)에서의 제2 측면(28)에 직교하는 슬라이드면(34) 사이에 가설되어 있다. 또한, 각 슬라이드면(32, 34)은 가이드 부재(30)에 대하여 슬라이딩 자유롭게 되어 있다.
이에 의해, 상술한 실시 형태에 관한 램프 유지용 카세트(10)와 동일하게, 제1 본체부(12)에서의 제1 측면(26)을, 제2 본체부(14)에서의 제2 측면(28)과 조합하여 서로 접합시키거나, 서로 이격시킬 수 있게 되어 있다.
(변형예 2)
추가로 말하면, 도 8에 도시한 바와 같이 제1 본체부(12)와 제2 본체부(14)를 완전히 분리시켜 구성해도 된다. 이 경우에도 제1 본체부(12)에서의 제1 측면(26)과 제2 본체부(14)에서의 제2 측면(28)이 조합되어 서로 접합된 상태에서, 제1 측면(26)의 양단에 설치된 래치 금구(27)를 제2 본체부(14)에서의 제2 측면(28)의 양단에 형성된 걸어 맞춤부(29)와 걸어 맞춤으로써, 제1 본체부(12)와 제2 본체부(14)가 서로 접합된 상태를 유지할 수 있다.
(변형예 3)
또한, 제1 본체부(12)나 제2 본체부(14)의 면 형상은 실시 형태와 같은 장방 형(직사각형)에 한정되는 것은 아니고, 다각형이나 L자 형상 등, 어떠한 형상이어도 된다.
(변형예 4)
지금까지 설명한 각 실시 형태에서는, 램프 유지용 카세트(10)는 제1 본체부(12) 및 제2 본체부(14)의 대략 2 개의 부재로 구성되어 있었지만, 예를 들어 제2 본체부(14)에서의 제2 측면(28)에 대향하는 측면에 조합되는 제3 본체부를 추가로 설치하고, 램프 유지용 카세트(10)를 대략 3 개의 부재로 구성해도 된다. 또한, 대략 4 개 이상의 부재로 램프 유지용 카세트(10)를 구성해도 된다.
이번에 개시된 실시 형태는 모든 점에서 예시로 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 할 것이다. 본 발명의 범위는 상기한 설명이 아니라 특허청구범위에 의해 나타내어지고, 특허청구범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.
10: 램프 유지용 카세트 12: 제1 본체부
14: 제2 본체부 16: 핀
20: 램프 장착 오목부 22: 램프 접촉부
24: 돌출부 26: (제1 본체부(12)의) 제1 측면
27: 래치 금구 28: (제2 본체부(14)의) 제2 측면
29: 걸어 맞춤부 30: 가이드 부재
32: 슬라이드면 34: 슬라이드면
40: 가이드 핀 42: 가이드 핀 삽입 구멍
L: 램프 X: 배선
R: 리플렉터 O: (리플렉터(R)의) 개구
T: (리플렉터(R)의) 개구 단부 H: (개구(O)측)의 단 가장자리면
S: 내측면 F: 단 가장자리 배면
C: (종래의) 카세트

Claims (5)

  1. 적어도 제1 본체부 및 제2 본체부를 구비하고 있고,
    상기 제1 본체부 및 상기 제2 본체부에는 각각 복수의 램프가 장착되는 복수의 램프 장착 오목부가 형성되어 있으며,
    상기 제 1 본체부에서의 제1 측면은, 상기 제2 본체부에서의 제2 측면과 조합하여 서로 접합할 수 있게 되어 있는, 램프 유지용 카세트.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 본체부에서의 상기 제1 측면의 일방 단부는 상기 제2 본체부에서의 상기 제2 측면의 일방 단부에 대하여 원기둥 형상의 핀으로 장착되어 있고,
    상기 제1 본체부는 상기 제2 본체부에 대하여, 상기 핀을 중심으로 하여 회전 가능하게 되어 있는, 램프 유지용 카세트.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 본체부에서의 상기 제1 측면과 상기 제2 본체부에서의 상기 제2 측면이 서로 대향한 상태에서, 상기 제1 본체부와 상기 제2 본체부의 간격을 넓히거나 좁힐 수 있는 가이드 부재를 추가로 구비하고 있는, 램프 유지용 카세트.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 램프 장착 오목부의 내측면에는 상기 내측면으로부터 돌출된 돌출부가 형성되어 있고,
    상기 돌출부는 상기 램프 장착 오목부에 장착되는 상기 램프가 올바른 위치에 있지 않은 경우에 상기 램프에 닿도록 이루어져 있는, 램프 유지용 카세트.
  5. 제 1 항에 기재된 램프 유지용 카세트를 구비하는, 노광 장치용 광원.
KR1020200142069A 2019-11-18 2020-10-29 램프 유지용 카세트, 및 이를 이용한 노광 장치용 광원 KR20210060313A (ko)

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