CN112015054B - 传输装置、传输方法及光刻机 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种传输装置、传输方法及光刻机，传输装置包括两个等待位、一个加工位、两个交接位、一个输入输出位、两个载具以及两个传输具，两个载具被配置为依次进入加工位，以使所载的工件得以加工；一个载具处于所述加工位时，另一个处于等待位的载具被配置为与处于交接位的传输具对工件进行交接；传输具被配置为进入所述输入输出位，以输入/输出工件。如此配置，一方面，仅采用了一套输入输出机构，降低了传输装置的成本，另一方面，由于载具通过与传输具的交接，能方便快速地获得待加工的工件以及将加工完毕的工件输出，产率较高，能有效降低生产节拍。

Description

传输装置、传输方法及光刻机

技术领域

本发明涉及光刻设备领域，特别涉及一种传输装置、传输方法及光刻机。

背景技术

在现有的光刻设备中，为提高产率，一般采用双工件台、双基板传输机构共有一个曝光机构的方法，依次对曝光机构两侧的两个工件台上的基板进行曝光。然而，现有的光刻设备一般共用同一个预对准装置，两套基板传输机构所传输的待加工的基板均需通过该同一个预对准装置进行位置姿态调整，如此，不利于产率的提高。此外，采用两套基板传输机构亦提高了整个光刻设备的成本。

发明内容

本发明的目的在于提供一种传输装置、传输方法及光刻机，以解决现有的光刻设备产率低及成本高的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种传输装置，其包括：

第一传送系统，包括两个等待位及一个位于两个所述等待位之间的加工位；

第二传送系统，包括两个交接位及一个位于两个所述交接位之间的输入输出位；两个所述交接位分别与两个所述等待位的位置相匹配；

两个载具，分别用以承载一工件，两个所述载具分别能够在不同的所述等待位与所述加工位之间运动；以及

两个传输具，分别用以承载一工件，两个所述传输具均能够在所述第二传送系统中运动；当一个所述载具和一个所述传输具分别处于一个所述等待位及与所述等待位相匹配的交接位时，所述载具与所述传输具能够交接工件；

两个所述载具被配置为依次进入所述加工位，以使所载的工件得以加工；一个所述载具处于所述加工位时，另一个处于所述等待位的载具被配置为与处于所述交接位的传输具对工件进行交接；所述传输具被配置为进入所述输入输出位，以输入/输出工件。

可选的，在所述的传输装置中，两个所述传输具用以依次进入同一个所述交接位，分别用以与同一个所述载具交接待加工的工件和交接加工完毕的工件。

可选的，在所述的传输装置中，两个所述传输具用以依次进入所述输入输出位，一个所述传输具用以输入待加工的工件，另一个所述传输具用以输出加工完毕的工件。

可选的，在所述的传输装置中，两个所述传输具被配置为，在对所述加工位上的载具所载的工件进行加工的同时，将处于所述等待位的载具所载的加工完毕的工件交接为待加工的工件；且通过所述传输具将加工完毕的工件输出，并输入另一个待加工的工件。

可选的，在所述的传输装置中，当一个所述载具初始处于一个所述等待位，载有一加工完毕的工件，另一个所述载具初始处于所述加工位，对所载的工件进行加工时：

两个所述传输具被配置为：第一个所述传输具移至与留置有所述载具的等待位相匹配的交接位，与所述载具交接，将加工完毕的工件交接至第一个所述传输具；第二个所述传输具移至所述交接位，与所述载具交接，将第二个所述传输具所载的待加工的工件交接至所述载具；

两个所述传输具还被配置为：第二个所述传输具移至所述输入输出位，从外部输入另一待加工的工件至第二个所述传输具；第一个所述传输具移至所述输入输出位，将所载的加工完毕的工件输出。

可选的，在所述的传输装置中，完成对初始处于所述加工位的所述载具所载的工件的加工后，将初始处于所述加工位的所述载具移至另一个所述等待位，将初始处于一个所述等待位的所述载具移至所述加工位。

