CN111823057B - 轮廓精度量测系统及量测方法 - Google Patents

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Abstract

一种轮廓精度量测系统及量测方法，是利用量测系统撷取工具机的各轴件的位置坐标数据，再将该位置坐标数据进行演算以获取斜面上的第一真圆轨迹，供作为参考信息，之后该量测系统依据该参考信息的每个轴件的位置坐标数据，调整每个轴件的位置的参数，以产生该斜面上的第二真圆轨迹，因而得知各轴件于调整参数后的位置是否符合标准，以借由自动量测参数及自动测试运作状态，以加速整体量测流程。

Description

轮廓精度量测系统及量测方法
技术领域
本发明有关于一种量测系统与方法，尤指一种能自动调整工具机参数的轮廓精度量测系统及量测方法。
背景技术
随着工具机自动化的快速发展，利用输入相关参数以进行相关加工的作业已成为现今的主流，故目前工具机已广泛采用计算机数值控制(Computer Numerical Control，简称CNC)的方式进行加工作业。
此外，随着先进制造技术的发展，对切削加工的稳定性、可靠性提出更高的要求。在实际切削加工中，刀具失效常影响切削加工的效率、精度、品质、稳定性与可靠性等，故于切削加工过程中选取适当的切削参数对于提高加工精度及品质极为重要。
此外，已知五轴加工机于进行切削加工作业前，通常会进行标准加工件的切削测试(如空跑作业)，当切削精度不如预期时，需对于该五轴加工机的控制器对应伺服马达的参数进行调整。
然而，已知调整参数，例如驱动马达控制参数的过程中，是以人工方式将调整过程中的参数一一输入，再一一测试运作状态，以量测出符合标准的参数，故整体流程十分耗时，且需耗费大量的测试用的加工件，因而不符合量测成本。
因此，如何采用一个能降低量测成本且能准确反映出工具机加工精密度的量测系统，实已成为目前业界亟待克服的难题。
发明内容
鉴于上述已知技术的种种缺失，本发明提供一种轮廓精度量测系统及量测方法，以加速整体量测流程。
本发明的轮廓精度量测系统，用于连接具有控制器与多个轴件的工具机，该量测系统包括：撷取部，用于撷取该控制器指示每个轴件运动的加工路径的反馈信号，并计算每个轴件于机械坐标系中的位置；转换部，通信连接该撷取部，以令每个轴件的位置于该机械坐标系与工件坐标系之间进行转换；处理部，通信连接该转换部，以演算出该加工路径于该工件坐标系中所呈现出的斜面上的第一真圆轨迹，供作为参考信息；以及调整部，通信连接该处理部，以依据该参考信息的每个轴件由该工件坐标系转换回该机械坐标系中的位置，调整每个轴件的位置的参数，以产生目标信息，其中，该目标信息包含有该斜面上的第二真圆轨迹。
本发明还提供一种轮廓精度量测方法，应用于具有控制器及多个轴件的工具机，包括：借由一电子装置撷取该控制器指示每个轴件运动的加工路径的反馈信号，以令该电子装置计算每个轴件于机械坐标系中的位置；进行第一次坐标转换作业，以令该电子装置将每个轴件于该机械坐标系中的位置转换成于工件坐标系的位置；进行演算作业，以演算出该加工路径于该工件坐标系中所呈现出的斜面上的第一真圆轨迹，供作为参考信息；进行第二次坐标转换作业，以令该电子装置将该参考信息的工件坐标系转换成该机械坐标系，使每个轴件于该工件坐标系中的位置还原成于该机械坐标系中的位置；以及依据该参考信息的每个轴件于该机械坐标系中的位置，调整每个轴件的位置的参数，以产生目标信息，其中，该目标信息包含有该斜面上的第二真圆轨迹。
由上可知，本发明的量测系统及量测方法中，主要借由将该量测系统的撷取部所撷取的坐标数据经该转换部转换后传输至该处理部，以演算出该参考信息，再借由该参考信息即时运作该工具机的第一至第五轴件，以得知该第一至第五轴件于调整参数后的位置是否符合标准，因而能即时量测出该工具机的刀具的切削精准度，故相较于已知技术，使用者可利用该量测系统自动量测参数及自动测试运作状态的方式，立刻得知该工具机的刀具需符合标准的参数(或加工精密度)，使整体量测流程快速，且无需耗费测试用的加工件，因而能降低量测成本。
