CN112058199A - 一种电子级氟化氨的制备系统及工艺 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种电子级氟化氨的制备系统即工艺，制备系统主要包括混合槽、蒸发器、混合器和成品槽，混合槽一侧连接有氢氟酸中间槽，蒸发器一侧连接有液氨储槽，混合器通过过滤管与蒸发器连接，且混合器与混合槽之间连接有循环管组，成品槽与混合器连接。本发明提供的制备系统结构组成简单，将复杂的工序有序且简洁地进行了实体化，实现了化繁为简，实现了电子级氟化铵生产过程的系统化，有助于企业在相对经济的条件下实现量化生产；且本发明提供的制备工艺在采用上述主要结构主体的基础支撑上进行操作，使整个过程有序化、明了化，并且能够批量制得电子级氟化铵成品，可以达到成本相对经济且生产效率较高的优势。

Description

一种电子级氟化氨的制备系统及工艺

技术领域

本发明涉及材料化学技术领域，具体而言，涉及一种电子级氟化氨的制备系统及工艺。

背景技术

氟化铵因其具有良好的蚀刻能力而在电子产品生产领域中具备广泛应用，而随着电子行业的快速发展，电子级氟化铵的需求越来越大，对氟化铵的纯度要求也越来越高，目前，市面上还有没有一种能够相对经济并直接生产电子级氟化铵水溶液的成熟系统和成熟工艺。

有鉴于此，特提出本申请。

发明内容

本发明的第一个目的在于提供一种电子级氟化氨的制备系统，该制备系统组成简单，实现了化繁为简，能够实现电子级氟化铵生产过程的系统化，有助于企业在相对经济的条件下实现量化生产；

本发明的第二个目的在于提供一种电子级氟化氨的制备工艺，该制备工艺实施简单、易于操作，在基于制备系统的基础上能够实现电子级氟化铵系统化的生产，成本相对经济且生产效率较高。

本发明的实施例是这样实现的：

一种电子级氟化氨的制备系统，包括混合槽、蒸发器、混合器和成品槽，混合槽一侧连接有氢氟酸中间槽，蒸发器一侧连接有液氨储槽，混合器通过过滤管与蒸发器连接，且混合器与混合槽之间连接有循环管组，成品槽与混合器连接。

进一步地，混合器卧放布置，循环管组包括汇流管、多根内循环管和多根外循环管，汇流管与混合器上部之间连接有多根连通管，多根内循环管均连通在混合槽与汇流管之间，每根内循环管上均设置有循环泵，每根外循环管一端与混合槽连通，另一端与混合器的底部连接，外循环管上绕置有冷凝管，过滤管一端与混合器一端端部连接。

进一步地，混合器远离其与过滤管连接的端部设置有搅拌机构，搅拌机构包括动力电机、传动箱和搅拌轴，动力电机与传动箱的输入端连接，传动箱具有同步动作且转向相反的第一输出轴和第二输出轴，第一输出轴和第二输出轴均可转动地穿入至混合器内，第一输出轴上套装有第一拨轮，第二输出轴上套装有第二拨轮，第一拨轮和第二拨轮的外沿上均加工有弧形缺口，混合器的内壁上固定有套装在第一拨轮和第二拨轮上的环形轨道，第一拨轮的弧形缺口与环形轨道的内孔壁之间形成用于供搅拌轴端部嵌入的第一轨道，以使搅拌轴能够沿第一拨轮的外沿移动，第二拨轮的弧形缺口与环形轨道的内孔壁之间也形成用于供搅拌轴端部嵌入的第二轨道，以使搅拌轴能够沿第二拨轮的外沿移动，第一轨道一侧与第二轨道一侧之间相切，且第一轨道和第二轨道相切部分相互连通，混合器远离搅拌机构一端的内壁上加工有供搅拌轴端部嵌入的定位轨道，定位轨道的形状与第一轨道和第二轨道组合的形状相同。

进一步地，混合器远离搅拌机构一端的内壁上设置有使搅拌轴能够在第一轨道和第二轨道之间来回切换移动的限位组件，限位组件包括T型杆、限位销和定位销，定位销固定于定位轨道中间连通部分正下方的混合器内壁上，T型杆的竖梁与定位销铰接，限位销固定于定位销正下方的混合器内壁上，T型杆的横梁位于定位销与限位销之间，限位销用于限制T型杆横梁的转动角度，且限位销与T型杆的竖梁端部之间固定有弹簧。