可选的，在所述的传输装置中，两个所述传输具固定连接。

可选的，在所述的传输装置中，两个所述传输具上分别设有一个预定位模块，用以调整所载工件的位置或姿态。

可选的，在所述的传输装置中，两个所述载具上分别设有一个对准调整模块，用以调整所载工件的位置或姿态。

为解决上述技术问题，本发明还提供一种光刻机，其包括：如上所述的传输装置；其中所述载具和所述传输具用以承载的工件包括一基底。

为解决上述技术问题，本发明还提供一种传输方法，其包括：

提供两个等待位、一个加工位、两个交接位、一个输入输出位、两个载具以及两个传输具；

一个所述载具初始处于一个所述等待位，另一个所述载具初始处于所述加工位；将第一个所述传输具移至与留置有一个所述载具的等待位相匹配的交接位，将处于一个所述等待位的所述载具所载的加工完毕的工件交接至第一个所述传输具；

将第二个所述传输具移至与留置有一个所述载具的等待位相匹配的交接位，并将第二个所述传输具所载的待加工的工件交接至处于一个所述等待位的所述载具；

将第二个所述传输具移至所述输入输出位，从外部输入一待加工的工件至第二个所述传输具；

将第一个所述传输具移至所述输入输出位，将第一个所述传输具所载的加工完毕的工件输出；

完成对初始处于所述加工位的所述载具所载的工件的加工后，将初始处于所述加工位的所述载具移至另一个所述等待位，将初始处于一个所述等待位的所述载具移至所述加工位。

可选的，所述传输方法重复循环，且后一次循环中，初始处于所述等待位的所述载具，为前一次循环中初始处于所述加工位的所述载具；后一次循环中，一个所述载具初始处于一个所述等待位，前一次循环中，另一个所述载具初始处于另一个所述等待位。

可选的，在所述传输方法中，同时对两个所述传输具同步进行移动。

综上所述，在本发明提供的传输装置、传输方法及光刻机中，传输装置包括两个等待位、一个加工位、两个交接位、一个输入输出位、两个载具以及两个传输具，两个所述载具被配置为依次进入所述加工位，以使所载的工件得以加工；一个载具处于所述加工位时，另一个处于所述等待位的载具被配置为与处于所述交接位的传输具对工件进行交接；所述传输具被配置为进入所述输入输出位，以输入/输出工件。如此配置，一方面，仅采用了一套输入输出机构，降低了传输装置的成本，另一方面，由于载具通过与传输具的交接，能方便快速地获得待加工的工件以及将加工完毕的工件输出，产率较高，能有效降低生产节拍。

附图说明

本领域的普通技术人员将会理解，提供的附图用于更好地理解本发明，而不对本发明的范围构成任何限定。其中：

图1是本发明一实施例提供的传输装置的示意图；

图2是本发明一实施例提供的工作流程的示意图；

图3是本发明一实施例提供的工作流程之另一循环的示意图；

图4是本发明一实施例提供的光刻机的工作流程的示意图。

附图中：

10-第一传送系统；11-等待位；111-第一等待位；112-第二等待位；12-加工位；20-第二传送系统；21-交接位；211-第一交接位；212-第二交接位；22-输入输出位；311-第一载具；312-第二载具；321-第一传输具；322-第二传输具；41-对准调整模块；42-预定位模块；50-输入输出机构。

具体实施方式

为使本发明的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。

如在本说明书和所附权利要求书中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，除非内容另外明确指出外。如在本说明书和所附权利要求中所使用的，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，除非内容另外明确指出外。

