CN111801573A - 样品分析方法、样品导入装置 - Google Patents
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Abstract
利用喷雾器（4）将样品溶液转换为样品雾气之后，在脱溶媒部（7）通过加热使之进行脱溶媒，将含有经脱溶媒后的样品雾气和载气的样品气体通过样品导入管（9）倒入到电浆炬30。在样品导入管（9）设置添加部（10），其添加含有水分的载气即含水气体。添加部（10）具备：容器（11），其装有超纯水；气体管（12），其向超纯水中导入载气并使其起泡；及气体管（14），其将由起泡产生的含水气体添加到样品导入管（9）。电浆炬（30），以将供给电力设为550 W~700 W的条件产生感应耦合电浆。由此，将含有通过加热而脱溶媒的样品雾气和搬送该样品雾气的载气的样品气体导入到电浆中，并对通过电浆而离子化的样品中的元素进行分析时，抑制因为离子化电位较高的元素所引起的干扰分子离子的产生。
Description
技术领域
本发明是关于一种将样品导入到电浆使其离子化，并对离子化的样品中的元素进行分析的方法及将样品导入到该电浆的装置。
背景技术
感应耦合电浆质量分析装置(Inductively Coupled Plasma MassSpectrometer，以下简称ICP-MS)是向放置于电浆炬的加感线圈供给高频电力使其产生感应耦合电浆，并向该电浆的中心部喷雾经气溶胶化的样品溶液，使样品所含有的元素离子化。该装置为离子经由电浆介面被导入至真空系统，并利用质量分析仪被分离为目标质量后，借由利用检测器进行计数，从而可以进行离子(元素)的鉴定或者定量的装置。ICP-MS的特征为能够高感度的进行多元素的同时分析，且校准曲线的直线范围较宽。
ICP-MS由以下各部构成：喷雾并导入样品溶液的样品导入部，将所喷雾的样品中所含有的元素离子化的电浆炬部，将离子撷取到质量分析仪的某真空系统的介面部，将离子高效率的引导至质量分析仪的离子透镜部，将离子进行质量分离的质量分离部，及进行离子检测的离子检测部。
其中，样品导入部经由喷雾器使样品溶液进行喷雾，并借由喷雾腔室进行由载气搬送的样品雾气的筛选。即，样品雾气粒径较细的叠加于载气被搬送到电浆炬。一般而言，被搬送的样品雾气的粒径的筛选是由喷雾腔室进行的，但因为喷雾腔室仅有助于将较小的样品喷雾搬送到电浆炬，所以样品导入效率较低。因此，以提高向电浆炬的样品导入效率为目的，超音波喷雾器或APEX、DHS等脱溶媒样品导入装置被商品化。
超音波喷雾器通过样品溶液在超音波振子的表面的流动，从而可以将样品转换为细微的雾气，和喷雾腔室相比，可提高样品导入效率。但是，超音波喷雾器的构成零件多为玻璃制品，并且有无法导入含有氢氟酸的样品的缺点。另一方面，脱溶媒样品导入装置有APEX(ESI公司制造)、及DHS(IAS公司制造)，具备耐氢氟酸规格的腔室，也能够导入含有氢氟酸的样品。在脱溶媒样品导入装置中，将利用喷雾器所产生的样品雾气在加热腔室内进行加热，并使样品雾气中的溶媒气化，从而使样品雾气的粒径缩小，并使其与载气叠加从而使样品雾气变得易被运送。并且，通过将利用加热腔气化的溶媒蒸汽冷却，从而使溶媒凝聚，可以作为排水而排出。关于脱溶媒样品导入装置的构成或作用在专利文献1中也有所记载。
经由脱溶媒样品导入装置，使样品雾气的粒径缩小进而提高样品导入效率，但是，另一方面，借由去除溶媒，从而使因被导入到电浆中的样品雾气的汽化热所产生的电浆温度的降低的影响较小，电浆维持高温。ICP-MS中，当测定受作为电浆气体的Ar、或其他离子化电位较高的元素所引起的干扰分子离子的影响较小的元素时，若在高温电浆条件(热电浆)条件下进行测定，受到该等影响的元素(例如Fe)较大的受到干扰分子离子的影响。因此，四重极ICP-MS中，如专利文献2，虽进行了将导入的离子通过碰撞/反应池选择性的分离干扰分子离子的方法，但未具有碰撞/反应池的ICP-MS(例如未搭载该等池的四重极ICP-MS或高解析ICP-MS等)中无法减轻干扰分子离子的影响。
因此，也会进行如下方法：通过降低向电浆炬的高频供给电力并产生较通常低温的电浆(冷电浆或者低温电浆)，从而抑制Ar或者其他离子化电位较高的元素的离子化，并且抑制干扰分子离子的产生。
但是，存在通过脱溶媒样品装置失去样品雾气中的大部分水分，即使在低温电浆条件下的测定，因电浆温度未充分的下降，受到因Ar或者其他离子化电位较高的元素所引起的干扰分子离子产生的影响的问题，为了解决这些问题必须进行并用脱溶媒样品导入装置的根据低温电浆条件的测定。
