CN112179916B - 一种太阳能硅片光学隐裂检测装置 - Google Patents

一种太阳能硅片光学隐裂检测装置 Download PDF

Info

Publication number
CN112179916B
CN112179916B CN202010834761.2A CN202010834761A CN112179916B CN 112179916 B CN112179916 B CN 112179916B CN 202010834761 A CN202010834761 A CN 202010834761A CN 112179916 B CN112179916 B CN 112179916B
Authority
CN
China
Prior art keywords
detection
fixedly connected
plate
light source
point light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202010834761.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112179916A (zh
Inventor
刘莉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ningbo Hertz Photoelectric Technology Co ltd
Original Assignee
Ningbo Hertz Photoelectric Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ningbo Hertz Photoelectric Technology Co ltd filed Critical Ningbo Hertz Photoelectric Technology Co ltd
Priority to CN202010834761.2A priority Critical patent/CN112179916B/zh
Publication of CN112179916A publication Critical patent/CN112179916A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112179916B publication Critical patent/CN112179916B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9501Semiconductor wafers
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806Specially adapted optical and illumination features
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9501Semiconductor wafers
    • G01N21/9505Wafer internal defects, e.g. microcracks
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N2021/0106General arrangement of respective parts
    • G01N2021/0112Apparatus in one mechanical, optical or electronic block
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

本发明公开了一种太阳能硅片光学隐裂检测装置,包括检测箱体、点光源、检测架和检测相机,点光源连接有调节结构,点光源上方设置有夹套,夹套内固定连接有凸透镜,检测相机固定连接有安装板,安装板底部固定连接有下支撑柱,下支撑柱滑动连接有支撑板,支撑板连接有升降结构,安装板顶部滑动连接有上支撑柱,上支撑柱顶部固定连接有移动板,移动板中部贯通有滑槽,滑槽内滑动连接有滑柱,滑柱转动连接有转动板,转动板固定连接有电机。本发明调节结构可以调节点光源的位置,使得点光源始终位于凸透镜的焦点上,升降结构能够调整检测相机的上下位置,以便获得更准确的拍摄距离,转动板和滑柱带动检测相机往复移动将全部检测区域进行一次性检测。