本发明的核心思想在于提供一种传输装置、传输方法及光刻机，其中传输装置包括：第一传送系统、第二传送系统、两个载具以及两个传输具；其中第一传送系统包括两个等待位及一个位于两个所述等待位之间的加工位，第二传送系统包括两个交接位及一个位于两个所述交接位之间的输入输出位；两个所述交接位分别与两个所述等待位的位置相匹配；两个所述载具分别用以承载一工件，两个所述载具分别能够在不同的所述等待位与所述加工位之间运动；两个所述传输具分别用以承载一工件，两个所述传输具均能够在所述第二传送系统中运动；当一个所述载具和一个所述传输具分别处于一个所述等待位及与所述等待位相匹配的交接位时，所述载具与所述传输具能够交接工件；两个所述载具被配置为依次进入所述加工位，以使所载的工件得以加工；一个所述载具处于所述加工位时，另一个处于所述等待位的载具被配置为与处于所述交接位的传输具对工件进行交接；所述传输具被配置为进入所述输入输出位，以输入/输出工件。如此配置，一方面，仅采用了一套输入输出机构，降低了传输装置的成本，另一方面，由于载具通过与传输具的交接，能方便快速地获得待加工的工件以及将加工完毕的工件输出，产率较高，能有效降低生产节拍。

以下参考附图进行描述。

请参考图1至图4，其中，图1是本发明一实施例提供的传输装置的示意图，图2是本发明一实施例提供的工作流程的示意图，图3是本发明一实施例提供的工作流程之另一循环的示意图，图4是本发明一实施例提供的光刻机的工作流程的示意图。

如图1所示，本发明实施例提供一种传输装置，其包括第一传送系统10、第二传送系统20、两个载具(第一载具311和第二载具312)以及两个传输具(第一传输具321和第二传输具322)；其中第一传送系统10包括两个等待位11(第一等待位111和第二等待位112)及一个位于两个所述等待位11之间的加工位12，第二传送系统20包括两个交接位21(第一交接位211和第二交接位212)及一个位于两个所述交接位21之间的输入输出位22；两个所述交接位21分别与两个所述等待位11的位置相匹配；两个所述载具分别用以承载一工件，两个所述载具分别能够在不同的所述等待位11与所述加工位12之间运动；两个所述传输具分别用以承载一工件，两个所述传输具均能够在所述第二传送系统20中运动；当一个所述载具和一个所述传输具分别处于一个所述等待位11及与所述等待位11相匹配的交接位12时，所述载具与所述传输具能够交接工件；两个所述载具被配置为依次进入所述加工位12，以使所载的工件(未图示)得以加工；一个所述载具处于所述加工位12时，另一个处于所述等待位11的载具被配置为与处于所述交接位12的传输具对工件进行交接；所述传输具被配置为进入所述输入输出位22，以将加工完毕的工件输出(如输出至一输入输出机构50)；或者输入待加工的工件(如由输入输出机构50输入)。如此配置，一方面，仅采用了一套输入输出机构(输入输出机构50)，降低了传输装置的成本，另一方面，由于载具通过与传输具的交接，能方便快速地获得待加工的工件以及将加工完毕的工件输出，产率较高，能有效降低生产节拍。

本实施例还提供一种光刻机，其包括如上所述的传输装置，其中所述载具和所述传输具用以承载的工件包括一基底，该基底如可为TFT基板。本实施例所提供的传输装置，可适用于多种场合，如可应用于光刻机，特别是TFT光刻设备，高世代的TFT具有基板尺寸大、质量大和动量大的特征，其输入输出机构的成本较高，应用本实施例所提供的传输装置时，能显著降低成本。

下面以该传输装置应用于一光刻机的情况为例，结合附图进行说明。

请继续参考图1，在本实施例提供的传输装置中，具有两个传送系统，第一传送系统10主要用于承载两个载具(第一载具311和第二载具312)，该两个载具可沿第一传送系统10的传送方向(如图1中的左右方向)运动。第一传送系统10沿其传送方向依次布置有三个工位，分别为第一等待位111、加工位12以及第二等待位112。其中的加工位12为一曝光工位，其可设有现有的曝光装置以对一工件(如基板)进行曝光加工。可以理解，第一载具311在第一等待位111与加工位12之间运动，第二载具312则在加工位12与第二等待位112之间运动。当任一载具处于加工位12时，曝光装置可对处于加工位12的载具所载的基板进行曝光加工。

