CN112222079B - 一种清洗干燥系统及清洗干燥方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种清洗干燥系统和清洗干燥方法。洗干燥系统适于对掩膜板进行清洗干燥，包括清洗槽、移动装置、干燥装置和监控装置。移动装置适于从清洗槽中抓取掩膜板进行移动。干燥装置包括吹气单元和连接部件，吹气单元与连接部件可转动连接，吹气单元适于喷射出方向可控的线状气流；监控装置连接移动装置和干燥装置，监控装置适于控制移动装置从清洗槽中抓取掩膜板至第一预设位置，监控装置适于控制吹气单元围绕连接部件转动至第二预设位置。通过控制掩膜板移动和吹气单元转动，能够针对性的对掩膜板的不同倾斜角度的对位孔进行作业，对对位孔的侧壁以及对位孔的周围表面进行吹气干燥保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

Description

一种清洗干燥系统及清洗干燥方法

技术领域

本发明涉及清洗领域，具体涉及一种清洗干燥系统及清洗干燥方法。

背景技术

通常掩膜板在使用常规方式清洗干燥后，经常会出现对位孔开口周围和内部有药液和水渍残留的情况。由于药液和水渍残留，一方面会引起PPA量测时报警(pixelposition accuracy，像素位置精度)，影响作业时间；另一方面，掩膜板在蒸镀步骤对位过程中发生报警，需要停止并检查更换掩膜板，会影响蒸镀的产能。此外，残留的药液和水渍也会一定程度污染蒸镀腔室环境，长期积累会造成后续产品不良。

发明内容

针对上述问题，本发明提供一种清洗干燥系统及清洗干燥方法，以解决掩膜板清洗干燥过程中的药液和水渍残留的问题。

本发明提供一种清洗干燥系统，适于对掩膜板进行清洗干燥，包括：清洗槽，移动装置，所述移动装置适于从所述清洗槽中抓取所述掩膜板进行移动；干燥装置，所述干燥装置包括吹气单元和连接部件，所述吹气单元与所述连接部件可转动连接，所述吹气单元适于喷射出方向可控的线状气流；监控装置，所述监控装置连接所述移动装置和所述干燥装置，所述监控装置适于控制所述移动装置从所述清洗槽中抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，所述监控装置适于控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置。

可选的，所述吹气单元包括：吹扫头；底座；吹气单元主体，所述吹气单元主体的一端连接吹扫头，所述吹气单元主体的另一端与所述底座固定连接；所述底座和所述连接部件可转动连接。

可选的，所述底座与所述连接部件通过销轴连接，所述吹气单元适于围绕所述销轴转动。

可选的，所述吹扫头的一部分位于所述吹气单元主体的内部，且所述吹扫头适于沿着所述吹气单元主体的中心轴在吹气单元主体内部移动。

可选的，所述吹扫头具有相对的主出风口和连接端口，所述连接端口与所述吹气单元主体连接，所述主出风口适于喷射出方向可控的线状气流。

可选的，所述吹扫头为伸缩结构，所述伸缩结构的伸缩方向平行于吹气单元主体的中心轴。

可选的，所述吹扫头为挠性部件，所述吹扫头可弯折变形并可保持弯折后的固定形态。

可选的，所述吹扫头可围绕所述吹气单元主体的中心轴进行旋转。

可选的，所述吹扫头可拆卸的连接于所述吹气单元主体。

可选的，所述干燥装置安装于所述清洗槽的槽壁。

可选的，所述吹扫头还具有侧出风口，侧出风口暴露出吹扫头的侧壁，所述侧出风口与所述主出风口的朝向不同。

可选的，所述侧出风口的数量为两个，两个所述侧出风口的朝向以所述吹气单元主体的延伸方向为轴呈轴对称设置。

可选的，所述干燥装置还包括安装座，所述安装座与所述连接部件固定连接。

可选的，所述干燥装置还包括：主动力源回路，所述主动力源回路连通所述吹气单元，所述主动力源回路靠近吹气单元的一侧设置有主控制阀，所述主动力源回路远离吹气单元的一侧设置有主泄压阀；所述主动力源回路在所述主控制阀和所述主泄压阀之间连通一路或者多路吹扫介质源。