Description

一种太阳能硅片光学隐裂检测装置
技术领域
本发明涉及硅片分选设备技术领域,具体是一种太阳能硅片光学隐裂检测装置。
背景技术
硅片中硅晶体结构自身的特性导致硅片在生产过程中十分容易破裂,从而影响整体使用效果。硅片生产工艺流程多而复杂,每个流程都可能导致硅片隐裂。隐裂是硅片在生产过程中最常见、最需要重点检测分选的缺陷之一。现有的分选机大多采用红外光源配合红外相机的方式进行检测。
在对硅片进行检测时,红外相机的位置是检测硅片是否合格的重要参数之一,由与实际生产过程中硅片的规格的不同,红外相机的位置也略有差异,同时,固定的红外相机无法将硅片的整个检测区域完全检测。
发明内容
本发明的目的在于提供一种太阳能硅片光学隐裂检测装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种太阳能硅片光学隐裂检测装置,包括检测箱体、点光源、检测架和检测相机,所述点光源、检测架和检测相机均设置在检测箱体内,所述点光源连接设置有调节结构,所述点光源上方设置有夹套,所述夹套内固定连接设置有凸透镜,所述夹套固定连接设置在检测箱体内,所述检测相机固定连接设置有安装板,所述安装板底部固定连接设置有下支撑柱,所述下支撑柱滑动连接设置有支撑板,所述支撑板连接设置有升降结构,所述安装板顶部滑动连接设置有上支撑柱,所述上支撑柱顶部固定连接设置有移动板,所述移动板中部贯通设置有滑槽,所述滑槽内滑动连接设置有滑柱,所述滑柱远离移动板的一端转动连接设置有转动板,所述转动板远离滑柱的一端固定连接设置有电机,所述转动板和电机的输出端连接。
进一步的,所述电机固定连接设置在检测箱体内的顶部,所述点光源位于凸透镜中心的正下方,所述检测架和支撑板上均贯通设置有透光槽。
进一步的,所述调节结构包括螺杆、螺套和U形杆,所述螺杆和检测箱体固定连接,所述U形杆固定连接设置在螺套上。
进一步的,所述螺杆和螺套螺纹连接,所述点光源固定设置在U形杆顶部的中心。
进一步的,所述升降结构包括丝杆、侧齿轮和滑块,所述丝杆和侧齿轮固定连接,所述丝杆和滑块螺纹连接,所述丝杆、侧齿轮和滑块设置有两组,且关于检测相机对称设置。
进一步的,所述滑块靠近检测箱体内部的一侧均固定连接设置有连接杆,所述连接杆远离滑块的一端和支撑板固定连接,两组所述连接杆分别位于支撑板上设置的透光槽的两侧。
进一步的,两组所述侧齿轮之间设置有主齿轮,所述主齿轮和侧齿轮啮合传动连接,所述主齿轮中部固定连接设置有转轴。
进一步的,所述丝杆和转轴均和检测箱体转动连接。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
本发明通过凸透镜将点光源发射的光转化成平行光均匀的折射在待检测硅片上,通过透光孔利用检测相机进行检测,调节结构可以调节点光源的位置,使得点光源始终位于凸透镜的焦点上,升降结构能够调整检测相机的上下位置,以便获得更准确的拍摄距离,转动板和滑柱可以通过移动板带动检测相机往复移动将待检测硅片的全部检测区域进行一次性检测。
附图说明
图1为本发明的主剖视图。
图2为本发明中主剖视图的A-A剖视图。
图3为本发明中主剖视图的B向局部放大图。
图4为本发明的调节结构的结构示意图。
图中:1-检测箱体,2-螺杆,3-螺套,4-U形杆,5-点光源,6-夹套,7-凸透镜,8-检测架,9-丝杆,10-侧齿轮,11-主齿轮,12-转轴,13-滑块,14-连接杆,15-支撑板,16-下支撑柱,17-安装板,18-上支撑柱,19-移动板,20-滑柱,21-转动板,22-电机,23-检测相机。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例1
请参阅图1,本发明实施例中,一种太阳能硅片光学隐裂检测装置,包括检测箱体1、点光源5、检测架8和检测相机23,所述点光源5、检测架8和检测相机23均设置在检测箱体1内,所述点光源5连接设置有调节结构,所述点光源5上方设置有夹套6,所述夹套6内固定连接设置有凸透镜7,调节结构用于调节点光源5和夹套6之间的距离,将点光源5调节至凸透镜7的焦点上,点光源5散发的光经凸透镜7的折射变成平行光散发出去。
请参阅图1,所述夹套6固定连接设置在检测箱体1内,所述检测相机23固定连接设置有安装板17,所述安装板17底部固定连接设置有下支撑柱16,所述下支撑柱16滑动连接设置有支撑板15,所述支撑板15连接设置有升降结构,升降结构用于调整检测相机23和检测架8之间的距离,便于调整检测相机23拍摄的范围。
请参阅图1~3,所述安装板17顶部滑动连接设置有上支撑柱18,所述上支撑柱18顶部固定连接设置有移动板19,所述移动板19中部贯通设置有滑槽,所述滑槽内滑动连接设置有滑柱20,所述滑柱20远离移动板19的一端转动连接设置有转动板21,所述转动板21远离滑柱20的一端固定连接设置有电机22,所述转动板21和电机22的输出端连接,电机22启动带动转动板21转动,转动板21转动带动滑柱20在滑槽内滑动,滑柱20带动移动板19往复移动,移动板19带动检测相机23往复移动,检测相机23往复移动对检测架8上的硅片进行检测,确地其是否隐裂。
请参阅图1,所述电机22固定连接设置在检测箱体1内的顶部,所述点光源5位于凸透镜7中心的正下方,所述检测架8和支撑板15上均贯通设置有透光槽,透光槽便于将凸透镜7折射的平行光照射在待检测硅片上,以及不影响检测相机23的检测。
实施例2
请参阅图1和图4,本发明实施例中,一种太阳能硅片光学隐裂检测装置,所述调节结构包括螺杆2、螺套3和U形杆4,所述螺杆2和检测箱体1固定连接,所述U形杆4固定连接设置在螺套3上,所述螺杆2和螺套3螺纹连接,所述点光源5固定设置在U形杆4顶部的中心,转动螺套3带动U形杆4上升或下降,U形杆4带动点光源5上升或下降,将点光源5调整至凸透镜7的焦点上。
请参阅图1,所述升降结构包括丝杆9、侧齿轮10和滑块13,所述丝杆9和侧齿轮10固定连接,所述丝杆9和滑块13螺纹连接,所述丝杆9、侧齿轮10和滑块13设置有两组,且关于检测相机23对称设置,所述滑块13靠近检测箱体1内部的一侧均固定连接设置有连接杆14,所述连接杆14远离滑块13的一端和支撑板15固定连接,两组所述连接杆14分别位于支撑板15上设置的透光槽的两侧,两组所述侧齿轮10之间设置有主齿轮11,所述主齿轮11和侧齿轮10啮合传动连接,所述主齿轮11中部固定连接设置有转轴12,所述丝杆9和转轴12均和检测箱体1转动连接,转动转轴12,转轴12带动主齿轮11转动,主齿轮11通过侧齿轮10带动丝杆9转动,丝杆9转动带动滑块13升降,滑块13带动支撑板15升降。
本发明的工作原理是:
本发明工作时,转动螺套3带动U形杆4上升或下降,U形杆4带动点光源5上升或下降,将点光源5调整至凸透镜7的焦点上,将待检测硅片放置在检测架8上,检测区域位于透光槽上方,转动转轴12,转轴12带动主齿轮11转动,主齿轮11通过侧齿轮10带动丝杆9转动,丝杆9转动带动滑块13升降,滑块13带动支撑板15升降,支撑板15通过下支撑柱16和安装板17带动检测相机23升降确定好检测相机23的检测位置,以获取更高的检测精度,然后启动点光源5,凸透镜7将点光源5发射的光折射成平行光散发在硅片上,然后启动电机22,,电机22启动带动转动板21转动,转动板21转动带动滑柱20在滑槽内滑动,滑柱20带动移动板19往复移动,移动板19带动检测相机23往复移动,检测相机23往复移动对检测架8上的硅片进行检测,确地其是否隐裂。
本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段,机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。
对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (2)

