CN111841250A - 工艺废气处理系统及处理方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种工艺废气处理系统及处理方法，属于煤化工领域。系统包括：通过管线顺次连通的第一吸收塔、水洗塔、第二吸收塔与硝酸增浓塔；第一吸收塔上连通有第一管线与第二管线，亚硝酸甲酯吸收剂通过第一管线进入第一吸收塔内，工艺废气通过第二管线进入第一吸收塔内；水洗塔与第二吸收塔上均连通有第三管线；水通过第三管线分别进入水洗塔与第二吸收塔内；第二吸收塔上连通有第四管线与第五管线，空气通过第四管线进入第二吸收塔内，处理后的工艺废气通过第五管线进入火炬系统被燃烧；第二吸收塔内具有为工艺废气中的一氧化氮与水、空气反应提供接触界面的填料，硝酸增浓塔进液端与第二吸收塔塔釜连通，出液端与第二吸收塔的塔顶连通。

Description

工艺废气处理系统及处理方法

技术领域

本发明涉及煤化工领域，特别涉及一种工艺废气处理系统及处理方法。

背景技术

合成气制草酸酯工艺采用合成气：一氧化碳、一氧化氮、亚硝酸甲酯、氧气和醇类为原料制备草酸酯。反应过程为一氧化氮、氧气及甲醇反应生成。亚硝酸甲酯与一氧化碳反应获得草酸酯。进行上述合成反应的装置内含有大量的工艺废气，如一氧化碳、亚硝酸甲酯、一氧化氮以及甲醇等。而合成工艺中会正常停车或需要对装置进行检修而停车，停车后需要对上述工艺废气进行处理，避免污染环境或对人体造成伤害。但由于上述工艺废气中含有大量的亚硝酸甲酯及一氧化氮等有毒气体，因此无法直接将工艺废气经火炬系统排放。在对工艺废气进行排放前需要先对氮氧化物进行处理。

相关技术通过将上述工艺废气通入用于提供热水的锅炉内煅烧后，生成二氧化氮，继续对二氧化氮进行脱硝处理，最后将处理后的工艺废气通入火炬燃烧系统排放。

发明人发现相关技术至少存在以下问题：

工艺废气送入锅炉煅烧不但会影响锅炉的正常工作，而且将工艺废气全部送进锅炉进行煅烧，造成了严重的资源浪费。

发明内容

本发明实施例提供了一种工艺废气处理系统及处理方法，可解决上述技术问题。具体技术方案如下：

一方面，提供了一种工艺废气处理系统，所述系统包括：通过管线顺次连通的第一吸收塔、水洗塔、第二吸收塔与硝酸增浓塔；

所述第一吸收塔上连通有第一管线与第二管线，亚硝酸甲酯吸收剂通过所述第一管线进入所述第一吸收塔内，工艺废气通过所述第二管线进入所述第一吸收塔内；

所述水洗塔与所述第二吸收塔上均连通有第三管线；水通过所述第三管线分别进入所述水洗塔与所述第二吸收塔内；

所述第二吸收塔上连通有第四管线与第五管线，空气通过所述第四管线进入所述第二吸收塔内，处理后的工艺废气通过所述第五管线进入火炬系统被燃烧；

所述第二吸收塔内具有为所述工艺废气中的一氧化氮与所述水、所述空气反应提供接触界面的填料；

所述硝酸增浓塔进液端与所述第二吸收塔塔釜连通，出液端与所述第二吸收塔塔顶连通。

在一种可选的实施方式中，所述系统还包括：气体分析仪、循环管与控制阀；

所述第一吸收塔与所述水洗塔之间、所述水洗塔与所述第二吸收塔之间、所述第二吸收塔与所述硝酸增浓塔之间的所述管线上均顺次具有所述气体分析仪、所述循环管与所述控制阀。

在一种可选的实施方式中，所述循环管包括：第一循环管、第二循环管与第三循环管；

所述第一循环管一端与所述第一吸收塔、所述水洗塔之间的管线连接，另一端与所述第一吸收塔连接，所述第二循环管一端与所述水洗塔、所述第二吸收塔之间的管线连接，另一端与所述水洗塔连接，所述第三循环管一端与所述第二吸收塔与所述硝酸增浓塔之间的管线连接，另一端与所述第二吸收塔连接。

