CN206794166U - 一种石英抛光晶片频率分选装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种石英抛光晶片频率分选装置，它包括控制中心以及分别与所述控制中心通信连接的供料系统、测频系统和分选系统，所述供料系统包括供料装置、供料定位装置和与所述供料装置连接的供料控制器；所述测频系统包括测量台和测频单元；所述分选系统包括分类控制器以及与所述分类控制器连接的分类装置；所述控制中心根据所述供料定位装置确定的待测晶片的位置，发送指令到所述供料控制器，驱动所述供料装置将所述待测晶片移动至所述测量台，再根据所述测频单元的测量结果，控制所述分类控制器驱动所述分类装置将所述待测晶片移动至不同的料盒。该石英抛光晶片频率分选装置具有定位准确、检测精度高、分选效率高和工作稳定可靠的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶片分选技术领域，具体的说，涉及了一种石英抛光晶片频率分选装置。
背景技术
石英晶片是制作石英晶体元器件的基体，石英晶体元器件具有优良的频率稳定性、品质因素高和成本低的优点；在频率稳定技术中，基本上都使用了压电石英晶片制作的元件；对石英晶片的频率进行精准的测量和分选是提高石英晶体元器件质量和生产效率的一个重要工艺过程。
目前，石英晶片的分选效率低，晶片定位误差大，特别是抛光晶片，由于抛光晶片的表面如镜面一样及透明外观的特殊性，发生镜面反射现象使抛光晶片无法凸显成像，影响分选精度和效率。
为了解决以上存在的问题，人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有分选装置不能分选抛光晶片的不足，从而提供一种定位准确、检测精度高、分选效率高和工作稳定可靠的石英抛光晶片频率分选装置。
为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种石英抛光晶片频率分选装置，包括控制中心以及分别与所述控制中心通信连接的供料系统、测频系统和分选系统，所述供料系统包括安装在供料台上的供料装置、供料定位装置和与所述供料装置连接的供料控制器；
所述供料定位装置包括设置在所述供料台上方用于确定待测晶片位置的图像采集单元，以及设置在所述供料台与所述图像采集单元之间用于使所述待测晶片的图像被清晰采集的同轴光源；所述同轴光源包括防护壳体以及设置于所述防护壳体内的LED光源、分光镜和漫反射板；
所述测频系统包括测量台和用于测量所述待测晶片频率的测频单元；
所述分选系统包括分类控制器以及与所述分类控制器连接的分类装置；
所述控制中心根据所述供料定位装置确定的待测晶片的位置，发送指令到所述供料控制器，驱动所述供料装置将所述待测晶片移动至所述测量台，再根据所述测频单元的测量结果，控制所述分类控制器驱动所述分类装置将所述待测晶片移动至不同的料盒。
基于上述，所述图像采集单元采用摄像头。
基于上述，所述供料装置包括安装在所述供料台上的支撑架，以及平行于所述供料台设置在所述支撑架上的导轨，以及垂直于所述供料台滑动连接在所述导轨上的滑块，以及平行于所述导轨设置的用于驱动所述滑块沿所述导轨水平滑动的丝杆，所述丝杆安装有与所述供料控制器连接的驱动电机，所述滑块上固定连接有可伸缩的供料竖杆，所述供料竖杆端部设置有供料吸头。
基于上述，所述测频单元包括安装在所述测量台上的下电极和设置在所述分类装置的上电极。
基于上述，所述同轴光源包括防护壳体以及设置于所述防护壳体内的LED光源、分光镜和漫反射板；所述LED光源设置在所述防护壳体内壁一侧；所述漫反射板平行设置在所述LED光源的发射光线的正前方；所述防护壳体沿所述摄像头拍摄方向设有透光窗口；所述防护壳体相对于所述待测晶片正上方设有测量窗口；所述透光窗口和所述测量窗口之间的防护壳体内部区域，所述分光镜呈45度放置。
基于上述，所述待测晶片为抛光晶片。
基于上述，所述防护壳体为立方体结构。
基于上述，本实用新型还包括与所述同轴光源连接的同轴光源控制器，所述同轴光源控制器包括亮度控制模块和用于提供电能的工作电源。
本实用新型相对现有技术具有实质性特点和进步，具体的说：