1.一种太阳能硅片光学隐裂检测装置,包括检测箱体(1)、点光源(5)、检测架(8)和检测相机(23),所述点光源(5)、检测架(8)和检测相机(23)均设置在检测箱体(1)内,其特征在于,所述点光源(5)连接设置有调节结构,所述点光源(5)上方设置有夹套(6),所述夹套(6)内固定连接设置有凸透镜(7),所述夹套(6)固定连接设置在检测箱体(1)内,所述检测相机(23)固定连接设置有安装板(17),所述安装板(17)底部固定连接设置有下支撑柱(16),所述下支撑柱(16)滑动连接设置有支撑板(15),所述支撑板(15)连接设置有升降结构,所述安装板(17)顶部滑动连接设置有上支撑柱(18),所述上支撑柱(18)顶部固定连接设置有移动板(19),所述移动板(19)中部贯通设置有滑槽,所述滑槽内滑动连接设置有滑柱(20),所述滑柱(20)远离移动板(19)的一端转动连接设置有转动板(21),所述转动板(21)远离滑柱(20)的一端固定连接设置有电机(22),所述转动板(21)和电机(22)的输出端连接;
所述调节结构包括螺杆(2)、螺套(3)和U形杆(4),所述螺杆(2)和检测箱体(1)固定连接,所述U形杆(4)固定连接设置在螺套(3)上;
所述螺杆(2)和螺套(3)螺纹连接,所述点光源(5)固定设置在U形杆(4)顶部的中心;所述升降结构包括丝杆(9)、侧齿轮(10)和滑块(13),所述丝杆(9)和侧齿轮(10)固定连接,所述丝杆(9)和滑块(13)螺纹连接,所述丝杆(9)、侧齿轮(10)和滑块(13)均设置有两组,且关于检测相机(23)对称设置;
所述滑块(13)靠近检测箱体(1)内部的一侧均固定连接设置有连接杆(14),所述连接杆(14)远离滑块(13)的一端和支撑板(15)固定连接,两组所述连接杆(14)分别位于支撑板(15)上设置的透光槽的两侧;
两组所述侧齿轮(10)之间设置有主齿轮(11),所述主齿轮(11)和侧齿轮(10)啮合传动连接,所述主齿轮(11)中部固定连接设置有转轴(12);
所述丝杆(9)和转轴(12)均和检测箱体(1)转动连接。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片光学隐裂检测装置,其特征在于,所述电机(22)固定连接设置在检测箱体(1)内的顶部,所述点光源(5)位于凸透镜(7)中心的正下方,所述检测架(8)和支撑板(15)上均贯通设置有透光槽。
CN202010834761.2A 2020-08-19 2020-08-19 一种太阳能硅片光学隐裂检测装置 Active CN112179916B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010834761.2A CN112179916B (zh) 2020-08-19 2020-08-19 一种太阳能硅片光学隐裂检测装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010834761.2A CN112179916B (zh) 2020-08-19 2020-08-19 一种太阳能硅片光学隐裂检测装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112179916A CN112179916A (zh) 2021-01-05
CN112179916B true CN112179916B (zh) 2024-04-19

