CN111785667B - 激光退火设备的晶圆位置监控装置和方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种激光退火设备的晶圆位置监控装置，激光退火设备包括真空吸盘和激光光源；真空吸盘用于放置晶圆；激光光源用于提供激光光束，激光光束通过以真空吸盘的中心点作为坐标原点的扫描的方式对晶圆进行激光退火；晶圆位置监控装置包括晶边扫描装置和晶圆位置判定装置；晶边扫描装置用于抓取激光退火后的晶圆边缘信息；晶圆位置判定装置根据晶圆边缘信息判定晶圆位置是否偏离；如果晶圆位置有偏离，则根据偏离大小校正晶圆的放置位置。本发明公开了一种激光退火设备的晶圆位置监控方法。本发明能对晶圆的位置进行精确测量和调整，能防止破片发生；能提高调整晶圆传送位置的速率以及消除人工误差。

Description

激光退火设备的晶圆位置监控装置和方法
技术领域
本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种激光退火设备的晶圆位置监控装置。本发明还涉及一种激光退火设备的晶圆位置监控方法。
背景技术
激光光源在进行整片晶圆退火工艺时，以真空吸盘的中心点作为激光光源的坐标原点，按照300mm晶圆的尺寸作为计算量，至上而下实现整片晶圆的激光退火工艺。同时，机械手传送位置校正时必须确保晶圆被放置在真空吸盘的正中间，这样才能确保激光光束能够均匀对称的实现整片晶圆的激光退火工艺。
但是，当前实际工艺退火过程中，由于机械手的传送偏差和晶圆在顶针升降过程中导致产品晶圆并非放置在真空吸盘的正中间，而激光光源还是以真空吸盘的中心点作为坐标原点进行扫描式激光退火，导致激光光源扫描至晶圆表面时位置会有偏差，严重时出现激光光源扫描至产品晶边导致产品破片。因此，晶圆放置位置的精准度对激光退火工艺破片率影响巨大。现结合附图进行如下说明：
如图1所示，是现有激光退火设备在没有放置晶圆时的腔体结构示意图；如图2所示，是图1所示结构中放置晶圆并进行激光退火时的腔体结构示意图；激光退火设备101包括真空吸盘103、激光光源104和机械手105。
在所述真空吸盘103的周侧和包围有壁体102。
所述真空吸盘103用于放置晶圆106。
所述激光退火设备101中包括机械手105，所述晶圆106通过所述机械手105放置在所述真空吸盘103上。
所述机械手105能进行伸缩移动和转动，通过调节所述机械手105的伸缩移动大小调节所述晶圆106在所述真空吸盘103上的前后位置以补偿所述前后偏离，通过调节所述机械手105的转动大小调节所述晶圆106在所述真空吸盘103上的左右位置以补偿所述左右偏离。
所述真空吸盘103上还包括顶针，所述顶针能进行上下移动。
所述顶针向上移动时将所述晶圆106顶起，所述机械手105在所述晶圆106在顶起位置时实现对所述晶圆106的取放。
所述顶针向下移动时将所述晶圆106放置在所述真空吸盘103上。
所述激光光源104用于提供激光光束107，所述激光光束107通过扫描的方式对所述晶圆106进行激光退火，所述激光退火中是以所述真空吸盘103的中心点作为坐标原点进行扫描。图2中，所述激光光束107照射到所述晶圆106上后会形成光斑108，通过光斑108实现对所述光斑108所覆盖区域的所述晶圆106进行退火，不断扫描使所述光斑108依次照射所述晶圆106的不同区域实现对所述晶圆106进行全面退火。
Y方向对应于前后方向，X方向对应于左右方向，所述晶圆106的沿Y方向上的直径的两个顶点分别为12点钟和6点钟，2点钟和10点钟分别对称的设置在12点的左侧和右侧。
