CN112002740A - 基板及其分离方法、显示面板 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了基板及其分离方法、显示面板，基板设置在玻璃基板上，基板包括衬底和牺牲层，牺牲层设于衬底和玻璃基板之间，牺牲层用于在分离基板和玻璃基板时，分担作用于衬底上的作用力；本发明可以减少衬底上的相关膜层的受损率，以提高显示面板的良品率。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及显示器件的制造，具体涉及基板及其分离方法、显示面板。
背景技术
柔性OLED(Organic Light Emitting Diode，有机电激光显示)屏幕具有可弯折、轻薄、高刷新率、低功耗等特点，其关键在于柔性OLED采用聚酰亚胺等柔性材料作为柔性衬底。
在制备柔性OLED显示面板时，需要先在玻璃基板上制备柔性衬底以及相关膜层，再通过LLO(Laser Lift Off，激光剥离)工序将柔性衬底与玻璃基板分离。然而，存在于玻璃基板表面的颗粒会阻挡激光穿过，因此玻璃基板和柔性衬底之间位于颗粒处的分子键无法完全断裂，在分离柔性衬底与玻璃基板时，造成柔性衬底受到较大的应力，造成柔性衬底上方的相关膜层受损，降低了柔性OLED显示面板的良品率。
因此，有必要提供可以降低柔性衬底上方的相关膜层受损概率的基板及其分离方法、显示面板。
发明内容
本发明的目的在于提供基板及其分离方法、显示面板，通过在基板中的衬底、与承载基板的玻璃基板之间设置牺牲层，牺牲层用于在分离基板和玻璃基板时，分担作用于衬底上的作用力，以解决现有的在分离衬底与玻璃基板时，造成衬底上方的相关膜层受损，从而降低了显示面板的良品率的问题。
本发明实施例提供基板，所述基板设置在玻璃基板上，所述基板包括：
衬底；
牺牲层，所述牺牲层设于所述衬底和所述玻璃基板之间，所述牺牲层用于在分离所述基板和所述玻璃基板时，分担作用于所述衬底上的作用力。
在一实施例中，所述牺牲层包括第一牺牲层，所述第一牺牲层用于在激光的作用下与所述玻璃基板剥离。
在一实施例中，所述第一牺牲层的组成材料包括塑料。
在一实施例中，所述牺牲层还包括第二牺牲层，所述第二牺牲层设于所述衬底和所述第一牺牲层之间，所述第二牺牲层用于阻挡激光照射至所述衬底。
在一实施例中，所述第二牺牲层的组成材料包括铝、银中的至少一种。
在一实施例中，所述第一牺牲层的厚度小于所述衬底的厚度。
本发明实施例提供显示面板，所述显示面板包括如上文任一所述的基板。
在一实施例中，所述显示面板还包括：
器件层，所述器件层设于所述基板远离所述玻璃基板的一侧；
缓冲层，所述缓冲层设于所述器件层和所述基板之间，所述缓冲层用于在分离所述基板和所述玻璃基板时，分担作用于所述器件层上的作用力。
本发明实施例提供基板的分离方法，所述方法包括：
提供玻璃基板；
在所述玻璃基板上形成基板，所述基板包括衬底和牺牲层，所述牺牲层设于所述衬底和所述玻璃基板之间，所述牺牲层用于在分离所述基板和所述玻璃基板时，分担作用于所述衬底上的作用力；
采用激光从所述玻璃基板的一侧进行照射，使得所述基板和所述玻璃基板剥离；
分离所述基板和所述玻璃基板。
在一实施例中，所述在所述玻璃基板上形成基板，所述基板包括衬底和牺牲层，所述牺牲层设于所述衬底和所述玻璃基板之间，所述牺牲层用于在分离所述基板和所述玻璃基板时，减少作用于所述衬底上的作用力的步骤，包括：
在所述玻璃基板上形成第一牺牲层，所述第一牺牲层用于在激光的作用下与所述玻璃基板剥离。
本发明提供了基板及其分离方法、显示面板，所述基板设置在玻璃基板上，所述基板包括衬底和设于所述衬底和所述玻璃基板之间的牺牲层，通过在所述衬底与所述玻璃基板之间设置所述牺牲层，在分离所述基板和所述玻璃基板时，所述牺牲层分担作用于所述衬底上的作用力，可以减少衬底受到的作用力，进一步减少衬底上的相关膜层的受损率，以提高显示面板的良品率。