进一步地，混合器远离搅拌机构一端的外壁上成型有集气罩，过滤管与集气罩连通，混合器远离搅拌机构一端侧壁加工有与集气罩连通的输气孔，混合器的内壁上固定有将输气孔分隔为第一气孔和第二气孔的隔板，且混合器内设置有第一输送管和第二输送管，第一输送管一端与第一气孔连通，另一端与混合器内腔的上部空间连通，第二输送管一端与第二气孔连通，另一端与混合器内腔的下部空间连通，混合器远离搅拌机构一端内壁上设置有用于使第一气孔和第二气孔中的一者呈打开状态的控制组件。

进一步地，控制组件包括转销、V型杆和环形拨片，转销固定于定位轨道中间连通部分正上方的混合器内壁上，V型杆的中部与转销铰接，V型杆的两个端部分别位于T型杆横梁的两侧；混合器内壁上成型有定位筒，输气孔位于定位筒的内孔中，环形拨片可转动地套设于定位筒的内孔壁上，环形拨片一侧成型有伸出至定位筒的支板，支板上加工有条形孔，V型杆的中部外壁上成型有拨杆，拨杆上成型有可滑动地插入至条形孔内的拨销，环形拨片的内孔壁上成型有用于遮挡第一气孔或第二气孔的挡片。

进一步地，V型杆两个端部的夹角范围为45～90度，输气孔的形状为半圆形，挡片的形状为扇形。

一种利用上述制备系统制备电子级氟化氨的制备工艺，采用工业级49％高纯氢氟酸从氢氟酸中间槽输送至混合槽内，将液氨储槽内储存的液氨通入至蒸发器内并加热，产生的氨气经过滤管送入至混合器内，再将混合槽内的工业级49％高纯氢氟酸泵送至混合器内形成循环输送，并与氨气充分反应并形成氟化铵，制得的成品输送至成品槽内，经精密过滤后进行分装入库。

作为优选地，蒸发器内采用30～40℃的循环水对液氨进行加热，控制蒸发器内的压力为1.5～1.8Mpa。

作为优选地，将制得的成品输送至成品槽之前，加入超纯水调节氟化铵的质量分数至40％。

本发明实施例的有益效果是：

本发明实施例提供的制备系统主要包括混合槽、蒸发器、混合器和成品槽，整体结构组成简单，将复杂的工序有序且简洁地进行了实体化，实现了化繁为简，实现了电子级氟化铵生产过程的系统化，有助于企业在相对经济的条件下实现量化生产；此外，本发明实施例提供的制备工艺在采用上述主要结构主体的基础支撑上进行操作，使整个过程有序化、明了化，并且能够批量制得电子级氟化铵成品，即基于制备系统的基础上能够实现电子级氟化铵系统化的生产，整个生产过程实施简单且易于操作，可以达到成本相对经济且生产效率较高的优势。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例提供的制备工艺的流程图；

图2为本发明实施例提供的混合器的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的搅拌机构的部分结构示意图；

图4为本发明实施例提供的限位组件和控制组件的结构示意图。

图标：1-混合器；2-混合槽；3-过滤管；4-搅拌机构；5-内循环管；6-汇流管；7-连通管；8-外循环管；9-限位组件；10-输气孔；11-定位筒；12-环形拨片；13-挡片；14-隔板；15-支板；41-第一输出轴；42-第二输出轴；43-从动齿轮；44-主动齿轮；45-第二拨轮；46-第一拨轮；47-环形轨道；48-弧形缺口；49-搅拌轴；91-定位轨道；92-转销；93-V型杆；94-竖梁；95-横梁；96-限位销；97-弹簧。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“平行”、“垂直”等并不表示要求部件绝对平行或垂直，而是可以稍微倾斜。如“平行”仅仅是指其方向相对“垂直”而言更加平行，并不是表示该结构一定要完全平行，而是可以稍微倾斜。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例

请参照图1，本实施例提供的一种电子级氟化氨的制备系统主要包括混合槽2、蒸发器、混合器1和成品槽，所述混合槽2一侧连接有氢氟酸中间槽，将工业级49％的高纯氢氟酸经输送泵输送至氢氟酸中间槽并进行储存，以便于后续备用。所述蒸发器一侧连接有液氨储槽，即储存液氨原料，所述混合器1通过过滤管3与蒸发器相互连接，且混合器1与混合槽2之间连接有循环管组，用于对氢氟酸或氟化铵溶液进行循环泵送，所述成品槽与混合器1连接，用于储存制得的成品氟化铵。整个制备系统大致由以上几部分组成，使得整体结构组成简单，将复杂的工序有序且简洁地进行了实体化，实现了电子级氟化铵生产过程的系统化。