通常，由于所述机械手105的传送偏差或者所述晶圆106在顶针升降过程中使所述晶圆10的位置产生的偏差最后会使得所述晶圆106的传送位置产生偏离；未偏离时，所述晶圆106的中心点和所述真空吸盘103的中心点的位置重合；所述晶圆106的位置偏离也即为所述晶圆106的中心点和所述真空吸盘103的中心点的位置会偏离。
图2中，虚线圈201表示所述激光退火完成后所述激光光束107扫描区域的最外侧边缘，由于所述激光退火的扫描是以所述真空吸盘103的中心点作为坐标原点进行扫描，故不管所述晶圆106的传送位置有没有偏离，所述激光退火中的所述激光光束107的扫描区域不变，所以虚线圈201的位置不会改变。
当所述晶圆106的中心点和所述真空吸盘103的中心点的位置有偏离时，由于虚线圈201的位置不变，但是所述晶圆106的位置发生了改变，这样所述晶圆106的边缘和虚线圈201之间的不同位置处的间距会发生改变。特别是当虚线圈201位于对应的所述晶圆106的边缘的外侧时，则表示所述激光光束107会照射在所述晶圆106的侧面，这时容易产生破片。
如图3A所示，是晶圆的位置发生偏差时进行图2所示的激光退火对晶圆的边缘的影响图；所述激光光束107会照射到所述晶圆106的侧面上，如虚线圈202所示。所述晶圆106的侧面上通常含有倒角，在被所述激光光束107照射后容易在该区域发生破片。
如图3B所示，是图2的激光退火过程中激光光束的扫描路径图；所述光斑108会沿弧形扫描路径203移动。当弧形扫描路径203在所述晶圆106的边缘处时，所述晶圆106边缘部分发生破裂的裂纹会沿弧形扫描路径203进一步延伸并产生破片。
由上可知，现有技术中，当所述晶圆106的传输位置发生偏离时激光退火容易发生破片。为了防止激光退火发生晶圆106破片，现有一种改进的方法包括：为了确认晶圆实际传送位置是否满足要求，采用As元素注入过的晶圆进行激光高温退火，被激光光源扫描过的区域因高温退火而出现色差，工程师使用直尺完成左右前端的测量(间距规格1.5mm～2mm)，测量过程中引入了人为的测量误差。同时，色差的判断标准无法统一也会出现个体之间的差异，导致工程师判断当前实际晶圆的传送位置标准有偏差，从而引起工艺破片的发生。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种激光退火设备的晶圆位置监控装置，能实现对晶圆的传送位置进行精确测量并从而能实现对晶圆的传送位置进行调整，从而能提高激光退火的安全性和可靠性，防止破片发生；还能自动实现晶圆的传送位置的精确测量并能提高调整晶圆传送位置的速率。为此，本发明还提供一种激光退火设备的晶圆位置监控方法。
为解决上述技术问题，本发明提供的激光退火设备的晶圆位置监控装置中，激光退火设备包括真空吸盘和激光光源。
所述真空吸盘用于放置晶圆。
所述激光光源用于提供激光光束，所述激光光束通过扫描的方式对所述晶圆进行激光退火，所述激光退火中是以所述真空吸盘的中心点作为坐标原点进行扫描。
晶圆位置监控装置包括晶边扫描装置和晶圆位置判定装置。
所述晶边扫描装置用于对经过所述激光退火后的所述晶圆进行扫描并抓取所述晶圆边缘信息。
所述晶圆位置判定装置根据所述晶圆边缘信息判定所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置是否偏离；如果所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置有偏离，则根据偏离大小校正所述晶圆在所述真空吸盘上的放置位置。
进一步的改进是，所述晶圆上经过所述激光退火的区域和未经过所述激光退火的区域之间存在色差。
所述晶圆边缘信息为晶圆边缘的色差形成的图像信息。
