CN112083587B - 显示器用玻璃基板温度调节系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及快速有效地将单张玻璃的温度调节成设定温度的显示器用玻璃基板温度调节系统，包括：存放部，装载并保存多个玻璃基板；搬送部，单张地把持保存在存放部的玻璃基板来移送；温度调节部，调节搬送部供给的玻璃基板的温度；第一温度调节装置，向搬送部内部供给设定温度的空气来调节温度；第二温度调节装置，向温度调节部内部供给设定温度的空气来调节温度，温度调节部包括：温度调节部外罩，内部形成收容空间，上部形成有空气流入口，下部一侧形成有空气排出口；玻璃支撑单元，设置于温度调节部外罩内部，用于支撑搬送部供给的玻璃基板；空气供给装置，设置于温度调节部外罩外侧上部，以通过空气流入口均匀地供给空气的方式分配空气。

Description

显示器用玻璃基板温度调节系统

技术领域

本发明涉及显示器用玻璃基板温度调节系统，更详细地，涉及如下的显示器用玻璃基板温度调节系统：在液晶显示器(LCD)制造工序中，在形成感光膜之后且在进行曝光处理之前，使玻璃的温度维持在最适合进行曝光处理的温度。

背景技术

通常，液晶显示器制造工序包括用于在玻璃(glass)基板上形成薄膜晶体管(TFT)图案的光刻工序。

在这种光刻工序中，为了在曝光工序中形成微细图案，需要精密地进行曝光处理，为此，均匀地维持在玻璃基板上形成的感光膜的温度和湿度尤为重要。

在此情况下，若玻璃基板的温度和湿度没有维持在规定水平，则产生由感光膜的收缩和膨胀引起的歪曲现象，由此，当进行曝光处理时，将产生位置整列的误差(不良)，从而存在收益率大大降低的问题。

因此，最近，正在研发并使用用于将玻璃基板的温度和湿度维持在规定水平的各种技术。

如上所述的目的下的现有技术有韩国授权专利公报第0825967号，在这里公开了接口单元和利用其的基板处理装置及基板的温度调节方法(以下，称为“专利文献”)。

在上述专利文献所公开的基板处理装置中，上述基板处理装置为内连型基板处理装置，其中包括：涂敷(Coater)部，用于进行平板显示器基板的涂敷工序；曝光部，用于进行曝光工序；以及接口部，用于在上述涂敷部与上述曝光部之间移送基板，上述基板处理装置的特征在于，上述接口部包括：存放部，从上述涂敷部接收基板并收容；以及温度调节部件，根据在收容于上述存放部的基板上的多个位置检测的温度的偏差，按照基板上的区域设定不同的温度调节用空气的供给流量，来调节基板的温度。

但是，在上述专利文献所公开的基板处理装置中，在存放部中第一次调节多个玻璃基板的温度，在此情况下，难以均匀地维持多个玻璃基板的温度，因此，需按区域供给具有供给流量不同等条件的温度调节用空气，因此，具有结构和控制方法复杂的问题。

并且，当在存放部中进行第一次温度调节的玻璃被移送到曝光工序时，在向校准部移送装载于存放部的单张玻璃之后进行位置整列，并第二次调节向校准部移送的玻璃的温度，接着，通过搬送部向曝光工序移送，由此，玻璃的温度被调节两次，因此，具有热能使用量很大的问题。

因此，需要研发以能够快速、有效地将移送到校准部的单张玻璃的温度调节成设定温度的方式使结构得到改善的显示器用玻璃基板温度调节系统。

现有技术文献

专利文献

专利文献0001：KR 10-0825967 B1(2008年04月22日)

专利文献0002：KR 10-0785462 B1(2007年12月06日)

专利文献0003：KR 10-0885709 B1(2009年02月19日)

发明内容

本发明为了解决如上所述的以往的显示器用玻璃基板温度调节装置所具有的问题而提出，本发明所要实现的目的在于，提供可快速、有效地将移送到温度调节部的单张玻璃的温度调节成设定温度的显示器用玻璃基板温度调节系统。