可选的，所述监控装置包括控制单元和监测单元；所述监测单元与所述控制单元通信连接或电连接，所述监测单元适于监测所述干燥装置的作业参数和所述移动装置的作业参数；所述控制单元适于依据所述监测单元所监测到的的作业参数控制所述移动装置和所述干燥装置进行清洗干燥作业。

本发明还公开一种清洗干燥方法，采用如上所述的清洗干燥系统对掩膜板进行清洗干燥，其中掩膜板具有对位孔，将所述掩膜板置于所述清洗槽中进行清洗；所述监控装置控制所述移动装置抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，以使所述对位孔脱离所述清洗槽中的清洗液；所述监控装置控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置，以使所述吹气单元对准所述对位孔；采用所述吹气单元对所述对位孔进行吹扫干燥。

可选的，所述掩膜板的边缘具有第一对位孔和第二对位孔，所述第一对位孔和所述第二对位孔的延伸方向与掩膜板的表面呈倾斜状态；采用所述吹气单元对所述对位孔进行吹扫干燥的步骤包括：采用吹气单元对第一对位孔进行第一吹扫干燥；采用吹气单元对第二对位孔进行第二吹扫干燥。

可选的，所述吹气单元对准所述对位孔的步骤包括：采用所述吹气单元对所述第一对位孔进行第一吹扫干燥之前，进行第一对位步骤，使所述吹气单元的中心轴与所述第一对位孔的中心轴线重合；采用所述吹气单元对所述第二对位孔进行第二吹扫干燥之前，进行第二对位步骤，使所述吹气单元的中心轴与所述第二对位孔的中心轴线重合。

可选的，所述吹气单元包括吹扫头；在所述吹扫干燥的过程中，所述吹扫头伸入所述掩膜板的所述对位孔；或者，在所述吹扫干燥的过程中，吹扫头位于所述对位孔的外部。

可选的，所述吹气单元包括吹扫头，所述吹扫头具有主出风口，所述主出风口适于喷射方向可控的线状气流；所述吹扫头可围绕吹气单元的中心轴进行旋转；在所述吹扫干燥的过程中，所述主出风口围绕吹气单元的中心轴进行旋转。

可选的，所述监控装置包括控制单元和监测单元；采用所述监测单元监测所述干燥装置的作业参数和所述移动装置的作业参数，并将所述作业参数传输给所述控制单元；所述控制单元依据所述监测单元所监测到的作业参数控制所述移动装置和所述干燥装置进行清洗干燥作业。

本发明的有益效果在于：

1.本发明提供的清洗干燥系统，包括清洗槽；移动装置，所述移动装置适于从所述清洗槽中抓取所述掩膜板进行移动；干燥装置，所述干燥装置包括吹气单元和连接部件，所述吹气单元与所述连接部件可转动连接，所述吹气单元适于喷射出方向可控的线状气流；监控装置，所述监控装置连接所述移动装置和所述干燥装置，所述监控装置适于控制所述移动装置从所述清洗槽中抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，所述监控装置适于控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置。通过吹气单元与连接部件的相对转动，使得吹气单元的喷射方向可发生改变并且喷射出的线状气流可控。采用喷射方向可控的线状气流能够针对性的对掩膜板的不同倾斜角度的对位孔进行作业，对对位孔的侧壁以及对位孔的周围表面进行吹气干燥，另外可基于对位孔的延伸方向，对吹气单元的喷射方向进行角度的微调，使得对所述对位孔的孔壁和开口周围的各区域都能得到有效的吹扫。监控装置通过控制移动装置抓取掩膜板移动和控制吹气单元围绕连接部件转动，可实现吹气单元和掩膜板对位孔的对准，实现对对位孔的精准吹扫干燥，保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

2.本发明提供的清洗干燥系统，吹气单元包括吹扫头、底座、吹气单元主体，所述吹气单元主体的一端连接吹扫头，所述吹气单元主体的另一端与所述底座固定连接，所述底座和所述连接部件可转动连接。一方面通过底座与连接部件的相对转动，可针对不同倾斜角度的对位孔，调整所述吹气单元主体和吹扫头的朝向，另一方面可基于对位孔的延伸方向，对吹扫头的喷射方向进行角度的微调，使得对所述对位孔的孔壁和开口周围的各区域都能得到有效的吹扫，保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