附图说明
图1A为本发明的轮廓精度量测系统的架构配置示意图。
图1B为本发明的量测系统所应用的工具机的架构配置示意图。
图1C为图1B的工具机的立体示意图。
图2为本发明的轮廓精度量测方法的流程示意图。
图3为本发明的量测方法的参考数据的内容图。
图3A至图3C为图3的参考数据的演算过程。
图4为本发明的量测方法的目标数据的内容图。
图5为本发明的量测系统所应用的工具机的工具机的控制器的架构配置示意图。
图6为本发明的量测方法的机台的反馈分析图。
图7A及图7B为本发明的量测方法的轴件的位置反馈分析图。
符号说明
1 量测系统
1a 电子装置
10 撷取部
11 转换部
12 处理部
13 调整部
9 工具机
9a 刀具
9b 基座
9c 支撑架
9d 工作平台
90 控制器
91 第一轴件
92 第二轴件
93 第三轴件
94 第四轴件
95 第五轴件
E 斜面
L91,L92,L93,L94,L95 曲线
L1 第一区域
L2 第二区域
S1 第一真圆轨迹
S2 第二真圆轨迹
S21～S25 步骤。
具体实施方式
以下借由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技艺的人士可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。
须知，本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技艺的人士的了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”及“一”等的用语，也仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当视为本发明可实施的范畴。
图1A为本发明的量测系统1的架构配置示意图。如图1A所示，该量测系统1举例包括：撷取部10、转换部11、处理部12以及调整部13，只是本发明并不限制上述架构配置的各组成的可能整合、替换或增减配置。
请配合参阅图1B及图1C，于本实施例中，该量测系统1应用于计算机数值控制(CNC)的工具机9(如图1C所示的五轴型工具机)，且该工具机9配置有一控制器90及可由该控制器90操控的第一至第五轴件91、92、93、94、95，并于其中一轴件92架设刀具9a，而该量测系统1配置于例如为该工具机9的标准或独立(如远端电脑、个人电脑、平板或手机等)的电子装置1a中，其具有运算与显示量测结果及调整结果的功能，而且该电子装置1a是以有线或无线方式连接控制器90。
此外，该五轴(5-axis)型工具机9还包括基座9b、支撑架9c及加工平台9d，该支撑架9c立设于该基座9b上，且该刀具9a与该加工平台9d借由每个轴件91～95架设于该支撑架9c上，以令该第一至第五轴件91～95分别定义出X轴、Y轴、Z轴、A轴及C轴。具体地，该第三轴件93可移动地设于该支撑架9c上，以沿相对该基座9b的垂直方向(如Z轴方向Z)移动；该第一轴件91可移动地设于该第三轴件93上，并设置有该加工平台9d，以沿相对该基座9b的水平面的其中一方向(如X轴方向X)移动该加工平台9d；该第二轴件92可移动地设于该支撑架9c上，并设置有该刀具9a，以沿相对该基座9b的水平面的另一方向(如Y轴方向Y)移动该刀具9a；该第四轴件94设于该第一轴件91上，并轴接该加工平台9d，以沿该第四轴件94的轴心翻转(如旋转方向A)该加工平台9d；该第五轴件95为可相对该加工平台9d沿该第五轴件95的轴心自转(如旋转方向C)的旋轴盘，其架设于该加工平台9d上以承载加工件(图略)。因此，借由该第一至第五轴件91～95的运动能推知该刀具9a相对该加工件(即第五轴件95)的位置。
所述的撷取部10用于撷取该控制器90对应该第一至第五轴件91～95(或该刀具9a)的加工路径的反馈信号，并计算该第一至第五轴件91～95于机械坐标系中的位置。