第二传送系统20主要用于承载两个传输具(第一传输具321和第二传输具322)，该两个传输具可沿第二传送系统20的传送方向(如图1中的左右方向)运动。第二传送系统20沿其传送方向亦依次布置有三个工位，分别为第一交接位211、输入输出位22以及第二交接位212。需理解，与载具不同的，两个传输具不限于在所述三个工位之间运动，其还可以超出所述三个工位的范围进行运动。其中的输入输出位22与传输装置外部的输入输出机构50相对应，当任一个传输具处于输入输出位22时，能够与输入输出机构50交接基板，如可将传输具所载的基板(主要为加工完毕的基板)通过输入输出机构50输出至下一产线或产品库，也可经由输入输出机构50自基板库输入一基板(主要为待加工的基板)等。第一交接位211与第一等待位111的位置相匹配，第二交接位212与第二等待位112的位置相匹配，当第一载具311处于第一等待位111且任一个传输具处于第一交接位211时，第一载具311能够与该处于第一交接位211的传输具交接一基板，如可从第一载具311将基板传输至传输具，也可由传输具将基板传输至第一载具311。同样的，当第二载具312处于第二等待位112且任一个传输具处于第二交接位212时，第二载具311能够与该处于第二交接位212的传输具交接一基板。需理解，此处第一载具311不限于仅与第一传输具321交接传输基板，也可与第二传输具322交接传输基板，只要任一个传输具处于第一交接位211即可，第二载具312亦是同理可与两个传输具中的任一个交接传输基板。

优选的，两个所述传输具用以依次进入同一个所述交接位21，分别用以与同一个所述载具交接待加工的工件和交接加工完毕的工件。两个所述传输具用以依次进入所述输入输出位22，一个所述传输具用以输入待加工的工件，另一个所述传输具用以输出加工完毕的工件。实际中，两个传输具依次进入同一个交接位21，与同一个载具进行交接，如将该载具所载的加工完毕的基板交接至第一个传输具，而后第二个传输具将其所载的待加工的基板交接至第一个传输具，如此即对一载具上的基板进行了一次轮替，以待该载具继而移至加工位22进行加工。进而，两个传输具依次进入输入输出位21，一个传输具将其所载的加工毕的基板输出，另一个传输具则获得另一个待加工的基板，以待与下一个载具进行轮替交接。

较佳的，两个所述传输具被配置为，在对所述加工位12上的载具所载的工件进行加工的同时，将处于所述等待位11的载具所载的加工完毕的工件交接为待加工的工件；且通过所述传输具将将加工完毕的工件输出，并输入另一个待加工的工件。如此配置，利用曝光装置对处于加工位12的载具所载的基板进行曝光加工的时间，对处于等待位11的载具所载的基板进行轮替，将前一轮加工毕的基板输出，并输入一待加工的基板，以准备下一轮曝光加工。利用曝光加工的时间进行下一轮加工的准备，有效降低了生产节拍，提高了产率。需理解，此处曝光装置对处于加工位12的载具所载的基板进行曝光加工的时间，可不限于与传输具和载具交接工件并移至输入输出位与输入输出机构50交接工件的时间(即准备的时间)相同，即加工的时间可不限于与准备的时间相同，如加工时间大于准备的时间，此时传输具可以在完成交接后待命，待曝光加工完成，又如加工时间小于准备的时间，基板在曝光加工完成后，处于加工位12的载具可待命，等待准备完成。当然加工的时间可也可与准备的时间相同，本发明对此不限。

以下参考图2，以一个示范性的工作流程进行说明，当一个所述载具初始处于一个所述等待位11(如第一载具311处于第一等待位111)，载有一加工完毕的工件，另一个所述载具(第二载具312)初始处于所述加工位12，对所载的工件进行加工时，如图2(A)所示；

