CN219625866U - 一种大尺寸版架 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种大尺寸版架，涉及光掩膜基板技术领域，包括壳体，所述壳体内侧设置有支撑台，所述壳体内侧设置有定位机构；所述定位机构包括转动台和移动块，所述转动台顶部表面设置有螺旋状滑槽，所述滑槽位于支撑台内侧，所述转动台位于支撑台下方，所述转动台上方设置有三个滑动块，所述滑动块底部固定连接有移动块，所述移动块底部固定连接有多个卡块，所述卡块位于滑槽内部，所述滑动块一侧固定连接有挤压垫。本实用新型将大尺寸版架放置在三个限位块内侧，然后通过转动轴、驱动齿轮、齿条、转动台、滑槽和卡块可以控制三个滑动块移动，然后通过三个挤压垫将需要加工的大尺寸版架定位好，可以适应于不同尺寸的基板。
Description
技术领域
本实用新型涉及光掩膜基板技术领域，尤其涉及一种大尺寸版架。
背景技术
光掩膜基板在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版。
现有技术中，如中国专利CN206833141U公开了一种用于光刻的版架，包括真空承载盘，真空承载盘的中部设置有真空环槽，真空承载盘上还设置有真空接口，真空环槽内设置有与真空接口相连通的连通孔，真空承载盘的上部设置有可以拆卸更换的掩膜板。本实用新型中真空承载盘、真空环槽以及掩膜板的配合设计，能够有效地保证接触的紧密程度，并可以对晶片损伤程度降到最低的曝光；该实用新型制得的晶片光刻线条和设计偏差小，线条尺寸均匀性好，且操作简单方便。
但是，在进行光刻工艺时，需要通过版架将光掩膜基板的基板进行定位，在对基板固定时，在对大尺寸版架定位时，由于不同基板的尺寸不同，而且一般的版架不能根据基板随意调整，所以需要更换另外的版架，因此需要对不同的基板提供不同的版架。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有的技术中存在在进行光刻工艺时，需要通过版架将光掩膜基板的基板进行定位，在对基板固定时，在对大尺寸版架定位时，由于不同基板的尺寸不同，而且一般的版架不能根据基板随意调整，所以需要更换另外的版架，因此需要对不同的基板提供不同的版架的问题，而提出的一种大尺寸版架。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种大尺寸版架，包括壳体，所述壳体内侧设置有支撑台，所述壳体内侧设置有定位机构；
所述定位机构包括转动台和移动块，所述转动台顶部表面设置有螺旋状滑槽，所述滑槽位于支撑台内侧，所述转动台位于支撑台下方，所述转动台上方设置有三个滑动块，所述滑动块底部固定连接有移动块，所述移动块底部固定连接有多个卡块，所述卡块位于滑槽内部，所述滑动块一侧固定连接有挤压垫，所述转动台底部设置有齿条，所述齿条底部设置有驱动齿轮，所述驱动齿轮内侧设置有转动轴。
优选的，所述转动轴与驱动齿轮固定连接，所述驱动齿轮与齿条啮合。
优选的，所述齿条为环形结构，所述转动轴一端向内凹槽设置有插接口。
优选的，所述支撑台表面开设有三个限位槽，所述移动块滑动设置在限位槽内部。
优选的，所述转动台边缘与壳体内壁转动连接，所述支撑台外表面与壳体内表面固定连接。
优选的，所述支撑台固定设置有三个限位块，所述限位块和挤压垫均为弧形结构。
优选的，三个所述限位块间距大于挤压垫切面宽度，且三个所述限位块以支撑台中心为圆心均匀分布在支撑台表面。
与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于：
1、本实用新型中，将大尺寸版架放置在三个限位块内侧，然后通过转动轴、驱动齿轮、齿条、转动台、滑槽和卡块可以控制三个滑动块移动，然后通过三个挤压垫将需要加工的大尺寸版架定位好，可以适应于不同尺寸的基板。
2、本实用新型中，通过挤压垫可以将支撑台表面的大尺寸版架定位时，移动槽可以在限位槽的导向和限位下，会在限位槽内部移动，可以稳定准确将大尺寸版架定位好。
附图说明
图1为本实用新型提出一种大尺寸版架的立体图；
图2为本实用新型提出一种大尺寸版架的支撑台和转动台立体图；
图3为本实用新型提出一种大尺寸版架的转动台底部立体图；
图4为本实用新型提出一种大尺寸版架的转动台表面立体图。
图例说明：1、壳体；11、支撑台；12、限位块；13、限位槽；2、定位机构；21、滑动块；211、移动块；212、卡块；22、挤压垫；23、转动轴；231、插接口；24、驱动齿轮；25、转动台；251、齿条；26、滑槽。
具体实施方式
为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种大尺寸版架，包括壳体1，壳体1内侧设置有支撑台11，壳体1内侧设置有定位机构2；
定位机构2包括转动台25和移动块211，转动台25顶部表面设置有螺旋状滑槽26，滑槽26位于支撑台11内侧，转动台25位于支撑台11下方，转动台25上方设置有三个滑动块21，滑动块21底部固定连接有移动块211，移动块211底部固定连接有多个卡块212，卡块212位于滑槽26内部，滑动块21一侧固定连接有挤压垫22，转动台25底部设置有齿条251，齿条251底部设置有驱动齿轮24，驱动齿轮24内侧设置有转动轴23；转动轴23与驱动齿轮24固定连接，驱动齿轮24与齿条251啮合。
将大尺寸版架防止在三个限位块12内侧时，通过拧动转动轴23转动，接着，转动轴23表面的驱动齿轮24也会一起转动，由于驱动齿轮24和齿条251啮合，齿条251在驱动齿轮24的带动下，可以带动转动台25转动，然后，转动台25转动时，通过滑槽26配合卡块212可以控制移动块211移动，当移动块211移动时，移动块211可以在限位槽13的限位下，沿着限位槽13轨迹进行移动，最后，滑动块21在移动块211带动下，通过三个挤压垫22将大尺寸版架夹持住，便于将不同尺寸的大尺寸版架定位好。
如图2-4所示，齿条251为环形结构，转动轴23一端向内凹槽设置有插接口231；支撑台11表面开设有三个限位槽13，移动块211滑动设置在限位槽13内部；转动台25边缘与壳体1内壁转动连接，支撑台11外表面与壳体1内表面固定连接；支撑台11固定设置有三个限位块12，限位块12和挤压垫22均为弧形结构；三个限位块12间距大于挤压垫22切面宽度，且三个限位块12以支撑台11中心为圆心均匀分布在支撑台11表面，通过插接口231可以与相匹配的把手进行插接，然后通过把手旋转转动轴23，可以降低转动的难度，当转动台25底部的齿条251在驱动齿轮24的带动下转动时，可以方便控制三个滑动块21移动，进行定位大尺寸版架，接着，挤压垫22在移动定位大尺寸版架时，会穿过两个限位板之间的间隙，通过限位块12可以在放置大尺寸版架时起初步限位的效果。
本装置的使用方法及工作原理：将大尺寸版架防止在三个限位块12内侧时，通过拧动转动轴23转动，接着，转动轴23表面的驱动齿轮24也会一起转动，由于驱动齿轮24和齿条251啮合，齿条251在驱动齿轮24的带动下，可以带动转动台25转动，然后，转动台25转动时，通过滑槽26配合卡块212可以控制移动块211移动，当移动块211移动时，移动块211可以在限位槽13的限位下，沿着限位槽13轨迹进行移动，最后，滑动块21在移动块211带动下，通过三个挤压垫22将大尺寸版架夹持住，也可以方便将不同尺寸的版架定位好。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。
Claims (7)
1.一种大尺寸版架，包括壳体(1)，所述壳体(1)内侧设置有支撑台(11)，其特征在于：所述壳体(1)内侧设置有定位机构(2)；
所述定位机构(2)包括转动台(25)和移动块(211)，所述转动台(25)顶部表面设置有螺旋状滑槽(26)，所述滑槽(26)位于支撑台(11)内侧，所述转动台(25)位于支撑台(11)下方，所述转动台(25)上方设置有三个滑动块(21)，所述滑动块(21)底部固定连接有移动块(211)，所述移动块(211)底部固定连接有多个卡块(212)，所述卡块(212)位于滑槽(26)内部，所述滑动块(21)一侧固定连接有挤压垫(22)，所述转动台(25)底部设置有齿条(251)，所述齿条(251)底部设置有驱动齿轮(24)，所述驱动齿轮(24)内侧设置有转动轴(23)。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸版架，其特征在于：所述转动轴(23)与驱动齿轮(24)固定连接，所述驱动齿轮(24)与齿条(251)啮合。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸版架，其特征在于：所述齿条(251)为环形结构，所述转动轴(23)一端向内凹槽设置有插接口(231)。
4.根据权利要求1所述的一种大尺寸版架，其特征在于：所述支撑台(11)表面开设有三个限位槽(13)，所述移动块(211)滑动设置在限位槽(13)内部。
5.根据权利要求1所述的一种大尺寸版架，其特征在于：所述转动台(25)边缘与壳体(1)内壁转动连接，所述支撑台(11)外表面与壳体(1)内表面固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种大尺寸版架，其特征在于：所述支撑台(11)固定设置有三个限位块(12)，所述限位块(12)和挤压垫(22)均为弧形结构。
7.根据权利要求6所述的一种大尺寸版架，其特征在于：三个所述限位块(12)间距大于挤压垫(22)切面宽度，且三个所述限位块(12)以支撑台(11)中心为圆心均匀分布在支撑台(11)表面。
Priority Applications (1)
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Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
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| CN202320810506.3U Active CN219625866U (zh) | 2023-04-13 | 2023-04-13 | 一种大尺寸版架 |
Country Status (1)
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2023
- 2023-04-13 CN CN202320810506.3U patent/CN219625866U/zh active Active
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