CN112189058B - 用于运输载体的设备、用于竖直地处理基板的处理系统以及切换载体的运输路径的方法 - Google Patents

用于运输载体的设备、用于竖直地处理基板的处理系统以及切换载体的运输路径的方法 Download PDF

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Abstract

描述了一种用于在真空腔室(210)中运输载体(10)的设备(100)。设备(100)包括在运输方向(T)上沿着第一运输路径(T1)设置的第一运输系统(101)。第一运输系统(101)包括第一下部轨道区段(11L)和第一上部轨道区段(11U)。第一上部轨道区段(11U)包括具有用于在载体运输空间(15)中非接触地保持载体(10)的一个或多个第一致动器(121)的一个或多个磁性轴承(120)。另外，第一上部轨道区段(11U)包括具有用于在所述运输方向(T)移动载体(10)的一个或多个第二致动器(132)的驱动单元(130)。一个或多个第一致动器(121)和一个或多个第二致动器(132)布置在载体运输空间(15)上方。另外，设备(100)包括：路径切换组件(150)，用于在路径切换方向(S)上将载体从所述第一运输路径(T1)移开；以及致动器(124)，用于修改第一下部轨道区段(11L)与第一上部轨道区段(11U)之间的距离。

Description

用于运输载体的设备、用于竖直地处理基板的处理系统以及 切换载体的运输路径的方法
技术领域
本公开内容的实施方式涉及用于运输载体、特别是在处理大面积基板期间使用的载体的设备和方法。更具体地，本公开内容的实施方式涉及用于非接触地运输载体的设备和方法，该设备和方法可被采用在用于竖直基板处理(例如，在大面积基板上沉积材料以用于显示器生产)的处理系统中。特别地，本公开内容的实施方式涉及具有路径切换组件的用于运输载体的设备，该路径切换组件被配置为在两个或更多个运输路径之间移动载体，并且涉及用于在竖直基板处理系统中改变载体的运输路径的方法。
背景技术
用于在基板上进行层沉积的技术包括例如溅射沉积、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和热蒸发。所涂覆的基板可用于若干应用和若干技术领域中。例如，所涂覆的基板可用于显示装置领域中。显示装置可用于制造电视机屏幕、计算机监视器、移动电话、其他手持装置以及用于显示信息的类似者。典型地，通过用不同材料的层的堆叠涂覆基板生产显示器。
为了沉积层堆叠，可使用处理模块的直列布置。直列处理系统包括多个连串的处理模块，诸如沉积模块和任选地另外的处理模块，例如清洁模块和/或蚀刻模块，其中处理方面在处理模块中连串地进行，使得可在直列处理系统中连续地或准连续地处理多个基板。
在处理期间，可由载体、即用于承载基板的承载装置承载基板。典型地，使用一个或多个运输系统来将载体运输通过真空腔室。运输系统可被配置为用于沿着一个或多个运输路径运送载体。至少两个运输路径可彼此靠近地设置在真空系统中，例如用于在向前方向上运输载体的第一运输路径和用于在与向前方向相反的返回方向上运输载体的第二运输路径。
常规的运输系统具有被配置为支撑载体并沿着运输路径运送载体和/或将载体从一个运输路径运送到另一个运输路径(也被称为“路径切换”或“轨道切换”)的辊或其他支撑件。载体移动期间的在载体与载体支撑件之间的摩擦可能会产生颗粒，这些颗粒会不利地影响真空系统内的真空状况。颗粒可能会污染沉积在基板上的层，并且所沉积的层的品质可能会降低。因此，需要的是在减少或最小化颗粒产生的情况下在处理系统中运输载体。另外，具有挑战的是，例如以低成本提供用于高温真空环境的稳健载体运输系统。
因此，持续需要用于运输载体和改变载体的运输路径的设备和方法以及提供克服现有技术的至少一些问题的改进的真空处理系统。
发明内容
鉴于上文，提供了根据独立权利要求的用于在真空腔室中运输载体的设备、用于竖直地处理基板的处理系统以及切换载体的运输路径的方法。另外的方面、优点和特征从从属权利要求、说明书和附图中显而易见。
根据本公开内容的一方面，描述了一种用于在真空腔室中运输载体的设备。所述设备包括第一运输系统，所述第一运输系统在运输方向上沿着第一运输路径设置。所述第一运输系统包括第一下部轨道区段和第一上部轨道区段。所述第一上部轨道区段包括一个或多个磁性轴承，所述一个或多个磁性轴承具有用于在载体运输空间中非接触地保持所述载体的一个或多个第一致动器。另外，所述第一上部轨道区段包括驱动单元，所述驱动单元具有用于在所述运输方向移动所述载体的一个或多个第二致动器。所述一个或多个第一致动器和所述一个或多个第二致动器布置在所述载体运输空间上方。另外，所述设备包括路径切换组件，所述路径切换组件用于在路径切换方向上将所述载体从所述第一运输路径移开。另外，所述设备包括致动器，所述致动器用于修改所述第一下部轨道区段与所述第一上部轨道区段之间的距离。
根据本公开内容的另一方面，提供了一种用于竖直地处理基板的处理系统。所述处理系统包括至少一个真空处理腔室，所述至少一个真空处理腔室包括处理装置。另外，所述处理系统包括根据本文中描述的任何实施方式的用于运输载体的设备。
根据本公开的另一方面，提供了一种切换载体的运输路径的方法。所述方法包括：通过使用一个或多个磁性轴承来使所述载体悬浮，所述一个或多个磁性轴承具有用于在第一运输路径的载体运输空间中非接触地保持所述载体的一个或多个第一致动器。附加地，所述方法包括：通过使用所述一个或多个第一致动器来吸引所述载体以减小所述一个或多个第一致动器与所述载体之间的距离。另外，所述方法包括：朝向所述载体移动路径切换组件的一个或多个载体传送元件直至保持位置。更进一步，所述方法包括：通过使用所述一个或多个第一致动器来降低所述载体以在所述一个或多个载体传送元件与所述载体之间建立接触。此外，所述方法包括：将所述载体从所述第一运输路径移动到与所述第一运输路径水平地偏移的第二运输路径。
实施方式还涉及用于实施所公开的方法的设备并包括用于执行每个所描述的方面的设备部分。这些方法方面可借助于硬件部件、由适当的软件编程的计算机、这两者的任何组合或以任何其他方式执行。此外，根据本公开的实施方式还涉及用于操作所描述的设备的方法。用于操作所描述的设备的方法包括用于实施设备的每一功能的方法方面。
附图说明
为了可详细地理解本公开内容的上述特征的方式，可通过参考实施方式来获得上文简要概述的本公开内容的更具体的描述。附图涉及本公开的实施方式并被描述如下：
图1示出了根据本文中描述的另外的实施方式的包括用于运输载体的设备的处理系统的示意图；
图2和图3示出了根据本文中描述的一些实施方式的用于运输载体的设备的运输系统的上部轨道区段的可能的实现方式的示意图；
图4和图5示出了根据本文中描述的一些实施方式的用于运输载体的设备的运输系统的可能的实现方式的示意图；