用于实现上述目的的本发明的显示器用玻璃基板温度调节系统的特征在于，包括：存放部，装载并保存多个玻璃基板；搬送部，设置有搬送机器人，上述搬送机器人单张地把持保存在上述存放部的上述玻璃基板来移送；温度调节部，用于调节从上述搬送部供给的上述玻璃基板的温度；第一温度调节装置，向上述搬送部的内部供给温度处于设定温度的空气来调节温度；以及第二温度调节装置，向上述温度调节部的内部供给温度处于设定温度的空气来调节温度，上述温度调节部包括：规定大小的温度调节部外罩，在内部形成收容空间，在上部形成有空气流入口，在下部一侧形成有空气排出口；玻璃支撑单元，设置于上述温度调节部外罩的内部，用于支撑通过上述搬送部供给的上述玻璃基板；以及空气供给装置，设置于上述温度调节部外罩的外侧上部，以通过上述空气流入口均匀地供给空气的方式分配空气，上述玻璃支撑单元以靠近上述空气流入口侧的方式上升，来直接露出于通过上述空气供给装置分配并排出的空气中。

并且，本发明的再一特征在于，上述空气供给装置包括：箱形状的空气供给装置外罩，在内部形成有收容空间；第一空气分配板，垂直设置于上述空气供给装置外罩的内部一侧，来均匀地分配向内部供给的空气；以及第二空气分配板，水平设置于上述空气供给装置外罩的内部底面，来使内部的空气被均匀地分配并向外部排出，在上述第一空气分配板、第二空气分配板中，隔着规定间隔形成有多个排出孔，在上述排出孔中，空气排出侧的直径大于空气流入侧的直径。

并且，本发明的另一特征在于，上述玻璃支撑单元包括：支架，以沿着水平方向具有规定长度的方式设置；多个球支撑部，隔着规定间隔垂直设置于上述支架的上面，在上端设置有球；第一校准部及第二校准部，分别设置于上述支架的前后左右侧，整列上述玻璃基板的位置；以及升降装置，位于上述支架的底面，来使上述支架进行升降。

进而，本发明的还有一特征在于，上述玻璃支撑单元还包括：旋转支架，以具有规定大小的方式设置于上述支架的上面中心侧；以及多个球支撑部，隔着规定间隔垂直设置于上述旋转支架的上面，在上端设置有球，通过上述旋转支架在上升规定高度之后进行旋转的动作，放置于上述玻璃支撑单元的上述玻璃基板进行旋转。

并且，本发明的又一特征在于，在上述温度调节部外罩的内侧上部设置有用于检测因上述玻璃支撑单元上升而靠近的上述玻璃基板的温度的多个非接触式温度传感器。

根据本发明，玻璃基板在通过玻璃支撑单元来以靠近空气供给装置的方式上升的状态下露出于向内部供给的空气，因此，可快速地将玻璃基板的表面温度调节成设定温度，向玻璃基板侧排出通过空气供给装置均匀地分配的空气，因此，可使玻璃基板的表面整体上维持均匀的温度。

并且，玻璃支撑单元可使玻璃基板沿着上下方向进行升降并以规定角度进行旋转，进而，可通过第一校准部及第二校准部整列位置，因此，具有无需额外设置校准部的优点。

附图说明

图1为示出本发明的显示器用玻璃基板温度调节系统的例的图。

图2为示出本发明的显示器用玻璃基板温度调节系统的例的结构图。

图3为示出本发明的存放部的例的图。

图4为示出本发明的搬送部的例的图。

图5为示出在本发明的搬送部所设置的空气供给装置的例的图。

图6为示出本发明的第一空气分配板、第二空气分配板的例的图。

图7为示出本发明的温度调节部的例的图。

图8为示出本发明的玻璃支撑单元的例的俯视图。

图9为示出本发明的玻璃支撑单元进行升降工作的例的图。

图10为示出玻璃通过本发明的玻璃支撑单元的旋转支架进行旋转的例的图。

图11为示出在本发明的温度调节部所设置的空气供给装置的例的图。

图12为示出本发明的第一温度调节装置、第二温度调节装置的例的图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的优选实施例进行详细说明。

本发明提供可快速、有效地将移送到温度调节部的单张玻璃的温度调节成设定温度的显示器用玻璃基板温度调节系统，如图1及图2所示，这种本发明包括存放部100、搬送部200、温度调节部300以及第一温度调节装置400、第二温度调节装置500。

存放部100用于在内部装载并保存多个玻璃基板1。

如图3所示，这种存放部100包括：箱形状的存放部外罩110，在内部形成有规定大小的收容空间；以及多个风扇单元120，设置于上述存放部外罩110的上部，来向内部供给外部空气。

在此情况下，在存放部外罩110的上部面形成有外部空气流入口111，用于使温度处于25℃以下的常温温度的外部空气通过多个风扇单元120流入，在底面形成有外部空气排出口112，用于向外部排出内部的空气。