进一步的改进是，当所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置重合时，所述晶圆的边缘存在未进行所述激光退火的区域，所述晶圆的边缘内部为经过激光退火的区域，所述晶圆边缘的未进行所述激光退火的区域的宽度为初始边缘宽度。
当所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置有偏离时，所述晶圆的边缘存在未进行所述激光退火的区域的宽度会在所述初始边缘宽度的基础上产生变化；所述晶圆的边缘存在未进行所述激光退火的区域的宽度通过所述晶圆边缘信息的图像信息观测得到。
进一步的改进是，所述晶圆边缘信息包括了所述晶圆的所有边缘的图像信息或者所述晶圆的一个扇区内的边缘的图像信息。
进一步的改进是，所述晶圆边缘信息包括了所述晶圆的2点钟到10点钟之间的扇区内的边缘的图像信息。
进一步的改进是，如果所述晶圆边缘信息中的2点钟和10点钟位置出现偏差，则所述晶圆的中心点相对于所述真空吸盘的中心点出现左右偏离。
如果所述晶圆边缘信息中的12点钟位置出现偏差，则所述晶圆的中心点相对于所述真空吸盘的中心点出现前后偏离。
进一步的改进是，所述激光退火设备中包括机械手，所述晶圆通过所述机械手放置在所述真空吸盘上。
所述机械手能进行伸缩移动和转动，通过调节所述机械手的伸缩移动大小调节所述晶圆在所述真空吸盘上的前后位置以补偿所述前后偏离，通过调节所述机械手的转动大小调节所述晶圆在所述真空吸盘上的左右位置以补偿所述左右偏离。
进一步的改进是，所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置的偏离大小通过对所述晶圆边缘信息的图像进行测量得到。
进一步的改进是，所述真空吸盘上还包括顶针，所述顶针能进行上下移动。
所述顶针向上移动时将所述晶圆顶起，所述机械手在所述晶圆在顶起位置时实现对所述晶圆的取放。
所述顶针向下移动时将所述晶圆放置在所述真空吸盘上。
为解决上述技术问题，本发明提供的激光退火设备的晶圆位置监控方法包括如下步骤
步骤一、将晶圆放置在真空吸盘上。
步骤二、通过激光光源产生激光光束对所述晶圆进行扫描式的激光退火，所述激光退火中是以所述真空吸盘的中心点作为坐标原点进行扫描。
步骤三、对经过所述激光退火后的所述晶圆进行扫描并抓取所述晶圆边缘信息。
步骤四、根据所述晶圆边缘信息判定所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置是否偏离；如果所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置有偏离，则根据偏离大小校正所述晶圆在所述真空吸盘上的放置位置。
进一步的改进是，所述晶圆上经过所述激光退火的区域和未经过所述激光退火的区域之间存在色差。
所述晶圆边缘信息为晶圆边缘的色差形成的图像信息。
进一步的改进是，当所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置重合时，所述晶圆的边缘存在未进行所述激光退火的区域，所述晶圆的边缘内部为经过激光退火的区域，所述晶圆边缘的未进行所述激光退火的区域的宽度为初始边缘宽度。
当所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置有偏离时，所述晶圆的边缘存在未进行所述激光退火的区域的宽度会在所述初始边缘宽度的基础上产生变化；所述晶圆的边缘存在未进行所述激光退火的区域的宽度通过所述晶圆边缘信息的图像信息观测得到。