先前技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2014-222178号公报
专利文献2：日本特开22017-15676号公报
发明内容
本发明是鉴于上述情况而形成的，其目的在于提供一种样品分析方法和样品导入装置，该样品分析方法及样品导入装置是将含有由加热而脱溶媒的样品雾气和搬送该样品雾气的载气的样品气体导入到电浆中，在对由该电浆而离子化的样品中的元素进行分析时，可抑制因离子化电位较高的元素所引起的干扰分子离子的生成。
为了达成上述目的，本发明的一种形态的样品分析方法为
将含有由加热而脱溶媒的样品雾气及搬运该样品雾气的载气的样品气体导入到电浆中，并对由该电浆而离子化的样品中的元素进行分析，且
将含有水分的载气即含水气体添加到将上述样品气体导入到上述电浆中的路径中。
另外，本发明的一种形态的样品导入装置为
将上述样品气体导入到上述电浆中的装置，且应用如下方法：将含有由加热而脱溶媒的样品雾气及搬运该样品雾气的载气的样品气体导入到电浆中，并对由该电浆而离子化的样品中的元素进行分析；该样品导入装置具备：
生成部，其生成含有水分的载气即含水气体；及
路径，其将在上述生成部所生成的上述含有水分的气体添加到将上述样品气体导入到上述电浆的路径中。
根据本发明的一种形态，因将含有水分的载气(含水气体)添加至将含有由加热而脱溶媒的样品雾气和搬送该样品雾气的载气的样品气体导入到电浆的路径中，所以向电浆中导入含有水分的样品气体。因此，伴着水分的汽化热的能量消耗，从而使电浆温度下降，抑制离子化电位较高的元素的离子化，即可抑制因离子化电位较高的元素所引起的干扰分子离子的产生。另外，也可以获得因脱溶媒所产生的效果(样品雾气粒径缩小，且向电浆中导入样品的效率提高的效果)。
含水气体是由在超纯水中使载气起泡而产生，或可使由中空纤维过滤器所构成的载气线浸渍于超纯水中所产生。再者，所谓超纯水是指纯度极高的水，且电阻率超过15MΩcm的水准的水。
另外，在本发明的一种形态中的上述电浆可为将供给电力设为550W～700W而生成的感应耦合电浆。如此，通过将电浆的生成条件设为低温电浆条件，从而可以充分的降低电浆温度，并可抑制因离子化电位较高的元素所引起的干扰分子离子的产生。因此，可正确的对易受到因离子化电位较高的元素所引起的干扰分子离子的影响的元素(例如Fe)进行分析。
附图说明
图1为第1实施方式中的感应耦合电浆质量分析系统的构成图。
图2为第2实施方式中的感应耦合电浆质量分析系统的构成图。
图3为比较例中感应耦合电浆质量分析系统的构成图。
图4为将对于Na的检测下限值DL及背景当量浓度BEC在实施例及比较例1、2中比较的图。
图5为将对于Mg的检测下限值DL及背景当量浓度BEC在实施例及比较例1、2中比较的图。
图6为将对于AI的检测下限值DL及背景当量浓度BEC在实施例及比较例1、2中比较的图。
图7为将对于Ca的检测下限值DL及背景当量浓度BEC在实施例及比较例1、2中比较的图。
图8为将对于Ti的检测下限值DL及背景当量浓度BEC在实施例及比较例1、2中比较的图。
图9为将对于Cr的检测下限值DL及背景当量浓度BEC在实施例及比较例1、2中比较的图。
图10为将对于Mn的检测下限值DL及背景当量浓度BEC在实施例及比较例1、2中比较的图。
图11为将对于Fe的检测下限值DL及背景当量浓度BEC在实施例及比较例1、2中比较的图。
图12为将对于Ni的检测下限值DL及背景当量浓度BEC在实施例及比较例1、2中比较的图。
图13为将对于Cu的检测下限值DL及背景当量浓度BEC在实施例及比较例1、2中比较的图。
图14为将对于Zn的检测下限值DL及背景当量浓度BEC在实施例及比较例1、2中比较的图。
具体实施方式
第1实施方式
以下，对本发明的第1实施方式一边参考附图一边进行说明。图1表示根据感应耦合电浆质量分析法进行样品中的元素分析的系统的构成图。图1的系统具备：样品导入装置1；电浆炬30，其生成自上述装置1导入样品后用于使导入的样品离子化的感应耦合电浆；及分析装置40，其对在电浆炬30被离子化的样品(元素)进行质量分析。首先，对样品导入装置1的构成进行说明。
样品导入装置1具备：管体3，其从装有液体状样品(样品溶液)的容器2吸取样品；喷雾器4，其将吸取的样品变为喷雾状(即生成样品雾气)；气体管5，其向该喷雾器4里导入载气(以下，有时也称为喷雾器气体)；MFC6(质量流量控制器)，其控制气体管5的气体流量；及脱溶媒部7，其通过加热对利用喷雾器4所生成的样品雾气进行脱溶媒处理。进而，样品导入装置1具备：气体管9(以下也称为样品导入管)，其将含有在脱溶媒部7进行脱溶媒的样品雾气和从气体管5导入至喷雾器4的载气样品气体导入到电浆炬30。及添加部10，其向上述样品导入管9添加含有水分的载气(以下，有时也称为含水气体)。