并且，为了以多层方式装载玻璃基板1，在存放部外罩110的内部，隔着规定间隔设置有多个装载插槽。

并且，在风扇单元120中设置有过滤器121，以便在向存放部外罩110的内部供给常温温度的外部空气时防止空气中的异物流入。

进而，在存放部外罩110的一侧形成有连接通道(未图示)，通过连接通道，装载于装载插槽的玻璃基板1将通过后述的搬送部200的搬送机器人220来被移送到搬送部200。

搬送部200用于向后述的温度调节部300及曝光处理部(未图示)侧移送装载于存放部外罩110的玻璃基板1。

如图4所示，这种搬送部200包括：搬送部外罩210，形成具有与存放部100相对应的规定大小的箱形状，在内部形成有收容空间；搬送机器人220，设置于上述搬送部外罩210的内部来移送玻璃基板1；以及空气供给装置230，设置于上述搬送部外罩210的上部，来向内部供给通过第一温度调节装置400调节温度的空气。

其中，在搬送部外罩210的上部面形成有空气流入口211，用于向内部供给通过空气供给装置230供给的空气，在底面形成有空气排出口212，用于向外部排出流入到内部的空气。

并且，如图5所示，空气供给装置230包括：空气供给装置外罩231，呈四边形箱形状，在内部形成有收容空间；第一空气分配板232，垂直设置于上述空气供给装置外罩231的内部，来第一次分配所流入的空气；以及第二空气分配板233，水平设置于上述空气供给装置外罩231的内部底面，来第二次分配内部的空气并向搬送部外罩210的内部排出。

在此情况下，在空气供给装置外罩231中，在一侧面形成有从第一温度调节装置400供给空气的空气流入口231A，在底面形成有以使空气通过第二空气分配板233排出的方式开放的空气排出口231B，在另一侧面形成有与相邻设置的另一空气供给装置外罩231的内部相连通的连通口231C。

并且，如图6所示，在第一空气分配板232、第二空气分配板233隔着规定间隔形成有多个排出孔H，这种排出孔H的空气排出侧的直径相对大于空气流入侧的直径(锥形)，由于这种结构，通过第一空气分配板232的空气均匀地被分配并被供给到多个空气供给装置外罩231的内部，之后，通过第二空气分配板233均匀地向搬送部外罩210的内部排出。

并且，为了检测通过第一温度调节装置400供给的空气的温度，在空气流入口231A设置有多个温度传感器TS1。

在通过如上所述的温度传感器TS1检测到的向空气供给装置230的内部供给的空气的温度在预设温度(23℃)的范围的情况下，维持第一温度调节装置400的动作，在大于或小于预设温度的情况下，调节从第一温度调节装置400供给的空气的温度来进行供给，由此，防止在第一温度调节装置400中调节的空气的温度在向空气供给装置230供给的过程中因热损失等而与预设温度(目标温度)产生温度差。

温度调节部300为在向曝光处理部供给之前均匀、快速地将从搬送部200供给的玻璃基板1的温度调节成预设温度的结构。

如图7所示，温度调节部300包括：规定大小的温度调节部外罩310，在内部形成收容空间，在上部形成有空气流入口311，在下部一侧形成有空气排出口312；玻璃支撑单元320，设置于上述温度调节部外罩310的内部，用于支撑通过上述搬送部200供给的上述玻璃基板1；以及空气供给装置330，设置于上述温度调节部外罩310的外侧上部，以通过空气流入口311均匀地供给空气的方式分配空气。

并且，如图8所示，玻璃支撑单元320包括：支架321，以沿着水平方向具有规定长度的方式设置；多个球支撑部322，隔着规定间隔垂直设置于上述支架321的上面，在上端设置有球；第一校准部323及第二校准部324，分别设置于上述支架321的前后左右侧，整列玻璃基板1的位置；以及升降装置325，位于上述支架321的底面，来使支架321进行升降。

通过如上所述的结构，玻璃基板1在被多个球支撑部322支撑的状态下，通过第一校准部323及第二校准部324朝向x轴及y轴移送来整列位置，因此，防止在整列玻璃基板1的位置的过程中产生瑕疵等。

并且，如图9所示，在通过升降装置325向温度调节部外罩310的内侧上部侧移动的状态下，玻璃基板1直接与通过空气供给装置330向内部供给的空气相接触，由此，将快速、均匀地将放置于玻璃支撑单元320的玻璃基板1的整体表面温度调节成23℃左右，误差范围在±1℃以下。