于本实施例中，该机械坐标系的定义是以该基座9b为基准平面，如图1C所示的原点Om(Xm,Ym,Zm)的坐标定义。
所述的转换部11通信连接(如无线或有线信号传输方式)该撷取部10，以令该第一至第五轴件91～95的位置于该机械坐标系与工件坐标系之间进行转换。
于本实施例中，该工件坐标系的定义是将该工具机9分解为多个坐标系，以描述该工具机的每一个轴件之间的相对位移及姿态。例如，以该加工件作为初始坐标(其定义出该加工件与该第五轴件95的位置)、第五子坐标为该第五轴件95(旋转盘)与该加工平台9d的相对位置关系、第四子坐标为该第四轴件94与该加工平台9d的相对位置关系、第三子坐标为该第三轴件93与该第一轴件91的相对位置关系、第二子坐标为该第二轴件92与该支撑架9c的相对位置关系、第一子坐标为该第一轴件91与该第四轴件94的位置关系、垂直坐标为该支撑架9c与该第三轴件93的相对位置关系、基底坐标为该基座9b与该支撑架9c的相对位置关系、刀具坐标为该刀具9a与该第二轴件92的相对位置关系等。
所述的处理部12通信连接(如无线或有线信号传输方式)该转换部11，以演算出该加工路径于该工件坐标系中所呈现出的斜面上的第一真圆轨迹，供作为参考信息。
于本实施例中，该处理部12利用三点求圆方式演算出该斜面上的第一真圆轨迹。
此外，该参考信息为量测结果，其包含该第一真圆轨迹的真圆度的估测值，并显示于该电子装置1a的屏幕上。
所述的调整部13通信连接(如无线或有线信号传输方式)该处理部12，以依据该参考信息的该第一至第五轴件91～95转换回该机械坐标系中的位置，调整该控制器90对应该第一至第五轴件91～95的位置的参数，以产生目标信息，其中，该目标信息包含有该斜面上的第二真圆轨迹。
于本实施例中，该第一真圆轨迹的轮廓不同于该第二真圆轨迹的轮廓，例如，该第一真圆轨迹的真圆度不同于该第二真圆轨迹的真圆度。
此外，该目标信息为调整结果，其包含该第二真圆轨迹的真圆度的估测值，并显示于该电子装置1a的屏幕上。
图2所示为本发明的量测方法的流程示意图。如图2所示，该量测方法采用该量测系统1进行运作。
首先，于步骤S21中，使用者启动该工具机9与该量测系统1(或电子装置1a)，并输入参数至该控制器90中，以令伺服马达作动该第一至第五轴件91～95，使该刀具9a进行加工作业前的空跑作业(即该第五轴件95上没有加工件)，再令该量测系统1(或电子装置1a)的撷取部10借由通信传输方式(如网路)撷取该控制器90(或该伺服马达)对应该刀具9a(或该第一至第五轴件91～95移动)的加工路径的反馈信号，以令该撷取部10计算该第一至第五轴件91～95于该机械坐标系中的位置(如移动路径的第一坐标数据)。
于本实施例中，该撷取部10撷取数据的方式可为内部直接传输(例如，该工具机9具有该量测系统1或电子装置1a的配置)、应用程序接口(例如用以取得该工具机9的数位控制器的内部信息)、用于该控制器90内外信号传递及暂存的可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller，简称PLC)、外部装置直接传输(例如编码器传输坐标信号、光学尺传输坐标信号、数据撷取卡传输坐标、NC码行号或G码类型)。
此外，于该工具机9运作时，该量测系统1可从多种来源取得并记录该工具机9的刀具9a的移动路径的坐标数据，例如，该工具机9的控制器90的位置控制器、速度控制器、该工具机9的伺服马达上的编码器、或该工作平台9d上的光学尺。
接着，于步骤S22中，进行第一次坐标转换作业，以令该电子装置1a的转换部11将该第一至第五轴件91～95于该机械坐标系中的位置转换成于工件坐标系的位置。
于本实施例中，该转换部11依据顺向运动学(Forward Kinematics)将该第一至第五轴件91～95的实际位置由该机械坐标系中的位置转换为工件坐标系的位置(如移动路径的第二坐标数据)。