在一种可选的实施方式中，所述系统还包括：精馏塔，所述精馏塔分别与所述第一吸收塔、所述水洗塔塔釜连通。

在一种可选的实施方式中，所述第一吸收塔、所述水洗塔、所述第二吸收塔以及所述硝酸增浓塔塔釜均设有循环冷却设备，所述循环冷却设备包括依次连接的换热器与水泵。

在一种可选的实施方式中，所述第一管线、所述第二管线、所述第三管线以及所述第四管线上均设有流量调节阀。

在一种可选的实施方式中，所述第一吸收塔塔釜设有第六管线，所述第六管线与所述精馏塔连通。

在一种可选的实施方式中，所述水洗塔塔釜设有第七管线，所述第七管线与所述精馏塔连通。

在一种可选的实施方式中，所述亚硝酸甲酯吸收剂为甲醇溶液。

另一方面，提供了一种工艺废气处理方法，所述方法用于上述任一项所述的系统；

所述方法包括：工艺废气通过具有亚硝酸甲酯吸收剂的第一吸收塔内，除去所述工艺废气中的亚硝酸甲酯，得到第一处理气体；

所述第一处理气体通过具有水的水洗塔内，除去所述第一处理气体中的甲醇，得到第二处理气体；

所述第二处理气体通过具有水与空气的第二吸收塔内，除去所述第二处理气体中的一氧化氮，并经过火炬系统燃烧后得到达标气体；

所述第二吸收塔内的水、空气与所述一氧化氮通过硝酸增浓塔增加浓度，得到达标处理液。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

工艺废气与亚硝酸甲酯吸收剂分别通过第二管线与第一管线通入第一吸收塔中，工艺废气中的亚硝酸甲酯溶解于亚硝酸甲酯吸收剂中，溶解有亚硝酸甲酯的亚硝酸甲酯吸收剂经第一吸收塔塔釜排出，除去了工艺废气中的亚硝酸甲酯。含有亚硝酸甲酯的亚硝酸甲酯吸收剂精馏后亚硝酸甲酯气体可以重新用于工业生产中。除去亚硝酸甲酯的工艺废气通入水洗塔内，并通过第三管线向水洗塔中通入水，工艺废气中的气体甲醇溶于水，将溶解有气体甲醇的水溶液经水洗塔塔釜排出，除去了工艺废气中的甲醇。含有甲醇气体的水溶液精馏后可以重新获得甲醇气体，用于工业生产。除去亚硝酸甲酯和甲醇的工艺废气通入第二吸收塔内，并通过第四管线与第三管线向第二吸收塔内通入空气和水，工艺废气中的一氧化氮与氧气发生氧化反应生成二氧化氮，二氧化氮溶于水，生成硝酸溶液。通过硝酸增浓塔增加生成硝酸的浓度，用于工业生产。经过上述系统处理的工艺废气中只含有一氧化碳，一氧化碳送入火炬系统进行燃烧处理后排放。

通过本发明实施例提供的系统对工艺废气处理后，提高了工艺废气的利用效率，避免了资源浪费。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的工艺废气处理系统示意图；