图6示出了根据本文中描述的一些实施方式的用于不对称载体的第一运输系统和第二运输系统的布置的示意图；
图7示出了根据本文中描述的一些实施方式的用于对称载体的第一运输系统和第二运输系统的布置的示意图；并且
图8A至图8C示出了根据本文中描述的实施方式的用于图示切换运输路径的方法的流程图。
具体实施方式
现在将详细地参考本公开内容的各种实施方式，这些实施方式的一个或多个示例示于附图中。在附图的以下描述内，相同附图标记指代相同部件。仅描述了相对于个别的实施方式的差异。每个示例以解释本公开内容的方式提供，而不意在作为本公开内容的限制。另外，被示出或描述为一个实施方式的部分的特征可在其他实施方式上或结合其他实施方式使用，以产生进一步实施方式。说明书旨在包括这样的修改和变化。
示例性地参考图1，描述了根据本公开内容的用于在真空腔室210中运输载体10的设备100。例如，真空腔室210可为用于如本文所描述的竖直地处理基板的处理系统200的真空腔室。用于运输载体的设备在本文中也可称为运输设备。
根据可与本文中描述的任何其他实施方式组合的实施方式，设备100包括在运输方向T上沿着第一运输路径T1设置的第一运输系统101。运输方向T垂直于图1的纸平面。第一运输系统101包括第一下部轨道区段11L和第一上部轨道区段11U。第一上部轨道区段11U包括一个或多个磁性轴承120。一个或多个磁性轴承120具有用于在载体运输空间15中非接触地保持载体10的一个或多个第一致动器121。
载体运输空间15可理解为沿着运输路径在运输方向上运输载体期间布置有载体的区域。特别地，如图1示例性地示出的，载体运输空间可为具有在竖直方向上延伸的高度H和在水平方向上延伸的宽度W的竖直载体运输空间。例如，H/W的高宽比可为H/W＞5，特别是H/W＞10。
另外，第一上部轨道区段11U包括驱动单元130，驱动单元130具有用于在运输方向T上移动载体10的一个或多个第二致动器132。一个或多个第一致动器121和一个或多个第二致动器132布置在载体运输空间15上方。附加地，该设备包括用于在路径切换方向S上将载体从第一运输路径T1移开的路径切换组件150。另外，该设备包括用于修改第一下部轨道区段11L与第一上部轨道区段11U之间的距离的致动器124。例如，致动器124可为线性致动器，其被配置为用于使第一下部轨道区段11L在竖直方向V上移动，如图1中的双向箭头示例性地示出的。
因此，与常规的载体运输设备相比，本文中描述的用于运输载体的设备的实施方式得以改进，特别是提高了其中提供有高温真空环境的真空腔室中运输载体和改变载体的运输路径的准确性和平稳性。另外，与常规的载体运输设备相比，本文中描述的实施方式有益地提供以较低生产成本进行的更稳健的非接触式载体运输。特别地，本文中描述的用于运输载体的设备的实施方式对制造公差、变形和热膨胀更不敏感。另外，有益地，提供了用于将载体运输到真空腔室中的设备的更简单的整合。附加地，有益地，提供了被配置为用于侧向载体移动、特别是用于改变载体的运输路径的简化运输系统。
在更详细地描述本公开内容的各种另外的实施方式之前，解释与本文中使用的一些术语有关的一些方面。
示例性地参考图1，应理解，本文中描述的上部轨道区段有益地提供用于非接触地运输载体的磁悬浮系统。如图1示意性地示出，载体10被非接触地保持在介于上部腔室壁212与下部腔室壁211之间的载体运输空间15中。特别地，上部腔室壁212可为真空腔室的顶板。因此，底部腔室壁211可为真空腔室的底壁。
在本公开内容中，“磁悬浮系统”可理解为被配置为用于通过使用磁力以非接触方式保持物体(例如，载体)的系统。在本公开内容中，术语“悬浮(levitating)”或“悬浮(levitation)”指代物体(例如，承载基板或掩模的载体)的状态，其中物体在没有机械接触或支撑的情况下漂浮。另外，移动或运输物体指代提供驱动力，例如在不同于悬浮力的方向上的力，其中物体从一个位置移动到另一个不同位置，例如沿着运输方向的不同位置。例如，承载基板或掩模的载体可被悬浮，即通过抵消重力的力悬浮，并且在被悬浮时可在与平行于重力的方向不同的方向上移动。
在本公开内容中，术语“非接触”可在以下意义上理解：重量(例如，载体的重量，特别是承载基板或掩模的载体的重量)不是由机械接触或机械力保持而是由磁力保持。换句话说，贯穿说明书使用的术语“非接触”可理解为使用磁力而不是机械力(即，接触力)来将载体保持在悬浮或漂浮状态下。
在本公开内容中，“载体”可理解为被配置为用于保持基板的载体，也被称为基板载体。例如，载体可为用于承载大面积基板的基板载体。应理解，用于运输载体的设备的实施方式也可用于其他载体类型，例如掩模载体。因此，附加地或替代地，载体可以是被配置为用于承载掩模的载体。
在本公开内容中，术语“基板”可特别地涵盖基本上非柔性的基板，例如晶片、透明晶体(诸如蓝宝石等)的切片，或者玻璃板。然而，本公开内容不限于此，并且术语“基板”还可涵盖柔性基板，诸如卷材或箔。术语“基本上非柔性”应理解为区分于“柔性”。特别地，基本上非柔性的基板可具有一定程度的柔性，例如具有0.5mm或更小的厚度的玻璃板，其中与柔性基板相比，基本上非柔性的基板的柔性小。根据本文中描述的实施方式，基板可由适合于材料沉积的任何材料制成。例如，基板可由从由以下项组成的群组中选择的材料制成：玻璃(例如，钙钠玻璃、硼硅玻璃等)、金属、聚合物、陶瓷、化合物材料、碳纤维材料或可通过沉积工艺涂覆的任何其他材料或材料组合。
在本公开内容中，术语“大面积基板”指代具有面积为0.5m2或更大、特别是1m2或更大的主表面的基板。在一些实施方式中，大面积基板可为第4.5代(其对应于约0.67m2基板(0.73m×0.92m))、第5代(其对应于约1.4m2基板(1.1m×1.3m))、第7.5代(其对应于约4.29m2基板(1.95m×2.2m))、第8.5代(其对应于约5.7m2基板(2.2m×2.5m))或甚至第10代(其对应于约8.7m2基板(2.85m×3.05m))。可类似地实现甚至更高代(诸如第11代和第12代)和对应的基板面积。另外，基板厚度可为从0.1mm至1.8mm，特别是约0.9mm或更低，诸如0.7mm或0.5mm。
在本公开内容中，“运输系统”可理解为被配置为用于沿着运输路径在运输方向上运输载体的系统。术语“运输方向”可理解为载体沿着运输路径被运输的方向。典型地，运输方向可为基本上水平的方向。
在本公开内容中，“上部轨道区段”可理解为如本文所描述的运输系统的上部部分，其包括一个或多个磁性轴承和驱动单元。
在本公开内容中，“磁性轴承”可理解为被配置为用于以非接触方式(即，不存在物理接触)保持或支撑物体(例如，如本文所描述的载体)的轴承。因此，如本文所描述的一个或多个磁性轴承可被配置为产生作用在载体上的磁力，使得载体被非接触地保持在距基座结构(例如，如图1所示的上部腔室壁212)的预定距离处。特别地，一个或多个磁性轴承120可被配置为产生在基本上竖直的方向V上作用的磁力，使得上部腔室壁212与载体10之间的间隙122的竖直宽度可维持基本上恒定。
