CN209104127U - 一种晶舟转盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了晶圆上、下料领域内的一种晶舟转盘，包括固定底盘，固定底盘中部设有支撑柱，支撑柱上端转动连接有转动盘，固定底盘上侧左右对称设置有1对球头柱塞，球头柱塞竖直设置，转动盘下表面支撑在两球头柱塞的球头上，所述转动盘的下表面周向均布有4个定位孔，所述球头与定位孔对应设置，所述转动盘的上表面左右对称开设有2个定位槽，定位槽呈条状，2个定位槽的轴线互相平行，所述转动盘上放置有晶舟，晶舟底部左右对称设有2个条状底垫，所述底垫卡入对应定位槽内。本实用新型通过转盘导向可以有效地降低石英晶舟的底部磨损，提高作业效率及产品合格率，节约公司成本。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆上、下料领域，特别涉及一种晶舟转盘。
背景技术
现有技术中，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶舟采用石英制成，是用来盛放晶圆的治具，晶舟内可以容纳多个晶圆。现有技术中，车间操作人员采用手动旋转石英晶舟，然后在晶舟的前后两侧上、下挡片，挡片可以保护晶圆；其不足之处在于：其一，石英晶舟底部会有磨损，且会产生颗粒，造成晶圆产品污染；其二，作业繁琐，操作人员在石英晶舟的正面加完第一片挡片后，需要再将晶舟旋转180°至晶舟背面加第二片挡片。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种晶舟转盘，通过转盘导向可以有效地降低石英晶舟的底部磨损，提高作业效率及产品合格率，节约公司成本。
本实用新型的目的是这样实现的：一种晶舟转盘，包括固定底盘，固定底盘中部设有支撑柱，支撑柱上端转动连接有转动盘，固定底盘上侧左右对称设置有1对球头柱塞，球头柱塞竖直设置，转动盘下表面支撑在两球头柱塞的球头上，所述转动盘的下表面周向均布有4个定位孔，所述球头与定位孔对应设置，所述转动盘的上表面左右对称开设有2个定位槽，定位槽呈条状，2个定位槽的轴线互相平行，所述转动盘上放置有晶舟，晶舟底部左右对称设有2个条状底垫，所述底垫卡入对应定位槽内。
本实用新型工作时，将装有晶圆的晶舟底垫对应卡入转动盘的定位槽内，在晶舟的正面上料挡片，然后将转动盘旋转至晶舟的背面，由于转动盘的下表面均匀分布有4个定位孔，转动盘转过180°后球头与第3个定位孔对应起来，转动盘正好定位，在晶舟的背面继续上料挡片；然后再旋转转动盘90°，至可以方便上料的位置。下料时，先将一面的挡片进行下料，再旋转转动盘180°至另一面挡片，进行下料，最后旋转转动盘至晶舟的正面进行晶圆的下料。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：通过转盘导向可以有效地降低石英晶舟的底部磨损，提高作业效率及产品合格率，节约公司成本。
作为本实用新型的进一步改进，所述转动盘的边缘设置有2个左右对称的弧形把手。把手便于操作人员旋转转动盘。
作为本实用新型的进一步改进，所述固定底盘上位于支撑柱的外周开设有若干贯穿孔。贯穿孔可以增大摩擦力，防止旋转转动盘时固定底盘移动。
作为本实用新型的进一步改进，所述转动盘通过平面轴承与支撑柱转动连接。平面轴承承受转动盘的轴向力。
为了更好地固定晶圆，所述晶舟在水平方向的截面积从上到下递减。
作为本实用新型的进一步改进，所述固定底盘和转动盘均采用POM板制成。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为装载有晶圆的晶舟的俯视图。
图3为转动盘的俯视图。
图4为转动盘的仰视图。
图5为固定底盘的仰视图。
其中，1固定底盘，2支撑柱，3平面轴承，4转动盘，5球头柱塞，5a球头，6定位孔，7定位槽，8晶舟，8a底垫，9把手，10贯穿孔，11晶圆。
具体实施方式
如图1-5所示，为一种晶舟转盘，包括固定底盘1，固定底盘1中部设有支撑柱2，支撑柱2上端转动连接有转动盘4，固定底盘1上侧左右对称设置有1对球头柱塞5，球头柱塞5竖直设置，转动盘4下表面支撑在两球头柱塞5的球头5a上，转动盘4的下表面周向均布有4个定位孔6，球头5a与定位孔6对应设置，转动盘4的上表面左右对称开设有2个定位槽7，定位槽7呈条状，2个定位槽7的轴线互相平行，转动盘4上放置有晶舟8，晶舟8底部左右对称设有2个条状底垫8a，底垫8a卡入对应定位槽7内。转动盘4的边缘设置有2个左右对称的弧形把手9。固定底盘1上位于支撑柱2的外周开设有若干贯穿孔10。转动盘4通过平面轴承3与支撑柱2转动连接。晶舟8在水平方向的截面积从上到下递减。固定底盘1和转动盘4均采用POM板制成。