此外，本发明实施例还提供了一种利用上述制备系统制备电子级氟化氨的制备工艺，采用工业级49％高纯氢氟酸从氢氟酸中间槽输送至混合槽2内，将液氨储槽内储存的液氨藉由槽内压力压入或通入至蒸发器内并加热，本实施例中，所述蒸发器内采用30～40℃的循环水对液氨进行加热，控制所述蒸发器内的压力条件范围为1.5～1.8Mpa，加热液氨后产生的氨气经所述过滤管3过滤后逸散至混合器1内，再将混合槽2内的工业级49％高纯氢氟酸泵送至混合器1内，在循环管组于循环泵的作用下形成循环输送，使得氢氟酸与氨气充分反应并形成氟化铵，制得的成品即氟化铵溶液冷却后输送至成品槽内即可，在将制得的成品输送至成品槽之前，加入超纯水调节氟化铵的质量分数至40％，经检验合格后，再经精密过滤并进行分装入库，中间过程产生的废气、废水另行收集处理即可。采用该制备工艺在能够批量制得电子级氟化铵成品，即基于制备系统的基础上能够实现电子级氟化铵系统化的生产，整个生产过程实施简单且易于操作，可以达到成本相对经济且生产效率较高的优势。

为了使本制备系统占地面积更小，集成度更大，更利于集中管理或维护，请参照图2，所述混合器1卧放布置，即表示混合器1水平摆放，有利于整体集成布局。本实施例中，所述循环管组包括汇流管6、多根内循环管5和多根外循环管8，所述汇流管6水平布置于混合器1的上方，汇流管6与混合器1上部之间连接有多根连通管7，连通管7作为两者连通的桥梁。所述混合槽2水平布置，所述多根内循环管5均连通在混合槽2与汇流管6之间，每根内循环管5上均设置有循环泵，作为溶液循环流动的动力源，每根外循环管8一端与混合槽2连通，另一端与混合器1的底部连接，混合器1内的溶液可通过外循环管8经抽送再次回到混合槽2内，所述外循环管8上绕置有冷凝管，冷凝管可对外循环管8经过的溶液进行冷却降温，以控制进入混合槽2内溶液的整体温度。所述过滤管3水平布置，过滤管3一端与混合器1一端端部连接，作为优选地，所述混合器1与过滤管3连接的端部外壁上成型有集气罩，所述过滤管3与集气罩连通，集气罩可对飘逸的氨气进行暂时储存。

为了促进混合器1内的成分进行充分作用，所述混合器1远离集气罩的端部设置有搅拌机构4，整个搅拌结构的作用部分均通过耐腐蚀的高强塑料制作。请参阅图3，所述搅拌机构4包括动力电机、传动箱和搅拌轴49，动力电机与传动箱的输入端连接，所述传动箱为齿轮传动箱，它具有同步动作且转向相反的第一输出轴41和第二输出轴42，可通过在第一输出轴41和第二输出轴42上分别套装主动齿轮44和从动齿轮43来实现第一输出轴41和第二输出轴42同步动作且转向相反的目的。所述第一输出轴41和第二输出轴42均通过轴承可转动地穿入至混合器1内，所述第一输出轴41的穿入端上套装有第一拨轮46，所述第二输出轴42的穿入端上套装有第二拨轮45，第一拨轮46和第二拨轮45的相互位置及状态与主动齿轮44和从动齿轮43的相互位置及状态相同，即表示第一拨轮46和第二拨轮45能够同步动作且相对转动。

为了能够使搅拌轴49能够具有更大的搅拌范围，区别于传统固定式的搅拌轴，所述第一拨轮46和第二拨轮45的外沿上均加工有弧形缺口48，弧形缺口48的横截面形状为半圆形，刚好能够容纳搅拌轴49端部的一半，第一拨轮46和第二拨轮45的弧形缺口48能够在两者分别旋转一圈后进行对应贴合，从而形成能够容入搅拌轴49整个端部的柱状空间。所述混合器1的内壁上固定有套装在第一拨轮46和第二拨轮45上的环形轨道47，即表示环形轨道47的内孔中设置所述第一拨轮46和第二拨轮45。作为优选地，环形轨道47的内孔形状为两个圆相互外切组合的形状，所述第一拨轮46的弧形缺口48与环形轨道47的内孔壁之间形成用于供所述搅拌轴49端部嵌入的第一轨道，以使所述搅拌轴49能够沿第一拨轮46的外沿作圆周移动，同样地，所述第二拨轮45的弧形缺口48与环形轨道47的内孔壁之间也形成用于供所述搅拌轴49端部嵌入的第二轨道，以使所述搅拌轴49能够沿第二拨轮45的外沿作圆周移动，即表示所述搅拌轴49的端部既能在第一轨道内移动，也能在第二轨道内移动，为搅拌轴49的平移提供更大的运动空间。

为了使搅拌轴49能够在第一轨道和第二轨道之间选择性切换移动，所述第一轨道一侧与第二轨道一侧之间相切，且第一轨道和第二轨道相切部分相互连通，即表示第一轨道与第二轨道组合的形状大致类似于数字“8”卧放的形状。请参阅图4，所述混合器1远离搅拌机构4一端的内壁上加工有供所述搅拌轴49另一端部嵌入的定位轨道91，所述定位轨道91的形状与第一轨道和第二轨道组合的形状相同，即也为数字“8”的形状。整根搅拌轴49可在两侧的8字型轨道之间平行移动，能够获得更大的移动空间，从而实现多方位的搅拌，相对传统固定式的搅拌轴能够达到更充分的搅拌效果，促进几乎每一处空间内的液体分子相互作用，避免出现了“搅拌死角”的问题。

为了使搅拌轴49能够在第一轨道和第二轨道之间有规律地切换移动，每一个运动周期内能够分别沿第一轨道和第二轨道的轨迹走行完毕。所述混合器1远离搅拌机构4一端的内壁上设置有使搅拌轴49能够在第一轨道和第二轨道之间来回切换移动的限位组件9，本实施例中，所述限位组件9包括T型杆、限位销96和定位销，所述定位销固定于定位轨道91中间连通部分正下方的混合器1内壁上，即定位销位于8字型轨道中点的正下方。所述T型杆的竖梁94中部与定位销铰接，所述限位销96固定于所述定位销正下方的混合器1内壁上，所述T型杆的横梁95位于定位销与限位销96之间，所述限位销96用于限制T型杆横梁95的转动角度，即可限制竖梁94偏离竖直中线的角度，当搅拌轴49的端部走行至8字型轨道中点时，竖梁94偏离于该中点一侧，进而阻挡搅拌轴49端部进入第一轨道或第二轨道中的一者，当搅拌轴49端部进入另一者轨道时，搅拌轴49作用到横梁95上，使横梁转动，从而带动竖梁94转动偏离至另一侧，使得搅拌轴49下次再移动至8字型轨道中点，能够进入此前被阻挡进入的轨道，这样便可在一个运动周期内完成第一轨道和第二轨道的分别走行动作。为了使竖梁94切换更加稳定快捷，所述限位销96与T型杆的竖梁94端部之间固定有弹簧97。

考虑到氨气从集气罩进入至混合器1的方式不同，会影响到氨气与氢氟酸溶液结合的效率，比如氨气通入至混合器1内上部未被淹没的空间，虽然能够与泵送至的氢氟酸液滴在空中相互结合，但液面以下的氢氟酸溶液则与氨气结合不够充分，而将氨气通入至混合器1内底部，虽然能够与液面以下的溶液结合，但无法与持续喷洒至混合器1内的氢氟酸液滴进行充分结合。两种方式均或多或少存在一定缺陷，因此本申请结合了两者的优势，采用了不同时间段改变氨气通入位置的方式，具体地，所述混合器1远离搅拌机构4一端侧壁加工有与集气罩连通的输气孔10，所述混合器1的内壁上固定有将输气孔10分隔为第一气孔和第二气孔的隔板14，且混合器1内设置有第一输送管和第二输送管(未图示)，所述第一输送管一端与第一气孔连通，另一端与混合器1内腔的上部空间(液面以上)连通，所述第二输送管一端与第二气孔连通，另一端与混合器1内腔的下部空间(液面以下)连通，所述混合器1远离搅拌机构4一端内壁上设置有用于使第一气孔和第二气孔中的一者呈打开状态的控制组件。通过切换控制组件的状态，即可选择性打开第一气孔或第二气孔，从而达到第一输送管或第二输送管内通氨气的目的，实现不同时间段改变氨气通入位置的目的。

所述控制组件可以是在第一输送管和第二输送管上分别设置电控阀的形式，也可以是三通型的控制阀形式，但由于混合器1内腐蚀性较强，不利于采用电控方式，本实施例中采用纯机械联动方式来实现。具体地，所述控制组件包括转销92、V型杆93和环形拨片12，所述转销92固定于定位轨道91中间连通部分正上方的混合器1内壁上，即位于8字型轨道中点的正上方，所述V型杆93的中部与转销92铰接，使得V型杆93可沿着定位轨道91所在的平面内转动，当然，V型杆93的运动不会影响限位组件9的动作。所述V型杆93的两个端部分别位于T型杆横梁95的两侧，作为优选地，V型杆93任一个端部在转动时均可扫过整个定位轨道91，从而给搅拌轴49的持续相互作用提供空间，以达到搅拌轴49走行时能够使V型杆93来回摆动。

所述混合器1内壁上成型有定位筒11，定位筒11的中轴线与转销92的中轴线相互平行，所述输气孔10位于定位筒11的内孔中，即表示定位孔11的内孔覆盖了整个输气孔10，输入至混合器1内的氨气必须经定位筒11再输入至第一输送管或第二输送管内。本实施例中，所述定位筒11分为前后两段，前段与输气孔10连接，前段与后段均被所述隔板14隔开，后段(未图示)分别与第一输送管和第二输送管连接，前段与后段之间设置环形拨片12，用于控制氨气的走向。具体地，所述环形拨片12可转动地套设于定位筒11的内孔壁处形成的台阶上，该台阶不仅用于安装环形拨片12，还能用于连接定位筒11后段。环形拨片12一侧成型有伸出至定位筒11的支板15，所述支板15上加工有沿其长度方向布置的条形孔，所述V型杆93的中部外壁上成型有拨杆，所述拨杆上成型有可滑动地插入至所述条形孔内的拨销，当V型杆93摆动时，使拨杆跟随摆动，依靠拨销与条形孔的相互作用，整个环形拨片12也会跟随反方向摆动，所述环形拨片12的内孔壁上成型有用于遮挡所述第一气孔或第二气孔的挡片13，当环形拨片12左摆动时，可用于遮挡其中一侧的气孔如第一气孔，使第二气孔打开并为第二输送管提供氨气，反之则为第一输送管提供氨气，当然，由于环形拨片12的挡片13进行摆动时，需要在定位筒11内孔壁的台阶上加工相应缺口，为挡片13的摆动范围提供空间，产生的缺口可通过在定位筒11外壁上设置外密封来达到较好的密闭效果。

在本实施例中，所述V型杆93两个端部的夹角范围为45～90度，优选为60度，可以使整个V型杆93摆动范围较为适中，所述输气孔10的形状为半圆形，第一气孔和第二气孔分别为四分之一圆，输气孔10的位置位于定位筒11内孔部分的上半圆处，所述挡片13的形状为扇形，该扇形的圆心角为60度，挡片13也位于定位筒11内孔部分的上半圆处，用于选择性地遮挡第一气孔或第二气孔，这样便能通过机械联动的方式达到控制开闭的目的。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。应当注意，在附图中所图示的结构或部件不一定按比例绘制，同时本发明省略了对公知组件和处理技术及工艺的描述，以避免不必要地限制本发明。

Claims (10)

1.一种电子级氟化氨的制备系统，其特征在于，包括混合槽、蒸发器、混合器和成品槽，所述混合槽一侧连接有氢氟酸中间槽，所述蒸发器一侧连接有液氨储槽，所述混合器通过过滤管与所述蒸发器连接，且所述混合器与所述混合槽之间连接有循环管组，所述成品槽与所述混合器连接。

2.根据权利要求1所述的电子级氟化氨的制备系统，其特征在于，所述混合器卧放布置，所述循环管组包括汇流管、多根内循环管和多根外循环管，所述汇流管与所述混合器上部之间连接有多根连通管，所述多根内循环管均连通在所述混合槽与所述汇流管之间，每根所述内循环管上均设置有循环泵，每根所述外循环管一端与所述混合槽连通，另一端与所述混合器的底部连接，所述外循环管上绕置有冷凝管，所述过滤管一端与所述混合器一端端部连接。

3.根据权利要求2所述的电子级氟化氨的制备系统，其特征在于，所述混合器远离其与过滤管连接的端部设置有搅拌机构，所述搅拌机构包括动力电机、传动箱和搅拌轴，所述动力电机与所述传动箱的输入端连接，所述传动箱具有同步动作且转向相反的第一输出轴和第二输出轴，所述第一输出轴和第二输出轴均可转动地穿入至混合器内，所述第一输出轴上套装有第一拨轮，所述第二输出轴上套装有第二拨轮，所述第一拨轮和第二拨轮的外沿上均加工有弧形缺口，所述混合器的内壁上固定有套装在所述第一拨轮和第二拨轮上的环形轨道，所述第一拨轮的弧形缺口与所述环形轨道的内孔壁之间形成用于供所述搅拌轴端部嵌入的第一轨道，以使所述搅拌轴能够沿所述第一拨轮的外沿移动，所述第二拨轮的弧形缺口与所述环形轨道的内孔壁之间也形成用于供所述搅拌轴端部嵌入的第二轨道，以使所述搅拌轴能够沿所述第二拨轮的外沿移动，所述第一轨道一侧与所述第二轨道一侧之间相切，且所述第一轨道和第二轨道相切部分相互连通，所述混合器远离搅拌机构一端的内壁上加工有供所述搅拌轴端部嵌入的定位轨道，所述定位轨道的形状与所述第一轨道和第二轨道组合的形状相同。

4.根据权利要求3所述的电子级氟化氨的制备系统，其特征在于，所述混合器远离搅拌机构一端的内壁上设置有使所述搅拌轴能够在第一轨道和第二轨道之间来回切换移动的限位组件，所述限位组件包括T型杆、限位销和定位销，所述定位销固定于所述定位轨道中间连通部分正下方的混合器内壁上，所述T型杆的竖梁与所述定位销铰接，所述限位销固定于所述定位销正下方的混合器内壁上，所述T型杆的横梁位于所述定位销与所述限位销之间，所述限位销用于限制所述T型杆横梁的转动角度，且所述限位销与所述T型杆的竖梁端部之间固定有弹簧。

5.根据权利要求3所述的电子级氟化氨的制备系统，其特征在于，所述混合器远离搅拌机构一端的外壁上成型有集气罩，所述过滤管与所述集气罩连通，所述混合器远离搅拌机构一端侧壁加工有与集气罩连通的输气孔，所述混合器的内壁上固定有将输气孔分隔为第一气孔和第二气孔的隔板，且所述混合器内设置有第一输送管和第二输送管，所述第一输送管一端与所述第一气孔连通，另一端与所述混合器内腔的上部空间连通，所述第二输送管一端与所述第二气孔连通，另一端与所述混合器内腔的下部空间连通，所述混合器远离搅拌机构一端内壁上设置有用于使所述第一气孔和第二气孔中的一者呈打开状态的控制组件。

6.根据权利要求5所述的电子级氟化氨的制备系统，其特征在于，所述控制组件包括转销、V型杆和环形拨片，所述转销固定于所述定位轨道中间连通部分正上方的混合器内壁上，所述V型杆的中部与所述转销铰接，所述V型杆的两个端部分别位于所述T型杆横梁的两侧；所述混合器内壁上成型有定位筒，所述输气孔位于所述定位筒的内孔中，所述环形拨片可转动地套设于所述定位筒的内孔壁上，环形拨片一侧成型有伸出至所述定位筒的支板，所述支板上加工有条形孔，所述V型杆的中部外壁上成型有拨杆，所述拨杆上成型有可滑动地插入至所述条形孔内的拨销，所述环形拨片的内孔壁上成型有用于遮挡所述第一气孔或第二气孔的挡片。

7.根据权利要求6所述的电子级氟化氨的制备系统，其特征在于，所述V型杆两个端部的夹角范围为45～90度，所述输气孔的形状为半圆形，所述挡片的形状为扇形。

8.一种利用如权利要求1～7任意一项所述的制备系统制备电子级氟化氨的制备工艺，其特征在于，采用工业级49％高纯氢氟酸从所述氢氟酸中间槽输送至所述混合槽内，将所述液氨储槽内储存的液氨通入至所述蒸发器内并加热，产生的氨气经所述过滤管送入至所述混合器内，再将所述混合槽内的工业级49％高纯氢氟酸泵送至所述混合器内形成循环输送，并与氨气充分反应并形成氟化铵，制得的成品输送至所述成品槽内，经精密过滤后进行分装入库。

9.根据权利要求8所述的电子级氟化氨的制备工艺，其特征在于，所述蒸发器内采用30～40℃的循环水对液氨进行加热，控制所述蒸发器内的压力为1.5～1.8Mpa。

10.根据权利要求8所述的电子级氟化氨的制备工艺，其特征在于，将制得的成品输送至所述成品槽之前，加入超纯水调节氟化铵的质量分数至40％。

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