容器2由例如具有耐化学品性的材质(例如，PFA(四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯共聚树脂)等氟树脂)所形成。在装在容器2的样品溶液中，含有例如水、乙醇、氢氟酸(氟化氢、HF)、及过氧化氢水等作为溶媒。
喷雾器4例如为PFA制的同轴型喷雾器。另外，喷雾器4也可以为同轴型以外的其他型式的喷雾器。而且，当样品溶液中未含有氢氟酸等腐蚀作用较强的物质时，可以使用玻璃制的喷雾器作为喷雾器4，也可以使用超音波式的喷雾器作为喷雾器4。喷雾器气体例如为氩气或氮气等。喷雾器气体的流量以根据MFC6成为特定量(例如0.60～1.00L/min)的方式进行调整。
脱溶媒部7具备：加热腔室(例如加热式旋风腔室)，其将由喷雾器4所生成的样品雾气进行加热并使样品中含有的溶媒气化；冷却部，其使加热后的样品液滴和气化的溶媒冷却，并使气化的溶媒冷凝；泵，其用于排除冷却部冷凝的溶媒；及排水排除管8，其伴随泵的动作将溶媒向外部排出。脱溶媒部7可作为APEX(ESI公司制造)、DHS(IAS公司制造)等在市面上销售的脱溶媒样品导入装置。
脱溶媒部7通过使样品雾气在加热腔室进行加热，从而使样品液滴中的溶媒气化，并使样品液滴的尺寸微细化。这时可以筛选微细化的样品液滴和经气化的溶媒蒸汽，也可以筛选样品液滴的尺寸。然后，通过在冷却部使样品液滴和溶媒蒸汽冷却，从而使其凝缩，并可通过连接在冷却部正下方的排水排出管8排出尺寸较大的液滴或凝缩的溶媒。通过利用脱溶媒部7缩小样品雾气的粒径，从而可搭载于载气使样品雾气容易运输。再者，脱溶媒部7的加热腔室中的加热温度，例如设定为超过样品雾气中的溶媒的沸点的温度。脱溶媒部7的冷却部的冷却温度，例如设定为溶媒不凝固的范围的温度。
样品导入管9的一端连接于脱溶媒部7的出口，另一端连接于电浆炬30的中心管的入口。
添加部10具备：容器11，其装有超纯水；气体管12，其向上述容器11所装的超纯水中供给载气；MFC13，其控制气体管12的气体流量；及气体管14，其将容器11中的气体(含水气体)添加至样品导入管9的中途位置。容器11例如可以为PFA制。容器11内，在超纯水的上方具有未被超纯水占据的空间11a。
气体管12以一端浸渍于容器11的超纯水中的形式而设置。通过气体管12向容器11供给的载气(添加气体)例如使用和喷雾器气体相同的气体，但也并非必须和喷雾器的气体相同。添加气体例如为氩气或者氮气等。气体管14，以和气体管12分离的形式设置。气体管14的一端配置于容器11内的空间11a，另一端连接于样品导入管9的中间部分。从添加部10添加至样品导入管9的含水气体的流量由MFC13以成为特定量(例如0.10～0.50L/min)的方式进行调整。
以上为样品导入装置1的构成。其次对电浆炬30及分析装置40的构成进行说明。电浆炬30具有三重管构造，该三重管构造为中心管、以覆盖该中心管的周围(外部)的方式而设置的辅助管、及以覆盖辅助管的周围(外部)的方式而设置的最外管配置为同心圆状。电浆炬30的各管例如为石英玻璃(SiO2)或耐热玻璃(例如，SiO2和B2O3混合的硅酸硼玻璃)制。
来自样品导入装置1的样品气体被导入至中心管。即，样品导入管9连接于中心管的轴向上的一端。在中心管的另一端，形成有导通于最外管的前端部(为设置有后述的感应线圈的部分，且为生成感应耦合电浆的空间)的开口。
在辅助管的一端侧形成有气体导入口。自该气体导入口导入辅助气体。辅助气体为用于防止所生成的电浆和电浆炬30接触的气体，例如氩气。在辅助管的另一端形成有将被导入的辅助气体向最外管内的前端部放出的开口。辅助气体的流量由未图示的MFC以成为特定量(例如0.6～1.5L/min)的方式进行调整。
在最外管的一端侧形成有气体到入口。自该气体导入口导入作为电浆的主要形成气体的电浆气体(例如氩气)。电浆气体的流量由未图示的MFC以成为特定量(例如14.0～18.0L/min)的方式进行调整。另外，在最外管的前端部(与气体导入口相反侧的端部)外周设置有感应线圈。在感应线圈连接有高频电源。施加于感应线圈的高频的电力在低温电浆条件下例如为550W～700W。通过向最外管导入电浆气体，向辅助管导入辅助气体，向感应线圈施加高频，从而在最外管的前端部生成感应耦合电浆。
分析装置40具备：介面部，其由将在电浆炬30的电浆中所生成的离子(样品)撷取至质量分析仪的某真空系统的取样锥及截取锥所构成；离子透镜部，其用于将通过介面部的离子高效率的引导至质量分析仪；质量分离部，其对通过离子透镜部的离子进行质量分离；离子检测部，其对在质量分离部被质量分离的离子进行检测；及运算部，其对在离子检测部所检测的数据(质谱)进行分析处理。
以上为图1的系统的构成。其次对图1的系统的作用进行说明。含有在喷雾器4中所生成的样品雾气和载气的样品气体被导入到脱溶媒部7。被导入到脱溶媒部7的样品气体，通过加热及其后的冷却进行脱溶媒，从而使样品粒径缩小。含有在脱溶媒部7被筛选出的小粒径的样品载气(换言之为经过干燥气溶胶化的样品)，经由样品导入管9被导入到电浆炬30的中心管。这时，自添加部10的含水气体被添加到样品导入管9。即，通过向容器11的超纯水中供给载气，从而进行起泡。在容器11的空间11a充满起泡后的载气，即含有超纯水的分子(水分)的载气(含水气体)。空间11a的含水气体经由气体管14添加至样品导入管9。
如此，向电浆炬30的中心管里导入含有水分的样品气体。导入到中心管的含有水分的样品气体，被导入至在电浆炬30的前端部所生成的感应耦合电浆的中心部，并进行样品的离子化。经离子化的样品被导入到分析装置40并进行质量分析。
根据本实施方式，因在脱溶媒后，且电浆的导入前，向样品气体中导入水分，所以维持基于脱溶媒的向电浆导入样品的效率，且因伴随水分的汽化热的能量消耗可以充分地使电浆温度下降，并可抑制离子化电位较高的分析对象以外的元素的离子化，即可抑制干扰分子离子的生成。因此，如后述的实施例所示，可以改善分析对象元素的检测下限值DL(Detection Limit)及背景当量浓度BEC(Background Equivalent Concentration)。尤其是，通过向样品导入管9添加含水气体，从而可将水分和样品气体一起导入到电浆炬30的中心管，并且可以有效的降低导入了样品气体的电浆中心部的温度。因此，可以抑制电浆中心部中的干扰分子离子的生成。
另外，通过将电浆的条件设为低温电浆条件(将感应线圈的供给电力设为550W～700W的条件)，从而相较于高温电浆条件(供给电力超过700W的条件)，可以更加降低电浆温度，并可更加抑制因氩等离子化电位较高的元素所引起的干扰分子离子的生成。因此，可以高感度的对易受到因离子化电位较高的元素所引起的干扰分子离子的影响的分析对象元素(质量接近于干扰分子离子的元素)进行分析。
第2实施方式
其次，以本发明的第2实施方式与第1实施方式的不同部分为中心进行说明。图2表示本实施形态的感应耦合电浆质量分析系统的构成。图2中，与图1相同的构成附有相同的符号。图2的系统中，添加部15的构成和图1的添加部10不同，除此以外与图1的系统相同。
图2的添加部15具备：容器11，其装有超纯水；气体管16；及MFC18，其控制气体管16的气体流量。容器11和图1的构成相同。气体管16以向容器11导入气体的上游部和自容器11排出气体的下游部连接的形状而形成。详细而言，气体管16的一部分17由中空纤维膜的管体(中空纤维过滤器)所构成，且以浸渍于容器11的超纯水的状态而设置。中空纤维过滤器部17以将超纯水中的一定量的水分子经由中空纤维过滤器部17的壁面能够向中空纤维过滤器部17内穿透而构成。这时，以向中空纤维过滤器部17内渗透的水分搭载于载气被搬送的方式，由中空纤维过滤器部17调整穿透中空纤维过滤器部17的水分量或粒径。
气体管16的上游部(向容器11供给载气的气体管部分)连接于中空纤维过滤器部17的一端，气体管16的下游部(将来自容器11的含水气体引导至样品导入管9的气体管部分)连接于中空纤维过滤器17的另一端。气体管16的下游部中的端部连接于样品导入管9。MFC18设置于气体管16的上游部。再者，气体管16的浸渍于超纯水中的部分17以外的部分，由通常的气体管的素材(在管的内侧和外侧之间分子无法通过的素材)所形成。在气体管16中流动有氩气等的载气。
若对添加部15的作用进行说明，则在气体管16流动的载气，在中空纤维过滤器部17内被供给来自超纯水的水分。然后，含有水分的载气被添加至样品导入管9。这样，在图2的系统也能够获得和图1相同的作用效果。
实施例
以下，列举实施例对本发明进行具体的说明，但并非以此限定本发明。
实施例
使用图1所示的系统求出各元素的检测下限值DL及背景当量浓度BEC。这时，喷雾器4使用100μL/分钟的PFA制微流喷雾器，脱溶媒部7使用IAS公司制造的DHS(脱溶媒样品导入装置)。这些的设定参数设为：喷雾器：0.8L/分钟，被添加到样品导入管9的含有水分的载气(添加气体)：0.2L/分钟，脱溶媒部7的加热温度：120℃，及冷却温度：2℃。另外，喷雾器气体及添加气体设为氩气。另外，分析装置40(ICP-MS)使用Thermo Fisher Scientific公司制造的高解析ICP-MS(ELEMENT2)。其设定参数设为：电浆气体：16L/分钟，辅助气体：0.8L/分钟，及RF_POWER：650W的低温电浆条件。电浆气体及辅助气体设为氩气。另外，添加部10中的容器11设为PFA制，且向其中装入250mL的超纯水。
在该条件下，求出当测定1％HF/5％H2O2溶液中的Na(质量数23)，Mg(质量数24)，Al(质量数27)，Ca(质量数44)，Ti(质量数48)，Cr(质量数52)，Mn(质量数55)，Fe(质量数56)，Ni(质量数60)，Cu(质量数63)，及Zn(质量数64)时会干涉的干扰分子离子，及将分析装置40(ICP-MS)的质量分辨率设定为4000并测定时的各元素的检测下限值DL和背景当量浓度BEC。
此处，检测下限值DL是样品中存在的分析对象元素的能够检测的最低浓度。具体而言，检测下限值DL为赋予背景强度的标准偏差σ的3倍的浓度，且根据下述式1而定义。
[式1]
式1：
式1中，“空白强度”为使用空白溶液(未装分析对象元素的溶液)时的利用ICP-MS所检测的各元素的离子强度(单位为cps)。“标准样品的浓度”为标准溶液(以空白溶液中分析对象元素的浓度为特定值的方式而调制的溶液)中各元素的浓度(单位为ppt)。“标准样品的强度”为使用标准溶液时的利用ICP-MS所检测的各元素的离子强度(单位为cps)。使用上述1％HF/5％H2O2溶液作为空白溶液及标准溶液。再者，检测下限值DL依存于空白强度的稳定性。
背景当量浓度BEC为赋予和背景强度相等的信号强度的分析对象元素的浓度，并根据下述式2进行定义。背景当量浓度BEC依存于空白强度。
[式2]
式2:
比较例1、2
使用图3所示的系统求出各元素的检测下限值DL及背景当量浓度BEC作为比较例1、2。图3中，与图1相同的构成附有相同的符号。图3的系统就未向样品气体里添加水分这点而言，和上述实施例所使用的系统构成(图1的系统)不同，除此以外与实施例所使用的系统构成相同。即，图3的系统，在样品导入管9的中间部连接有添加了氩气的气体管19，且设置有控制该气体管19的气体流量的MFC20，但并未向在气体管19流动的氩气里添加水分。
比较例1的设定参数(各气体的流量、脱溶媒部的加热温度、冷却温度、RF_POWER)设为与实施例相同(即低温电浆条件)。比较例2的设定参数，除RF_POWER以外设为和实施例相同，RF_POWER设为1200W的高温电浆条件。
在该条件下，求出当测定1％HF/5％H2O2溶液中的Na(质量数23)，Mg(质量数24)，Al(质量数27)，Ca(质量数44)，Ti(质量数48)，Cr(质量数52)，Mn(质量数55)，Fe(质量数56)，Ni(质量数60)，Cu(质量数63)，Zn(质量数64)时干涉的干扰分子离子，及将分析装置40(ICP-MS)的质量分辨率设定为4000并测定时的各元素的检测下限值DL和背景当量浓度BEC。再者，检测下限值DL，背景当量浓度BEC根据上述式1，式2而定义。
结果
将实施例的结果表示于在表1，将比较1的结果表示于表2，将比较2的结果表示于表3。而且，表1～3的右栏中，表示有质量数近似于各分析对象元素的离子作为干涉离子(干扰分子离子)。另外，对每个分析对象元素，将其的检测下限值DL及背景当量浓度BEC在实施例，比较例1、2中比较的图表示于图4～图14。
[表1]
(ppt)
| 质量分辨率 | DL | BEC | 干涉离子 | |
| 23Na | 4000 | 0.074 | 0.084 | BC |
| 24Mg | 4000 | 0.081 | 0.103 | C<sub>2</sub> |
| 27AI | 4000 | 0.091 | 0.122 | CN、CNH、BO |
| 44Ca | 4000 | 0.124 | 0.13 | SiO、CO<sub>2</sub>、N<sub>2</sub>O |
| 48Ti | 4000 | 0.067 | 0.065 | ArC、SiO、SiF |
| 52Cr | 4000 | 0.041 | 0.045 | ArC、ArN、ArO |
| 55Mn | 4000 | 0.022 | 0.025 | ArN、ArF |
| 56Fe | 4000 | 0.089 | 0.087 | ArO、Si<sub>2</sub> |
| 60Ni | 4000 | 0.055 | 0.041 | Si<sub>2</sub>、SiO |
| 63Cu | 4000 | 0.067 | 0.072 | SiOF、SiNF |
| 64Zn | 4000 | 0.098 | 0.089 | SiOF |
[表2]
(ppt)
| 质量分辨率 | DL | BEC | 干涉离子 | |
| 23Na | 4000 | 0.201 | 0.265 | BC |
| 24Mg | 4000 | 0.202 | 0.223 | C<sub>2</sub> |
| 27AI | 4000 | 0.245 | 1.425 | CN、CNH、BO |
| 44Ca | 4000 | 0.378 | 0.465 | SiO、CO<sub>2</sub>、N<sub>2</sub>O |
| 48Ti | 4000 | 0.126 | 0.092 | ArC、SiO、SiF |
| 52Cr | 4000 | 0.089 | 0.091 | ArC、ArN、ArO |
| 55Mn | 4000 | 0.071 | 0.056 | ArN、ArF |
| 56Fe | 4000 | 0.268 | 0.311 | ArO、Si<sub>2</sub> |
| 60Ni | 4000 | 0.089 | 0.04 | Si<sub>2</sub>、SiO |
| 63Cu | 4000 | 0.224 | 0.187 | SiOF、SiNF |
| 64Zn | 4000 | 0.415 | 0.425 | SiOF |
[表3]
(ppt)
| 质量分辨率 | DL | BEC | 干涉离子 | |
| 23Na | 4000 | 0.173 | 0.303 | BC |
| 24Mg | 4000 | 0.22 | 0.171 | C<sub>2</sub> |
| 27AI | 4000 | 0.286 | 3.652 | CN、CNH、BO |
| 44Ca | 4000 | 0.426 | 0.49 | SiO、CO<sub>2</sub>、N<sub>2</sub>O |
| 48Ti | 4000 | 0.132 | 0.09 | ArC、SiO、SiF |
| 52Cr | 4000 | 0.093 | 0.093 | ArC、ArN、ArO |
| 55Mn | 4000 | 0.063 | 0.037 | ArN、ArF |
| 56Fe | 4000 | 0.247 | 0.299 | ArO、Si<sub>2</sub> |
| 60Ni | 4000 | 0.104 | 0.042 | Si<sub>2</sub>、SiO |
| 63Cu | 4000 | 0.26 | 0.322 | SiOF、SiNF |
| 64Zn | 4000 | 0.49 | 0.854 | SiOF |
若对比较例1、2进行比较，则在本次分析的元素的大部分中，借由比较例2的高温电浆条件变为比较例1的低温电浆条件，从而可以看到检测下限值DL及背景当量浓度BEC有些许改善。
另一方面，若对实施例和比较例1、2进行比较，实施例的检测下限值DL及背景当量浓度BEC共同地较比较例1、2的值得到了改善。具体而言，除Ni的背景当量浓度BEC以外的所有元素中，实施例的检测下限值DL及背景当量浓度BEC较比较例1、2的值得到了改善。Ni的背景当量浓度BEC在实施例，及比较例1、2中为同等值。
由上可知，通过向脱溶媒后，且电浆导入前的样品气体中添加水分，从而使在低温电浆条件下的电浆温度下降，可抑制氩等离子化电位较高元素的激发，抑制以这些为起因而生成的干扰分子离子的生成，在减少背景信号强度的同时，也可以说对检测下限值的提高有效。
再者，本发明并非受上述实施方式所限定。上述实施方式为例示，且只要具有与本发明的权利要求所记载的技术思想实质相同的构成，并发挥相同的作用效果，无论为任何方式，均包含于本发明的技术范围。
符号说明
1：样品导入装置
4：喷雾器
7：脱溶媒部
9：样品导入管
10、15：添加部
11：容器(含水气体生成部)
14、16：气体管(添加气体导入管)
17：中空纤维过滤器部
30：电浆炬
40：分析装置
Claims (8)
1.一种样品分析方法，其将含有通过加热而脱溶媒的样品雾气和搬送该样品雾气的载气的样品气体导入到电浆中，并对因该电浆而离子化的样品中的元素进行分析，其特征在于：
将含有水分的载气即含水气体添加至将上述样品气体导入到上述电浆的路径中。
2.根据权利要求1所述的样品分析方法，其特征在于：
上述含水气体为通过在超纯水中使载气起泡而生成。
3.根据要求1所述的样品分析方法，其特征在于：
上述含水气体为使由中空纤维过滤器所构成的载气线浸渍于超纯水中所生成。
4.根据权利要求1~3中任何一项所述的样品分析方法，其特征在于：
上述电浆为将供给电力设为550 W~700 W而生成的感应耦合电浆。
5.一种样品导入装置，其为将样品气体导入到电浆中的装置，该装置应用于如下方法：将含有通过加热而脱溶媒的样品雾气和搬送该样品雾气的载气的样品气体导入到电浆中，并对因该电浆而离子化的样品中的元素进行分析；该样品导入装置的特征在于具备：
生成部，其生成含有水分的载气即含水气体；及
路径，其将在上述生成部所生成的上述含水气体添加至将上述样品导入到上述电浆中的路径中。
6.根据权利要求5所述的样品导入装置，其特征在于：
上述生成部通过在超纯水中使载气起泡，从而生成上述含水气体。
7.根据权利要求5所记载的样品导入装置，其特征在于：
上述生成部通过使由中空纤维过滤器所构成的载气浸渍于超纯水中，从而生成含水气体。
8.根据权利要求5~7中任一项所述的样品导入装置，其特征在于：
上述电浆为将供给电力设为550 W~700 W所生成的感应耦合电浆。
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Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4501965A (en) * | 1983-01-14 | 1985-02-26 | Mds Health Group Limited | Method and apparatus for sampling a plasma into a vacuum chamber |
| US5345079A (en) * | 1992-03-10 | 1994-09-06 | Mds Health Group Limited | Apparatus and method for liquid sample introduction |
| CN201830540U (zh) * | 2010-05-26 | 2011-05-11 | 宁波检验检疫科学技术研究院 | 电感耦合等离子体离子源气体保护装置 |
| CN103487494A (zh) * | 2013-09-11 | 2014-01-01 | 西北核技术研究所 | 一种环境气溶胶直接取样富集进样装置及定量分析方法 |
| JP2014222178A (ja) * | 2013-05-13 | 2014-11-27 | 新日鐵住金株式会社 | 脱溶媒試料導入装置および脱溶媒試料導入方法 |
| TW201503217A (zh) * | 2013-07-10 | 2015-01-16 | Zeiss Carl Smt Gmbh | 質譜儀、其使用方法、及氣體混合物的質譜分析方法 |
| JP2017015676A (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-19 | アジレント・テクノロジーズ・インクＡｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｉｎｃ． | プラズマイオン源質量分析方法及び装置 |
| CN107045015A (zh) * | 2015-12-08 | 2017-08-15 | 基础科学公司 | 用于icp‑ms形态分析的在线稀释和自动校准 |
| CN107209124A (zh) * | 2015-08-21 | 2017-09-26 | 埃耶士株式会社 | 在线移送的分析样品的分析系统 |
| TW201833363A (zh) * | 2017-03-09 | 2018-09-16 | 日商信越半導體股份有限公司 | 用於感應耦合電漿質譜儀之電漿錐、感應耦合電漿質譜儀、用於感應耦合電漿質譜儀之電漿錐之製造方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3617247B2 (ja) * | 1997-04-08 | 2005-02-02 | 株式会社島津製作所 | Ｉｃｐ質量分析装置 |
| JPH1172426A (ja) * | 1997-08-29 | 1999-03-16 | Kett Electric Lab | 試料を加熱により気化させる加熱装置 |
| JP3139477B2 (ja) * | 1998-11-11 | 2001-02-26 | 日本電気株式会社 | ガス分析方法 |
| JP5939816B2 (ja) * | 2012-01-30 | 2016-06-22 | キヤノン株式会社 | Ｉｃｐ発光分光分析装置および有機溶媒を含む試料の分析方法 |
| JP6346098B2 (ja) * | 2012-12-27 | 2018-06-20 | 株式会社住化分析センター | 気相分解方法、分析方法、品質管理方法、製造方法、及び、容器 |
| JP6066338B2 (ja) * | 2014-03-28 | 2017-01-25 | 信越半導体株式会社 | 誘導結合プラズマ質量分析方法 |
| US9343283B1 (en) * | 2014-08-19 | 2016-05-17 | Elemental Scientific, Inc. | Internal standardization with enriched stable isotopes and cool plasma ICPMS |
| JP6486043B2 (ja) | 2014-09-16 | 2019-03-20 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 加熱型誘導結合プラズマトーチ |
| US20160135277A1 (en) * | 2014-11-11 | 2016-05-12 | Agilent Technologies, Inc. | Reduction of ambient gas entrainment and ion current noise in plasma based spectrometry |
-
2018
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- 2018-12-20 KR KR1020207025883A patent/KR102528772B1/ko active IP Right Grant
-
2019
- 2019-02-19 TW TW108105429A patent/TWI806967B/zh active
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4501965A (en) * | 1983-01-14 | 1985-02-26 | Mds Health Group Limited | Method and apparatus for sampling a plasma into a vacuum chamber |
| US5345079A (en) * | 1992-03-10 | 1994-09-06 | Mds Health Group Limited | Apparatus and method for liquid sample introduction |
| CN201830540U (zh) * | 2010-05-26 | 2011-05-11 | 宁波检验检疫科学技术研究院 | 电感耦合等离子体离子源气体保护装置 |
| JP2014222178A (ja) * | 2013-05-13 | 2014-11-27 | 新日鐵住金株式会社 | 脱溶媒試料導入装置および脱溶媒試料導入方法 |
| TW201503217A (zh) * | 2013-07-10 | 2015-01-16 | Zeiss Carl Smt Gmbh | 質譜儀、其使用方法、及氣體混合物的質譜分析方法 |
| CN103487494A (zh) * | 2013-09-11 | 2014-01-01 | 西北核技术研究所 | 一种环境气溶胶直接取样富集进样装置及定量分析方法 |
| JP2017015676A (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-19 | アジレント・テクノロジーズ・インクＡｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｉｎｃ． | プラズマイオン源質量分析方法及び装置 |
| CN107209124A (zh) * | 2015-08-21 | 2017-09-26 | 埃耶士株式会社 | 在线移送的分析样品的分析系统 |
| CN107045015A (zh) * | 2015-12-08 | 2017-08-15 | 基础科学公司 | 用于icp‑ms形态分析的在线稀释和自动校准 |
| TW201833363A (zh) * | 2017-03-09 | 2018-09-16 | 日商信越半導體股份有限公司 | 用於感應耦合電漿質譜儀之電漿錐、感應耦合電漿質譜儀、用於感應耦合電漿質譜儀之電漿錐之製造方法 |
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