进一步的改进是，所述晶圆边缘信息包括了所述晶圆的所有边缘的图像信息或者所述晶圆的一个扇区内的边缘的图像信息。
进一步的改进是，所述晶圆边缘信息包括了所述晶圆的2点钟到10点钟之间的扇区内的边缘的图像信息。
进一步的改进是，如果所述晶圆边缘信息中的2点钟和10点钟位置出现偏差，则所述晶圆的中心点相对于所述真空吸盘的中心点出现左右偏离。
如果所述晶圆边缘信息中的12点钟位置出现偏差，则所述晶圆的中心点相对于所述真空吸盘的中心点出现前后偏离。
进一步的改进是，激光退火设备中包括机械手，所述晶圆通过所述机械手放置在所述真空吸盘上。
所述机械手能进行伸缩移动和转动，通过调节所述机械手的伸缩移动大小调节所述晶圆在所述真空吸盘上的前后位置以补偿所述前后偏离，通过调节所述机械手的转动大小调节所述晶圆在所述真空吸盘上的左右位置以补偿所述左右偏离。
进一步的改进是，所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置的偏离大小通过对所述晶圆边缘信息的图像进行测量得到。
进一步的改进是，所述真空吸盘上还包括顶针，所述顶针能进行上下移动。
所述顶针向上移动时将所述晶圆顶起，所述机械手在所述晶圆在顶起位置时实现对所述晶圆的取放。
所述顶针向下移动时将所述晶圆放置在所述真空吸盘上。
本发明的晶圆位置监控装置通过晶边扫描装置能抓取晶圆边缘信息，晶圆边缘信息通常包括晶圆边缘处的激光退火区域和未退火区域，这样根据晶圆边缘信息就能判定晶圆的中心点和真空吸盘的中心点的位置是否偏离即判定晶圆的传送位置是否偏离，例如能通过激光退火区域和未退火区域的色差能判定对应未退火区域的宽度以及是否存在缺陷，当判定晶圆的传送位置存在偏离时，则对晶圆的传送位置进行校正，能实现对晶圆的传送位置进行精确测量并从而能实现对晶圆的传送位置进行调整，从而能提高激光退火的安全性和可靠性，防止破片发生，从而能提高产品良率。
另外，本发明的晶圆边缘信息通常为图像信息，能实现自动化提取并进行自动化处理，如能自动判定晶圆的传送位置是否偏离以及自动计算偏离大小，所以本发明还能自动实现晶圆的传送位置的精确测量并能提高调整晶圆传送位置的速率，能消除人工误差。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：
图1是现有激光退火设备在没有放置晶圆时的腔体结构示意图；
图2是图1所示结构中放置晶圆并进行激光退火时的腔体结构示意图；
图3A是晶圆的位置发生偏差时进行图2所示的激光退火对晶圆的边缘的影响图；
图3B是图2的激光退火过程中激光光束的扫描路径图；
图4是包括了本发明实施例晶圆位置监控装置的激光退火设备的结构示意图；
图5A是本发明实施例中当晶圆位置有偏离时晶圆边缘信息对应的图像；
图5B是和图5A的图像相对应的晶圆的破片位置的示意图；
图6A是本发明实施例中当晶圆位置没有偏离时晶圆边缘信息对应的图像；
图6B是利用图6A的图像对边缘未进行激光退火的区域的宽度进行测量的图像；
图7是本发明实施例激光退火设备的晶圆位置监控方法的流程图。
具体实施方式
如图4所示，是包括了本发明实施例晶圆位置监控装置9的激光退火设备1的结构示意图；本发明实施例对应的激光退火设备1包括真空吸盘3和激光光源4。
所述真空吸盘3用于放置晶圆6。
在所述真空吸盘3的周侧和包围有壁体2。
所述激光光源4用于提供激光光束7，所述激光光束7通过扫描的方式对所述晶圆6进行激光退火，所述激光退火中是以所述真空吸盘3的中心点作为坐标原点进行扫描。图4中，所述激光光束7照射到所述晶圆6上后会形成光斑8，通过光斑8实现对所述光斑8所覆盖区域的所述晶圆6进行退火，不断扫描使所述光斑8依次照射所述晶圆6的不同区域实现对所述晶圆6进行全面退火。