附图说明
下面通过附图来对本发明进行进一步说明。需要说明的是，下面描述中的附图仅仅是用于解释说明本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种基板的截面示意图。
图2为本发明实施例提供的另一种基板的截面示意图。
图3为本发明实施例提供的再一种基板的截面示意图。
图4为本发明实施例提供的一种显示面板的截面示意图。
图5为本发明实施例提供的基板的分离方法的流程图。
图6为本发明实施例提供的基板的分离方法的场景示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“靠近”、“远离”、“表面”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，其中，“上”只是表明在物体上方，具体指代正上方、斜上方、上表面都可以，并且两者之间可以为非接触状态，而“表面”则是指代两个物体相互直接接触，以上方位或位置关系仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。需要注意的是，术语“厚度”是中性词，不表示偏向厚或薄，只是表示存在一个参考值，数值不确定，会根据实际情况而定。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本发明的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
本发明提供基板，所述基板包括但不限于以下实施例以及以下实施例的组合。
在一实施例中，如图1所示，所述基板100设置在玻璃基板200上，所述基板100包括：衬底101；牺牲层102，所述牺牲层102设于所述衬底101和所述玻璃基板200之间，所述牺牲层102用于在分离所述基板100和所述玻璃基板200时，分担作用于所述衬底101上的作用力。
其中，所述玻璃基板200的组成材料可以包括石英粉、碳酸锶、碳酸钡、硼酸、硼酐、氧化铝、碳酸钙、硝酸钡、氧化镁、氧化锡、氧化锌中的至少一种。可以理解的，所述玻璃基板200的硬度大于所述基板100的硬度，以支撑所述基板100以及位于所述基板100上的相关膜层。
其中，所述衬底101可以为柔性衬底，进一步的，所述衬底101可以为聚合物材料衬底，所述聚合物材料衬底的组成材料包括聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对萘二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺中的至少一种。可以理解的，采用所述聚合物材料衬底作为所述衬底101可以具有高柔韧性、轻质量、耐冲击等优点。
特别的，当分离所述基板100和所述玻璃基板200时，由于所述牺牲层102设于所述衬底101和所述玻璃基板200之间，所述牺牲层102会受到较大的作用力，因此，所述牺牲层102可以避免所述玻璃基板200直接作用于所述衬底101上，可以减少所述衬底101受到的作用力，降低了位于所述基板100上的相关膜层受损的概率。
在一实施例中，如图2所示，所述牺牲层102包括第一牺牲层1021，所述第一牺牲层1021用于在激光的作用下与所述玻璃基板200剥离。
可以理解的，当激光从所述玻璃基板200的一侧进行照射时，可以通过所述第一牺牲层1021与所述玻璃基板200剥离，实现所述衬底101与所述玻璃基板200的剥离，并且所述衬底101不与所述玻璃基板200直接接触，可以降低所述衬底101以及位于所述衬底101上的相关膜层受损的概率。
在一实施例中，所述第一牺牲层1021的组成材料包括塑料。例如，所述第一牺牲层1021的组成材料包括聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对萘二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺中的至少一种。可以理解的，由于激光的波长很短，在激光的照射下，采用塑料制备的所述第一牺牲层1021对激光的吸收率很高，所述第一牺牲层1021会被蒸发，以至于所述第一牺牲层1021中与所述玻璃基板200接触的表面内的化学键断裂，失去了所述第一牺牲层1021与所述玻璃基板200之间的吸附力，从而实现了所述第一牺牲层1021与所述玻璃基板200的剥离。
其中，所述第一牺牲层1021的组成材料和所述衬底101的组成材料相同或者不同。进一步的，所述第一牺牲层1021的厚度小于所述衬底101的厚度。可以理解的，所述第一牺牲层1021在激光的照射下与所述玻璃基板200剥离，即所述第一牺牲层1021在与所述玻璃基板200剥离后会存在不可避免的损失，并且所述第一牺牲层1021最终是为了保护所述衬底101，在与所述玻璃基板200剥离后并不会再具有实质性的作用，因此将所述第一牺牲层1021的厚度设置较小，可以节省成本。
在一实施例中，如图3所示，所述牺牲层102还包括第二牺牲层1022，所述第二牺牲层1022设于所述衬底101和所述第一牺牲层1021之间，所述第二牺牲层1022用于阻挡激光照射至所述衬底101。
可以理解的，当位于所述玻璃基板200的一侧的激光的能量较大时，所述第二牺牲层1022可以不影响所述第一牺牲层1021与所述玻璃基板200的剥离，并且所述第二牺牲层1022存在于与所述衬底101靠近所述玻璃基板200的一侧，阻挡激光直接照射至所述衬底101，可以避免所述衬底101表面的化学键断裂，以至于所述衬底101与所述衬底101上方的相关膜层剥离。
其中，当所述第一牺牲层1021的组成材料和所述衬底101的组成材料相同或者化学性质相似时，所述第二牺牲层1022的组成材料可以为无机材料，由于所述第二牺牲层1022的组成材料性质远不同于所述第一牺牲层1021的组成材料和所述衬底101的组成材料，所述第二牺牲层1022还可以将所述第一牺牲层1021和所述衬底101做区分，在剥离所述所述第一牺牲层1021与所述玻璃基板200时，避免因所述第二牺牲层1022的组成材料与第一牺牲层1021的材料组成相似，而使得所述第二牺牲层1022受到影响。
进一步的，所述第二牺牲层1022的组成材料可以包括金属。可以理解的，采用金属制备的所述第二牺牲层1022具有较大的反射率，当位于所述玻璃基板200的一侧的激光照射至所述第二牺牲层1022上时，所述第二牺牲层1022不仅可以阻挡激光直接照射至所述衬底101，而且可以将部分激光反射至所述第一牺牲层1021上，增加最终照射至所述第一牺牲层1021上的激光的量，使得所述第一牺牲层1021中的化学键可以充分断裂，便于后期剥离所述第一牺牲层1021和所述玻璃基板200。其中，采用金属制备的所述第二牺牲层1022的厚度可以小于所述第一牺牲层1021的厚度，由于所述第二牺牲层1022需要具备弯曲能力，将所述第二牺牲层1022设置较薄，可以增加所述基板100的弯折能力。
在一实施例中，所述第二牺牲层1022的组成材料包括铝、银中的至少一种。可以理解的，采用塑料制备的所述第一牺牲层1021对水蒸气和氧气的阻隔能力差，当水蒸气和氧气通过所述第一牺牲层1021进入至所述第二牺牲层1022中时，采用铝、银中的至少一种材料制备的所述第二牺牲层1022会发生氧化反应，在所述第二牺牲层1022表面形成致密的氧化层，可以防止水蒸气和氧气进入至所述衬底101，进而腐蚀位于所述衬底101上的相关膜层，提高了所述基板100阻隔水氧的能力。
本发明还提供显示面板，所述显示面板包括但不限于以上任一所述基板。
在一实施例中，如图4所示，所述显示面板00还包括：器件层300，所述器件层300设于所述基板100远离所述玻璃基板200的一侧；缓冲层400，所述缓冲层400设于所述器件层300和所述基板100之间，所述缓冲层400用于在分离所述基板100和所述玻璃基板200时，分担作用于所述器件层300上的作用力。
其中，所述器件层300包括多个薄膜晶体管以及多条线路，所述多个薄膜晶体管可以采用例如低温多晶硅材料、氧化物材料或者非晶硅材料中至少一种材料制备。
可以理解的，所述缓冲层400设于所述器件层300和所述基板100之间，当分离所述基板100和所述玻璃基板200时，所述缓冲层400增加了所述器件层300与所述基板100之间的距离，并且避免所述器件层300与所述基板100直接接触，有效减少了所述器件层300受到的作用力，降低了所述器件层300中的多个薄膜晶体管、多条线路以及其他器件受损的概率。
进一步的，所述缓冲层400可以包括层叠设置的第一缓冲层和第二缓冲层，所述第一缓冲层的组成材料包括氮化硅，所述第二缓冲层的组成材料包括氧化硅，所述第一缓冲层和所述第二缓冲层的相对位置不做限定。可以理解的，所述缓冲层400在实现所述器件层300中的多个薄膜晶体管的相关电学需求时，所述缓冲层400还可以有效阻挡水蒸气和氧气进入至所述器件层300，提高了所述显示面板00阻隔水氧的能力。
本发明还提供基板的分离方法，所述基板的分离方法包括但不限于以下实施例以及以下实施例的组合。
在一实施例中，如图5所示，所述方法包括但不限于以下步骤：
S10，提供玻璃基板。
其中，所述玻璃基板的组成材料可以包括石英粉、碳酸锶、碳酸钡、硼酸、硼酐、氧化铝、碳酸钙、硝酸钡、氧化镁、氧化锡、氧化锌中的至少一种。可以理解的，所述玻璃基板的硬度大于所述基板的硬度，以支撑所述基板以及位于所述基板上的相关膜层。
S20，在所述玻璃基板上形成基板，所述基板包括衬底和牺牲层，所述牺牲层设于所述衬底和所述玻璃基板之间，所述牺牲层用于在分离所述基板和所述玻璃基板时，分担作用于所述衬底上的作用力。
其中，所述衬底可以为柔性衬底，进一步的，所述衬底可以为聚合物材料衬底，所述聚合物材料衬底的组成材料包括聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对萘二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺中的至少一种。可以理解的，采用所述聚合物材料衬底作为所述衬底可以具有高柔韧性、轻质量、耐冲击等优点。具体的，例如所述衬底的组成材料为聚酰亚胺时，可以首先将液态的聚酰亚胺涂布在所述玻璃基板上，然后固化所述液态的聚酰亚胺，形成所述柔性衬底。
特别的，当分离所述基板和所述玻璃基板时，由于所述牺牲层设于所述衬底和所述玻璃基板之间，所述牺牲层会受到较大的作用力，因此，所述牺牲层可以避免所述玻璃基板直接作用于所述衬底上，可以减少所述衬底受到的作用力，降低了位于所述基板上的相关膜层受损的概率。
在一实施例中，所述步骤S20包括但不限于以下步骤：
S201，在所述玻璃基板上形成第一牺牲层，所述第一牺牲层用于在激光的作用下与所述玻璃基板剥离。
可以理解的，当激光从所述玻璃基板的一侧进行照射时，可以通过所述第一牺牲层与所述玻璃基板剥离，实现所述衬底与所述玻璃基板的剥离，并且所述衬底不与所述玻璃基板直接接触，可以降低所述衬底以及位于所述衬底上的相关膜层受损的概率。
在一实施例中，所述第一牺牲层的组成材料包括塑料。例如，所述第一牺牲层的组成材料包括聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对萘二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺中的至少一种。可以理解的，由于激光的波长很短，在激光的照射下，采用塑料制备的所述第一牺牲层对激光的吸收率很高，所述第一牺牲层会被蒸发，以至于所述第一牺牲层中与所述玻璃基板接触的表面内的化学键断裂，失去了所述第一牺牲层与所述玻璃基板之间的吸附力，从而实现了所述第一牺牲层与所述玻璃基板的剥离。
其中，所述第一牺牲层的组成材料和所述衬底的组成材料相同或者不同。进一步的，所述第一牺牲层的厚度小于所述衬底的厚度。可以理解的，所述第一牺牲层在激光的照射下与所述玻璃基板剥离，即所述第一牺牲层在与所述玻璃基板剥离后会存在不可避免的损失，并且所述第一牺牲层最终是为了保护所述衬底，在与所述玻璃基板剥离后并不会再具有实质性的作用，因此将所述第一牺牲层的厚度设置较小，可以节省成本。
在一实施例中，在所述步骤S201之后包括但不限于以下步骤：
S202，在所述第一牺牲层上形成第二牺牲层，所述第二牺牲层用于阻挡激光照射至所述衬底。
可以理解的，当位于所述玻璃基板的一侧的激光的能量较大时，所述第二牺牲层可以不影响所述第一牺牲层与所述玻璃基板的剥离，并且所述第二牺牲层存在于与所述衬底靠近所述玻璃基板的一侧，阻挡激光直接照射至所述衬底，可以避免所述衬底表面的化学键断裂，以至于所述衬底与所述衬底上方的相关膜层剥离。
其中，当所述第一牺牲层的组成材料和所述第二牺牲层的组成材料相同或者化学性质相似时，所述第二牺牲层的组成材料可以为无机材料，由于所述第二牺牲层的组成材料性质远不同于所述第一牺牲层的组成材料和所述第二牺牲层的组成材料，所述第二牺牲层还可以将所述第一牺牲层和所述衬底做区分，在剥离所述所述第一牺牲层与所述玻璃基板时，避免因所述第二牺牲层的组成材料与第一牺牲层的材料组成相似，而使得所述第二牺牲层受到影响。
进一步的，所述第二牺牲层的组成材料可以包括金属。可以理解的，采用金属制备的所述第二牺牲层具有较大的反射率，当位于所述玻璃基的一侧的激光照射至所述第二牺牲层上时，所述第二牺牲层不仅可以阻挡激光直接照射至所述衬底，而且可以将部分激光反射至所述第一牺牲层上，增加了最终照射至所述第一牺牲层上的激光量，使得所述第一牺牲层中的化学键可以充分断裂，便于后期剥离所述第一牺牲层和所述玻璃基板。其中，采用金属制备的所述第二牺牲层的厚度可以小于所述第一牺牲层的厚度，由于所述第二牺牲层需要具备弯曲能力，将所述第二牺牲层设置较薄，可以增加所述基板的弯折能力。
在一实施例中，所述第二牺牲层的组成材料包括铝、银中的至少一种。可以理解的，采用塑料制备的所述第一牺牲层对水蒸气和氧气的阻隔能力差，当水蒸气和氧气通过所述第一牺牲层进入至所述第二牺牲层中时，采用铝、银中的至少一种材料制备的所述第二牺牲层会发生氧化反应，在所述第二牺牲层表面形成致密的氧化层，可以防止水蒸气和氧气进入至所述衬底，进而腐蚀位于所述衬底上的相关膜层，提高了所述基板阻隔水氧的能力。
S30，采用激光从所述玻璃基板的一侧进行照射，使得所述基板和所述玻璃基板剥离。
其中，所述激光的波长可以为308纳米，所述激光的脉宽可以23纳秒至27纳秒，所述激光的能量密度约为200焦耳每立方厘米。
具体的，如图6所示，当所述第二牺牲层1022的组成材料包括金属时，即所述第二牺牲层1022具有较大的反射率。当激光01从所述玻璃基板200的一侧进行照射时，激光01中的部分激光02穿过所述第一牺牲层1021进入至所述第二牺牲层1022中，部分激光02中的又一部分激光03被所述第二牺牲层1022反射至所述第一牺牲层1021中，增加了最终照射至所述第一牺牲层1021上的激光量。
可以理解的，当最终照射至所述第一牺牲层1021上的激光量足够大时，所述第一牺牲层1021中的化学键可以充分断裂，使得所述第一牺牲层1021与所述玻璃基板200之间的吸附力减小，当所述吸附力减小到一定程度时，所述第一牺牲层1021即与所述玻璃基板200剥离。
S40，分离所述基板和所述玻璃基板。
具体的，当所述第一牺牲层1021即与所述玻璃基板200剥离后，将所述第一牺牲层1021从所述玻璃基板200上移除，即可实现所述基板100和所述玻璃基板200的分离；或者对所述第一牺牲层1021与所述玻璃基板200稍加作用力，也即可实现所述基板100和所述玻璃基板200的分离。
可以理解的，当所述基板100和所述玻璃基板200分离后，所述第一牺牲层1021可以保留在所述基板100中，以在后续制成中对所述基板100的下表面进行保护；若所述第一牺牲层1021受损严重，并且在存在所述第二牺牲层1022的情况下，可以在步骤S30中加大所述激光的能量，以实现所述第一牺牲层1021和所述第二牺牲层1022的分离。
本发明提供了基板及其分离方法、显示面板，所述基板设置在玻璃基板上，所述基板包括衬底和设于所述衬底和所述玻璃基板之间的牺牲层，通过在所述衬底与所述玻璃基板之间设置所述牺牲层，在分离所述基板和所述玻璃基板时，所述牺牲层分担作用于所述衬底上的作用力，可以减少衬底受到的作用力，进一步减少衬底上的相关膜层的受损率，以提高显示面板的良品率。
以上对本发明实施例所提供的基板及其分离方法、显示面板进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例的技术方案的范围。
Claims (10)
1.一种基板，其特征在于，所述基板设置在玻璃基板上，所述基板包括：
衬底；
牺牲层，所述牺牲层设于所述衬底和所述玻璃基板之间，所述牺牲层用于在分离所述基板和所述玻璃基板时，分担作用于所述衬底上的作用力。
2.如权利要求1所述的基板，其特征在于，所述牺牲层包括第一牺牲层，所述第一牺牲层用于在激光的作用下与所述玻璃基板剥离。
3.如权利要求2所述的基板，其特征在于，所述第一牺牲层的组成材料包括塑料。
4.如权利要求3所述的基板，其特征在于，所述牺牲层还包括第二牺牲层，所述第二牺牲层设于所述衬底和所述第一牺牲层之间，所述第二牺牲层用于阻挡激光照射至所述衬底。
5.如权利要求4所述的基板，其特征在于，所述第二牺牲层的组成材料包括铝、银中的至少一种。
6.如权利要求3所述的基板，其特征在于，所述第一牺牲层的厚度小于所述衬底的厚度。
7.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括如权利要求1-6任一所述的基板。
8.如权利要求7所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括：
器件层，所述器件层设于所述基板远离所述玻璃基板的一侧；
缓冲层，所述缓冲层设于所述器件层和所述基板之间，所述缓冲层用于在分离所述基板和所述玻璃基板时，分担作用于所述器件层上的作用力。
9.一种基板的分离方法，其特征在于，所述方法包括：
提供玻璃基板；
在所述玻璃基板上形成基板，所述基板包括衬底和牺牲层，所述牺牲层设于所述衬底和所述玻璃基板之间，所述牺牲层用于在分离所述基板和所述玻璃基板时，分担作用于所述衬底上的作用力；
采用激光从所述玻璃基板的一侧进行照射，使得所述基板和所述玻璃基板剥离；
分离所述基板和所述玻璃基板。
10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述在所述玻璃基板上形成基板，所述基板包括衬底和牺牲层，所述牺牲层设于所述衬底和所述玻璃基板之间，所述牺牲层用于在分离所述基板和所述玻璃基板时，减少作用于所述衬底上的作用力的步骤，包括：
在所述玻璃基板上形成第一牺牲层，所述第一牺牲层用于在激光的作用下与所述玻璃基板剥离。
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