Family

ID=73919303

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010834761.2A Active CN112179916B (zh) 2020-08-19 2020-08-19 一种太阳能硅片光学隐裂检测装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112179916B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115046925B (zh) * 2022-06-16 2023-06-13 河南泉象实业有限公司 一种尼龙扎带齿带与齿腔质量检测装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000333047A (ja) * 1999-05-25 2000-11-30 Rohm Co Ltd 光学的撮像装置および光学的撮像方法
JP2005114587A (ja) * 2003-10-08 2005-04-28 Soft Works Kk シリコンウェハの検査装置および検査方法
JP2018146356A (ja) * 2017-03-03 2018-09-20 国立研究開発法人産業技術総合研究所 欠陥を検査する方法および欠陥検査装置、ならびに光源装置
CN208902384U (zh) * 2018-10-25 2019-05-24 湖北全其光学有限公司 一种光学透镜检测装置
CN209416933U (zh) * 2018-11-14 2019-09-20 苏州诚拓机械设备有限公司 低波长红外光隐裂检测机构

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NO322775B1 (no) * 2004-09-24 2006-12-11 Tomra Systems Asa Anordning og fremgangsmate for detektering av et medium
DE102009039685B4 (de) * 2009-09-02 2015-07-16 Gp Inspect Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Defekten in einem Objekt
US9255894B2 (en) * 2012-11-09 2016-02-09 Kla-Tencor Corporation System and method for detecting cracks in a wafer
US10634618B2 (en) * 2018-01-23 2020-04-28 Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute Company Limited Apparatus and a method for inspecting a light transmissible optical component

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000333047A (ja) * 1999-05-25 2000-11-30 Rohm Co Ltd 光学的撮像装置および光学的撮像方法
JP2005114587A (ja) * 2003-10-08 2005-04-28 Soft Works Kk シリコンウェハの検査装置および検査方法
JP2018146356A (ja) * 2017-03-03 2018-09-20 国立研究開発法人産業技術総合研究所 欠陥を検査する方法および欠陥検査装置、ならびに光源装置
CN208902384U (zh) * 2018-10-25 2019-05-24 湖北全其光学有限公司 一种光学透镜检测装置
CN209416933U (zh) * 2018-11-14 2019-09-20 苏州诚拓机械设备有限公司 低波长红外光隐裂检测机构

Also Published As

Publication number Publication date
CN112179916A (zh) 2021-01-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102901450B (zh) 一种测量装置以及轴体检测设备
CN204064972U (zh) 光学镜片表面缺陷检测系统
CN101660894A (zh) 基于平行光照明的多目视觉检测装置及方法
CN209406712U (zh) 一种五轴点胶系统
CN108458872A (zh) 一种谐波齿轮传动柔轮变形特性测试系统及方法
CN102589453A (zh) 轴类工件外径影像测量装置及其测量方法
CN112179916B (zh) 一种太阳能硅片光学隐裂检测装置
CN211402183U (zh) 一种基于机器视觉的剃须刀片外观检测装置
CN109163883A (zh) 一种相机激光检测机构
CN111207682A (zh) 基于机器视觉的梯形丝杠参数自动测量装置及方法
CN202382712U (zh) 轴类工件外径的下照明影像测量仪
CN209280548U (zh) 一种光学检测系统
CN102607809A (zh) 镜头鉴别率检测装置
CN208420338U (zh) 一种3d摄像头自动检测设备
CN202330259U (zh) 菲林片检测装置
CN203824740U (zh) 高精度光谱辐射定标装置
CN202793738U (zh) 镜头鉴别率检测装置
CN206074440U (zh) 一种近红外光谱自动在线检测装置
CN202024733U (zh) 深孔位移数码显示仪
CN103115574A (zh) 太阳能电池片绒面特性检测仪
CN209945981U (zh) 一种锥齿轮啮合缺陷简易检测装置
CN209027463U (zh) 一种防位移的图像尺寸测量仪
CN208296774U (zh) 一种轴类零件检测装置
CN208269837U (zh) 用于芯片点胶的检测装置
CN206794166U (zh) 一种石英抛光晶片频率分选装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant