CN111809094B - 一种耐高温氧化的高熵合金、热障涂层及热障涂层的制备方法 - Google Patents

一种耐高温氧化的高熵合金、热障涂层及热障涂层的制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明提出一种耐高温氧化的高熵合金、热障涂层及热障涂层的制备方法；其中，通过在NiCoCrAlY内添加合金元素Fe、Ta和Hf，以制备得到AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金，发明所设计的高熵合金含有Fe、Hf和较高含量的Ta，其构型熵高于1.5R，具有高熵合金的一般特点。合金物相结构较简单，为BCC和FCC的双相结构，无复杂的金属间化合物析出相。相比于NiCoCrAlY，以本发明的高熵合金为粘结层的热障涂层在1150℃循环氧化条件下表现出更低的热生成氧化物增长速率。其氧化层均匀致密，与合金基体结合状态良好；本发明的高熵合金有作为粘结层材料应用的潜力。

Description

一种耐高温氧化的高熵合金、热障涂层及热障涂层的制备 方法
技术领域
本发明涉及热障涂层技术领域，尤其涉及一种耐高温氧化的高熵合金、热障涂层及热障涂层的制备方法。
背景技术
热障涂层通常是指沉积在燃气轮机高温合金表面，具有良好隔热效果的热防护涂层。热障涂层通常由耐高温氧化的合金粘结层和具有隔热效果的陶瓷层组合而成，可降低基体的工作温度，减缓高温氧化和腐蚀，对于保证燃气轮机热端部件的长时间服役意义重大。其中，粘结层是热障涂层的重要组成部分。在高温下服役时，粘结层表面形成不易透氧的热生成氧化物薄层。热障涂层在发生失效时，陶瓷层常从氧化层附近界面处剥落。粘结层的成分与氧化层的生长以及氧化层与陶瓷及粘结层的结合状态密切相关，很大程度上影响热障涂层的服役寿命。
对于使用温度最高的镍基高温合金，最高工作温度只有1100℃左右，已接近其熔点。地面和航空燃气轮机燃气温度一般在1000～1600℃，并有继续上升趋势。此类涂层的高温力学性能和抗氧化性能己经不能完全满足需求。目前，粘结层的成分主要为MCrAlY(M＝Ni，Co)和(Ni，Pt)Al。其中，Pt改性NiAl粘结层与电子束物理气相沉积(EB-PVD)制备的氧化钇部分稳定氧化锆(YSZ)陶瓷层相匹配，热喷涂MCrAlY粘结层与等离子喷涂YSZ进行配合。MCrAlY是工业上应用广泛的粘结层材料，其成分便于调节，与高温合金基体更接近而热扩散退化较慢。MCrAlY和具有一定孔隙率的热喷涂陶瓷层配合可用于防护要求稍低的部件，其制备成本较(Ni，Pt)Al和EB-PVD陶瓷层低。但在高于1150℃时，其氧化层生长较快。当氧化层厚度大于5μm时可发生涂层的剥落。因而，开发新型热防护涂层材料及其制备工艺十分重要。
合金化仍是提高MCrAlY抗氧化性的主要途径之一。然而，多量的合金元素添加可能导致合金中复杂脆性相的生成，降低合金力学性能。与传统以单元素为基础的合金不同，高熵合金中含有多个合金主元，即几种高含量(常大于5％摩尔分数)的主要合金元素。高熵合金常形成简单面心立方(FCC)或体心立方(BCC)结构，这是因为高的混合熵可能有助于固溶体而非脆性金属间化合物的生成。因而，此理念扩大了合金元素选择的种类和含量范围。高熵合金中原子常呈无序排列，因而存在强烈的固溶强化和较明显的晶粒细化现象，常具有强度高和耐腐蚀等特点。
目前，高熵合金研究一般集中于室温和块体合金的性能，对1000℃以上涂层高温氧化性研究较少。中国专利CN104711458A和CN101724768A中使用Pt、Pd和稀土元素对粘结层材料CoNiCrAl抗氧化性能进行改善，但其成分仍未达到高熵合金的范围。此外，中国专利CN108588627A公开了一种隔热防护用高熵合金涂层。该专利是在大气等离子喷涂方法制备AlCoCrFeNiTi高熵合金涂层，应用场合是汽车发动机的热端面工作环境，温度相对较低，约为300～500℃。中国专利CN110158008A使用等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)方法制备了AlCoCrFeNi涂层，但并未指明具体应用场合。中国专利CN103757631A使用电火花沉积的方法制备了室温下耐磨的AlCoCrFeNiMo涂层。
发明内容
本发明的目的在于提出一种具有优良的高温循环抗氧化能力的高熵合金、热障涂层及热障涂层的制备方法。
为达到上述目的，本发明提出一种耐高温氧化的高熵合金，通过在NiCoCrAlY内添加合金元素Fe、Ta和Hf，以制备得到AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金。
进一步的，所述AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金内各元素的摩尔含量为：Al 16～22％，Co 14～20％，Cr 14～20％，Fe 5～8％，Ni 38～45％，Ta 1～2％，Hf 0.02～0.1％以及Y0.2～0.5％。
本发明还提出一种热障涂层，包括AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金作为粘结层以及YSZ陶瓷层。
本发明还提出一种热障涂层的制备方法，包括以下步骤：
步骤1：按照粘结层合金的组成，计算纯金属和中间合金原材料的需求量，准备材料；
步骤2：将材料置于真空电弧炉进行熔炼，获得AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金锭；
步骤3：将所述AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金锭制备成AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金粉末；
步骤4：取高温合金基体，并且将所述高温合金基体进行表面预处理；
步骤5：将所述AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金粉末使用超音速等离子喷涂沉积至所述高温合金基体上，制备粘结层；
步骤6：通过音速等离子喷涂在所述粘结层表面沉积YSZ陶瓷层。
进一步的，在步骤2中，所述电弧炉采用非自耗真空钨极电弧炉，配有水冷铜坩埚。熔炼前电弧炉抽真空至5×10-3Pa以下，通入Ar气使电弧炉内气压保持在0.4～0.6MPa；
电极电压为30～50V，电流500～800A；引弧后每次熔炼1～2min，冷却后用机械手翻转所述AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金锭再次熔炼；反复上述熔炼步骤3～5遍，使成分较为均匀。
进一步的，在步骤3中，使用真空气雾化方法制备得到所述AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金粉末，所述AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金粉末呈近球形。
进一步的，在步骤4中，所述高温合金基体进行表面预处理包括砂纸打磨除锈、有机溶剂除油和表面喷砂粗化处理；
所述砂纸采用400#和1000#砂纸一次对高温合金基体表面进行打磨，所述有机溶剂采用沸程60～90℃的石油醚，所述喷砂采用16～60目颗粒的氧化铝砂。
进一步的，在步骤5中，所述粘结层的制备过程参数为：喷涂距离100～200mm，喷枪移动速度300～800mm/s，送粉速率20～50g/min，送粉气流10～25SLPM，喷涂电压100～200V，喷涂电流为250～450A，Ar气流量40～120SLPM，H2气流量15～30SLPM；喷涂角度75～90°，粘结层厚度50～200μm。
进一步的，在步骤6中，所述YSZ陶瓷层的制备参数为：喷涂距离80～150mm，喷枪移动速度300～800mm/s，送粉速率20～60g/min，送粉气流量10～25SLPM，喷涂电压100～200V，喷涂电流300～500A，Ar气流量40～120SLPM，H2气流量15～40SLPM；喷涂角度75～90°，陶瓷层厚度100～600μm；
所述YSZ陶瓷层成分为6～8wt％Y2O3稳定的ZrO2。