晶圆位置监控装置9包括晶边扫描装置和晶圆位置判定装置。
所述晶边扫描装置用于对经过所述激光退火后的所述晶圆6进行扫描并抓取所述晶圆边缘信息。
所述晶圆位置判定装置根据所述晶圆边缘信息判定所述晶圆6的中心点和所述真空吸盘3的中心点的位置是否偏离；如果所述晶圆6的中心点和所述真空吸盘3的中心点的位置有偏离，则根据偏离大小校正所述晶圆6在所述真空吸盘3上的放置位置。
本发明实施例中，所述晶圆6上经过所述激光退火的区域和未经过所述激光退火的区域之间存在色差。所述晶圆边缘信息为晶圆6边缘的色差形成的图像信息。
当所述晶圆6的中心点和所述真空吸盘3的中心点的位置重合时，所述晶圆6的边缘存在未进行所述激光退火的区域，所述晶圆6的边缘内部为经过激光退火的区域，所述晶圆6边缘的未进行所述激光退火的区域的宽度为初始边缘宽度。图4中，虚线圈301表示所述激光退火完成后所述激光光束7扫描区域的最外侧边缘，由于所述激光退火的扫描是以所述真空吸盘3的中心点作为坐标原点进行扫描，故不管所述晶圆6的传送位置有没有偏离，所述激光退火中的所述激光光束7的扫描区域不变，所以虚线圈301的位置不会改变。假定图4中所述晶圆6的位置没有偏离即所述晶圆6的中心点和所述真空吸盘3的中心点的位置重合，则所述初始边缘宽度即为虚线圈301和所述晶圆6的外周边缘之间的间距。
当所述晶圆6的中心点和所述真空吸盘3的中心点的位置有偏离时，所述晶圆6的边缘存在未进行所述激光退火的区域的宽度会在所述初始边缘宽度的基础上产生变化；所述晶圆6的边缘存在未进行所述激光退火的区域的宽度通过所述晶圆边缘信息的图像信息观测得到。图4中由于虚线圈301的位置不变，如果所述晶圆6的位置发生改变时，所述晶圆6的边缘和虚线圈301之间的不同位置处的间距会发生改变。特别是当虚线圈301位于对应的所述晶圆6的边缘的外侧时，则表示所述激光光束7会照射在所述晶圆6的侧面。
本发明实施例中，所述晶圆边缘信息包括了所述晶圆6的所有边缘的图像信息或者所述晶圆6的一个扇区内的边缘的图像信息。较佳为，所述晶圆边缘信息包括了所述晶圆6的2点钟到10点钟之间的扇区内的边缘的图像信息；也即至少需要获得所述晶圆6的2点钟到10点钟之间的扇区内的边缘的图像信息即可实现对所述晶圆6的位置是否偏离进行判定。图4中，Y方向对应于前后方向，X方向对应于左右方向，所述晶圆6的沿Y方向上的直径的两个顶点分别为12点钟和6点钟，2点钟和10点钟分别对称的设置在12点的左侧和右侧。
如果所述晶圆边缘信息中的2点钟和10点钟位置出现偏差，则所述晶圆6的中心点相对于所述真空吸盘3的中心点出现左右偏离。图4中，左右偏离对应于X方向的偏离。
如果所述晶圆边缘信息中的12点钟位置出现偏差，则所述晶圆6的中心点相对于所述真空吸盘3的中心点出现前后偏离。图4中，前后偏离对应于Y方向的偏离。
所述晶圆6的中心点和所述真空吸盘3的中心点的位置的偏离大小通过对所述晶圆边缘信息的图像进行测量得到。
如图5A所示，是本发明实施例中当晶圆位置有偏离时晶圆边缘信息对应的图像302，图5A中还将10点钟区域的图像进行了放大，图5A中，将进行了所述激光退火的区域即激光退火区域用标记302a1表示，将未进行所述激光退火的区域即未退火区域用标记302a2表示。可以看出，未退火区域302a2的宽度较窄，会形成如虚线圈303中所示的黑点。这对应于图4中，所述晶圆6向左偏，这样所述晶圆6在10点钟位置的边缘会向虚线圈301靠拢，二者间距变小后所述激光光束7容易照射10点钟位置的所述晶圆6的侧面，从而形成虚线圈303中所示的黑点，这种黑点容易产生破片；如图5B所示，是和图5A的图像相对应的晶圆的破片位置的示意图；图5B中，标记304对应的圆圈区域为破片起始位置，可以看出，破片起始位置304位于10点钟位置，标记305对应的线头为对应的各种破裂线。