本装置工作时，将装有晶圆11的晶舟8底垫8a对应卡入转动盘4的定位槽7内，在晶舟8的正面上料挡片，然后将转动盘4旋转至晶舟8的背面，由于转动盘4的下表面均匀分布有4个定位孔6，转动盘4转过180°后球头5a与第3个定位孔6对应起来，转动盘4正好定位，在晶舟8的背面继续上料挡片；然后将转动盘4旋转90°，至可以方便上料的位置。下料时，先将一面的挡片进行下料，再将转动盘4旋转180°至另一面挡片，进行下料，最后旋转转动盘4至晶舟8的正面进行晶圆11的下料。本装置通过转盘导向可以有效地降低石英晶舟8的底部磨损，提高作业效率及产品合格率，节约公司成本。
本实用新型并不局限于上述实施例，在本实用新型公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。
Claims (6)
1.一种晶舟转盘，其特征在于，包括固定底盘，固定底盘中部设有支撑柱，支撑柱上端转动连接有转动盘，固定底盘上侧左右对称设置有1对球头柱塞，球头柱塞竖直设置，转动盘下表面支撑在两球头柱塞的球头上，所述转动盘的下表面周向均布有4个定位孔，所述球头与定位孔对应设置，所述转动盘的上表面左右对称开设有2个定位槽，定位槽呈条状，2个定位槽的轴线互相平行，所述转动盘上放置有晶舟，晶舟底部左右对称设有2个条状底垫，所述底垫卡入对应定位槽内。
2.根据权利要求1所述的一种晶舟转盘，其特征在于，所述转动盘的边缘设置有2个左右对称的弧形把手。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶舟转盘，其特征在于，所述固定底盘上位于支撑柱的外周开设有若干贯穿孔。
4.根据权利要求1或2所述的一种晶舟转盘，其特征在于，所述转动盘通过平面轴承与支撑柱转动连接。
5.根据权利要求1或2所述的一种晶舟转盘，其特征在于，所述晶舟在水平方向的截面积从上到下递减。
6.根据权利要求1或2所述的一种晶舟转盘，其特征在于，所述固定底盘和转动盘均采用POM板制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201822048068.3U CN209104127U (zh) | 2018-12-07 | 2018-12-07 | 一种晶舟转盘 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201822048068.3U CN209104127U (zh) | 2018-12-07 | 2018-12-07 | 一种晶舟转盘 |
Publications (1)
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| CN209104127U true CN209104127U (zh) | 2019-07-12 |
Family
ID=67162542
Family Applications (1)
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| CN201822048068.3U Active CN209104127U (zh) | 2018-12-07 | 2018-12-07 | 一种晶舟转盘 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209104127U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112161982A (zh) * | 2020-09-04 | 2021-01-01 | 深圳瑞波光电子有限公司 | 检测治具和检测装置 |
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2018
- 2018-12-07 CN CN201822048068.3U patent/CN209104127U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN112161982A (zh) * | 2020-09-04 | 2021-01-01 | 深圳瑞波光电子有限公司 | 检测治具和检测装置 |
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