与现有技术相比，本发明的优势之处在于：本发明所设计的高熵合金含有Fe、Hf和较高含量的Ta，其构型熵高于1.5R，具有高熵合金的一般特点。高熵合金为体心立方(BCC)和面心立方(FCC)双相结构，FCC相兼顾了合金韧塑性，整体上合金力学性能较为均衡。高熵合金Al、Cr等抗氧化元素含量适中，Ta、Hf、Y可提高NiCoCrAl系列合金的抗氧化性能。Fe可使高熵合金在含Ta、Hf、Y含量较高时仍维持高的混合熵，避免复杂析出相的产生。Fe的含量较低，避免对可能应用的镍基合金的结构造成影响。相比于传统的NiCoCrAlY，以本发明的高熵合金为粘结层的热障涂层在1150℃循环氧化条件下表现出更低的热生成氧化物增长速率。其氧化层均匀致密，与合金基体结合状态良好。因此，这种高熵合金有作为粘结层材料应用的潜力。
附图说明
图1为实施例2制备的高熵合金铸态的XRD图谱；
图2为实施例2制备的高熵合金铸态的扫描电子显微镜图片；
图3为超音速等离子喷涂制备的热障涂层的截面形貌；
图4为高熵合金块体循环氧化20h后的XRD图谱；
图5为含有高熵合金粘结层的热障涂层在200h循环氧化后的粘结层附近截面的状态；
图6为含有NiCoCrAlY粘结层和高熵合金粘结层的热障涂层在200h循环氧化后热生成氧化物的横截面状态。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明的技术方案作进一步地说明。
本发明还提出一种热障涂层，包括AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金作为粘结层以及YSZ陶瓷层。
在本实施例中障涂层的制备方法，包括以下步骤：
步骤1：按照粘结层合金的组成，计算纯金属和中间合金原材料的需求量，准备材料；
步骤2：将材料置于真空电弧炉进行熔炼，获得AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金锭；AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金内各元素的摩尔含量为：Al 16～22％，Co 14～20％，Cr 14～20％，Fe 5～8％，Ni 38～45％，Ta 1～2％，Hf 0.02～0.1％以及Y 0.2～0.5％。
电弧炉采用非自耗真空钨极电弧炉，配有水冷铜坩埚，熔炼前电弧炉抽真空至5×10-3Pa以下，通入Ar气使电弧炉内气压保持在0.4～0.6MPa，防止金属在电弧下过度挥发。
电极电压为30～50V，电流500～800A；引弧后每次熔炼1～2min，冷却后用机械手翻转AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金锭再次熔炼；反复上述熔炼步骤3～5遍，使成分较为均匀，熔炼成的每个合金锭重40～60g。
针对AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金锭的制备，除了采用真空电弧炉进行熔炼也可以采用等离子放电烧结、球磨机械合金化等方法进行制备。
针对本发明中Fe的限定，具体方法为：合金ΔSmix≥1.5R(R为理想气体常数)，δ<0.066，参数Ω>1.1，ΔHmix处于(-15～3.2)kJ/mol之间，满足高熵合金一般的形成条件。满足以上条件的前提下，还保证Al含量大于16％，Cr含量大于14％，以保证合金抗氧化性。在以上基础之上进行计算，尽量降低Fe的含量。因为Fe含量的过多会导致和Ni基高温合金基体组成上不够匹配，从而使扩散加速，粘结层退化。
如Fe含量过少，则混合熵值偏低，显著低于1.5R则不能称之为高熵合金。经实验表明，合金中较高含量的Hf、Ta在混合焓为1.5R时，SEM下观察没有明显析出，表明较高的混合熵对抑制复杂析出相起到了一定效果。而含有明显的Hf、Ta的析出相对合金抗氧化性的提高是有负面影响的。
Hf含量的提高对抗氧化性能提高不利。当合金Hf含量为0.2％时(此时相应减少Ni含量)，1150℃下20h氧化增重比较明显地由0.05％时的3.24×10-4g/cm2增加到8.17×10- 4g/cm2(NiCoCrAlY为5.18×10-4g/cm2)。