3.本发明提供的清洗干燥系统，所述吹扫头为伸缩结构，所述伸缩结构的伸缩方向平行于吹气单元主体的中心轴。使得吹扫头可延伸至对位孔的内部，对对位孔的内部进行充分的吹扫，可适应不同类型的对位孔，对不同对位孔内进行吹扫干燥，进一步避免了药液和水渍残留。

4.本发明提供的清洗干燥系统，所述吹扫头为挠性部件，所述吹扫头可弯折变形并可保持弯折后的固定形态。使得所述吹扫头可变换各种形态调整喷射方向，对对位孔的内部进行充分的吹扫，进一步避免了药液和水渍残留。

5.本发明提供的清洗干燥系统，所述吹扫头可拆卸的连接于所述吹气单元主体。这样的设置使得吹扫头可拆卸替换，可根据实际需要，选择合适的吹扫头，以适应不同类型的对位孔。

6.本发明提供的清洗干燥系统，所述干燥装置可安装于所述清洗槽的槽壁。这样的设置使得掩膜板在清洗槽中完成清洗后将掩膜板移出清洗液的过程中即可在清洗槽内进行吹扫干燥，不必移至其他的装置进行干燥，清洗干燥在一个装置内完成，节省了设备空间。

7.本发明提供的清洗干燥系统，所述吹扫头还具有侧出风口，所述侧出风口暴露出吹扫头的侧壁，所述侧出风口与所述主出风口的朝向不同。吹扫头设置朝向不同方向的出风口，当吹扫头位于靠近对位孔的外部时，可采用侧出风口对对位孔的周围表面进行吹扫，采用主出风口对对位孔内部进行吹扫；当吹扫头位于对位孔的内部时，可采用两种不同朝向的出风口同时对对位孔的内部进行吹扫，增加吹扫覆盖面。如此能够提高吹扫干燥效率。

8.本发明提供的清洗干燥系统，还包括：主动力源回路，主动力源回路连通吹气单元，主动力源回路靠近吹气单元的一侧设置有主控制阀，主动力源回路远离吹气单元的一侧设置有主泄压阀。主动力源回路在主控制阀和主泄压阀之间连通一路或者多路吹扫介质源。通过主动力源连通吹起单元和吹扫介质源的设置，主动力源回路向干燥装置提供吹草介质，使其能够进行吹扫作业。通过主控制阀和主泄压阀的设置使得干燥装置的吹扫流量可控。连通一路或多路吹扫介质源，使得干燥装置根据不同情况可以选择不同的吹扫介质源，适应不同干燥需求。

9.本发明提供的清洗干燥系统，所述监控装置包括控制单元和监测单元；采用所述监测单元监测所述干燥装置的作业参数和所述移动装置的作业参数，并将所述作业参数传输给所述控制单元；所述控制单元依据所述监测单元所监测到的作业参数控制所述移动装置和所述干燥装置进行清洗干燥作业。监控装置依据监测单元所监测到的的作业参数控制移动装置和干燥装置进行清洗干燥作业，可对掩膜板的对位孔干燥过程实现精确监控，保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

10.本发明提供一种清洗干燥方法，采用如上所述的清洗干燥系统对掩膜板进行清洗干燥，其中所述掩膜板具有对位孔，包括以下步骤：将所述掩膜板置于所述清洗槽中进行清洗；所述监控装置控制所述移动装置抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，以使所述对位孔脱离所述清洗槽中的清洗液；所述监控装置控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置，以使所述吹气单元对准所述对位孔；采用所述吹气单元对所述对位孔进行吹扫干燥。采用吹气单元喷射的喷射方向可控的线状气流能够针对性的对掩膜板的不同倾斜角度的对位孔进行作业，对对位孔的侧壁以及对位孔的周围表面进行吹气干燥，另外可基于对位孔的延伸方向，对吹气单元的喷射方向进行角度的微调，使得对所述对位孔的孔壁和开口周围的各区域都能得到有效的吹扫。通过由监控装置控制移动装置抓取掩膜板移动和控制吹气单元围绕连接部件转动，可实现吹气单元和掩膜板对位孔的对准，实现对对位孔的精准吹扫干燥，保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

