CN111974636A - 一种匀胶铬版自动旋涂机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种匀胶铬版自动旋涂机，包括机架、旋转装置以及承载盘，旋转装置安装于机架上，旋转装置的输出端与承载盘连接并驱使该承载盘转动，承载盘的顶面凹陷形成有与匀胶铬版相匹配的矩形的放置部，放置部内开设有贯穿承载盘的吸孔并通过吸孔与外界的抽真空装置连接。本发明在实际的使用过程中，可以通过将匀胶铬版放置于该放置部上从而实现了对该匀胶铬版的卡合固定，同时，还可以通过位于放置部的吸孔对匀胶铬版进行吸附，使得在本发明的匀胶铬版自动旋涂机的工作过程中，不但可以通过旋转装置带动匀胶铬版旋转从而使得对匀胶铬版的涂胶更加均匀，而且匀胶铬版始终被稳定地吸附在放置部内而不容易被甩出以致于受损。

Description

一种匀胶铬版自动旋涂机

技术领域

本发明涉及半导体生产的技术领域，具体涉及一种匀胶铬版自动旋涂机。

背景技术

随着我国科技不断进步，半导体集成电路在液晶显示行业或者触控屏行业的应用越来越多，而在半导体集成电路的生产制造过程中均需用到掩膜版，而匀胶铬版作为掩膜版的基版，其在半导体集成电路的生产中具有十分重要的地位。

众所周知，光掩模版是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。而匀胶铬版作为光掩基版，其是一种硬面光掩模材料，是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料（相当于照相用的感光胶卷）。在实际的生产过程中，由于匀胶铬版是一种矩形基版，因此对该匀胶铬版的涂胶工艺远较圆形晶圆困难，在涂胶过程中容易因胶厚不均匀而导致胶面颜色不一致的现象，与此同时，在涂胶的时候由于旋涂机是进行高速旋涂或者急速起停的，因此需要保护在这两种状态下的匀胶铬版的安全，并且在取放基版时需兼顾污染问题。

因此，亟需一种匀胶铬版自动旋涂机来解决上述问题。

发明内容

本项发明是针对现在的技术不足，提供一种匀胶铬版自动旋涂机。

本发明为实现上述目的所采用的技术方案是：

一种匀胶铬版自动旋涂机，包括机架、旋转装置以及承载盘，所述旋转装置安装于所述机架上，所述旋转装置的输出端与所述承载盘连接并驱使该承载盘转动，所述承载盘的顶面凹陷形成有与匀胶铬版相匹配的矩形的放置部，所述放置部内开设有贯穿所述承载盘的吸孔并通过所述吸孔与外界的抽真空装置连接。

作进一步改进，所述承载盘的顶面还开设有用于将匀胶铬版上多余的胶导流以离开所述承载盘的若干导流槽，所述导流槽布置于所述放置部的周侧，且所述导流槽的一端与所述放置部的角位相连通。

作进一步改进，所述放置部的顶面还向上凸设有用于将匀胶铬版的顶面顶起至凸出于所述放置部的第一凸环。

作进一步改进，所述放置部被所述第一凸环所包围的顶面还向上凸设有第二凸环，所述第二凸环上开设有若干贯穿其侧壁的缺口。

作进一步改进，所述匀胶铬版自动旋涂机还包括用于防止抽真空装置在抽真空时漏气的密封圈，所述承载盘的底面设置有环形的放置槽，所述密封圈放置于该放置槽内。

作进一步改进，所述匀胶铬版自动旋涂机还包括用于对放置于所述放置部上的匀胶铬版进行加热的加热板和用于将所述加热板与外界电源连接的导电环，所述加热板通过所述导电环与外界电源连接，所述承载盘上开设有用于安装所述加热板的容置空间，所述容置空间位于所述放置部的正下方，所述加热板放置于所述容置空间内，所述导电环套设于所述旋转装置的旋转轴上。

作进一步改进，所述匀胶铬版自动旋涂机还包括用于顶升匀胶铬版的升降装置，所述升降装置与所述旋转装置的输出端连接，所述承载盘放置于所述升降装置上，且所述承载盘上开设有供所述升降装置的输出端伸缩用的升降孔。

作进一步改进，所述升降孔至少有四个，且所述升降孔均匀地布置于所述第一凸环的周侧。

作进一步改进，所述承载盘上还开设有用于将所述承载盘锁紧于所述旋转装置的输出端的若干锁固孔，所述锁固孔均匀地布置于所述第一凸环的周侧。

作进一步改进，所述第一凸环的顶面和所述第二凸环的顶面相平齐。

本发明的有益效果：由于旋转装置安装于所述机架上，且旋转装置的输出端与承载盘连接并驱使该承载盘转动，与此同时，承载盘的顶面凹陷形成有与匀胶铬版相匹配的矩形的放置部，且该放置部内开设有贯穿承载盘的吸孔并通过该吸孔与外界的抽真空装置连接。因此在实际的使用过程中，可以通过将匀胶铬版放置于该放置部上从而实现了对该匀胶铬版的卡合固定，同时，还可以通过位于放置部的吸孔对匀胶铬版进行吸附，使得在本发明的匀胶铬版自动旋涂机的工作过程中，不但可以通过旋转装置带动匀胶铬版旋转从而使得对匀胶铬版的涂胶更加均匀，而且匀胶铬版始终被稳定地吸附在放置部内而不容易被甩出以致于受损。

下面结合附图与具体实施方式，对本发明进一步说明。

附图说明

图1为本发明的匀胶铬版自动旋涂机的整体结构示意图；

图2为本发明的承载盘的立体结构示意图；

图3为本发明的承载盘的正视图；

图4为本发明的承载盘的侧面结构示意图。

图中：100.匀胶铬版自动旋涂机，10.机架，20.旋转装置，30.承载盘，31.放置部，31a.吸孔，32.导流槽，311.第一凸环，312.第二凸环，40.密封圈，30a.放置槽，50.加热板，60.导电环，30b.容置空间，30c.升降孔，30d.锁固孔，33.卡合部，70.升降装置，312a.缺口。

具体实施方式

以下所述仅为本发明的较佳实施例，并不因此而限定本发明的保护范围。

请参考图1至图4，本发明的匀胶铬版自动旋涂机100包括机架10、旋转装置20以及承载盘30。旋转装置20安装于机架10上，旋转装置20的输出端与承载盘30连接并驱使该承载盘30转动，承载盘30的顶面凹陷形成有与匀胶铬版相匹配的矩形的放置部31，放置部31内开设有贯穿承载盘30的吸孔31a并通过吸孔31a与外界的抽真空装置连接。较优的是，吸孔31a位于放置部31的中心位置处，即位于放置部31的两条对角线的相交点，以便于在承载盘30旋转的过程中始终保持匀胶铬版的稳定，但不限于此。举例而言，承载盘30的横截面呈圆形，以便于在旋转装置20带动承载盘30旋转的时候可以使得承载盘30更加顺畅地转动而不会受到很大的风阻，但不限于此。

请参考图2和图3，承载盘30的顶面还开设有用于将匀胶铬版上多余的胶导流以离开承载盘30的若干导流槽32，导流槽32布置于放置部31的周侧，且导流槽32的一端与放置部31的角位相连通。举例而言，导流槽32有四条，且导流槽32与放置部31的对角线位于同一直线上，因此当承载盘30被旋转装置20驱使而转动的时候，多余的胶水会从导流槽32流走。

请继续参考图2和图3，放置部31的顶面还向上凸设有用于将匀胶铬版的顶面顶起至凸出于放置部31的第一凸环311，因此当匀胶铬版被涂胶后不会堆积边胶。举例而言，第一凸环311的高度主要是为了将匀胶铬版的顶面顶起至稍微凸出于放置部31，例如凸出于放置部3的高度为1mm至20mm，以防止过度凸出的匀胶铬版扰风。与此同时，放置部31被第一凸环311所包围的顶面还向上凸设有第二凸环312，第二凸环312上开设有若干贯穿其侧壁的缺口312a，吸孔31a被第二凸环312所包围，且由于第一凸环311的顶面和第二凸环312的顶面相平齐的，因此承载盘30是同时被第一凸环311和第二凸环312所支撑，且当吸孔31a对承载盘30进行吸附的时候，吸力可以均匀布满第一凸环311所包围的空间，但不限于此。举例而言，第一凸环311和第二凸环312可以是圆环，也可以是四边形环等，故在此并不作进一步限定。

请参考图4，匀胶铬版自动旋涂机100还包括用于防止抽真空装置在抽真空时漏气的密封圈40，承载盘30的底面设置有环形的放置槽30a，密封圈40放置于该放置槽30a内，因此可以保证抽真空装置与承载盘30之间的密封性良好。

请参考图1，匀胶铬版自动旋涂机100还包括用于对放置于放置部31上的匀胶铬版进行加热的加热板50和用于将加热板50与外界电源连接的导电环60，加热板50通过导电环60与外界电源连接，承载盘30上开设有用于安装加热板50的容置空间30b，容置空间30b位于放置部31的正下方，加热板50放置于容置空间30b内，导电环60套设于旋转装置20的旋转轴上，故在实际的工作过程中，还可以通过导电环60将外界电源与加热板50连接，从而使得加热板50对放置于放置部31上的匀胶铬版进行加热，使得本发明的匀胶铬版自动旋涂机100还可以满足而且可以满足有特殊温度要求的胶液的使用需求，以此得到理想的成膜效果，但不限于此。

请继续参考图1，匀胶铬版自动旋涂机100还包括用于顶升匀胶铬版的升降装置70，升降装置70与旋转装置20的输出端连接，承载盘30放置于升降装置70上，且承载盘30上开设有供升降装置70的输出端伸缩用的升降孔30c。具体地，升降孔30c至少有四个，且升降孔30c均匀地布置于第一凸环311的周侧，因此在实际使用的时候，可以通过升降装置70的输出端实现将匀胶铬版放置于放置部31上或者将涂胶完成的匀胶铬版顶出，避免采用人工将匀胶铬版进行取放而导致损坏匀胶铬版或者污染匀胶铬版的情况出现。

请参考图2和图3，承载盘30上还开设有用于将承载盘30锁紧于旋转装置20的输出端的若干锁固孔30d，锁固孔30d均匀地布置于第一凸环311的周侧，故在实际使用的时候，可以通过螺丝穿过该锁固孔30d并将承载盘30锁紧于升降装置70上，但不限于此。如图4所示，承载盘30的底部还凹陷形成有卡合部33，该卡合部33呈矩形，且该卡合部33与升降装置70的输出端相匹配，锁固孔30d位于卡合部33的正上方，且锁固孔30d连通该卡合部33以及上述的放置部31，因此在实际使用的时候可以进一步确保承载盘30与升降装置70的输出端二者稳固地连接。举例而言，升降装置70可以是气缸或者其他本领域技术人员所常用的直线驱动装置，故在此并不作进一步限定。

值得注意的是，本发明的承载盘30是一体式结构，以便于加强承载盘30的结构稳定性，但不以此为限。

本发明的有益效果：由于旋转装置20安装于机架10上，且旋转装置20的输出端与承载盘30连接并驱使该承载盘30转动，与此同时，承载盘30的顶面凹陷形成有与匀胶铬版相匹配的矩形的放置部31，且该放置部31内开设有贯穿承载盘30的吸孔31a并通过该吸孔31a与外界的抽真空装置连接。因此在实际的使用过程中，可以通过将匀胶铬版放置于该放置部31上从而实现了对该匀胶铬版的卡合固定，同时，还可以通过位于放置部31的吸孔31a对匀胶铬版进行吸附，使得在本发明的匀胶铬版自动旋涂机100的工作过程中，不但可以通过旋转装置20带动匀胶铬版旋转从而使得对匀胶铬版的涂胶更加均匀，而且匀胶铬版始终被稳定地吸附在放置部31内而不容易被甩出以致于受损。

本发明并不限于上述实施方式，采用与本发明上述实施例相同或近似结构、装置、工艺或方法，而得到的其他用于匀胶铬版自动旋涂机，均在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种匀胶铬版自动旋涂机，其特征在于：包括机架、旋转装置以及承载盘，所述旋转装置安装于所述机架上，所述旋转装置的输出端与所述承载盘连接并驱使该承载盘转动，所述承载盘的顶面凹陷形成有与匀胶铬版相匹配的矩形的放置部，所述放置部内开设有贯穿所述承载盘的吸孔并通过所述吸孔与外界的抽真空装置连接。

2.根据权利要求1所述的匀胶铬版自动旋涂机，其特征在于：所述承载盘的顶面还开设有用于将匀胶铬版上多余的胶导流以离开所述承载盘的若干导流槽，所述导流槽布置于所述放置部的周侧，且所述导流槽的一端与所述放置部的角位相连通。

3.根据权利要求1所述的匀胶铬版自动旋涂机，其特征在于：所述放置部的顶面还向上凸设有用于将匀胶铬版的顶面顶起至凸出于所述放置部的第一凸环。

4.根据权利要求3所述的匀胶铬版自动旋涂机，其特征在于：所述放置部被所述第一凸环所包围的顶面还向上凸设有第二凸环，所述第二凸环上开设有若干贯穿其侧壁的缺口。

5.根据权利要求1所述的匀胶铬版自动旋涂机，其特征在于：还包括用于防止抽真空装置在抽真空时漏气的密封圈，所述承载盘的底面设置有环形的放置槽，所述密封圈放置于该放置槽内。

6.根据权利要求1所述的匀胶铬版自动旋涂机，其特征在于：还包括用于对放置于所述放置部上的匀胶铬版进行加热的加热板和用于将所述加热板与外界电源连接的导电环，所述加热板通过所述导电环与外界电源连接，所述承载盘上开设有用于安装所述加热板的容置空间，所述容置空间位于所述放置部的正下方，所述加热板放置于所述容置空间内，所述导电环套设于所述旋转装置的旋转轴上。

7.根据权利要求3所述的匀胶铬版自动旋涂机，其特征在于：还包括用于顶升匀胶铬版的升降装置，所述升降装置与所述旋转装置的输出端连接，所述承载盘放置于所述升降装置上，且所述承载盘上开设有供所述升降装置的输出端伸缩用的升降孔。

8.根据权利要求7所述的匀胶铬版自动旋涂机，其特征在于：所述升降孔至少有四个，且所述升降孔均匀地布置于所述第一凸环的周侧。

9.根据权利要求1所述的匀胶铬版自动旋涂机，其特征在于：所述承载盘上还开设有用于将所述承载盘锁紧于所述旋转装置的输出端的若干锁固孔，所述锁固孔均匀地布置于所述第一凸环的周侧。

10.根据权利要求4所述的匀胶铬版自动旋涂机，其特征在于：所述第一凸环的顶面和所述第二凸环的顶面相平齐。

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