Ta含量为2％时，使用表面粗糙度仪测得其氧化层变的略微粗糙，Ra值为0.59±0.15μm(NiCoCrAlY为0.47±0.05μm)。粗糙度增加表明其氧化膜均匀性变差，和陶瓷层的结合状态会受到影响，因而Ta含量过高对于涂层性能的提高也是不利的。但不太影响其氧化增重，为5.25×10-4g/cm2。
步骤3：将AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金锭使用真空气雾化方法制备成AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金粉末；所述AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金粉末呈近球形，流动性比较好，适合喷涂。
步骤4：取高温合金基体，并且将高温合金基体进行表面预处理。
高温合金基体进行表面预处理包括砂纸打磨除锈、有机溶剂除油和表面喷砂粗化处理；
砂纸采用400#和1000#砂纸一次对高温合金基体表面进行打磨，有机溶剂采用沸程60～90℃的石油醚，喷砂采用16～60目颗粒的氧化铝砂，增加表面的摩擦力。
步骤5：将AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金粉末使用超音速等离子喷涂沉积至高温合金基体上，制备粘结层；粘结层的制备过程参数为：喷涂距离100～200mm，喷枪移动速度300～800mm/s，送粉速率20～50g/min，送粉气流10～25SLPM，喷涂电压100～200V，喷涂电流为250～450A，Ar气流量40～120SLPM，H2气流量15～30SLPM；喷涂角度75～90°，粘结层厚度50～200μm。
步骤6：通过音速等离子喷涂在粘结层表面沉积YSZ陶瓷层。YSZ陶瓷层的制备参数为：喷涂距离80～150mm，喷枪移动速度300～800mm/s，送粉速率20～60g/min，送粉气流量10～25SLPM，喷涂电压100～200V，喷涂电流300～500A，Ar气流量40～120SLPM，H2气流量15～40SLPM；喷涂角度75～90°，陶瓷层厚度100～600μm；
YSZ陶瓷层成分为6～8wt％Y2O3稳定的ZrO2。
下面将通过具体的实验数据，对本发明的优势之处做出进一步的解释说明：
实施例1：
对合金成分18.00Al-16.12Co-16.12Cr-6.16Fe-42.25Ni-1Ta-0.05Hf-0.3Y(摩尔百分数)进行计算，得到合金的加权熔点Tm、混合熵ΔSmix、混合焓ΔHmix、原子尺寸差δ、参数Ω、价电子浓度VEC列于表1中。NiCoCrAlY(成分为40.95Ni-19.74Co-16.54Cr-22.49Al-0.28Y，摩尔百分数)作为对比列出。18.00Al-16.12Co-16.12Cr-6.16Fe-42.25Ni-1Ta-0.05Hf-0.3Y合金满足ΔSmix≥1.5R(R为理想气体常数)，参数Ω>1.1，ΔHmix处于(-15～3.2)kJ/mol之间，因而可称为高熵合金。
表1 高熵合金相关参数的计算
Figure BDA0002521565630000081
实施例2：
合金锭、合金粉末及热障涂层的制备。将原材料Al、Co、Cr、Fe、Ni、Hf、Ta(纯度均为99.9wt％及以上)和Al-Y中间合金置于95％无水乙醇进行超声波清洗10分钟，将表面的油污杂质除去后，置于50℃烘干箱中干燥。高熵合金选择18.00Al-16.12Co-16.12Cr-6.16Fe-42.25Ni-1Ta-0.05Hf-0.3Y(摩尔百分数)的组分，用精度为0.001g的电子天平，对原材料进行称重配料。使用非自耗真空电弧炉进行熔炼，共熔炼50g左右的合金锭6个。按照熔点由低到高，由下到上依次将配比后的材料放在水冷铜坩埚中。先用机械泵抽真空至5Pa，再使用分子泵继续抽真空至5×10-3Pa以下，之后充入高纯氩气使得炉内压强为0.5MPa，引弧熔炼。每次熔炼后，将初熔合金锭翻转，继续再次熔炼，熔炼过程重复4次，保证成分充分均匀化。冷却后得到碗状合金锭。
将熔炼后的合金锭进行气雾化制粉。采用紧耦合限制式喷嘴，熔体温度1500℃，雾化喷嘴直径3.2mm，雾化压力3.5MPa，雾化介质为Ar气。球磨后的粉末用120目和600目的样品筛筛分，得到粒径在10～125μm的粉末120g左右。
将K4002高温合金作为基体，用400#和1000#砂纸打磨除去氧化皮，之后先后在纯水和石油醚(沸程30～60℃)中超声波清洗各5min，除去杂物和油脂。用30目氧化铝砂进行喷砂处理，喷砂压力0.4MPa，时间1min。
采用超音速等离子喷涂，在大气环境下将AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金粉末喷涂到高温合金基体表面形成粘结层。喷涂距离为110mm，喷枪移动速度为800mm/s，送粉速率为30g/min，送粉气流量4SLPM，电压为125V，喷涂电流范围为400A，Ar气流量90SLPM，H2气流量15SLPM，喷涂角度90°，喷枪扫描次数15次。涡流测厚仪测得粘结层厚度为116±22μm。
采用超音速等离子喷涂，大气环境下，在粘结层表面喷涂陶瓷层，成分为8wt％Y2O3稳定的ZrO2。喷涂距离90mm，喷枪移动速度800mm/s，送粉速率25g/min，送粉气流量5SLPM，喷涂电压145V，喷涂电流450A，Ar气流量115SLPM，H2气流量20SLPM，喷涂角度90°，喷枪扫描次数25次。涡流测厚仪测得陶瓷层厚度为253±41μm。
使用同样的方法，获得以NiCoCrAlY(成分为40.95Ni-19.74Co-16.54Cr-22.49Al-0.28Y，摩尔百分数)为粘结层的热障涂层。
对所得合金锭和涂层进行检测。图1为高熵合金铸锭的X射线衍射图谱，可见合金为FCC和BCC的双相结构。
图2为熔炼获得的高熵合金铸锭的扫描电镜图像，其中浅色的为BCC相，其余为FCC相，无其他显著析出相。合金晶粒近似为等轴状，晶粒内部为BCC相的状枝晶结构。
图3为超音速等离子喷涂制备的以高熵合金为粘结层的热障涂层截面形态。该方法制备的金属粘结层和陶瓷层为片层状结构，各个界面处结合较为紧密。因等离子体喷涂粒子速率为超音速，涂层较为致密均匀，与基体结合紧密，达到了涂层制备的效果。
实施例3：
高熵合金块体进行循环氧化测试，与NiCoCrAlY合金对比。将实施例2所得合金锭块体用精密切割机切取大小为15mm×15mm×2mm的方形试片，每种成分各2片。然后用砂纸逐步打磨到2000#，保证表面平整，用电子天平称重。循环氧化实验的条件为：使用管式炉在空气中于1150℃中加热1h，之后取出至室温空气冷却30min，用电子天平称重，反复进行20次，氧化增加的质量取两片试片增加质量的平均值。
如图4为合金块体20h循环氧化后XRD图谱。经分析氧化物主要成分为α-Al2O3，可能含有较少量的NiO。α-Al2O3有良好的阻氧性能，使合金耐氧化能力强。循环氧化20h后，高熵合金和NiCoCrAlY块体表面氧化增重分别为3.24×10-4g/cm2和5.18×10-4g/cm2。
进行热障涂层的循环氧化实验。对于含有高熵合金粘结层和NiCoCrAlY粘结层的热障涂层试样，用精密切割机切取大小为15mm×15mm的试片，每种成分各2片。将涂层面向上平放于刚玉瓷舟中，直接放入已恒定为1150℃的空气气氛的管式炉中。每加热12h，从炉中取出样品冷却至室温，在20倍光学显微镜下观察，之后将样品再次加热，重复进行直至涂层失效或者累积到200h为止。满足下列标准之一即为涂层失效：1)涂层脱落面积超过原面积的1/4；2)在20倍光学显微镜下观察到涂层边缘出现可见裂纹。使用SEM观察基体和涂层沿厚度方向的横截面，测量热生成氧化物的厚度值，计算其生长速率。
图5为循环氧化200h后，热障涂层的高熵合金粘结层附近形貌。截面可见粘结层上表面形成较为均匀的一薄层热生成氧化物，其厚度较均匀，其内部略有内氧化。氧化膜与合金基体结合紧密，未见明显分离，显示在此循环时间内涂层未发生失效。
图6为高熵合金和NiCoCrAlY两粘结层的热生成氧化物层。试样的截面可测出氧化层厚度，已在图中标出，可见高熵合金粘结层表面的氧化层厚度较小，即高熵合金粘结层的氧化速率比NiCoCrAlY合金小。经计算，二者氧化层生长速率分别为2.92×10-2μm/h和1.67×10-2μm/h。
上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种耐高温氧化的高熵合金，其特征在于，通过NiCoCrAlY添加合金元素Fe、Ta和Hf，以制备得到AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金；所述AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金内各元素的摩尔含量为：Al 16～22％，Co 14～20％，Cr 14～20％，Fe 5～8％，Ni 38～45％，Ta 1～2％，Hf0.02～0.1％以及Y 0.2～0.5％。
2.一种热障涂层，其特征在于，包括如权利要求1中所述的AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金作为粘结层以及YSZ陶瓷层。
3.一种热障涂层的制备方法，制备如权利要求2所述的热障涂层，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：按照粘结层合金的组成，计算纯金属和中间合金原材料的需求量，准备材料；
步骤2：将材料置于真空电弧炉进行熔炼，获得AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金锭；
步骤3：将所述AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金锭制备成AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金粉末；
步骤4：取高温合金基体，并且将所述高温合金基体进行表面预处理；
步骤5：将所述AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金粉末使用超音速等离子喷涂沉积至所述高温合金基体上，制备粘结层；
步骤6：通过音速等离子喷涂在所述粘结层表面沉积YSZ陶瓷层。
4.根据权利要求3所述的热障涂层的制备方法，其特征在于，在步骤2中，所述电弧炉采用非自耗真空钨极电弧炉，配有水冷铜坩埚；熔炼前电弧炉抽真空至5×10-3Pa以下，通入Ar气使电弧炉内气压保持在0.4～0.6MPa；
电极电压为30～50V，电流500～800A；引弧后每次熔炼1～2min，冷却后用机械手翻转所述AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金锭再次熔炼；反复上述熔炼步骤3～5遍，使成分较为均匀。
5.根据权利要求3所述的热障涂层的制备方法，其特征在于，在步骤3中，使用真空气雾化方法制备得到所述AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金粉末，所述AlCoCrFeNiTaHfY高熵合金粉末呈近球形。
6.根据权利要求3所述的热障涂层的制备方法，其特征在于，在步骤4中，所述高温合金基体进行表面预处理包括砂纸打磨除锈、有机溶剂除油和表面喷砂粗化处理；
所述砂纸采用400#和1000#砂纸依次对高温合金基体表面进行打磨，所述有机溶剂采用沸程60～90℃的石油醚，所述喷砂采用16～60目颗粒的氧化铝砂。
7.根据权利要求3所述的热障涂层的制备方法，其特征在于，在步骤5中，所述粘结层的制备过程参数为：喷涂距离100～200mm，喷枪移动速度300～800mm/s，送粉速率20～50g/min，送粉气流10～25SLPM，喷涂电压100～200V，喷涂电流为250～450A，Ar气流量40～120SLPM，H2气流量15～30SLPM；喷涂角度75～90°，粘结层厚度50～200μm。
8.根据权利要求3所述的热障涂层的制备方法，其特征在于，在步骤6中，所述YSZ陶瓷层的制备参数为：喷涂距离80～150mm，喷枪移动速度300～800mm/s，送粉速率20～60g/min，送粉气流量10～25SLPM，喷涂电压100～200V，喷涂电流300～500A，Ar气流量40～120SLPM，H2气流量15～40SLPM；喷涂角度75～90°，陶瓷层厚度100～600μm；
所述YSZ陶瓷层成分为6～8wt％Y2O3稳定的ZrO2。
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