图2是本发明实施例提供的工艺废气处理系统示意图。

附图标记分别表示：

1-第一吸收塔，11-第一管线，12-第二管线，

2-水洗塔，21-第三管线，

3-第二吸收塔，31-第四管线，32-第五管线，

4-硝酸增浓塔，5-精馏塔，6-气体分析仪，7-循环管，8-控制阀。

具体实施方式

除非另有定义，本发明实施例所用的所有技术术语均具有与本领域技术人员通常理解的相同的含义。

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

一方面，本发明实施例提供了一种工艺废气处理系统，如图1或图2所示，该系统包括：通过管线顺次连通的第一吸收塔1、水洗塔2、第二吸收塔3与硝酸增浓塔4。

第一吸收塔1上连通有第一管线11与第二管线12，亚硝酸甲酯吸收剂通过第一管线11进入第一吸收塔1内，工艺废气通过第二管线12进入第一吸收塔1内。

水洗塔2与第二吸收塔3上均连通有第三管线21。水通过第三管线21分别进入水洗塔2与第二吸收塔3内。

第二吸收塔3上连通有第四管线31与第五管线32，空气通过第四管线31进入第二吸收塔3内，处理后的工艺废气通过第五管线32进入火炬系统被燃烧。

第二吸收塔3内具有为工艺废气中的一氧化氮与水、空气反应提供接触界面的填料；通过硝酸增浓塔4增加工艺废气中的一氧化氮与水、空气反应产物的浓度。

本发明实施例提供的处理系统的工作原理如下：

本发明实施例提供的处理系统，工艺废气与亚硝酸甲酯吸收剂分别通过第二管线12与第一管线11通入第一吸收塔1中，工艺废气中的亚硝酸甲酯溶解于亚硝酸甲酯吸收剂中，溶解有亚硝酸甲酯的亚硝酸甲酯吸收剂经第一吸收塔1塔釜排出，除去了工艺废气中的亚硝酸甲酯。含有亚硝酸甲酯的亚硝酸甲酯吸收剂精馏后亚硝酸甲酯气体可以重新用于工业生产中。除去亚硝酸甲酯的工艺废气通入水洗塔2内，并通过第三管线21向水洗塔2中通入水，工艺废气中的气体甲醇溶于水，将溶解有气体甲醇的水溶液经水洗塔2塔釜排出，除去了工艺废气中的甲醇。含有甲醇气体的水溶液精馏后可以重新获得甲醇气体，用于工业生产。除去亚硝酸甲酯和甲醇的工艺废气通入第二吸收塔3内，并通过第四管线31与第三管线21向第二吸收塔3内通入空气和水，工艺废气中的一氧化氮与氧气发生氧化反应生成二氧化氮，二氧化氮溶于水，生成硝酸溶液。通过硝酸增浓塔4增加工艺废气中的一氧化氮与水、空气反应生成硝酸的浓度，用于工业生产。经过上述系统处理的工艺废气中只含有一氧化碳，一氧化碳送入火炬系统进行燃烧处理后排放。

本发明实施例提供的系统至少具有以下技术效果：

通过本发明实施例提供的系统对工艺废气处理后，提高了工艺废气的利用效率，避免了资源浪费。同时，不用将工艺废气排入锅炉进行煅烧，避免了对锅炉的正常工作造成影响。

以下将通过可选实施例进一步地描述本发明实施例提供的系统。

经过水洗塔2处理的工艺废气只剩下一氧化氮和一氧化碳，一氧化碳经过第五管线32排出至火炬系统燃烧后排放。一氧化氮与水、空气反应生成硝酸溶液，可以进行出售或再次利用。可以理解的是，工艺废气中含有的一氧化氮的含量不同，最后生成的硝酸溶液的浓度不同。鉴于对硝酸溶液进行出售时客户对浓度的不同要求，通过设置硝酸增能塔4，对浓度较低的硝酸溶液进行增浓。通过硝酸增浓塔4内的循环泵将硝酸增浓塔4塔顶的流出液再次打入第二吸收塔3内，在硝酸增浓塔4的塔釜得到增浓的浓硝酸。满足浓度要求的硝酸即可进行销售或再次利用。

在一种可选的实施方式中，亚硝酸甲酯吸收剂为甲醇溶液。

第一吸收塔1的作用是吸收工艺废气中的亚硝酸甲酯。可以理解的是，亚硝酸甲酯属于有机物，可溶于有机溶液。在本发明实施例提供的装置中，通过向第一吸收塔1中通入亚硝酸甲酯吸收剂，吸收工艺废气中的亚硝酸甲酯。亚硝酸甲酯吸收剂可以是有机溶剂，只要能达到与亚硝酸甲酯互溶且不与其发生化学反应的化合物即可。

作为一种示例，本发明实施例提供的亚硝酸甲酯吸收剂为甲醇溶液。甲醇属于有机溶剂，可以与亚硝酸甲酯互溶且不会与亚硝酸甲酯发生化学反应。不会给工艺废气中引入新的杂质离子或化学物质。

在一种可选的实施方式中，如图2所示，该系统还包括：气体分析仪6、循环管7与控制阀8；

第一吸收塔1与水洗塔2之间、水洗塔2与第二吸收塔3之间、第二吸收塔3与硝酸增浓塔4之间的管线上均顺次具有气体分析仪6、循环管7与控制阀8。

本发明实施例提供的系统，通过在第一吸收塔1与水洗塔2之间的管线上设置气体分析仪6、循环管7与控制阀8，通过气体分析仪6检测从第一吸收塔1出来的工艺废气中亚硝酸甲酯的含量，如果通过气体分析仪6检测到从第一吸收塔1出来的工艺废气中亚硝酸甲酯的含量高于参考值，则通过控制阀8关闭第一吸收塔1中的工艺废气流向水洗塔2中，通过循环管7将工艺废气再次输送至第一吸收塔1中进行处理，直至亚硝酸甲酯的含量低于参考值为止。

