CN111893465A - 一种降低lds工艺中化镀层粗糙度的化学镀液、方法及化学镀滚筒 - Google Patents

一种降低lds工艺中化镀层粗糙度的化学镀液、方法及化学镀滚筒 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法,包括如下步骤:提供一基板;激光活化处理,利用LDS技术对所述基板的表面进行激光活化,得到导电区域;化学镀,将经过激光活化处理的待镀基板置于装有化学镀液的滚筒内,于导电区域形成化镀层,化学镀液中添加有研磨颗粒,同时对化镀层进行打磨,降低化镀层的表面粗糙度,本发明提供的一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法,将产品置于滚筒中进行化学镀时,由于化学镀液中添加有研磨颗粒,进行化学镀时,研磨颗粒与化镀层之间进行摩擦,通对化镀层的表面进行打磨,降低化镀层的表面粗糙度,同时操作简单,也无需增加过高的生产成本。

Description

一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的化学镀液、方法及化学镀 滚筒
技术领域
本发明属于LDS技术领域,尤其涉及一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的化学镀液、方法及化学镀滚筒。
背景技术
激光直接结构化(LDS)技术,利用计算机按照导电图形的轨迹控制激光的运动,将激光投照到塑料器件上,在几秒钟的时间内,活化出电路图案。激光直接结构化(LDS)技术主要应用于通讯产品上,激光直接结构化(LDS)技术的原理具体为,通过激光镭射把含有金属离子塑胶表面气化,在塑胶表面暴露金属离子以及表面形成蜂窝状孔洞,从而使产品在化镀的槽液里能够沉积镀上金属,这样镀层就和塑胶之间形成牢固的结合力,目前通过激光直接结构化(LDS)技术获得的产品,其最外层的化镀层的粗糙度值为Ra 2~5um甚至更大。
现有的精密半导体线路连接是通过键合的工艺来实现,键合工艺对键合表面的粗糙度值要求比较高,粗糙度值过大容易导致键合线脱点问题的发生,特别是对于小尺寸的键合点,更容易在键合后出现脱点情形,另外,化镀层的粗糙度值过高时,会导致产品的厚度增加,限制其应用。
发明内容
本发明的目的是提供一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的化学镀液、方法及化学镀滚筒,化镀层的表面粗糙度小于1.5μm,同时操作简单。
为解决上述问题,本发明的技术方案为:
一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法,包括如下步骤:
提供一基板;
激光活化处理,利用LDS技术对所述基板的表面进行激光活化,得到导电区域;
化学镀,将经过激光活化处理的待镀基板置于装有化学镀液的滚筒内,于所述导电区域形成化镀层,所述化学镀液中添加有研磨颗粒,同时对所述化镀层进行打磨,降低所述化镀层的表面粗糙度。
优选地,所述化镀层的表面粗糙度小于1.5μm。
优选地,所述研磨颗粒的材质为氧化锆。
优选地,所述研磨颗粒的直径为1mm~3mm。
基于相同的发明构思,本发明还提供了一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的化学镀液,包括氢氧化钠、甲醛、氯化铜、乙二胺四乙酸、稳定剂及研磨颗粒,所述氢氧化钠的浓度为3~5g/L,所述甲醛的浓度为3~5g/L,所述氯化铜的浓度为1.5~2.5g/L,所述乙二胺四乙酸的浓度为0.11~0.13mol/L,所述稳定剂的浓度为1~2ml/L,所述研磨颗粒的重量百分比为5%~10%。
优选地,所述研磨颗粒的材质为氧化锆。
基于相同的发明构思,本发明还提供了一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的化学镀滚筒,包括滚筒本体及若干隔板;
所述滚筒本体具有一内腔体,若干所述隔板沿周向呈射线状分布于所述内腔体内,所述隔板的一端与所述内腔体的腔壁相连,所述隔板的另一端朝向所述内腔体的中心。
优选地,所述化学镀滚筒的形状为正六边形。
优选地,所述化学镀滚筒的材料为PVC、有机玻璃或聚四氟乙烯的非导体材料。
本发明由于采用以上技术方案,使其与现有技术相比具有以下的优点和积极效果:
1)本发明提供了一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法,包括如下步骤:提供一基板;激光活化处理,利用LDS技术对所述基板的表面进行激光活化,得到导电区域;化学镀,将经过激光活化处理的待镀基板置于装有化学镀液的滚筒内,于导电区域形成化镀层,化学镀液中添加有研磨颗粒,同时对化镀层进行打磨,降低化镀层的表面粗糙度,本发明提供的一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法,将产品置于滚筒中进行化学镀时,由于化学镀液中添加有研磨颗粒,进行化学镀时,研磨颗粒与化镀层之间进行摩擦,通对化镀层的表面进行打磨,降低化镀层的表面粗糙度,同时操作简单,也无需增加过高的生产成本。
2)本发明还提供了一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的化学镀滚筒,包括滚筒本体及若干隔板;滚筒本体具有一内腔体,若干隔板沿周向呈射线状分布于内腔体内,隔板的一端与内腔体的腔壁相连,隔板的另一端朝向内腔体的中心,通过增加隔板,使研磨小球和产品有更多的摩擦机会,避免研磨小球因为重量原因都沉积在底部,进而降低摩擦效率。