如上所述，在玻璃支撑单元320上升的状态下，为了检测玻璃基板1的表面温度，在温度调节部外罩310的内侧上部设置隔开规定间隔的多个非接触式温度传感器TS3，可通过这种非接触式温度传感器TS3准确地检测位置互相靠近的玻璃支撑单元320的表面温度，与此同时，从根本上防止传感器为了检测玻璃基板1的温度而与玻璃基板1的表面相接触来产生瑕疵。

进而，如图10所示，玻璃支撑单元320包括：旋转支架326，以具有规定大小的方式设置于支架321的上面中心侧；以及支撑部件327，隔着规定间隔垂直设置于上述旋转支架326的上面，在上端设置有橡胶材质的防滑部件，来防止由玻璃基板1进行旋转时的旋转力引起的滑动。

由此，在向曝光处理部移送之前，在需通过玻璃基板1的旋转整列来实现与光掩模之间的整列的情况下，可通过在使旋转支架326上升规定高度之后进行旋转的动作来轻松实现玻璃基板1的旋转整列，由此调节方向。

通过如上所述的玻璃支撑单元320的结构，在整体调节向温度调节部外罩310的内部供给的玻璃基板1的表面温度之后，通过第一校准部323及第二校准部324、旋转支架326精密地整列玻璃基板1的位置，在此状态下，向曝光处理部侧移送来准确地进行位置整列。

并且，如图11所示，空气供给装置330包括：箱形状的空气供给装置外罩331，在内部形成有收容空间；第一空气分配板332，垂直设置于上述空气供给装置外罩331的内部一侧，来均匀地分配向内部供给的空气；以及第二空气分配板333，水平设置于上述空气供给装置外罩331的内部底面，来均匀地分配内部的空气并向外部排出。

并且，如搬送部200的空气供给装置230，在空气供给装置外罩331中，在一侧面形成有用于从第二温度调节装置500供给空气的空气流入口331A，在底面形成有以使空气通过第二空气分配板333排出的方式开放的空气排出口331B，在另一侧面形成有与相邻地设置的另一空气供给装置外罩331的内部相连通的连通口331C。

并且，如图6所示，在第一空气分配板332、第二空气分配板333隔着规定间隔形成有多个排出孔H，这种排出孔H的空气排出侧的直径相对大于空气流入侧的直径(锥形)，由于这种结构，通过第一空气分配板332的空气均匀地被分配并被供给到多个空气供给装置外罩331的内部，之后，通过第二空气分配板333均匀地向温度调节部外罩310的内部排出。

并且，为了检测通过第二温度调节装置500供给的空气的温度，在空气流入口331A设置有多个温度传感器TS2。

通过如上所述的温度传感器TS2来检测从第二温度调节装置500向空气供给装置330侧供给的空气的温度，来适当地调节从第二温度调节装置500供给的空气的温度。

第一温度调节装置400、第二温度调节装置500为向搬送部200和温度调节部300的内部供给温度处于预设温度的空气的结构。

如图12所示，这种第一温度调节装置400、第二温度调节装置500包括：本体410、510，具有规定大小，在内部形成有收容空间，在一侧形成有规定大小的流入口411、511和排出口412、512；空气过滤器420、520，设置于上述本体410、510的一侧，用于去除向内部流入的空气中的异物；冷却部430、530，将通过上述空气过滤器420、520的空气冷却至规定温度，来去除空气中的水分；加热部440、540，将按规定温度来通过上述冷却部430、530进行冷却、除湿的空气加热至设定温度；以及送风机450、550，向空气供给装置230、330侧供给通过上述加热部440、540加热的空气。

并且，在本体410、510的一侧包括：加热器控制器460、560，用于调节加热部440、540的温度；制冷循环结构的冷却单元470、570，用于向冷却部430、530供给制冷剂；以及排水泵480、580，用于排出在冷却部430、530中冷凝的冷凝水。

在此情况下，在第一温度调节装置400中，外部空气通过流入口411直接流入，之后，向搬送部200的空气供给装置230侧供给通过空气过滤器420、冷却部430、加热部440及送风机450调节温度的空气，通过上述方式向搬送部200侧供给的空气通过搬送部外罩210的空气排出口212自然地向外部排出。

与此相反地，在第二温度调节装置500中，温度调节部300的温度调节部外罩310内部的空气通过流入口511流入之后，向温度调节部300的空气供给装置330侧供给通过空气过滤器520、冷却部530、加热部540及送风机550调节温度的空气，以上述方式来通过空气供给装置330向温度调节部外罩310的内部供给的空气通过空气排出口312向第二温度调节装置500的流入口511侧供给并循环。