11.本发明提供一种清洗干燥方法，当掩膜板的边缘具有第一对位孔和第二对位孔，所述第一对位孔和所述第二对位孔的延伸方向与掩膜板的表面呈倾斜状态时，可采用吹气单元对第一对位孔进行第一吹扫干燥，采用吹气单元对第二对位孔进行第二吹扫干燥。针对不同倾斜方向的第一对位孔和第二对位孔，可调整吹气单元相对于连接部件的位置，使得吹气单元的喷射方向得到调整，使得适用于对倾斜方向不同的第一对位孔和第二对位孔的扫吹需求。

12.本发明提供的清洗干燥方法中，所述吹气单元对准所述对位孔的步骤包括：采用所述吹气单元对所述第一对位孔进行第一吹扫干燥之前，进行第一对位步骤，使所述吹气单元的中心轴与所述第一对位孔的中心轴线重合；采用所述吹气单元对所述第二对位孔进行第二吹扫干燥之前，进行第二对位步骤，使所述吹气单元的中心轴与所述第二对位孔的中心轴线重合。通过对位步骤，使得干燥装置的吹气单元可对准对位孔，在此基础上再进行吹扫作业，可使吹扫作业更加精准，保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

13.本发明提供的清洗干燥方法，在所述吹扫干燥的过程中，所述吹扫头可以根据需要选择伸入所述对位孔或者位于对位孔的外部；所述吹扫头伸入所述掩膜板的所述对位孔时，对所述对位孔的内壁近距离的吹扫，有效的去除了对位孔的内壁的水渍和药液。

14.本发明提供的清洗干燥方法，所述吹扫头可围绕吹气单元的中心轴进行旋转；在所述吹扫干燥的过程中，所述主出风口围绕吹气单元的中心轴进行旋转。通过这样的步骤，使得对线状气流在空间上呈螺旋前进的形态，适应不同类型的对位孔，且能够保证对位内部部和对位孔的周围无药液和水渍残留。

15.本发明提供的清洗干燥方法，所述监控装置包括控制单元和监测单元；采用所述监测单元监测所述干燥装置的作业参数和所述移动装置的作业参数，并将所述作业参数传输给所述控制单元；所述控制单元依据所述监测单元所监测到的作业参数控制所述移动装置和所述干燥装置进行清洗干燥作业。通过监控装置依据监测单元所监测到的的作业参数控制移动装置和干燥装置进行清洗干燥作业，可对掩膜板的对位孔干燥过程实现精确监控，保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一实施例的清洗干燥系统的部分结构示意图；

图2为本发明一实施例的清洗干燥系统进行干燥作业时的步骤示意图；

图3为本发明的对比例1的清洗干燥装置中干燥装置的示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供一种清洗干燥系统，参考图1和图2，本实施例提供的清洗干燥系统适于对掩膜板2进行清洗干燥，包括清洗槽3、移动装置、干燥装置1和监控装置。移动装置适于从清洗槽3中抓取掩膜板2进行移动。干燥装置1包括吹气单元和连接部件16，吹气单元与连接部件16可转动连接，吹气单元适于喷射出方向可控的线状气流。监控装置连接移动装置和干燥装置，监控装置适于控制移动装置从清洗槽中抓取掩膜板移动至第一预设位置，监控装置适于控制所述吹气单元围绕连接部件转动至第二预设位置。

其中第一预设位置指预先设置的一清洗后的掩膜板的对位孔脱离清洗槽中清洗液的位置；第二预设位置指预先设置的一吹气单元的延伸方向朝向对位孔的位置，即，吹气单元对准对位孔的位置。

通过吹气单元与连接部件的相对转动，使得吹气单元的喷射方向可发生改变并且喷射出的线状气流可控。采用喷射方向可控的线状气流能够针对性的对掩膜板的不同倾斜角度的对位孔，对对位孔的侧壁以及对位孔的周围表面进行吹气干燥，另外可基于对位孔的延伸方向，对吹气单元的喷射方向进行角度的微调，使得对所述对位孔的孔壁和开口周围的各区域都能得到有效的吹扫。监控装置通过控制移动装置抓取掩膜板移动和控制吹气单元围绕连接部件转动，可实现吹气单元和掩膜板对位孔的对准，实现对对位孔的精准吹扫干燥，保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