1）本实用新型提供了一种石英抛光晶片频率分选装置，它包括供料系统、测频系统和分选系统，通过带分光镜的同轴光源使所述待测晶片的反射光线与所述供料定位装置的摄像头处于同一垂直线，所述供料定位装置采集到了有效信号并传送给所述控制中心，所述控制中心根据所述供料定位装置确定的待测晶片的位置，发送指令到所述供料控制器，驱动所述供料装置将所述待测晶片移动至所述测量台，再根据所述测频单元的测量结果，控制所述分类控制器驱动所述分类装置将所述待测晶片移动至不同的料盒。本实用新型克服了抛光晶片发生的镜面反射现象，实现了对抛光晶片分选，定位准确，稳定可靠，分选效率高，提高了分选装置的检测精度；
2）本实用新型通过所述图像采集单元采集到了所述待测晶片的有效图像，不但能够分选以腐蚀为最终加工工艺的石英晶片，还能够以抛光为最终加工工艺的石英晶片，拓展了分选机的应用范围；
综上所述，本实用新型具有定位准确、检测精度高、分选效率高和工作稳定可靠的优点。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是图像采集单元的结构示意图；
图3是同轴光源的外形框架图；
图4是分选系统的结构示意图；
图5是本实用新型的工作原理图；
图中：1.供料台；2.同轴光源；21. 分光镜；22.防护壳体；23. LED光源；24. 漫反射板；3. 摄像头；4.供料装置；5.测量台；51.下电极；6.料盒；7.分类装置；71.上电极；8.待测晶片。
具体实施方式
下面通过具体实施方式，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
如附图1-附图5所示，一种石英抛光晶片频率分选装置，它包括控制中心以及分别与所述控制中心通信连接的供料系统、测频系统和分选系统，所述供料系统包括安装在供料台1上的供料装置4、供料定位装置和与所述供料装置4连接的供料控制器；所述供料定位装置包括设置在所述供料台1上方用于确定待测晶片位置的图像采集单元，以及设置在所述供料台1与所述图像采集单元之间用于使所述待测晶片8的图像被清晰采集的同轴光源2；所述同轴光源2包括防护壳体22以及设置于所述防护壳体22内的LED光源23、分光镜21和漫反射板24；所述测频系统包括测量台5和用于测量所述待测晶片8频率的测频单元；所述分选系统包括分类控制器以及与所述分类控制器连接的分类装置7；所述控制中心根据所述供料定位装置确定的所述待测晶片8的位置，发送指令到所述供料控制器，驱动所述供料装置4将所述待测晶片8移动至所述测量台5，再根据所述测频单元的测量结果，控制所述分类控制器驱动所述分类装置7将所述待测晶片8移动至不同的料盒6。
本实用新型给出了一种所述供料装置4的具体实施方式，所述供料装置4包括安装在所述供料台1上的支撑架，以及平行于所述供料台1设置在所述支撑架上的导轨，以及垂直于所述供料台1滑动连接在所述导轨上的滑块，以及平行于所述导轨设置的用于驱动所述滑块沿所述导轨水平滑动的丝杆，所述丝杆安装有与所述供料控制器连接的驱动电机，所述滑块上固定连接有可伸缩的供料竖杆，所述供料竖杆端部设置有供料吸头。根据所述供料定位装置获得的所述待测晶片8的位置，所述控制中心发送指令到所述供料控制器，驱动与所述供料控制器连接的驱动电机动作，将所述供料吸头移动到所述待测晶片8正上方，在所述驱动电机作用下吸附晶片将其移动至所述测量台5上。
所述分类装置7的结构与所述供料装置4类似，所述分类装置7包括安装在所述料盒附近的分类支撑架，以及平行于所述料盒设置在所述分类支撑架上的分类导轨，以及垂直于所述料盒滑动连接在所述分类导轨上的分类滑块，以及平行于所述分类导轨设置的用于驱动所述分类滑块沿所述分类导轨水平滑动的分类丝杆，所述分类丝杆安装有与所述分类控制器连接的分类驱动电机，所述分类滑块上固定连接有可伸缩的分类竖杆，所述分类竖杆端部设置有分类吸头和上电极71。
本实用新型给出了一种所述同轴光源2的具体实施方式，所述同轴光源2包括防护壳体22以及设置于所述防护壳体22内的LED光源23、分光镜21和漫反射板24；所述LED光源23设置在所述防护壳体22内壁一侧；所述漫反射板24平行设置在所述LED光源23的发射光线的正前方；所述防护壳体22沿所述摄像头3拍摄方向设有透光窗口；所述防护壳体22相对于所述待测晶片8正上方设有测量窗口；所述透光窗口和所述测量窗口之间的防护壳体22内部区域，所述分光镜21呈45度放置。