附图说明
图1为化镀层表面的粗糙度值对键合的影响;
图2为本发明实施例提供的一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法的流程图;
图3为现有技术的化镀工艺的示意图;
图4为现有技术的化镀工艺制得的产品示意图;
图5为本发明实施例提供的一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法的示意图;
图6为本发明实施例提供的一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法制得的产品示意图;
图7为本发明实施例提供的一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的化学镀滚筒的结构图。
附图标记说明:
1:研磨颗粒;2:化学镀滚筒;21:滚筒本体;22:隔板。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明提出的一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的化学镀液、方法及化学镀滚筒作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书,本发明的优点和特征将更清楚。
现有的精密半导体线路连接是通过键合的工艺来实现,而直接在塑胶材料的化镀层上进行键合还没有完全实现,主要原因是在于现有LDS工艺中化镀层的粗糙度过高,进而在键合过程中,焊接点不能良好的焊接上,参看图1所示,如图1a所示,当化镀层表面粗糙时,焊接点与化镀层的连接不可靠,图图1b所示,当化镀层表面粗糙度较小时,焊接点与化镀层的连接稳定。
实施例一
参看图2所示,本发明提供了一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法,包括如下步骤:
提供一基板,基板为可LDS基板;
激光活化处理,利用LDS技术对所述基板的表面进行激光活化,得到导电区域;
化学镀,将经过激光活化处理的待镀基板置于装有化学镀液的滚筒内,于导电区域形成化镀层,化学镀液中添加有研磨颗粒1,同时对化镀层进行打磨,降低化镀层的表面粗糙度。
在现有技术的基础上,本发明提供的一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法主要对化学镀步骤进行了改进,参看图3所示,图3为现有技术的化镀工艺的示意图,现有的化镀工艺为将待镀产品直接放入容纳有化学镀液的滚筒2里面进行化学镀,通常化镀后获得的化镀层的粗糙度为Ra 2~5um,参看图4所示。
本发明提供的一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法,其化学镀工艺的具体步骤为:将经过激光活化处理的待镀基板置于装有化学镀液的滚筒内,于导电区域形成化镀层,化学镀时间为180min,化学镀温度为48~52℃,优选为52℃,滚筒转速为8~12转/min,优选为10转/min。
参看图5所示,本发明提供的一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法中采用的化学镀液包括氢氧化钠、甲醛、氯化铜、乙二胺四乙酸、稳定剂及研磨颗粒,氢氧化钠的浓度为3~5g/L,优选为4g/L,甲醛的浓度为3~5g/L,优选为4g/L,氯化铜的浓度为1.5~2.5g/L,优选为2g/L,乙二胺四乙酸的浓度为0.11~0.13mol/L,优选为0.12mol/L,稳定剂的浓度为1~2ml/L,优选为1.5ml/L,研磨颗粒的重量百分比为5%~10%,优选为8%,待镀基板在滚筒中边旋转边进行化学镀,化学镀液中的研磨颗粒1跟随化镀产品在滚筒内旋转,并同时与化镀层之间进行摩擦,通过对化镀层的表面进行打磨,降低化镀层的表面粗糙度,参看图6所示,通过采用改善后的化学镀工艺获得的化镀层的表面粗糙度小于1.5μm。
本实施例中,粗糙度值采用轮廓算术平均偏差Ra参数进行评定,轮廓算术平均偏差的具体计算方法为在一定的取样长度内,轮廓上各点到轮廓中线距离绝对值的平均值,取样点越多,测量的值越精确。
在本实施例中,研磨颗粒1的选材要求为硬度高及耐磨性好,本实施例采用的研磨颗粒1的材质为氧化锆,其中,根据需要研磨的基板的内腔尺寸进行选择,氧化锆的直径为1mm~3mm不等。
为进一步降低化镀层的表面粗糙度,本发明对化学镀滚筒进一步进行了改进,参看图7所示,本发明提供的一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的化学镀滚筒包括滚筒本体21及若干隔板22;
滚筒本体21具有一内腔体,若干隔板22沿周向呈射线状分布于内腔体内,隔板22的一端与内腔体的腔壁相连,隔板22的另一端朝向内腔体的中心,在本实施例中,化学镀滚筒2的形状为正六边形,正六边形的边长为140mm,化学镀滚筒2的高度为640mm,其容量为35L左右,通过增加隔板,使研磨小球1和产品有更多的摩擦机会,避免因为重量原因都沉积在底部,进而降低摩擦效率。
在本实施例中,化学镀滚筒2的材料为PVC、有机玻璃或聚四氟乙烯的非导体材料。
上面结合附图对本发明的实施方式作了详细说明,但是本发明并不限于上述实施方式。即使对本发明作出各种变化,倘若这些变化属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则仍落入在本发明的保护范围之中。

Claims (9)

1.一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法,其特征在于,包括如下步骤:
提供一基板;
激光活化处理,利用LDS技术对所述基板的表面进行激光活化,得到导电区域;
化学镀,将经过激光活化处理的待镀基板置于装有化学镀液的滚筒内,于所述导电区域形成化镀层,所述化学镀液中添加有研磨颗粒,同时对所述化镀层进行打磨,降低所述化镀层的表面粗糙度。
2.根据权利要求1所述的降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法,其特征在于,所述化镀层的表面粗糙度小于1.5μm。
3.根据权利要求1所述的降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法,其特征在于,所述研磨颗粒的材质为氧化锆。
4.根据权利要求3所述的降低LDS工艺中化镀层粗糙度的方法,其特征在于,所述研磨颗粒的直径为1mm~3mm。
5.一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的化学镀液,其特征在于,包括氢氧化钠、甲醛、氯化铜、乙二胺四乙酸、稳定剂及研磨颗粒,所述氢氧化钠的浓度为3~5g/L,所述甲醛的浓度为3~5g/L,所述氯化铜的浓度为1.5~2.5g/L,所述乙二胺四乙酸的浓度为0.11~0.13mol/L,所述稳定剂的浓度为1~2ml/L,所述研磨颗粒的重量百分比为5%~10%。
6.根据权利要求5所述的降低LDS工艺中化镀层粗糙度的化学镀液,其特征在于,所述研磨颗粒的材质为氧化锆。
7.一种降低LDS工艺中化镀层粗糙度的化学镀滚筒,其特征在于,包括滚筒本体及若干隔板;
所述滚筒本体具有一内腔体,若干所述隔板沿周向呈射线状分布于所述内腔体内,所述隔板的一端与所述内腔体的腔壁相连,所述隔板的另一端朝向所述内腔体的中心。
8.根据权利要求7所述的降低LDS工艺中化镀层粗糙度的化学镀滚筒,其特征在于,所述化学镀滚筒的形状为正六边形。
9.根据权利要求7所述的降低LDS工艺中化镀层粗糙度的化学镀滚筒,其特征在于,所述化学镀滚筒的材料为PVC、有机玻璃或聚四氟乙烯的非导体材料。
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