通过在水洗塔2与第二吸收塔3之间的管线上设置气体分析仪6、循环管7与控制阀8，通过气体分析仪6检测从水洗塔2出来的工艺废气中甲醇的含量，如果通过气体分析仪6检测到从水洗塔2出来的工艺废气中甲醇的含量高于参考值，则通过控制阀8关闭水洗塔2中的工艺废气流向第二吸收塔3中，通过循环管7将工艺废气再次输送至水洗塔2中进行处理，直至甲醇的含量低于参考值为止。

通过在第二吸收塔3与硝酸增浓塔4之间的管线上设置气体分析仪6、循环管7与控制阀8，通过气体分析仪6检测从第二吸收塔3出来的工艺废气中氮氧化物的含量，如果通过气体分析仪6检测到从第二吸收塔3出来的工艺废气中氮氧化物的含量高于参考值，则通过控制阀8关闭第二吸收塔3中的工艺废气流向硝酸增浓塔4中，通过循环管7将工艺废气再次输送至第二吸收塔3中进行处理，直至氮氧化物的含量低于参考值为止。

由于亚硝酸甲酯、工业甲醇以及氮氧化物为有毒有害物质，且亚硝酸甲酯为无色无味的气体，通过人工很难辨别是否将工业废气中的亚硝酸甲酯、甲醇以及氮氧化物处理干净。通过设置气体检测仪可以对气体的含量进行准确的检测，避免由于工艺废气中的有害气体处理不完全造成人员或生物中毒或环境污染等现象，也提高了工业废气的处理效率。

在一种可选的实施方式中，循环管7包括：第一循环管、第二循环管与第三循环管；

第一循环管一端与第一吸收塔1、水洗塔2之间的管线连接，另一端与第一吸收塔1连接，第二循环管一端与水洗塔2、第二吸收塔3之间的管线连接，另一端与水洗塔2连接，第三循环管一端与第二吸收塔3与硝酸增浓塔4之间的管线连接，另一端与第二吸收塔3连接。

通过在第一吸收塔1与水洗塔2之间的管线上、水洗塔2与第二吸收塔3之间的管线上、第二吸收塔3与硝酸增浓塔4之间的管线上分别设置第一循环管、第二循环管与第三循环管，当通过气体分析仪6检测后对达不到处理要求的气体返回上一个系统进行再次处理，直至达到处理要求。

在一种可选的实施方式中，如图1或图2所示，该系统还包括：精馏塔5，精馏塔5分别与第一吸收塔1、水洗塔2塔釜连通。

甲醇溶液吸收亚硝酸甲酯后通过第一吸收塔1的塔釜排出，排出的亚硝酸甲酯甲醇溶液在精馏塔5精馏后，甲醇溶液与亚硝酸甲酯分离，甲醇溶液与亚硝酸甲酯可以继续用于工业生产。

考虑到吸收亚硝酸甲酯的甲醇溶液需要从第一吸收塔1的塔釜排出并且回收利用，可以在第一吸收塔1的塔釜安装第六管线，第六管线与精馏塔5连通。吸收了亚硝酸甲酯的甲醇溶液进入精馏塔5内，对甲醇亚硝酸甲酯的混合物进行精馏，可以将甲醇与亚硝酸甲酯分离。

经过第一吸收塔1除去亚硝酸甲酯后的工艺废气通入到水洗塔2中，进行水洗脱除气体甲醇。可以理解的是，经过第一吸收塔1分离后，甲醇与亚硝酸甲酯的混合物从塔釜排出，剩余的工艺废气可以经过第一吸收塔1的塔顶或者第一吸收塔1的塔身部位通向水洗塔2。

不含有亚硝酸甲酯气体的工艺废气进入水洗塔2中，考虑到甲醇与水完全互溶，因此，本发明实施例中采用水吸收工艺废气中的甲醇。工艺废气中的甲醇与水混溶后通过水洗塔2的塔釜排出。甲醇的水溶液经过精馏后可以对甲醇进行回收利用。考虑到对甲醇水溶液的回收利用，可以在水洗塔2的塔釜设置第七管线，第七管线与精馏塔5连通，对甲醇水溶液进行精馏回收。