搬送部200的内部温度通过如上所述的第一温度调节装置400均匀地维持在设定温度，由此，在从搬送部200向曝光处理部侧移送之前，防止在温度调节部300中调节的玻璃基板1的温度变得不同。

并且，可通过第二温度调节装置500快速、均匀地调节玻璃基板1的温度，同时，使温度得到调节的空气循环并再次供给，因此，可大大减少在调节空气温度的过程中所投入的能量。

如上所述，在本发明中，在通过玻璃支撑单元来以靠近空气供给装置的方式上升的状态下，玻璃基板露出于向内部供给的空气中，因此，可快速地将玻璃基板的表面温度调节成设定温度，向玻璃基板侧排出通过空气供给装置均匀地分配的空气，因此，可轻松地使玻璃基板的表面的温度整体上维持在均匀的温度水平。

以上，为了说明的便利，通过对示出优选实施例的附图和在附图中示出的结构赋予附图标记和名称来进行了说明，这仅属于本发明的一实施例，本发明的权利范围不应局限于在附图中示出的形状和名称，以可从发明的说明预计到的多种形状进行的变更和以起到相同作用的结构进行的简单的替换属于可由普通技术人员为了便于实施本发明而进行的变更的范围内，这是是显而易见的。

Claims (3)

1.一种显示器用玻璃基板温度调节系统，其特征在于，

包括：

存放部，装载并保存多个玻璃基板；

搬送部，设置有搬送机器人，上述搬送机器人单张地把持保存在上述存放部的上述玻璃基板来移送；

温度调节部，用于在向曝光处理部供给之前调节从上述搬送部供给的上述玻璃基板的温度；

第一温度调节装置，向上述搬送部的内部供给温度处于设定温度的空气来调节温度；以及

第二温度调节装置，向上述温度调节部的内部供给温度处于设定温度的空气来调节温度，

上述温度调节部包括：

规定大小的温度调节部外罩，在内部形成收容空间，在上部形成有空气流入口，在下部一侧形成有空气排出口；

玻璃支撑单元，设置于上述温度调节部外罩的内部，用于支撑通过上述搬送部供给的上述玻璃基板；以及

空气供给装置，设置于上述温度调节部外罩的外侧上部，以通过上述空气流入口均匀地供给空气的方式分配空气，

上述玻璃支撑单元以靠近上述空气流入口侧的方式上升，来直接露出于通过上述空气供给装置分配并排出的空气中，

上述玻璃支撑单元包括：

支架，以沿着水平方向具有规定长度的方式设置；

多个球支撑部，隔着规定间隔垂直设置于上述支架的上面，在上端设置有球；

第一校准部及第二校准部，分别设置于上述支架的前后左右侧，整列上述玻璃基板的位置；以及

升降装置，位于上述支架的底面，来使上述支架进行升降，

上述玻璃支撑单元还包括：

旋转支架，以具有规定大小的方式设置于上述支架的上面中心侧；以及

支撑部件，隔着规定间隔垂直设置于上述旋转支架的上面，在上端设置有橡胶材质的防滑部件，来防止由上述玻璃基板进行旋转时的旋转力引起的滑动，

通过上述旋转支架在上升规定高度之后进行旋转的动作，放置于上述玻璃支撑单元的上述玻璃基板进行旋转，

通过玻璃支撑单元在整体调节向温度调节部外罩的内部供给的玻璃基板的表面温度之后，通过第一校准部及第二校准部、旋转支架精密地整列玻璃基板的位置，在此状态下，向曝光处理部侧移送来准确地进行位置整列。

2.根据权利要求1所述的显示器用玻璃基板温度调节系统，其特征在于，

上述空气供给装置包括：

箱形状的空气供给装置外罩，在内部形成有收容空间；

第一空气分配板，垂直设置于上述空气供给装置外罩的内部一侧，来均匀地分配向内部供给的空气；以及

第二空气分配板，水平设置于上述空气供给装置外罩的内部底面，来使内部的空气被均匀地分配并向外部排出，

在上述第一空气分配板、第二空气分配板中，隔着规定间隔形成有多个排出孔，在上述排出孔中，空气排出侧的直径大于空气流入侧的直径。

3.根据权利要求2所述的显示器用玻璃基板温度调节系统，其特征在于，在上述温度调节部外罩的内侧上部设置有用于检测因上述玻璃支撑单元上升而靠近的上述玻璃基板的温度的多个非接触式温度传感器。