如图6A所示，是本发明实施例中当晶圆位置没有偏离时晶圆边缘信息对应的图像302b，图像302b中将2点钟和10点钟位置处的图像进行了放大，激光退火区域用标记302b1表示，未退火区域用标记302b2表示；图6A中也采用2o’clock表示2点钟，用12o’clock表示12点钟，10o’clock表示10点钟。可以看出，在2点钟和10点钟的位置处区域302b2的间距都比较大。
各位置处区域302b2的间距即宽度能直接在图像302b上进行测量得到，如图6B所示，是利用图6A的图像对边缘未进行激光退火的区域的宽度进行测量的图像，图6B中显示了10点钟位置处的图像进行了放大图，可以看出，区域302b2的宽度为1.8mm，所以本发明实施例能实现对未退火区域的宽度进行精确测量，并从而能实现对所述晶圆6的传送位置进行精确的调整。
本发明实施例中，所述激光退火设备1中包括机械手5，所述晶圆6通过所述机械手5放置在所述真空吸盘3上。
所述机械手5能进行伸缩移动和转动，通过调节所述机械手5的伸缩移动大小调节所述晶圆6在所述真空吸盘3上的前后位置以补偿所述前后偏离，通过调节所述机械手5的转动大小调节所述晶圆6在所述真空吸盘3上的左右位置以补偿所述左右偏离。
所述真空吸盘3上还包括顶针，所述顶针能进行上下移动。
所述顶针向上移动时将所述晶圆6顶起，所述机械手5在所述晶圆6在顶起位置时实现对所述晶圆6的取放。
所述顶针向下移动时将所述晶圆6放置在所述真空吸盘3上。
本发明实施例的晶圆位置监控装置9通过晶边扫描装置能抓取晶圆边缘信息，晶圆边缘信息通常包括晶圆6边缘处的激光退火区域和未退火区域，这样根据晶圆边缘信息就能判定晶圆6的中心点和真空吸盘3的中心点的位置是否偏离即判定晶圆6的传送位置是否偏离，例如能通过激光退火区域和未退火区域的色差能判定对应未退火区域的宽度以及是否存在缺陷，当判定晶圆6的传送位置存在偏离时，则对晶圆6的传送位置进行校正，能实现对晶圆6的传送位置进行精确测量并从而能实现对晶圆6的传送位置进行调整，从而能提高激光退火的安全性和可靠性，防止破片发生，从而能提高产品良率。
另外，本发明实施例的晶圆边缘信息通常为图像信息，能实现自动化提取并进行自动化处理，如能自动判定晶圆6的传送位置是否偏离以及自动计算偏离大小，所以本发明实施例还能自动实现晶圆6的传送位置的精确测量并能提高调整晶圆6传送位置的速率。
如图7所示，是本发明实施例激光退火设备的晶圆位置监控方法的流程图，本发明实施例激光退火设备1的晶圆6位置监控方法包括如下步骤
步骤一、将晶圆6放置在真空吸盘3上。
步骤二、通过激光光源4产生激光光束7对所述晶圆6进行扫描式的激光退火，所述激光退火中是以所述真空吸盘3的中心点作为坐标原点进行扫描。
所述晶圆6上经过所述激光退火的区域和未经过所述激光退火的区域之间存在色差。
步骤三、对经过所述激光退火后的所述晶圆6进行扫描并抓取所述晶圆边缘信息。
所述晶圆边缘信息为晶圆6边缘的色差形成的图像信息。
步骤四、根据所述晶圆边缘信息判定所述晶圆6的中心点和所述真空吸盘3的中心点的位置是否偏离；如果所述晶圆6的中心点和所述真空吸盘3的中心点的位置有偏离，则根据偏离大小校正所述晶圆6在所述真空吸盘3上的放置位置。
当所述晶圆6的中心点和所述真空吸盘3的中心点的位置重合时，所述晶圆6的边缘存在未进行所述激光退火的区域，所述晶圆6的边缘内部为经过激光退火的区域，所述晶圆6边缘的未进行所述激光退火的区域的宽度为初始边缘宽度。