在一种可选的实施方式中，第二吸收塔3内设有多段填料，工艺废气中的一氧化氮在多段填料上与水、空气接触并发生反应。

第二吸收塔3内设有多段填料，以填料作为一氧化氮、空气与水反应的界面，水在填料的表面自上而下的流动，一氧化氮自下而上或者与水并流，两者之间以填料作为界面发生反应。通过设置多段填料，一氧化氮在第一段填料上与水空气反应后经过第二段填料可以继续发生反应。以此类推，在经过多段填料之后一氧化氮完全反应。

在一种可选的实施方式中，第一吸收塔1、水洗塔2、第二吸收塔3与硝酸增浓塔4的塔釜均设有循环冷却设备，循环冷却设备包括依次连接的换热器与水泵。

本发明实施例提供的系统中，第一吸收塔1内的亚硝酸甲酯溶解于甲醇溶液、水洗塔2内的气体甲醇溶解于水、以及第二吸收塔3内的一氧化氮与氧气、水的反应均为放热反应。因此，在上述第一吸收塔1、水洗塔2以及第二吸收塔3内均设置循环冷却设备，通过换热器对上述的换热介质进行降温。例如，对第一吸收塔1内的甲醇溶液进行降温，增加亚硝酸酯与甲醇的溶解度。对水洗塔2内的水进行降温，增加气体甲醇与水之间的溶解度。对第二吸收塔3内的生成物硝酸进行降温，提高一氧化氮与氧气的反应速率，以及二氧化氮与水的反应速率。通过水泵对换热器内的换热介质施加外力，使冷却介质在换热器内循环，实现换热目的。

在一种可选的实施方式中，第一管线11、第二管线12、第三管线21以及第四管线31上均设有流量调节阀。

在第一管线11上设置流量调节阀，可以检测和控制亚硝酸甲酯吸收剂的加入量。根据工艺废气的排入量调节亚硝酸甲酯吸收剂的通入量，避免造成通入的亚硝酸甲酯吸收剂过多，增加处理的成本，

在第二管线12上设置流量调节阀，可以检测和控制工艺废气的通入量。

在第三管线21上设置流量调节阀，可以检测和控制通入水的含量。

在第四管线31上设置流量调节阀，可以检测和控制通入空气的含量。

在一种可选的实施方式中，第一吸收塔1塔釜设有第六管线，第六管线与精馏塔5连通。

第一吸收塔1内的亚硝酸甲酯甲醇溶液通过第六管线进入精馏塔5内，对亚硝酸甲酯和甲醇进行精馏、分离。

在一种可选的实施方式中，水洗塔2塔釜设有第七管线，第七管线与精馏塔5连通。

水洗塔2内的甲醇水溶液通过第七管线通入精馏塔5内，实现甲醇与水的精馏、分离。

另一方面，本发明实施例还提供了一种工艺废气处理方法，该方法用于上述任一项的系统。

该方法包括：工艺废气通过具有亚硝酸甲酯吸收剂的第一吸收塔1内，除去工艺废气中的亚硝酸甲酯，得到第一处理气体；

第一处理气体通过具有水的水洗塔2内，除去第一处理气体中的甲醇，得到第二处理气体；

第二处理气体通过具有水与空气的第二吸收塔3内，除去第二处理气体中的一氧化氮，并经过火炬系统燃烧后得到达标气体；

第二吸收塔3内的水、空气与一氧化氮通过硝酸增浓塔4增加浓度，得到达标处理液。

本发明实施例提供的方法获得的第一处理气体中不含有亚硝酸甲酯，第二出力气体中不含有甲醇，经过上述方法的处理的工艺废气达到了气体燃烧或外排的标准。

在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的方法还包括：通过气体分析仪6对第一处理气体进行检测，得到第一检测结果，第一检测结果大于参考值，则将第一处理气体返回第一吸收塔1内进行处理。直到通过气体分析仪6检测到第一处理气体中的亚硝酸甲酯的含量达到参考值，再将第一处理气体通入水洗塔2内进行处理。

在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的方法还包括：通过气体分析仪6对第二处理气体进行检测，得到第二检测结果，第二检测结果大于参考值，则将第二处理气体返回至水洗塔2内进行再次处理。直到通过气体分析仪6检测到第二处理气体中的甲醇含量达到参考值，再将第二处理气体通入第二吸收塔3进行处理。