两个所述传输具被配置为：第一个所述传输具(如第一传输具321)移至与留置有所述载具(第一载具311)的等待位(第一等待位111)相匹配的交接位(第一交接位211)，与所述载具(第一载具311)交接，将加工完毕的工件交接至第一个所述传输具(第一传输具321)，如图2(B)所示；第二个所述传输具(第二传输具322)移至所述交接位(第一交接位211)，与所述载具(第一载具311)交接，将第二个所述传输具(第二传输具322)所载的待加工的工件交接至所述载具(第一载具311)，如图2(C)所示；两个所述传输具还被配置为：第二个所述传输具(第二传输具322)移至所述输入输出位22，从外部输入另一待加工的工件至第二个所述传输具(第二传输具322)，如图2(D)所示；第一个所述传输具(第一传输具321)移至所述输入输出位22，如图2(E)所示，将所载的加工完毕的工件输出。优选的，完成对初始处于所述加工位12的所述载具(第二载具312)所载的工件的加工后，将初始处于所述加工位12的所述载具(第二载具312)移至另一个所述等待位(第二等待位112)，如图2(E)所示；将初始处于一个所述等待位(第一等待位111)的所述载具(第一载具311)移至所述加工位12，如图2(F)所示，此时即完成一个循环的工作流程。需理解，以上工作流程仅为一范例而非限定，如初始一个所述等待位11的可不限于为第一载具311，而是处于第二等待位112的第二载具312；又如第一个与处于等待位11上的载具交接的传输具亦可不是第一传输具321，而是第二传输具322；另外需说明的是，上述工作流程中，第二个所述传输具(如第二传输具322)移至所述输入输出位22，从外部输入另一待加工的工件至第二个所述传输具(第二传输具322)的步骤，与第一个所述传输具(第一传输具321)移至所述输入输出位22，将所载的加工完毕的工件输出的步骤，不限于先后执行，在其它的一些工作流程中，可相反执行；本发明对此均不限。

优选的，两个所述传输具(第一传输具321和第二传输具322)固定连接，以同时对两个所述传输具同步进行移动。如此，可在第二传送系统20中仅采用一套传送机构，进一步降低成本。需要说明的是，第一传输具321和第二传输具322并不限于如图1所示的左右依次排布，还可以是相反布置等。第一传输具321和第二传输具322的固定连接方式，可采用本领域常用手段，如焊接、粘接、螺栓连接、或第一传输具321与第二传输具322一体成型等，本发明对此不限。

更优选的，如图1所示，两个所述传输具上分别设有一个预定位模块42，用以调整所载工件的位置或姿态；两个所述载具上分别设有一个对准调整模块41，用以调整所载工件的位置或姿态。两个传输具分别具有一个预定位模块42，两个载具分别具有一个对准调整模块，使得两个传输具和两个载具能够并行且独立地对基板位置及姿态进行调整，便于降低生产节拍，提高产率。

在一些实施例中，传输具可以是用以承载基板的传输平台，而在另一些实施例中，传输具还可以是机械手，其亦能用以传输基板，本发明对此不限。

本实施例还提供一种光刻机，其包括如上所述的传输装置；其中所述载具和所述传输具用以承载的工件包括一基底。较佳的，所述光刻机为TFT光刻机，所述基底为TFT基板。

以下请参考图4，本实施例提供的光刻机的工作流程包括：

第一载具的准备流程：

步骤911，第一载具等待：默认此时第一载具为空载，不载有基板，处于第一等待位进行等待；

步骤912，完成基板预对准：此时一待曝光的基板被交接传输至一传输具，该传输具所具有的预定位模块对待曝光的基板进行预对准；

步骤913，获得待曝光基板：步骤912中完成预对准的传输具将基板交接传输至第一载具，第一载具即获得待曝光基板；

步骤914，完成对准及调整：第一载具具有的对准调整模块对基板进行对准及调整，以待后续进行曝光加工；

步骤915，第一载具等待：此时第一载具即完成准备工作，之后即准备执行步骤901。

第二载具的准备流程：

步骤921，第二载具等待：默认此时第二载具为空载，不载有基板，处于第二等待位进行等待；

步骤922，完成基板预对准：此时一待曝光的基板被交接传输至一传输具，该传输具所具有的预定位模块对待曝光的基板进行预对准；

步骤923，获得待曝光基板：步骤922中完成预对准的传输具将基板交接传输至第二载具，第二载具即获得待曝光基板；

步骤924，完成对准及调整：第二载具具有的对准调整模块对基板进行对准及调整，以待后续进行曝光加工；

步骤925，第二载具等待：此时第二载具即完成准备工作，之后即准备执行步骤901。

第一载具与第二载具共通的曝光工作流程：

步骤901，判断加工位是否有其它载具：在步骤915或步骤925完成后，对加工位进行检测，若加工位有其它载具正在加工，则返回执行步骤915或步骤925；需理解，若是由步骤915进入步骤901，则返回执行步骤915，若是由步骤925进入步骤901，则返回执行步骤925；若加工位没有其它载具，则执行步骤902；即第一载具或第二载具中的任一个需等待正在加工位上的另一个载具离开后，才能执行步骤902；

步骤902，载具进入加工位进行曝光作业：步骤901确定了此时加工位上没有其它载具，此时第一载具或第二载具即移至加工位，并对所载的待曝光基板进行曝光加工；

步骤903，载具载有已曝光基板离开加工位，运动至等待位：对第一载具或第二载具所载的待曝光基板进行曝光加工完毕后，第一载具或第二载具即装载着已曝光基板离开加工位，回到各自对应的等待位；

步骤904，载具与传输具交接输出已曝光基板：第一载具或第二载具到达各自对应的等待位后，将所载的已曝光基板交接传输至一传输具，以使第一载具或第二载具成为空载状态；而后即返回执行步骤911或步骤921，完成一个循环的工作流程；需理解，若是由步骤915进入步骤901，则返回执行步骤911，若是由步骤925进入步骤901，则返回执行步骤921。

通过上述步骤，由于第一载具和第二载具分别设有独立的对准调整模块，能在各自的准备流程中，节约对准的时间。特别的，当曝光工作流程所需的时间大于对一个载具进行对准调整的时间，且小于对两个载具进行对准调整的时间时，相比现有通过同一个对准调整模块对两个载具分别进行对准，能明显降低生产节拍，从而使光刻机可实现较高的产率。

本实施例还提供一种传输方法，其包括：

提供两个等待位11、一个加工位12、两个交接位21、一个输入输出位22、两个载具以及两个传输具；一个所述载具初始处于一个所述等待位11；另一个所述载具初始处于所述加工位12，将第一个所述传输具移至与留置有一个所述载具的等待位11相匹配的交接位21，将处于一个所述等待位11的所述载具所载的加工完毕的工件交接至第一个所述传输具；将第二个所述传输具移至与留置有一个所述载具的等待位11相匹配的交接位21，并将第二个所述传输具所载的待加工的工件交接至处于一个所述等待位11的所述载具；将第二个所述传输具移至所述输入输出位22，从外部输入一待加工的工件至第二个所述传输具；将第一个所述传输具移至所述输入输出位22，将第一个所述传输具所载的加工完毕的工件输出；完成对初始处于所述加工位12的所述载具所载的工件的加工后，将初始处于所述加工位12的所述载具移至另一个所述等待位11，将初始处于一个所述等待位11的所述载具移至所述加工位12。

以下结合图2，详细说明上述传输方法：

第一载具311初始处于第一等待位111，第二载具312初始处于加工位12，如图2(A)所示；将第一传输具321移至与第一等待位111相匹配的第一交接位211，将处于第一等待位111的第一载具311所载的加工完毕的工件交接至第一传输具321，如图2(B)所示；将第二传输具322移至与第一等待位111相匹配的第一交接位211，并将第二传输具322所载的待加工的工件交接至处于第一等待位111的第一载具311，如图2(C)所示；将第二传输具322移至输入输出位22，从外部输入一待加工的工件至第二传输具322，如图2(D)所示；将第一传输具321移至输入输出位22，将第一传输具321所载的加工完毕的工件输出，如图2(E)所示；完成对初始处于加工位12的第二载具312所载的工件的加工后，将第二载具312移至第二等待位112，如图2(E)所示；将初始处于第一等待位111的第一载具311移至加工位12，如图2(F)所示。

优选的，所述传输方法重复循环，且后一次循环中，初始处于所述等待位11的所述载具，为前一次循环中初始处于所述加工位12的所述载具；后一次循环中，一个所述载具初始处于一个所述等待位11，前一次循环中，另一个所述载具初始处于另一个所述等待位11。以下请参考图3，进行说明。

在按照本实施例提供的传输方法完成一次循环后，第一载具311初始处于加工位12，第二载具312初始处于第二等待位112，如图3(A)所示，特别的，该图3(A)所示的状态与图2(F)所示的状态相同，即可理解为是在完成一次循环后，后一次循环中，初始处于所述等待位11(第二等待位112)的所述载具(第二载具312)，为前一次循环中初始处于所述加工位12的所述载具(第二载具312)；后一次循环中，一个所述载具(第二载具312)初始处于一个所述等待位11(第二等待位112)，前一次循环中，另一个所述载具(第一载具311)初始处于另一个所述等待位11(第一等待位111)。

具体的，将第一传输具321移至与第二等待位112相匹配的第二交接位212，将处于第二等待位112的第二载具312所载的加工完毕的工件交接至第一传输具321，如图3(B)所示；将第二传输具322移至与第二等待位112相匹配的第二交接位212，并将第二传输具322所载的待加工的工件交接至处于第二等待位112的第二载具312，如图3(C)所示；将第一传输具321移至输入输出位22，将第一传输具321所载的加工完毕的工件输出，如图3(D)所示；将第二传输具322移至输入输出位22，从外部输入一待加工的工件至第二传输具322，如图3(E)所示；完成对初始处于加工位12的第一载具311所载的工件的加工后，将第一载具311移至第一等待位111，如图3(E)所示；将初始处于第二等待位112的第二载具312移至加工位12，如图3(F)所示，即完成第二次循环，此时，图3(F)所示的状态又再次恢复至如图2(A)所示的状态，如此循环往复。

需要说明的是，在本实施例提供的传输方法中，将第二个所述传输具移至所述输入输出位22，从外部输入一待加工的工件至第二个所述传输具的步骤，与将第一个所述传输具移至所述输入输出位22，将第一个所述传输具所载的加工完毕的工件输出的步骤，不限于先后执行，在其它的一些实施例中，可相反执行；本发明对此不限。较佳的，在本实施例提供的传输方法中，同时对两个所述传输具同步进行移动。

综上所述，在本发明提供的传输装置、传输方法及光刻机中，传输装置包括两个等待位、一个加工位、两个交接位、一个输入输出位、两个载具以及两个传输具，两个所述载具被配置为依次进入所述加工位，以对所载的工件进行加工；另一个处于所述等待位的载具被配置为与处于所述交接位的传输具对工件进行交接；所述传输具被配置为进入所述输入输出位，以输入/输出工件。如此配置，一方面，仅采用了一套输入输出机构，降低了传输装置的成本，另一方面，由于载具通过与传输具的交接，能方便快速地获得待加工的工件以及将加工完毕的工件输出，产率较高，能有效降低生产节拍。

上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (12)

1.一种传输装置，其特征在于，包括：

第一传送系统，包括两个等待位及一个位于两个所述等待位之间的加工位；

第二传送系统，包括两个交接位及一个位于两个所述交接位之间的输入输出位；两个所述交接位分别与两个所述等待位的位置相匹配；

两个载具，分别用以承载一工件，两个所述载具分别能够在不同的所述等待位与所述加工位之间运动；以及

两个传输具，分别用以承载一工件，两个所述传输具均能够在所述第二传送系统中运动；当一个所述载具和一个所述传输具分别处于一个所述等待位及与所述等待位相匹配的交接位时，所述载具与所述传输具能够交接工件；

两个所述载具被配置为依次进入所述加工位，以使所载的工件得以加工；一个所述载具处于所述加工位时，另一个处于所述等待位的载具被配置为与处于所述交接位的传输具对工件进行交接；所述传输具被配置为进入所述输入输出位，以输入/输出工件；

两个所述传输具用以依次进入同一个所述交接位，分别用以与同一个所述载具交接待加工的工件和交接加工完毕的工件。

2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，两个所述传输具用以依次进入所述输入输出位，一个所述传输具用以输入待加工的工件，另一个所述传输具用以输出加工完毕的工件。

3.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，两个所述传输具被配置为，在对所述加工位上的载具所载的工件进行加工的同时，将处于所述等待位的载具所载的加工完毕的工件交接为待加工的工件；且通过所述传输具将加工完毕的工件输出，并输入另一个待加工的工件。

4.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，当一个所述载具初始处于一个所述等待位，载有一加工完毕的工件，另一个所述载具初始处于所述加工位，对所载的工件进行加工时：

两个所述传输具被配置为：第一个所述传输具移至与留置有所述载具的等待位相匹配的交接位，与所述载具交接，将加工完毕的工件交接至第一个所述传输具；第二个所述传输具移至所述交接位，与所述载具交接，将第二个所述传输具所载的待加工的工件交接至所述载具；

两个所述传输具还被配置为：第二个所述传输具移至所述输入输出位，从外部输入另一待加工的工件至第二个所述传输具；第一个所述传输具移至所述输入输出位，将所载的加工完毕的工件输出。

5.根据权利要求4所述的传输装置，其特征在于，完成对初始处于所述加工位的所述载具所载的工件的加工后，将初始处于所述加工位的所述载具移至另一个所述等待位，将初始处于一个所述等待位的所述载具移至所述加工位。

6.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，两个所述传输具固定连接。

7.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，两个所述传输具上分别设有一个预定位模块，用以调整所载工件的位置或姿态。

8.根据权利要求7所述的传输装置，其特征在于，两个所述载具上分别设有一个对准调整模块，用以调整所载工件的位置或姿态。

9.一种光刻机，其特征在于，包括根据权利要求1～8中任一项所述的传输装置；其中所述载具和所述传输具用以承载的工件包括一基底。

10.一种传输方法，其特征在于，包括：

提供两个等待位、一个加工位、两个交接位、一个输入输出位、两个载具以及两个传输具；

一个所述载具初始处于一个所述等待位，另一个所述载具初始处于所述加工位；将第一个所述传输具移至与留置有一个所述载具的等待位相匹配的交接位，将处于一个所述等待位的所述载具所载的加工完毕的工件交接至第一个所述传输具；

将第二个所述传输具移至与留置有一个所述载具的等待位相匹配的交接位，并将第二个所述传输具所载的待加工的工件交接至处于一个所述等待位的所述载具；其中，两个所述传输具用以依次进入同一个所述交接位，分别用以与同一个所述载具交接待加工的工件和交接加工完毕的工件；

将第二个所述传输具移至所述输入输出位，从外部输入一待加工的工件至第二个所述传输具；

将第一个所述传输具移至所述输入输出位，将第一个所述传输具所载的加工完毕的工件输出；

完成对初始处于所述加工位的所述载具所载的工件的加工后，将初始处于所述加工位的所述载具移至另一个所述等待位，将初始处于一个所述等待位的所述载具移至所述加工位。

11.根据权利要求10所述的传输方法，其特征在于，所述传输方法重复循环，且后一次循环中，初始处于所述等待位的所述载具，为前一次循环中初始处于所述加工位的所述载具；后一次循环中，一个所述载具初始处于一个所述等待位，前一次循环中，另一个所述载具初始处于另一个所述等待位。

12.根据权利要求10所述的传输方法，其特征在于，同时对两个所述传输具同步进行移动。

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