需要说明的是，线状气流具有如下特征：该线状气流的横截面的中心点至横截面的边缘上的任一点之间的距离大致相同，所述线状气流的横截面的中心点至横截面的边缘上的任意两点的距离之间的差值小于一距离阈值。且线状气流的横截面上任意点的气流朝向大致相同，理想情况下为完全相同。线状气流的横截面上任意两点的气流朝向的夹角小于一夹角阈值。

在本实施例中，所述距离阈值可以为2mm，所述夹角阈值可以为2°。

此外，移动装置适于从清洗槽中抓取掩膜板进行移动。除清洗后的干燥步骤外，移动装置还可适于在其他步骤中抓取掩膜板进行移动，例如抓取掩膜板在不同清洗槽之间移动，或抓取待清洗的掩膜板移动至清洗槽中进行清洗，或将干燥后的掩膜板移至预定位置放置等。

在本实施例中，吹气单元包括：吹扫头12、底座13和吹气单元主体11。吹气单元主体11的一端连接吹扫头12，吹气单元主体11的另一端与底座13固定连接。底座13和连接部件16可转动连接。

具体的，底座13与连接部件16可通过销轴连接，吹气单元适于围绕销轴转动。

通过这样的设置，一方面，通过底座13与连接部件16的相对转动，可针对不同倾斜角度的对位孔，调整所述吹气单元主体和吹扫头的朝向；另一方面，可基于对位孔的延伸方向，对吹扫头的喷射方向进行角度的微调，使得对所述对位孔的内壁和周围的各区域都能得到有效的吹扫，保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

本实施例中，吹扫头12的一部分位于吹气单元主体11的内部，且吹扫头12适于沿着吹气单元主体11的中心轴在吹气单元主体11内部移动。或者，吹扫头12的一端与吹气单元主体11固定连接。

本实施例中，吹扫头12具有相对的主出风口121和连接端口，连接端口与吹气单元主体11连接，主出风口适于喷射出方向可控的线状气流。通过连接端口的设置，使得吹扫头12可将来自吹气单元主体11的气体以线状气流的形式喷出。

本实施例中，吹扫头12可以为伸缩结构，伸缩结构的伸缩方向平行于吹气单元主体的中心轴。通过这样的设置，使得吹扫头可延伸至对位孔的内部，对对位孔的内部进行充分的吹扫，可适应不同类型的对位孔，对不同对位孔内进行吹扫干燥，进一步避免了药液和水渍残留。

具体的，吹扫头12可以为挠性部件，吹扫头12可弯折变形并可保持弯折后的固定形态。通过这样的设置，使得所述吹扫头12可变换各种形态调整喷射方向，对对位孔的内部进行充分的吹扫，进一步避免了药液和水渍残留。

在本实施例中，吹扫头12可设置成可围绕所述吹气单元主体的中心轴进行旋转的形式。

在本实施例中，吹扫头12还可设置成可拆卸的连接于吹气单元主体11。这样使得吹扫头可拆卸替换，可根据实际需要，选择合适的吹扫头，以适应不同类型的对位孔。

在本实施例中，干燥装置1还包括安装座15，安装座15与连接部件14固定连接。通过这样的设置，使得所述干燥装置可固定安装于需要的位置。具体的，干燥装置1可与清洗槽3的槽壁固定连接，将干燥装置1安装于清洗槽3的槽壁上(如图2所示)。这样的设置使得掩膜板在清洗槽中完成清洗后将掩膜板移出清洗液的过程中即可在清洗槽内进行吹扫干燥，不必移至其他的装置进行干燥，清洗干燥在一个装置内完成，节省了设备空间。

在本实施例中，吹扫头12还具有侧出风口122，侧出风口122暴露出吹扫头12的侧壁，侧出风口122与主出风口121的朝向不同。

具体的，侧出风口122的数量可以为两个，两个侧出风口122的朝向以吹气单元主体11的延伸方向为轴呈轴对称设置。在其他一些实施例中，侧出风口的数量也可以为多个，也可以呈其他形式的分布形式设置。

吹扫头12设置朝向不同方向的出风口，当吹扫头12位于靠近对位孔的外部时，可采用侧出风口122对对位孔的周围表面进行吹扫，采用主出风口121对对位孔内部进行吹扫。当吹扫头12位于对位孔的内部时，可采用两种不同朝向的出风口同时对对位孔的内部进行吹扫，增加吹扫覆盖面。如此能够提高吹扫干燥效率。