在一种可能的实现方式中，本发明实施例提供的方法还包括：通过浓度测量仪检测水、空气与工艺废气中的一氧化氮反应生成的硝酸的浓度，如果硝酸的浓度低于参考值，则将硝酸通入硝酸增浓塔4中进行增浓。

上述所有可选技术方案，可以采用任意结合形成本公开的可选实施例，在此不再一一赘述。

以上所述仅为本发明的说明性实施例，并不用以限制本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种工艺废气处理系统，其特征在于，所述系统包括：通过管线顺次连通的第一吸收塔(1)、水洗塔(2)、第二吸收塔(3)与硝酸增浓塔(4)；

所述第一吸收塔(1)上连通有第一管线(11)与第二管线(12)，亚硝酸甲酯吸收剂通过所述第一管线(11)进入所述第一吸收塔(1)内，工艺废气通过所述第二管线(12)进入所述第一吸收塔(1)内；

所述水洗塔(2)与所述第二吸收塔(3)上均连通有第三管线(21)；水通过所述第三管线(21)分别进入所述水洗塔(2)与所述第二吸收塔(3)内；

所述第二吸收塔(3)上连通有第四管线(31)与第五管线(32)，空气通过所述第四管线(31)进入所述第二吸收塔(3)内，处理后的工艺废气通过所述第五管线(32)进入火炬系统被燃烧；

所述第二吸收塔(3)内具有为所述工艺废气中的一氧化氮与所述水、所述空气反应提供接触界面的填料；

所述硝酸增浓塔(4)的进液端与所述第二吸收塔(3)塔釜连通，出液端与所述第二吸收塔(3)塔顶连通。

2.根据权利要求1所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述系统还包括：气体分析仪(6)、循环管(7)与控制阀(8)；

所述第一吸收塔(1)与所述水洗塔(2)之间、所述水洗塔(2)与所述第二吸收塔(3)之间、所述第二吸收塔(3)与所述硝酸增浓塔(4)之间的管线上均顺次具有所述气体分析仪(6)、所述循环管(7)与所述控制阀(8)。

3.根据权利要求2所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述循环管(7)包括：第一循环管、第二循环管与第三循环管；

所述第一循环管一端与所述第一吸收塔(1)、所述水洗塔(2)之间的管线连接，另一端与所述第一吸收塔(1)连接，所述第二循环管一端与所述水洗塔(2)、所述第二吸收塔(3)之间的管线连接，另一端与所述水洗塔(2)连接，所述第三循环管一端与所述第二吸收塔(3)与所述硝酸增浓塔(4)之间的管线连接，另一端与所述第二吸收塔(3)连接。

4.根据权利要求1所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述系统还包括：精馏塔(5)，所述精馏塔(5)分别与所述第一吸收塔(1)、所述水洗塔(2)塔釜连通。

5.根据权利要求1-4任一所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述第一吸收塔(1)、所述水洗塔(2)、所述第二吸收塔(3)以及所述硝酸增浓塔(4)塔釜均设有循环冷却设备，所述循环冷却设备包括依次连接的换热器与水泵。

6.根据权利要求1-4任一所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述第一管线(11)、所述第二管线(12)、所述第三管线(21)以及所述第四管线(31)上均设有流量调节阀。

7.根据权利要求4所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述第一吸收塔(1)塔釜设有第六管线，所述第六管线与所述精馏塔(5)连通。

8.根据权利要求4所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述水洗塔(2)塔釜设有第七管线，所述第七管线与所述精馏塔(5)连通。

9.根据权利要求1所述的工艺废气处理系统，其特征在于，所述亚硝酸甲酯吸收剂为甲醇溶液。

10.一种工艺废气处理方法，其特征在于，所述方法用于权利要求1-9任一项所述的系统；

所述方法包括：工艺废气通过具有亚硝酸甲酯吸收剂的第一吸收塔(1)内，除去所述工艺废气中的亚硝酸甲酯，得到第一处理气体；

所述第一处理气体通过具有水的水洗塔(2)内，除去所述第一处理气体中的甲醇，得到第二处理气体；

所述第二处理气体通过具有水与空气的第二吸收塔(3)内，除去所述第二处理气体中的一氧化氮，并经过火炬系统燃烧后得到达标气体；

所述第二吸收塔(3)内的水、空气与所述一氧化氮通过硝酸增浓塔(4)增加浓度，得到达标处理液。

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