本文中描述的一些实施方式涉及“竖直方向”的概念。竖直方向被认为是基本上平行于重力延伸方向的方向。竖直方向可偏离完全竖直度(后者是由重力限定)达(例如)至多15度的角度。另外，本文中描述的一些实施方式可涉及“侧向方向”的概念。侧向方向应理解为区分于竖直方向。侧向方向可垂直于或基本上垂直于由重力限定的完全竖直方向。
在本公开内容中，一个或多个磁性轴承的“第一致动器”可理解为磁性轴承的主动且可控制的元件。特别地，一个或多个第一致动器可包括可控制磁体，诸如电磁体。一个或多个第一致动器的磁场可以是可主动地控制的，以维持和/或调整上部腔室壁212与载体10之间的距离。换句话说，一个或多个磁性轴承的“第一致动器”可理解为具有可控制且可调整磁场的元件，以提供作用在载体上的磁悬浮力。
因此，一个或多个第一致动器121被配置为用于非接触地保持载体。如图1示例性地示出，一个或多个第一磁性对应件181可布置在载体10处，特别是布置在载体的顶部部分处。载体的一个或多个第一磁性对应件181可与一个或多个磁性轴承120的一个或多个第一致动器121磁性地相互作用。特别地，一个或多个第一磁性对应件181可为被动磁性元件。例如，一个或多个第一磁性对应件181可由磁性材料(诸如铁磁材料、永磁体)制成，或者可具有永磁性质。
例如，可根据输入参数(诸如上部腔室壁212与载体10之间的距离)来控制输出参数(诸如施加到一个或多个第一致动器的电流)。例如，上部腔室壁212与载体10之间的距离(例如，图1中指示的间隙122)可通过距离传感器来测量，并且一个或多个第一致动器的磁场强度可根据所测量的距离来设定。特别地，在距离高于预定阈值的情况下可增大磁场强度，并且在距离低于该阈值的情况下可减小磁场强度。可以通过闭环或反馈控制来控制一个或多个第一致动器。
在本公开内容中，“驱动单元”可理解为被配置为用于在运输方向上以非接触方式移动物体(例如，如本文所描述的载体)的单元。特别地，如本文所描述的驱动单元可被配置为产生在运输方向上作用在载体上的磁力。因此，驱动单元可为线性马达。例如，线性马达可为铁芯线性马达。另选地，线性马达可为无铁线性马达。无铁线性马达对于避免由于因载体的被动磁性元件与线性马达的铁芯可能的相互作用而造成的竖直力导致的在载体上的扭转力矩可能是有益的。
更具体地，如图1示例性地示出，驱动单元典型地包括一个或多个第二致动器，该一个或多个第二致动器被配置为用于使载体在运输方向上非接触地移动。一个或多个第二致动器可为一个或多个可控制磁体，例如电磁体。因此，一个或多个第二致动器可以是能够主动地控制的，以在运输方向上对载体施加移动力。如图1示例性地示出，一个或多个第二磁性对应件182可布置在载体10处，特别是布置在载体的顶部部分处。载体的一个或多个第二磁性对应件182可与驱动单元130的一个或多个第二致动器132磁性地相互作用。特别地，一个或多个第二磁性对应件182可为被动磁性元件。例如，一个或多个第二磁性对应件182可由磁性材料(诸如铁磁材料、永磁体)制成，或者可具有永磁性质。
在本公开内容中，“下部轨道区段”可理解为如本文所描述的运输系统的下部部分。典型地，下部轨道区段布置在距上部轨道区段一定竖直距离处。特别地，下部轨道区段可包括如本文所描述的用于在运输方向T上引导载体10的非接触式引导布置140。
在本公开内容中，“路径切换组件”可理解为被配置在彼此侧向偏移的不同运输路径之间移动载体的组件。特别地，典型地，路径切换组件被配置为用于使载体在路径切换方向S上侧向地移动。示例性地参考图1，应理解，术语“路径切换方向”可理解为水平方向，特别是垂直于运输方向T。
示例性地参考图1，根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，路径切换组件150包括一个或多个载体传送元件152。例如，一个或多个载体传送元件152可以是在路径切换方向S上延伸的细长元件。如双向箭头示例性地指示，一个或多个载体传送元件152能够在路径切换方向S上移动来在路径切换方向S上传送载体10。特别地，一个或多个载体传送元件152可连接到传送致动器154。例如，传送致动器154可设置在真空腔室210外部。另外，可提供保护波纹管156来确保在一个或多个载体传送元件152与真空腔室之间的真空密封。
例如，图1示出了两个载体传送元件，每个载体传送元件连接到单独的传送致动器，其中设置有相应的波纹管。然而，应理解，另选地，可提供多于两个的载体传送元件。另外，应理解，根据另选配置，载体传送元件可连接或耦接到公共传送致动器。
如图1中示意性地指示的，根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，一个或多个载体传送元件152包括用于保持载体10的载体保持部分153。特别地，载体保持部分153可适于耦接到设置在载体处的相应的耦接元件。例如，在图1中，载体的耦接元件被示意性地示出为凹陷。应理解，载体保持部分153和载体的耦接元件可具有被配置为用于将载体传送元件的载体保持部耦接到载体的其他配置。
根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，一个或多个第一致动器121和一个或多个第二致动器132布置在大气空间110中，如图1示例性地示出。表述“大气空间”可理解为具有大气压力条件、即约1.0巴的空间。例如，大气空间可以是设置在真空腔室外部的空间。另选地，大气空间可由设置在真空腔室内部的大气箱或大气容器(未明确地示出)提供。
示例性地参考图1，根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，一个或多个第一致动器121和一个或多个第二致动器132可附接到上部腔室壁212的外表面，特别是真空腔室210的上部腔室壁的外表面。因此，有益地，一个或多个磁性轴承的有源元件布置在易进入来进行安装/维护的位置处，从而降低成本。根据一个示例，上部腔室壁212的外表面可包括用于接收一个或多个第一致动器121和一个或多个第二致动器132的接纳部，如图1示例性地示出。
如图1示例性地示出，根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，第一下部轨道区段11L可包括用于在运输方向T上引导载体10的非接触式引导布置140。例如，非接触式引导布置140可包括一个或多个被动磁性轴承125。特别地，如图1示例性地示出，一个或多个被动磁性轴承125可竖直地布置。因此，一个或多个被动磁性轴承125被配置为用于提供在水平方向上、特别是在侧向方向L上作用在载体上的磁力，如图1示例性地指示。