接着，于步骤S23中，该电子装置1a借由该处理部12进行演算作业，以演算出该刀具9a(或该第一至第五轴件91～95移动)的加工路径于该工件坐标系中所呈现出的斜面E上的第一真圆轨迹S1，如图3所示的刀具坐标(OT,XT,YT,ZT)，供作为参考信息，其将该第一真圆轨迹S1的真圆度的估测值(如22um)显示于该电子装置1a的屏幕上。
于本实施例中，该演算作业为轮廓精度估测作业，其将转换后的工件坐标系的信息(如移动路径的第二坐标数据)利用三点求圆公式，求得一个平均中心点，再以此中心点计算出最大半径与最小半径的差值。如图3A至3C所示，先选择三个坐标点a(Xa,Ya,Za),b(Xb,Yb,Zb),c(Xc,Yc,Zc)，以得到第一线段ab与第二线段bc，再将该第一线段ab的垂直平分线与第二线段bc的垂直平分线相交，以得到圆心O。具体地，圆心O的坐标(XO,YO,ZO)如下：
XO＝Xm1+K1α1＝Xm2+K2α2；
YO＝Ym1+K1β1＝Ym2+K2β2；
ZO＝Zm1+K1γ1＝Zm2+K2γ2
，其中，(Xm1,Ym1,Zm1)代表第一线段ab的中间点m1的坐标，(Xm2,Ym2,Zm2)代表第二线段bc中间点m2的坐标，α1,β1,γ1,α2,β2,γ2是垂直平分线的单位向量，中间点m1,m2坐标的计算式为：
m1＝1/2(Xa+XbYa+YbZa+Zb)；
m2＝1/2(Xb+XcYb+YcZb+Zc)
，以推测出最大与最小半径R1,R2，如下所示：
R1＝[Xm1(i)+Ym1(j)+Zm1(k)]+K1[α1(i)+β1(j)+γ1(k)]；
R2＝[Xm2(i)+Ym2(j)+Zm2(k)]+K2[α2(i)+β2(j)+γ2(k)]
，其中，i,j,k代表向量的三个维度，且中心点K1,K2计算式如下：
K1＝[β2(Xm2-Xm1)+α2(Ym1-Ym2)]/(α1β2-α2β1)；
K2＝(Xm1+K1α1-Xm2)/α2。
之后，于步骤S24中，进行第二次坐标转换作业，以令该电子装置1a的转换部11将该参考信息的工件坐标系转换成该机械坐标系，如逆向运动学(Inverse Kinematics)，使该第一至第五轴件91～95于该工件坐标系中的位置还原成于该机械坐标系中的位置(如移动路径的第三坐标数据)。
最后，于步骤S25中，该电子装置1a的调整部13依据该参考信息的该第一至第五轴件91～95于该机械坐标系中的位置，同动调整该控制器90对应该第一至第五轴件91～95的位置的参数，以产生目标信息(如移动路径的第四坐标数据)，其中，该目标信息包含有可显示于该电子装置1a上的该斜面E上的第二真圆轨迹S2，如图4所示。
于本实施例中，由于该控制器90同步调整该第一至第五轴件91～95的位置，使该电子装置1a(量测系统1)的撷取部10能再次撷取该控制器90对该第一至第五轴件91～95的伺服马达的调整信号，以经由上述步骤S21～S24再次演算出该真圆度的估测值(如图4所示的8.1um)，故该调整部13能不断演算出调机后的参数所呈现的真圆轨迹状态，因而能即时产生动态效应参数，以供作为该目标信息，故该电子装置1a能即时得知调整该参数对于真圆度的误差的关系。具体地，该动态效应参数的数据量化数据表，其包含积分时间常数Ti、位置增益Kpp、速度增益Kvp与稳态效应对于轮廓误差(真圆度)的对应表，如图5所示的控制器90的架构、图6所示的位置增益Kpp的对应关系、图7A及7B的速度与积分时间常数Ti的对应关系等。
如图5所示，该控制器90的控制系统系作为位置闭回路架构，其除了驱动器及马达(如图5所示的AC伺服马达5a)之外，也包含整台工具机9的整体模型5b(如联轴器、导螺杆50及移动平台等构件)及轴件对应至工件的连接机构等，故在控制中，会将整个工具机9的模态一并列入考虑，如总惯性力矩(J)及粘滞阻尼比(C)，其中，该位置增益Kpp是将位置命令转变为速度命令的比例增益值，而于速度回路中，该速度增益Kvp为速度转扭矩的比例增益值，Ti为补偿误差值的积分时间常数，f为马达在运转中受到外部干扰时所需克服的摩擦力，G为工具机所需克服的重力，J为马达至机构(如第一至第五轴件91～95)的总惯性力矩，C为粘滞阻尼比，l为滚珠螺杆的导程，s为常数。