所述LED光源23发出的光经所述漫射板24后变成漫射的光源，从而提供更佳的漫射效果,获得均匀而稳定的漫射光照射区域。经过所述漫反射板24的光来到45度放置的所述分光镜21, 一半的光直接穿过所述分光镜21小孔洞照射到侧壁上, 这部分光不会进入摄像头3,对成像没有影响；另一半光经镜面反射到下面的所述待测晶片8上。从所述待测晶片8上反射上来的光来到45度放置的所述分光镜21后,同样地，一半光直接穿过小孔洞照射到上头的摄像头3上,这部分光是成像要用的；另一半光反射回右侧的LED光源23,这部分光对成像也没影响。综上所述，通过带分光镜21的同轴光源2使所述待测晶片8的反射光线与所述供料定位装置的摄像头处于同一垂直线，所述待测晶片8在所述摄像头3上成像，所述摄像头3采集到有效图像信号并传送给所述控制中心。
为了进一步提高分选精度，所述图像采集单元采用摄像头3。所述测频单元包括安装在所述测量台5上的下电极51和设置在所述分类装置7的上电极71。所述防护壳体22为立方体结构。本实用新型还包括与所述同轴光源连接的同轴光源控制器，所述同轴光源控制器包括亮度控制模块和用于提供电能的工作电源。
最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其限制；尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本实用新型的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换；而不脱离本实用新型技术方案的精神，其均应涵盖在本实用新型请求保护的技术方案范围当中。
Claims (8)
1.一种石英抛光晶片频率分选装置，包括控制中心以及分别与所述控制中心通信连接的供料系统、测频系统和分选系统，其特征在于：
所述供料系统包括安装在供料台上的供料装置、供料定位装置和与所述供料装置连接的供料控制器；
所述供料定位装置包括设置在所述供料台上方用于确定待测晶片位置的图像采集单元，以及设置在所述供料台与所述图像采集单元之间用于使所述待测晶片的图像被清晰采集的同轴光源；所述同轴光源包括防护壳体以及设置于所述防护壳体内的LED光源、分光镜和漫反射板；
所述测频系统包括测量台和用于测量所述待测晶片频率的测频单元；
所述分选系统包括分类控制器以及与所述分类控制器连接的分类装置；
所述控制中心根据所述供料定位装置确定的待测晶片的位置，发送指令到所述供料控制器，驱动所述供料装置将所述待测晶片移动至所述测量台，再根据所述测频单元的测量结果，控制所述分类控制器驱动所述分类装置将所述待测晶片移动至不同的料盒。
2.根据权利要求1所述的一种石英抛光晶片频率分选装置，其特征在于：所述图像采集单元采用摄像头。
3.根据权利要求2所述的一种石英抛光晶片频率分选装置，其特征在于：所述供料装置包括安装在所述供料台上的支撑架，以及平行于所述供料台设置在所述支撑架上的导轨，以及垂直于所述供料台滑动连接在所述导轨上的滑块，以及平行于所述导轨设置的用于驱动所述滑块沿所述导轨水平滑动的丝杆，所述丝杆安装有与所述供料控制器连接的驱动电机，所述滑块上固定连接有可伸缩的供料竖杆，所述供料竖杆端部设置有供料吸头。
4.根据权利要求3所述的一种石英抛光晶片频率分选装置，其特征在于：所述测频单元包括安装在所述测量台上的下电极和设置在所述分类装置的上电极。
5.根据权利要求4所述的一种石英抛光晶片频率分选装置，其特征在于：所述同轴光源包括防护壳体以及设置于所述防护壳体内的LED光源、分光镜和漫反射板；所述LED光源设置在所述防护壳体内壁一侧；所述漫反射板平行设置在所述LED光源的发射光线的正前方；所述防护壳体沿所述摄像头拍摄方向设有透光窗口；所述防护壳体相对于所述待测晶片正上方设有测量窗口；所述透光窗口和所述测量窗口之间的防护壳体内部区域，所述分光镜呈45度放置。
6.根据权利要求5所述的一种石英抛光晶片频率分选装置，其特征在于：所述待测晶片为抛光晶片。
7.根据权利要求6所述的一种石英抛光晶片频率分选装置，其特征在于：所述防护壳体为立方体结构。
8.根据权利要求6或7所述的一种石英抛光晶片频率分选装置，其特征在于：还包括与所述同轴光源连接的同轴光源控制器，所述同轴光源控制器包括亮度控制模块和用于提供电能的工作电源。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111438053A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-07-24 | 亚洲硅业(青海)股份有限公司 | 一种多晶硅块料精选装置及精选方法 |
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