例如，如图1示例性地示出，一个或多个被动磁性轴承125可由竖直地、平行地布置的被动磁性元件提供。典型地，至少两个被动磁性元件被布置成提供用于载体的第三磁性对应件183的接纳部。因此，在存在载体的情况下，第三磁性对应件183布置在一个或多个被动磁性轴承125中的相对布置的被动磁性元件之间。典型地，第三磁性对应件183包括被动磁性元件。在图4中，用阴影图案示意性地表示出被动磁性元件的北极N部分。被动磁性元件的南极部分由与北极N部分相邻的空白元件表示。
如图1示例性地示出的，典型地，一个或多个被动磁性轴承125和第三磁性对应件183的被动磁性元件被布置成使得第三磁性对应件183的被动磁性元件的南极部分面对一个或多个被动磁性轴承125的被动磁性元件的南极部分(图1中示出的非接触式引导布置140的右侧)。因此，第三磁性对应件183的被动磁性元件的北极部分可面对一个或多个被动磁性轴承125的被动磁性元件的北极部分(图1中示出的非接触式引导布置140的左侧)。因此，一个或多个被动磁性轴承125和第三磁性对应件183的被动磁性元件可被布置成使得排斥磁力作用在第三磁性对应件183的被动磁性元件与一个或多个被动磁性轴承125的被动磁性元件之间。尽管未明确地示出，但应理解，另选地，一个或多个被动磁性轴承125和第三磁性对应件183的被动磁性元件可布置成使得吸引磁力作用在第三磁性对应件183的被动磁性元件与一个或多个被动磁性轴承125的被动磁性元件之间。
因此，有益地，可提供对载体的非接触式侧向引导。另外，应注意，提供被动引导布置特别地适合以低成本在高温真空环境中提供稳健载体运输。
在本公开内容中，“被动磁性轴承”可理解为具有被动磁性元件的轴承，该被动磁性元件至少在设备操作期间没有受到主动控制或调整。特别地，被动磁性轴承可适于产生磁场，例如静态磁场。换句话说，被动磁性轴承可能未配置为用于产生可调整磁场。例如，一个或多个被动磁性轴承的磁性元件可由磁性材料(诸如铁磁材料、永磁体)制成，或者可具有永磁性质。
因此，如本文所使用的“被动磁性元件”或“被动磁体”可理解为未被主动控制(例如，经由反馈控制)的磁体。例如，输出参数(诸如被动磁体的磁场强度)不根据输入参数(诸如距离)来控制。相反，“被动磁性元件”或“被动磁体”可在没有任何反馈控制的情况下提供载体的侧面稳定。例如，如本文所描述的“被动磁性元件”或“被动磁体”可包括一个或多个永磁体。另选地或附加地，“被动磁性元件”或“被动磁体”可包括可能未被主动地控制的一个或多个电磁体。
因此，应理解，第一运输系统101可以是磁悬浮系统，其包括固定的第一上部轨道区段11U和能够在竖直方向V上移动的第一下部轨道区段11L。
示例性地参考图2，根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，设备100还包括具有至少一个稳定磁体161的至少一个侧面稳定装置160，至少一个侧面稳定装置160被配置为在横向于运输方向T的侧向方向L上对载体10施加恢复力F。例如，至少一个稳定磁体161可布置在载体运输空间15上方，特别是在大气空间中。特别地，至少一个稳定磁体161可附接到上部腔室壁212的外表面。典型地，至少一个稳定磁体161可相对于一个或多个第一致动器121布置在一定侧向距离处。附加地或另选地，至少一个稳定磁体161可相对于一个或多个第二致动器132布置在一定侧向距离处。
因此，有益地，在载体侧向地移位的情况下，侧面稳定装置160可通过对载体10施加恢复力来将载体稳定在预定侧向位置处。恢复力F将载体10推回或拉回到预定侧向位置。因此，有益地，侧面稳定装置160可产生稳定力，该稳定力被配置为抵消载体在侧向方向L上从载体运输空间15的位移。换句话说，侧面稳定装置160可被配置为产生恢复力F，当载体在侧向方向L上从图2中示例性地描绘的预定侧向位置或平衡位置移位时，该恢复力F将载体推回和/或拉回到载体运输空间15中。
如图2示例性地示出的，至少一个稳定磁体161可以是具有北极N和南极S的被动磁体。在一些实施方式中，至少一个稳定磁体可包括多个被动磁体，这些被动磁体可在运输方向上一个接一个地布置。典型地，在至少一个稳定磁体内的磁场线的方向(其在磁体内从南极进行到北极)可基本上对应于侧向方向L。
至少一个载体稳定磁体162可附接到载体10，使得载体10在侧向方向L上从载体运输空间15的移位引起在侧面稳定装置160的至少一个稳定磁体161与至少一个载体稳定磁体162之间的排斥磁力，从而抵消该移位。因此，有益地，在载体的保持期间和在沿着运输路径运输载体期间，载体保持在图2中所示的平衡位置。
如图2示例性地示出，至少一个载体稳定磁体162可以是具有北极N和南极S的被动磁体，其被布置成使得在至少一个载体稳定磁体162内的磁场线的方向基本上对应于侧向方向L。
特别地，与侧面稳定装置160的至少一个稳定磁体161相比，至少一个载体稳定磁体162可以相反取向布置，使得当载体布置在平衡位置时，至少一个载体稳定磁体162的北极N布置得靠近至少一个稳定磁体161的南极S并被其吸引，并且至少一个载体稳定磁体162的南极S布置得靠近侧面稳定装置160的至少一个稳定磁体161的北极N并被其吸引。当载体在第一侧向方向(例如，朝向图2的左侧)上从平衡位置移位时，至少一个载体稳定磁体162的北极N接近侧面稳定装置160的至少一个稳定磁体161的北极N，这产生了将载体推回到平衡位置的恢复力。当载体在第二(相反的)侧向方向(例如，朝向图2的右侧)上从平衡位置移位时，至少一个载体稳定磁体162的南极S接近侧面稳定装置160的至少稳定磁体161的南极S，这产生了将载体推回到平衡位置的恢复力。因此，侧面稳定装置160将载体稳定在预定侧向位置处，使得可减少或防止载体的侧向移动。
示例性地参考图3，根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，设备100还可包括安全布置170。典型地，安全布置170包括设置在载体运输空间15的至少一个侧面处的侧向防护引导元件171。例如，侧向防护引导元件171可附接到上部腔室壁的内表面。特别地，侧向防护引导元件171可在侧向方向上与至少一个稳定磁体161隔开，使得附接到载体10的至少一个载体稳定磁体162可布置在两者之间。如图3示例性地示出，在存在载体的情况下，间隙设置在至少一个载体稳定磁体162与侧向防护引导元件171之间。侧向防护引导元件171可实现为导轨或成排的多个引导销。
如图3示例性地示出，附加地或另选地，安全布置170可包括安全辊172，用于例如在一个或多个第一致动器121停用的情况下为载体10提供竖直安全支撑。典型地，安全辊172连接到附接至上部腔室壁212的内表面的保持器173。保持安全辊的保持器还可用作侧向防护引导元件。
如图3所示，根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，可提供两个侧面稳定装置，如参考图2示例性地描述。例如，第一侧面稳定装置160A可相对于一个或多个第一致动器121c设置在一定侧向距离处，并且第二稳定装置160B可相对于一个或多个第二致动器132设置在一定侧向距离处。
示例性地参考图3，根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，保护元件163，例如保护条带，可附接到至少一个载体稳定磁体162。特别地，保护元件163可附接到至少一个载体稳定磁体162的面向侧向防护引导元件171的侧面和/或至少一个载体稳定磁体162的面向保持器173的侧面。
示例性地参考图3，根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，设备100还可包括调整装置155，该调整装置被配置为调整由以下项组成的群组中的一者或多者：侧面稳定装置160(例如，第一侧面稳定装置160A和/或第二稳定装置160B)的至少一个稳定磁体161相对于载体运输空间15的位置；至少一个稳定磁体161的取向或角位置；侧向防护引导元件171的位置；以及侧向防护引导元件171的取向或角位置。特别地，调整装置可被配置为在竖直方向上移动至少一个稳定磁体161和/或被配置为在竖直方向上移动侧向防护引导元件171，如图3中描绘的箭头示例性地指示的。
因此，调整装置155可更改至少一个稳定磁体161的状态，使得由侧面稳定装置施加在载体10上的恢复力F改变，特别是减小或完全地切断恢复力F。在减小或停用由侧面稳定装置施加在载体上的恢复力F之后，可在侧向方向上将载体从侧面稳定装置移开，例如朝向第二运输路径或朝向处理装置。类似地，当载体已经在侧向方向上移动到载体运输空间15(例如，第二运输轨道的载体运输空间)中时，由对应的侧面稳定装置施加的恢复力F可经由调整装置155启用或增大。然后，载体10在侧向方向L上被可靠地稳定。此后，载体10在由侧面稳定装置侧向地稳定的同时，载体10可由另外的运输系统(例如，如本文所描述的第二运输系统)沿着另外的运输轨道(例如，如本文所描述的第二运输轨道)被非接触地运输。
因此，通过使得能够经由调整装置155调整恢复力F，在侧面稳定装置的运输状态下，载体可被可靠地保持并沿着运输路径被引导，并且在侧向稳定装置的轨道切换状态下，载体可在侧向方向L上从运输路径被移开。另外，可调整载体在侧向方向L上移位的情况下施加在载体上的恢复力F。
另外，示例性地参考图3，应理解，调整装置155可被配置为移动侧向防护引导元件171，使得载体可在侧向方向上移动，例如从第一运输路径T1移动到第二运输路径T2。例如，侧向防护引导元件171可竖直地向上移动以允许载体的侧向移动。另外，如图3所示，可提供用于确保在可移动侧向防护引导元件171与真空腔室之间的真空密封的保护波纹管174。另选地，可使侧向防护引导元件171(图3中未明确地示出)例如围绕在侧向方向上延伸的轴线或围绕在运输方向上延伸的轴线旋转，以允许载体的侧向移动。
如图1示例性地示出的，用于运输载体的设备100可包括沿着第二运输路径T2设置的第二运输系统102。典型地，第二运输路径T2与第一运输路径T1水平地偏移。因此，路径切换组件150的载体保持部分153能够在路径切换方向S上移动，特别是从第一运输路径T1移动到第二运输路径T2和与第一运输路径和第二运输路径水平地偏移的处理位置T3中的至少一者。
根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，第二运输系统102可以是包括第二上部轨道区段14U和第二下部轨道区段14L的磁悬浮系统。第二下部轨道区段14L能够在竖直方向V上移动，如图1中的双向箭头所指示。应理解，经必要修改，第二运输系统102可被配置为如本文所描述的第一运输系统101。
示例性地参考图4，描述了用于运输载体的设备100的实施方式，该设备具有一个或多个第一致动器和一个或多个第二致动器的非对称布置。根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，一个或多个第一致动器121可居中地布置在要被运输的载体10的重心G上方，如图4示例性地示出。特别地，参考图4的实施方式，“居中地布置在载体的重心G上方”的表述可理解为延伸穿过载体的重心G的竖直平面111也延伸穿过一个或多个第一致动器121。换句话说，延伸穿过载体的重心G的竖直平面111可与一个或多个第一致动器121相交。特别地，竖直平面111可大致与一个或多个第一致动器121的中心相交，例如，从一个或多个第一致动器的中心的偏差为+10％。根据一个示例，竖直平面111可表示一个或多个第一致动器121的对称平面。如图4示例性地示出，一个或多个第二致动器132可相对于一个或多个第一致动器121侧向地布置。特别地，一个或多个第二致动器132全部都可邻近一个或多个第一致动器121的同一侧面(例如，图4中的左侧)布置。应理解，如参考图1至3所描述的方面和特征也可应用于图4中所示的实施方式。
示例性地参考图5，描述了用于运输载体的设备100的实施方式，该设备具有一个或多个第一致动器和一个或多个第二致动器的对称布置。根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，一个或多个第二致动器132可居中地布置在要被运输的载体10的重心上方，如图5示例性地示出。
特别地，参考图5的实施方式，“居中地布置在载体的重心G上方”的表述可理解为延伸穿过载体的重心G的竖直平面111也延伸穿过一个或多个第二致动器132。换句话说，延伸穿过载体的重心G的竖直平面111可与一个或多个第二致动器132相交。特别地，竖直平面111可大致与一个或多个第二致动器132的中心相交，例如，从一个或多个第二致动器的中心的偏差为+10％。根据一个示例，竖直平面111可表示一个或多个第二致动器132的对称平面。
如图5示例性地示出的，一个或多个第一致动器121可包括一个或多个第一致动器的第一组121A和一个或多个第一致动器的第二组121B。一个或多个第一致动器的第一组121A和一个或多个第一致动器的第二组121B可相对于一个或多个第二致动器132侧向地布置。特别地，一个或多个第一致动器的第一组121A可邻近一个或多个第二致动器132的第一侧面布置，并且一个或多个第一致动器的第二组121B可邻近一个或多个第二致动器132的第二侧面布置，第二侧面与第一侧面相对，如图5示例性地示出的。例如，一个或多个第一致动器的第一组121A和一个或多个第一致动器的第二组121B可相对于一个或多个第二致动器132对称地布置。应理解，如参考图1至3所描述的方面和特征也可应用于图5中所示的实施方式。
示例性地参考图4和图5，根据本公开内容的载体10包括用于承载物体(例如，基板或掩模)的主体13。例如，主体13可被实现为被配置为用于保持基板或掩模的承载板。另选地，主体13可被实现为被配置用于保持基板或掩模的载体框架。如图4和图5示例性地示出，主体具有第一端部11和第二端部12。第二端部12与第一端部11相对。主体13的第一端部11包括用于与运输设备的一个或多个磁性轴承120的一个或多个第一致动器121相互作用的一个或多个第一磁性对应件181。第一端部11还包括用于与运输设备的驱动单元130的一个或多个第二致动器132相互作用的一个或多个第二磁性对应件182。另外，主体13的第二端部12包括用于与运输设备的非接触式引导布置140的一个或多个被动磁性轴承125相互作用的第三磁性对应件183。
根据可与本文中描述的任何其他实施方式组合的一些实施方式，一个或多个第一磁性对应件181的顶表面181S和一个或多个第二磁性对应件182的顶表面182S具有相同取向。更具体地，如图4和图5示例性地示出，一个或多个第一磁性对应件181的顶表面和一个或多个第二磁性对应件182的顶表面是基本上水平的。例如，一个或多个第一磁性对应件181的顶表面和一个或多个第二磁性对应件182的顶表面可以是共面的。另选地，可在一个或多个第一磁性对应件181的顶表面与一个或多个第二磁性对应件182的顶表面之间设置一小台阶，例如台阶ST为ST＜2mm，特别是ST＜1mm。
如图4和图5示例性地示出的，根据可与本文中描述的任何其他实施方式组合的一些实施方式，第三磁性对应件183包括第一表面183A和第二表面183B。第二表面183B与第一表面183A相反。典型地，第一表面183A的取向和第二表面183B的取向垂直于一个或多个第一磁性对应件181的顶表面和一个或多个第二磁性对应件182的顶表面。
根据一些实施方式，如图4示例性地示出，载体10可以是不对称载体，即，当载体处在竖直取向时，相对于延伸穿过重心G的竖直平面111不对称。另选地，如图5示例性地示出的，载体10可以是对称载体，即，当载体处在竖直取向时，相对于延伸穿过重心G的竖直平面111对称。
从图4和图5中，应理解，载体的尺寸典型地对应于载体运输空间15的尺寸。因此，载体可具有与载体运输空间15的高度H相对应的高度HC。另外，载体可具有与载体运输空间15的宽度W相对应的宽度WC。因此，HC/WC的高宽比可以是HC/WC≥5，特别是HC/WC≥10。
根据可与本文中描述的任何其他实施方式组合的一些实施方式，至少一个载体稳定磁体162可附接到载体10的第一端部11，如参考图2和3示例性地描述的。如图6和图7示例性地示出的，至少一个载体稳定磁体162可被提供用于不对称载体(参见图6)以及对称载体(参见图7)。另外，保护元件163，例如保护条带，可附接到至少一个载体稳定磁体162，如参考图3示例性地描述。
示例性地参考图6，描述了具有用于运输相应的不对称载体的两个不对称磁悬浮系统的布置的运输设备。特别地，第一运输系统101可以是提供第一运输路径T1的第一不对称磁悬浮系统。第一运输系统101可设置在第二运输系统102旁边，第二运输系统102是提供第二运输路径T2的第二不对称磁悬浮系统。特别地，第二不对称磁悬浮系统相对于第一不对称磁悬浮系统水平地偏移。因此，典型地，第二运输路径T2与第一运输路径T1水平地偏移。如可从图6看出的，第一不对称磁悬浮系统的部件可基本上对应于第二不对称磁悬浮系统的部件。因此，应理解，如参考图1至图3所描述的特征也可应用于图6中所示的实施方式。如图6所示，第一不对称磁悬浮系统和第二不对称磁悬浮系统的非接触式引导布置140可连接到公共支撑结构145。公共支撑结构145可耦接到用于修改下部轨道区段与上部轨道区段之间的距离的致动器124。另外，可提供用于确保致动器124的可移动元件与真空腔室之间的真空密封的保护波纹管174。
示例性地参考图7，描述了具有用于运输相应的对称载体的两个对称磁悬浮系统的布置的运输设备。特别地，第一运输系统101可以是提供第一运输路径T1的第一对称磁悬浮系统。第一运输系统101可设置在第二运输系统102旁边，第二运输系统102是提供第二运输路径T2的第二对称磁悬浮系统。特别地，第二对称磁悬浮系统相对于第一对称磁悬浮系统水平地偏移。因此，第二运输路径T2与第一运输路径T1水平地偏移。如可从图7看出的，第一对称磁悬浮系统的部件可基本上对应于第二对称磁悬浮系统的部件。另外，应理解，如参考图1至图4所描述的特征也可应用于图7中所示的实施方式。如图7所示，第一对称磁悬浮系统和第二对称磁悬浮系统的非接触式引导布置140可连接到公共支撑结构145。公共支撑结构145可耦接到用于修改下部轨道区段与上部轨道区段之间的距离的致动器124。另外，可提供用于确保致动器124的可移动元件与真空腔室之间的真空密封的保护波纹管174。
另外，如图7示例性地示出的，根据可与本文中描述的任何其他实施方式组合的一些实施方式，上部腔室壁212可被实现为单独的板元件，特别是桶状板元件。因此，有益地，在上部腔室壁安装到腔室的侧壁之前，一个或多个磁性轴承中的一个或多个第一致动器和驱动单元的一个或多个第二致动器可预先安装到上部腔室壁。提供具有预先安装的一个或多个第一致动器和预先安装的一个或多个第二致动器的上部腔室壁可促进组装过程并可降低成本。因此，与现有技术相比，有益地，提供了将运输设备(特别是具有磁悬浮系统的运输设备)更简单地集成到腔室中的集成方式。
如图1示例性地示出，根据本文中描述的实施方式的用于运输载体10的设备100可以是用于竖直地处理基板的处理系统200的一部分。另外，如图1所示，处理系统200典型地包括至少一个真空腔室210(特别是真空处理腔室)，至少一个真空腔室210包括处理装置205。特别地，典型地，处理装置205布置在真空处理腔室中，并且处理装置205可从由以下项组成的群组中选择：沉积源、蒸发源和溅射源。另外，如图1示例性地示出的，掩模206(例如，边缘排除掩模)可设置在处理位置T3与处理装置205之间。
术语“真空”可理解为具有小于例如10毫巴的真空压力的技术真空。典型地，如本文所描述的真空腔室中的压力可在10-5毫巴与约10-8毫巴之间，更典型地在10-5毫巴与10-7毫巴之间，并且甚至更典型地在约10-6毫巴与约10-7毫巴之间。根据一些实施方式，真空腔室中的压力可认为是真空腔室内的蒸发材料的分压或总压(当仅存在蒸发材料作为要被沉积在真空腔室中的组分时，两者可近似相同)。在一些实施方式中，真空腔室中的总压可在约10-4毫巴至约10-7毫巴的范围内，尤其是在真空腔室中存在除蒸发材料之外的第二组分(诸如气体等)的情况下。因此，真空腔室可以是“真空沉积腔室”，即，被配置为用于真空沉积的真空腔室。
示例性地参考图8A至图8C中示出的流程图，描述了根据本公开内容的切换载体的运输路径的方法300的实施方式。根据可与本文中描述的任何其他实施方式组合的实施方式，方法300包括通过使用具有一个或多个第一致动器121的一个或多个磁性轴承120来使载体10悬浮(由图8A中的框310表示)，以在第一运输路径T1的载体运输空间15中非接触地保持载体10。附加地，方法300包括通过使用一个或多个第一致动器121(特别是如本文所描述的第一运输系统)吸引载体10(由图8A中的框320表示)，以减小在一个或多个第一致动器121与载体10之间的距离。特别地，吸引载体10(由图8A中的框320表示)可包括将上部腔室壁212与载体10之间的间隙122减小上部腔室壁212与载体10之间的间隙122的原始竖直宽度的2/3。例如，减小间隙可包括将竖直间隙宽度从3mm减小到1mm。因此，设置在安全辊172与载体10之间的竖直间隙宽度可增加2/3，例如从3mm增加至5mm。
另外，方法300包括朝向载体10移动路径切换组件150的一个或多个载体传送元件152直至保持位置(由图8A中的框330表示)。特别地，保持位置可以是一个或多个载体传送元件152的载体保持部分153在载体在竖直方向上降低以与载体的耦接元件接触时可保持载体的位置。例如，载体的耦接元件可以是凹陷，如图1示例性地示出。因此，保持位置可以是一个或多个载体传送元件152的载体保持部分153已经进入载体的相应的凹陷的位置。
另外，方法300包括通过使用一个或多个第一致动器121、特别是如本文所描述的第一运输系统的第一致动器来降低载体(由图8A中的框340表示)，以在一个或多个载体传送元件152与载体10、特别是载体的耦接元件之间建立接触。例如，当在一个或多个载体传送元件152与载体10之间建立接触时，如图1示例性地示出，安全辊172之间的间隙增大，并且载体10可具有约1mm的竖直间隙宽度。因此，在载体的侧向移动期间，载体与上部腔室壁212之间的竖直距离可以是约5mm。
更进一步，方法300包括将载体从第一运输路径T1移动到另外的运输路径(由图8A中的框350表示)，例如移动到如本文所描述的第二运输路径T2，第二运输路径T2与第一运输路径T1水平地偏移。特别地，将载体从第一运输路径T1移动到另外的运输路径包括使用如本文所描述的路径切换组件150。另外，应理解，方法300还可包括将载体移动到与第一运输路径和第二运输路径水平地偏移的处理位置T3，如参考图1示例性地描述。载体既可直接地从第一运输路径T1运输到处理位置T3，也可先从第一运输路径T1运输到第二运输路径T2再运输到处理位置T3。
示例性地参考图8B中示出的流程图，根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，方法300还包括竖直地移动从由以下项组成的群组组中选择的至少一个元件(由图8B的框360表示)：第一运输路径的第一下部轨道区段11L；另外的运输路径的另外的下部轨道区段(例如，如本文所描述的第二运输系统102的第二下部轨道区段14L)；设置在载体运输空间15(例如，如本文所描述的第一运输路径和/或第二运输路径的载体运输空间)的至少一个侧面处的侧向防护引导元件；以及如本文所描述的至少一个侧面稳定装置160。
特别地，可通过使用用于修改下部轨道区段与上部轨道区段之间的距离的致动器124来竖直地向下移动第一下部轨道区段11L和第二下部轨道区段14L，如本文所描述。另外，如参考图3示例性地描述的，至少一个侧面稳定装置160的至少一个稳定磁体161可竖直地向上移动以允许载体的侧向移动。另外，如参考图3示例性地描述的，侧向防护引导元件171可竖直地向上移动以允许载体的侧向移动。另选地，可使侧向防护引导元件171例如围绕在侧向方向上延伸的轴线或围绕在运输方向上延伸的轴线旋转，以允许载体的侧向移动。因此，应理解，在侧向方向上移动载体之前，运输系统的阻碍载体的侧向移动的元件(例如，至少一个稳定磁体161和/或侧向防护引导元件171和/或非接触式引导布置140)被移动以在侧向方向上释放载体。
示例性地参考图8C中示出的流程图，根据可与本文中描述的其他实施方式组合的一些实施方式，方法300还可包括通过使用第二运输系统102的一个或多个第一致动器121来吸引载体10(由图8C的框370表示)，以在第二运输系统的第二运输路径的载体运输空间15中非接触地保持载体10。另外，方法300还可包括释放一个或多个载体传送元件152与载体10之间的接触。例如，可通过用第二运输系统102的一个或多个第一致动器121吸引载体10(由图8C的框370表示)来实现释放在一个或多个载体传送元件152与载体10之间的接触。特别地，用第二运输系统102的一个或多个第一致动器121吸引载体10可包括减小上部腔室壁212与载体10之间的间隙，例如从5mm减小至1mm。因此，可释放在一个或多个载体传送元件152与载体之间的接触。在下文中，一个或多个载体传送元件152可向后移动，例如在朝向第一运输轨道T1的方向上，并且载体可由第二运输系统102运输。
鉴于上文，应理解，与现有技术相比，本公开内容的实施方式有益地提供一种用于运输载体的设备、一种处理系统以及一种用于切换载体的运输路径的方法，该设备、系统和方法改进了在高温真空环境中，特别是在高品质显示器制造中，运输载体的准确性和平稳性。另外，与现有技术相比，本文中描述的实施方式有益地以较低生产成本提供了更稳健的非接触式载体运输并对制造公差、变形和热膨胀更不敏感。
尽管前述内容针对的是实施方式，但在不脱离基本范围的情况下，可设想其他和进一步实施方式，并且范围由所附权利要求书确定。

Claims (26)

1.一种用于在真空腔室(210)中运输载体(10)的设备(100)，包括：
第一运输系统(101)，所述第一运输系统在运输方向(T)上沿着第一运输路径(T1)设置并且包括第一下部轨道区段(11L)和第一上部轨道区段(11U)，所述第一上部轨道区段(11U)包括：
一个或多个磁性轴承(120)，所述一个或多个磁性轴承(120)具有用于在载体运输空间(15)中非接触地保持所述载体(10)的一个或多个第一致动器(121)，以及
驱动单元(130)，所述驱动单元(130)具有用于在所述运输方向(T)上移动所述载体(10)的一个或多个第二致动器(132)，所述一个或多个第一致动器(121)和所述一个或多个第二致动器(132)布置在所述载体运输空间(15)上方并布置在大气空间中，并且其中所述一个或多个第二致动器(132)相对于所述一个或多个第一致动器(121)侧向地布置；
路径切换组件(150)，所述路径切换组件(150)用于在路径切换方向(S)上将所述载体从所述第一运输路径(T1)移开；以及
致动器(124)，所述致动器(124)用于修改所述第一下部轨道区段(11L)与所述第一上部轨道区段(11U)之间的距离。
2.如权利要求1所述的设备(100)，其中所述路径切换组件(150)包括一个或多个载体传送元件(152)，所述一个或多个载体传送元件(152)在所述路径切换方向(S)上是可移动的，以用于在所述路径切换方向(S)上传送所述载体(10)。
3.如权利要求1所述的设备(100)，其中所述一个或多个载体传送元件(152)连接到设置在所述真空腔室(210)外部的传送致动器(154)。
4.如权利要求2所述的设备(100)，其中所述一个或多个载体传送元件(152)连接到设置在所述真空腔室(210)外部的传送致动器(154)。
5.如权利要求1至4中任一项所述的设备(100)，其中所述一个或多个载体传送元件(152)包括用于保持所述载体(10)的载体保持部分(153)。
6.如权利要求1至4中的任一项所述的设备(100)，其中所述第一 下部轨道区段(11L)包括用于在所述运输方向(T)上引导所述载体(10)的非接触式引导布置(140)。
7.如权利要求5所述的设备(100)，其中所述第一 下部轨道区段(11L)包括用于在所述运输方向(T)上引导所述载体(10)的非接触式引导布置(140)。
8.如权利要求1至4中的任一项所述的设备(100)，其进一步包括具有至少一个稳定磁体(161)的至少一个侧面稳定装置(160)，所述至少一个侧面稳定装置(160)被配置为在横向于所述运输方向(T)的侧向方向(L)上对所述载体(10)施加恢复力(F)。
9.如权利要求5所述的设备(100)，其进一步包括具有至少一个稳定磁体(161)的至少一个侧面稳定装置(160)，所述至少一个侧面稳定装置(160)被配置为在横向于所述运输方向(T)的侧向方向(L)上对所述载体(10)施加恢复力(F)。
10.如权利要求1至4中任一项所述的设备(100)，其进一步包括安全布置(170)，所述安全布置(170)包括由以下项组成的群组中的至少一个元件：设置在所述载体运输空间(15)的至少一个侧面处的侧向防护引导元件；以及用于为所述载体(15)提供竖直支撑的安全辊(172)。
11.如权利要求1至4任一项所述的设备(100)，其进一步包括调整装置(155)，所述调整装置(155)被配置为调整由以下项组成的群组中的一者或多者：侧面 稳定装置(160)的至少一个稳定磁体(161)的相对于所述载体运输空间(15)的竖直位置、所述至少一个稳定磁体(161)的取向或角位置、侧向防护引导元件的竖直位置、以及所述侧向防护引导元件的取向或角位置。
12.如权利要求1至4中任一项所述的设备(100)，其进一步包括第二运输系统(102)，所述第二运输系统(102)沿着与所述第一运输路径(T1)水平偏移的第二运输路径(T2)设置，所述路径切换组件(150)的载体保持部分(153)在所述路径切换方向(S)上从所述第一运输路径(T1)到所述第二运输路径(T2)和与所述第一运输路径和所述第二运输路径水平偏移的处理位置(T3)中的至少一者是可移动的。
13.如权利要求5所述的设备(100)，其进一步包括第二运输系统(102)，所述第二运输系统(102)沿着与所述第一运输路径(T1)水平偏移的第二运输路径(T2)设置，所述路径切换组件(150)的载体保持部分(153)在所述路径切换方向(S)上从所述第一运输路径(T1)到所述第二运输路径(T2) 和与所述第一运输路径和所述第二运输路径水平偏移的处理位置(T3)中的至少一者是可移动的。
14.如权利要求12所述的设备(100)，其中所述第二运输系统(102)是磁悬浮系统，包括在竖直方向(V)上是可移动的第二上部轨道区段(14U)和第二下部轨道区段(14L)。
15.如权利要求1所述的设备(100)，其中所述第一下部轨道区段(11L)是所述第一运输系统(101)的下部，其中所述第一上部轨道区段(11U)是所述第一运输系统(101)的上部，并且其中所述第一下部轨道区段(11L)被布置在与所述第一上部轨道区段(11U)相距一竖直距离处。
16.如权利要求1所述的设备(100)，其中所述路径切换组件(150)经构造以在所述第一运输路径(T1)和侧向偏移的第二运输路径(T2)之间移动所述载体，所述第一运输路径(T1)和所述第二运输路径(T2)彼此水平偏移。
17.如权利要求1所述的设备(100)，其中用于修改所述第一下部轨道区段(11L)与所述第一上部轨道区段(11U)之间的所述距离的所述致动器(124)是线性致动器，所述线性致动器经构造以用于在竖直方向V上移动所述第一下部轨道区段(11L)。
18.如权利要求1所述的设备(100)，其中所述一个或多个第一致动器(121)是电磁体。
19.如权利要求1所述的设备(100)，其中所述一个或多个第二致动器(132)是电磁体。
20.如权利要求1所述的设备(100)，其中所述大气空间是设置在所述真空腔室(210)外部的空间并包含大气压力条件。
21.一种用于竖直地处理基板的处理系统(200)，包括至少一个真空处理腔室，所述至少一个真空处理腔室包括处理装置(205)，以及如权利要求1至20中任一项所述的用于运输载体(10)的设备(100)。
22.一种通过使用如权利要求1至20中任一项所述的设备来切换载体的运输路径的方法(300)，所述方法包括：
悬浮步骤(310)，通过使用一个或多个磁性轴承(120)来使所述载体(10)悬浮，所述一个或多个磁性轴承(120)具有用于在第一运输路径的载体运输空间(15)中非接触地保持所述载体(10)的一个或多个第一致动器(121)；
吸引步骤(320)，通过使用所述一个或多个第一致动器(121)来吸引所述载体以减小所述一个或多个第一致动器(121)与所述载体(10)之间的距离；
移动步骤(330)，朝向所述载体(10)移动路径切换组件(150)的一个或多个载体传送元件(152)直至保持位置(P1)；
降低步骤(340)，通过使用所述一个或多个第一致动器(121)来降低所述载体以在所述一个或多个载体传送元件(152)与所述载体之间建立接触；
移动步骤(350)，将所述载体从所述第一运输路径移动到与所述第一运输路径水平偏移的第二运输路径。
23.如权利要求22所述的方法(300)，其进一步包括竖直移动步骤(360)，竖直移动从由以下项组成的群组中选择的至少一个元件：所述第一运输路径的下部轨道区段、所述第二运输路径的第二下部轨道区段、设置在所述载体运输空间(15)的至少一个侧面处的侧向防护引导元件、以及具有至少一个稳定磁体(161)的至少一个侧面稳定装置(160)，所述至少一个侧面稳定装置(160)被配置为在横向于所述运输方向(T)的侧向方向(L)上对所述载体(10)施加恢复力(F)。
24.如权利要求22或23所述的方法(300)，其进一步包括吸引步骤(370)，通过使用第二运输系统的一个或多个第一致动器(121)来吸引所述载体(10)，以用于在所述第二运输路径的载体运输空间(15)中非接触地保持所述载体(10)。
25.如权利要求22或23所述的方法(300)，其进一步包括:释放在所述一个或多个载体传送元件(152)与所述载体(10)之间的所述接触。
26.如权利要求24所述的方法(300)，其进一步包括:释放在所述一个或多个载体传送元件(152)与所述载体(10)之间的所述接触。
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