具体地，对于控制回路而言，最为重要的条件是机台的精度，故控制回路设计为位置封闭回路控制。对于驱动器及控制马达(如图5所示的AC伺服马达5a)而言，主要进行控制电压驱使马达转动，故在回路设计中，需将位置回路对应速度回路，最后找出电压回路的参数。于PID控制中，单纯于比例控制，若有误差值存在，将无法达到稳态收敛。因此，于速度回路中，设计微比例增益P且加上积分增益数值I，并将其化减为积分时间常数Ti，最后，于下达电压时一并加入摩擦补偿，并由马达的位置边码器或光学尺，以完成整体位置闭回路控制。
于图5中，由于马达与机台架构及滚珠螺杆(导螺杆50)是依据该工具机9规格制定，而对于物品加工的真圆度主要是由位置以及速度回路决定，故位置回路的调整将影响位置命令转换为速度时的反应，增益数值(如该位置增益Kpp)的高低将决定命令响应，且速度回路参数会对于误差进行反应。
图6为机台的反馈分析图，其横轴为时间(s)，纵轴为外部装置撷取信号(编码器坐标信号或光学尺坐标信号)计算出的位置(mm)，且通过原本参数对于真圆度的影响，针对该控制器90的位置回路，如果纵轴的各轴撷取信号有明显偏移分岔，则代表同动位置具有明显误差，因而需调整该位置增益Kpp的数值，以改善该工具机9的加工同动匹配。
图7A与图7B为5个轴件的位置反馈分析图，其横轴为时间(秒)，纵轴为外部装置撷取信号计算出的位置值(mm)，且通过图6改善真圆度位置的匹配，且对于加减速段细小误差(如进刀点或各轴换向变化)，需对该速度增益Kvp与积分时间常数Ti调整。图7A表示各轴位置变化趋势不一，且改变比例增加，趋使反馈曲线贴近命令，再调整积分时间常数Ti达到快速收敛。于图7B所示的位置反馈的信号图中，各轴的变化趋势相仿，使得真圆度提升。
所述的真圆度与控制器90的调整方法包括以下步骤，具体如下：
步骤(1)：首先，依据机台加工结果，量测判定该控制器90是否需要调整，如需调整，将进行步骤(2)的作业。
步骤(2)：将加工结果的信号进行分析，以判断五个运动轴(该第一至第五轴件91～95)于位置图中变化是否趋势相同(如图6所示的曲线L91～L95，其分别对应该第一至第五轴件91～95)。如果其中一轴件在移动中先到达终点位置，则代表其它轴件的移动命令过慢而无法同步，故先调整该控制器90中各轴件的Kpp参数，将其数值调大，使各轴件相匹配；如果于调整中发现轴件于位置图中发生纵轴数据呈现上、下振荡的情况，则代表此轴件的Kpp已达到饱和，故需以此轴件作为基准，而将其它轴件的Kpp调小，以达到位置相匹配。
步骤(3)：于Kpp调整完成后，对速度数据进行分析(如图6的第一区域L1所对应的图7A及第二区域L2所对应的图7B所示)，于加速段中确认各轴件的变化是否符合命令。于相同速度变化中，若其中一轴件的速度变化与其它轴件的速度变化无法吻合，则代表需调整该控制器90中的各轴件的Kvp参数，如同步骤(2)所述的针对图6中的纵轴较低的轴件，将其Kvp调大；若其中一轴件发生振荡现象(如图7A所示的曲线L95)，则将其Kvp调低，使各轴件的曲线调整至大致吻合(如图7B所示的曲线L95)，且基于最初的加速及后断的减速，调整Ti数值；若各轴件于加速段前、后变化过大，则需将Ti数值调大，反的，若于加速段前、后变化过小，则需将Ti数值调小(补足)，以达到匹配状态。
步骤(4)：再次进行加工作业，以确定上述各步骤的调整已成功输入至该控制器90中。
因此，本发明的量测系统1所进行的量测方法针对模拟该刀具9a的尖点位置以向量演算法不断演算出该斜面E上的真圆度的最大及最小误差(即估测值越小越好)，以判断该第一至第五轴件91～95于该机械坐标系中的位置的参数是否符合需求，因而可用来估测该工具机9的伺服马达的参数对机台多轴同动轮廓精度(如图4所示的斜面E上的第二真圆轨迹S2)的影响。
此外，调整机台多轴同动参数，可通过已建立的量化数据表进行速度增益、速度积分时间常数或其它等参数的调整作业。
综上所述，本发明的量测系统1及其量测方法，借由将该撷取部10所撷取的坐标数据经该转换部11传输至该处理部12，以演算出参考信息，再借由该参考信息即时运作该工具机9的第一至第五轴件91～95，以得知该第一至第五轴件91～95于调整参数后的位置是否符合标准，因而能即时量测出该刀具9a的切削精准度，故相较于已知技术，使用者可利用该量测系统1(电子装置1a)自动量测参数及自动测试运作状态的方式，立刻得知该工具机9的刀具9a需符合标准的参数(或加工精密度)，使整体量测流程快速，且无需耗费测试用的加工件，因而能降低量测成本。
另外，该量测系统1及量测方法可应用于各种工具机，并不限于上述五轴加工机型。
上述实施例用以例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟习此项技艺的人士均可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修改。因此本发明的权利保护范围，应如权利要求书所列。

Claims (13)

1.一种轮廓精度量测系统，用于连接具有控制器与多个轴件的工具机，其特征在于，该量测系统包括：
撷取部，用于撷取该控制器指示每个轴件运动的加工路径的反馈信号，并计算每个轴件于机械坐标系中的位置；
转换部，通信连接该撷取部，以令每个轴件的位置于该机械坐标系与工件坐标系之间进行转换；
处理部，通信连接该转换部，以演算出该加工路径于该工件坐标系中所呈现出的于斜面上的第一真圆轨迹，供作为参考信息；以及
调整部，通信连接该处理部，以依据该参考信息的每个轴件由该工件坐标系转换回该机械坐标系中的位置，调整该控制器对应每个轴件的位置的参数，以产生目标信息，其中，该目标信息包含有于该斜面上的第二真圆轨迹。
2.根据权利要求1所述的轮廓精度量测系统，其特征在于，该处理部是利用三点求圆方式演算出该第一真圆轨迹。
3.根据权利要求1所述的轮廓精度量测系统，其特征在于，该第一真圆轨迹的轮廓不同于该第二真圆轨迹的轮廓。
4.根据权利要求3所述的轮廓精度量测系统，其特征在于，该第一真圆轨迹的真圆度不同于该第二真圆轨迹的真圆度。
5.根据权利要求1所述的轮廓精度量测系统，其特征在于，该参考信息包含该第一真圆轨迹的真圆度的估测值。
6.根据权利要求1所述的轮廓精度量测系统，其特征在于，该目标信息包含该第二真圆轨迹的真圆度的估测值。
7.一种轮廓精度量测方法，应用于具有控制器及多个轴件的工具机，其特征在于，该量测方法包括：
借由电子装置撷取该控制器指示每个轴件运动的加工路径的反馈信号，以令该电子装置计算每个轴件于机械坐标系中的位置；
进行第一次坐标转换作业，以令该电子装置将每个轴件于该机械坐标系中的位置转换成于工件坐标系的位置；
进行演算作业，以演算出该加工路径于该工件坐标系中所呈现出的于斜面上的第一真圆轨迹，供作为参考信息；
进行第二次坐标转换作业，以令该电子装置将该参考信息的工件坐标系转换成该机械坐标系，使每个轴件于该工件坐标系中的位置还原成于该机械坐标系中的位置；以及
依据该参考信息的每个轴件于该机械坐标系中的位置，调整该控制器对应每个轴件的位置的参数，以产生目标信息，其中，该目标信息包含有于该斜面上的第二真圆轨迹。
8.根据权利要求7所述的轮廓精度量测方法，其特征在于，该演算作业是利用三点求圆方式。
9.根据权利要求7所述的轮廓精度量测方法，其特征在于，该第一真圆轨迹的轮廓不同于该第二真圆轨迹的轮廓。
10.根据权利要求9所述的轮廓精度量测方法，其特征在于，该第一真圆轨迹的真圆度不同于该第二真圆轨迹的真圆度。
11.根据权利要求7所述的轮廓精度量测方法，其特征在于，该第二真圆轨迹的演算过程与该第一真圆轨迹的演算过程相同。
12.根据权利要求7所述的轮廓精度量测方法，其特征在于，该参考信息包含该第一真圆轨迹的真圆度的估测值。
13.根据权利要求7所述的轮廓精度量测方法，其特征在于，该目标信息包含该第二真圆轨迹的真圆度的估测值。
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