在本实施例中，干燥装置1还包括主动力源回路14。主动力源回路14连通吹扫装置的底座13。主动力源回路14靠近底座13的一侧设置有主控制阀141，远离底座的一侧设置有主泄压阀142。主动力源回路在主控制阀141和主泄压阀142之间连通吹扫介质源。底座13和吹气单元主体11中设置有介质通道，吹扫头12通过吹气单元主体11中的介质通道和底座13中的介质通道连通主动力源回路14。

吹扫头12通过连通吹扫介质源的主动力源回路14，由吹扫介质源向吹气单元提供吹扫介质，使其能够进行吹扫作业。通过主控制阀141和主泄压阀142，使得干燥装置1的吹扫流量可控。

本实施例中，吹扫介质源可以包括气源143、水源144和吹扫清洗剂源145中的一种或多种。其中水源144可以为去离子水源。每一吹扫介质源单独设置流量控制器146。具体的，可以选择为设置有三路吹扫介质源，三路吹扫介质源分别为气源143、水源144和吹扫清洗剂源145。

通过吹扫介质源包括气源143、水源144和吹扫清洗剂源145中的一种或多种的设置，使得干燥装置1根据不同情况可以选择不同的吹扫介质源。每一吹扫介质源单独设置流量控制器146，可针对不同情况调整不同吹扫介质源的流量。使得干燥装置1可适应不同干燥需求。

在本实施例中，监控装置可以包括控制单元和监测单元。监测单元与控制单元通信连接或电连接，监测单元适于监测干燥装置的作业参数和移动装置的作业参数。控制单元适于依据监测单元所监测到的的作业参数控制移动装置和干燥装置进行清洗干燥作业。其中，干燥装置的作业参数可以包括：选择的吹扫介质源、吹扫介质源的供应流量、吹气单元的吹扫流量，吹起单元的吹扫时间，吹气单元的转动角度、吹气单元的转动速度等。移动装置的作业参数可以包括移动速度、位置数据、高度数据等。

监控装置依据监测单元所监测到的的作业参数控制移动装置和干燥装置进行清洗干燥作业，可对掩膜板的对位孔干燥过程实现精确监控，保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

实施例2

本实施例提供一种清洗干燥方法，采用如上述实施例1所述的清洗干燥系统对掩膜板2进行清洗干燥，其中掩膜板2具有对位孔。参考图1和图2，图2为本实施例的清洗干燥系统进行干燥作业时的步骤示意图。清洗干燥方法包括以下步骤：

将掩膜板2置于清洗槽3中进行清洗；

监控装置控制移动装置抓取掩膜板2移动至第一预设位置，以使对位孔脱离清洗槽中的清洗液；

监控装置控制吹气单元围绕连接部件16转动至第二预设位置，以使吹气单元对准对位孔。

采用吹气单元喷射的喷射方向可控的线状气流能够针对性的对掩膜板2的不同倾斜角度的对位孔进行吹扫作业，对对位孔的侧壁以及对位孔的开口211周围表面进行吹气干燥，另外可基于对位孔的延伸方向，对吹气单元的喷射方向进行角度的微调，使得对对位孔的孔壁和开口211周围的各区域都能得到有效的吹扫，使得对对位孔的孔壁和开口211周围的各区域都能得到有效的吹扫。通过由监控装置控制移动装置抓取掩膜板2移动至第一预设位置和控制吹气单元围绕连接部件转动至第二预设位置，可实现吹气单元和掩膜板2对位孔的对准，实现对对位孔的精准吹扫干燥，保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

当掩膜板2的边缘具有第一对位孔21U和第二对位孔21D，第一对位孔21U的延伸方向和第二对位孔21D的延伸方向与掩膜板2的表面呈倾斜状态时，可采用吹气单元对第一对位孔21U进行第一吹扫干燥，采用吹气单元对第二对位孔21D进行第二吹扫干燥。

针对不同倾斜方向的第一对位孔21U和第二对位孔21D，可调整吹气单元相对于连接部件的位置，使得吹气单元的喷射方向得到调整，可适应倾斜方向不同的第一对位孔21U和第二对位孔21D的扫吹需求。

在本实施例中，上述监控装置控制吹气单元围绕连接部件16转动，以使吹气单元对准对位孔的步骤包括：采用吹气单元对第一对位孔21U进行第一吹扫干燥之前，进行第一对位步骤，使吹气单元的中心轴与第一对位孔21U的中心轴线21U1重合；采用吹气单元对第二对位孔21D进行第二吹扫干燥之前，进行第二对位步骤，使吹气单元的中心轴与第二对位孔21D的中心轴线21D1重合。

通过对位步骤，使得干燥装置1的吹气单元可对准对位孔，在此基础上再进行吹扫作业，可使吹扫作业更加精准，保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

在本实施例中，清洗干燥方法还可以包括：在吹扫干燥的过程中，吹扫头12伸入掩膜板2的对位孔(如图1中21U)。或者，在干燥步骤的过程中，吹扫头12位于对位孔的外部。在吹扫干燥的过程中，吹扫头12可以根据需要选择伸入对位孔或者位于对位孔的外部。吹扫头12伸入掩膜板的对位孔时，对对位孔的内壁近距离的吹扫，能够有效的去除对位孔的内壁的水渍和药液。

在本实施例中，清洗干燥方法还可以包括：吹扫头12可围绕吹气单元的中心轴进行旋转。在吹扫干燥的过程中，主出风口121围绕吹气单元的中心轴进行旋转。

通过这样的步骤，使得对线状气流在空间上呈螺旋前进的形态，适应不同类型的对位孔，且能够保证对位孔内部和对位孔的周围无药液和水渍残留。

在本实施例中，清洗干燥方法还包括：采用监测单元监测干燥装置的作业参数和移动装置的作业参数，并将作业参数传输给控制单元；控制单元依据监测单元所监测到的作业参数控制移动装置和干燥装置进行清洗干燥作业。通过监控装置依据监测单元所监测到的的作业参数控制移动装置和干燥装置进行清洗干燥作业，可对掩膜板的对位孔干燥过程实现精确监控，保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

对比例1

使用如图3所示的干燥装置对掩膜板2进行干燥，图3所示装置，水槽上方固定位置设置有对掩膜板2表面吹风干燥的风刀式吹扫风机4，但未设置如上述实施例1中的干燥装置。使用该干燥装置对10片掩膜板进行干燥后，确认对位孔内部及对位孔在掩膜板表面开口周围有残留的情况。

使用上述实施例1的干燥装置干燥，对10片掩膜板进行干燥后，确认对位孔内部及对位孔开口周围有残留的情况。

两种干燥方式的结果对比如下表1所示：

表1

	对比例1	实施例1
			内部有残留/总孔数	12/40	1/40
开口周围有残留/总孔数	10/40	0/40

由于风刀式吹扫风机4吹出的风方向杂散不可控，因而不能实现对延伸方向特殊(如倾斜于掩膜板)或结构特殊(如内壁形状复杂)的对位孔针对性的吹扫干燥，故而易在对位孔内壁和周围形成药液和水渍残留。

根据上述表格可以看出，使用如实施例1的干燥装置进行干燥，对位内部及对位孔在掩膜板表面开口的药液和水渍残留情况明显减少。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (16)

1.一种清洗干燥系统，适于对掩膜板进行清洗干燥，所述掩膜板具有对位孔，其特征在于，包括：

清洗槽；

移动装置，所述移动装置适于从所述清洗槽中抓取所述掩膜板进行移动；

干燥装置，所述干燥装置包括吹气单元和连接部件，所述吹气单元与所述连接部件可转动连接；

监控装置，所述监控装置连接所述移动装置和所述干燥装置，所述监控装置适于控制所述移动装置从所述清洗槽中抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，以使所述对位孔脱离所述清洗槽中的清洗液，所述监控装置适于控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置，以使所述吹气单元对准所述对位孔；

所述吹气单元适于对所述对位孔喷射出方向可控的线状气流以吹扫干燥；

所述吹气单元包括：吹扫头；底座；吹气单元主体，所述吹气单元主体的一端连接吹扫头，所述吹气单元主体的另一端与所述底座固定连接；所述底座和所述连接部件可转动连接；

所述吹扫头的一部分位于所述吹气单元主体的内部，且所述吹扫头适于沿着所述吹气单元主体的中心轴在吹气单元主体内部移动；

所述吹扫头适于伸入所述对位孔，对对位孔的内部进行吹扫；

所述吹扫头为挠性部件，所述吹扫头可弯折变形并可保持弯折后的固定形态。

2.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述底座与所述连接部件通过销轴连接，所述吹气单元适于围绕所述销轴转动。

3.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述吹扫头具有相对的主出风口和连接端口，所述连接端口与所述吹气单元主体连接，所述主出风口适于喷射出方向可控的线状气流。

4.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述吹扫头为伸缩结构，所述伸缩结构的伸缩方向平行于所述吹气单元主体的中心轴。

5.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述吹扫头可围绕所述吹气单元主体的中心轴进行旋转。

6.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述吹扫头可拆卸的连接于所述吹气单元主体。

7.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述干燥装置安装于所述清洗槽的槽壁。

8.根据权利要求3所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述吹扫头还具有侧出风口，所述侧出风口暴露出吹扫头的侧壁，所述侧出风口与所述主出风口的朝向不同。

9.根据权利要求8所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述侧出风口的数量为两个，两个所述侧出风口的朝向以所述吹气单元主体的延伸方向为轴呈轴对称设置。

10.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，还包括：主动力源回路，所述主动力源回路连通所述吹气单元，所述主动力源回路靠近吹气单元的一侧设置有主控制阀，所述主动力源回路远离吹气单元的一侧设置有主泄压阀；所述主动力源回路在所述主控制阀和所述主泄压阀之间连通一路或者多路吹扫介质源。

11.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，

所述监控装置包括控制单元和监测单元；

所述监测单元与所述控制单元通信连接或电连接，所述监测单元适于监测所述干燥装置的作业参数和所述移动装置的作业参数；

所述控制单元适于依据所述监测单元所监测到的作业参数控制所述移动装置和所述干燥装置进行清洗干燥作业。

12.一种清洗干燥方法，其特征在于，采用如权利要求1-11中任一项所述的清洗干燥系统对掩膜板进行清洗干燥，其中所述掩膜板具有对位孔，

包括以下步骤：

将所述掩膜板置于所述清洗槽中进行清洗；

所述监控装置控制所述移动装置从所述清洗槽中抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，以使所述对位孔脱离所述清洗槽中的清洗液；

所述监控装置控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置，以使所述吹气单元对准所述对位孔；

采用所述吹气单元对所述对位孔进行吹扫干燥。

13.根据权利要求12所述的清洗干燥方法，其特征在于，所述掩膜板的边缘具有第一对位孔和第二对位孔，所述第一对位孔和所述第二对位孔的延伸方向与掩膜板的表面呈倾斜状态；

采用所述吹气单元对所述对位孔进行吹扫干燥的步骤包括：

采用所述吹气单元对第一对位孔进行第一吹扫干燥；

采用所述吹气单元对第二对位孔进行第二吹扫干燥；

所述吹气单元对准所述对位孔的步骤包括：

采用所述吹气单元对所述第一对位孔进行第一吹扫干燥之前，进行第一对位步骤，使所述吹气单元的中心轴与所述第一对位孔的中心轴线重合；

采用所述吹气单元对所述第二对位孔进行第二吹扫干燥之前，进行第二对位步骤，使所述吹气单元的中心轴与所述第二对位孔的中心轴线重合。

14.根据权利要求12所述的清洗干燥方法，其特征在于，

所述吹气单元包括吹扫头；

在所述吹扫干燥的过程中，所述吹扫头伸入所述掩膜板的所述对位孔；

或者，在所述吹扫干燥的过程中，吹扫头位于所述对位孔的外部。

15.根据权利要求12所述的清洗干燥方法，其特征在于，

所述吹气单元包括吹扫头，所述吹扫头具有主出风口，所述主出风口适于喷射方向可控的线状气流；所述吹扫头可围绕所述吹气单元的中心轴进行旋转；

在所述吹扫干燥的过程中，所述主出风口围绕吹气单元的中心轴进行旋转。

16.根据权利要求12所述的清洗干燥方法，包括以下步骤：

所述监控装置包括控制单元和监测单元；

采用所述监测单元监测所述干燥装置的作业参数和所述移动装置的作业参数，并将所述作业参数传输给所述控制单元；

所述控制单元依据所述监测单元所监测到的作业参数控制所述移动装置和所述干燥装置进行清洗干燥作业。

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