当所述晶圆6的中心点和所述真空吸盘3的中心点的位置有偏离时，所述晶圆6的边缘存在未进行所述激光退火的区域的宽度会在所述初始边缘宽度的基础上产生变化；所述晶圆6的边缘存在未进行所述激光退火的区域的宽度通过所述晶圆边缘信息的图像信息观测得到。
所述晶圆边缘信息包括了所述晶圆6的所有边缘的图像信息或者所述晶圆6的一个扇区内的边缘的图像信息。较佳为，所述晶圆边缘信息包括了所述晶圆6的2点钟到10点钟之间的扇区内的边缘的图像信息。
如果所述晶圆边缘信息中的2点钟和10点钟位置出现偏差，则所述晶圆6的中心点相对于所述真空吸盘3的中心点出现左右偏离。
如果所述晶圆边缘信息中的12点钟位置出现偏差，则所述晶圆6的中心点相对于所述真空吸盘3的中心点出现前后偏离。
所述晶圆6的中心点和所述真空吸盘3的中心点的位置的偏离大小通过对所述晶圆边缘信息的图像进行测量得到。
本发明实施例方法中，激光退火设备1中包括机械手5，所述晶圆6通过所述机械手5放置在所述真空吸盘3上。
所述机械手5能进行伸缩移动和转动，通过调节所述机械手5的伸缩移动大小调节所述晶圆6在所述真空吸盘3上的前后位置以补偿所述前后偏离，通过调节所述机械手5的转动大小调节所述晶圆6在所述真空吸盘3上的左右位置以补偿所述左右偏离。
所述真空吸盘3上还包括顶针，所述顶针能进行上下移动。
所述顶针向上移动时将所述晶圆6顶起，所述机械手5在所述晶圆6在顶起位置时实现对所述晶圆6的取放。
所述顶针向下移动时将所述晶圆6放置在所述真空吸盘3上。
以上通过具体实施例对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限值。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本发明的保护范围。

Claims (16)

1.一种激光退火设备的晶圆位置监控装置，其特征在于：激光退火设备包括真空吸盘和激光光源；
所述真空吸盘用于放置晶圆；
所述激光光源用于提供激光光束，所述激光光束通过扫描的方式对所述晶圆进行激光退火，所述激光退火中是以所述真空吸盘的中心点作为坐标原点进行扫描；
晶圆位置监控装置包括晶边扫描装置和晶圆位置判定装置；
所述晶边扫描装置用于对经过所述激光退火后的所述晶圆进行扫描并抓取所述晶圆边缘信息；
所述晶圆位置判定装置根据所述晶圆边缘信息判定所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置是否偏离；如果所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置有偏离，则根据偏离大小校正所述晶圆在所述真空吸盘上的放置位置；
所述晶圆上经过所述激光退火的区域和未经过所述激光退火的区域之间存在色差；
所述晶圆边缘信息为晶圆边缘的色差形成的图像信息。
2.如权利要求1所述的激光退火设备的晶圆位置监控装置，其特征在于：当所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置重合时，所述晶圆的边缘存在未进行所述激光退火的区域，所述晶圆的边缘内部为经过激光退火的区域，所述晶圆边缘的未进行所述激光退火的区域的宽度为初始边缘宽度；
当所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置有偏离时，所述晶圆的边缘存在未进行所述激光退火的区域的宽度会在所述初始边缘宽度的基础上产生变化；所述晶圆的边缘存在未进行所述激光退火的区域的宽度通过所述晶圆边缘信息的图像信息观测得到。
3.如权利要求2所述的激光退火设备的晶圆位置监控装置，其特征在于：所述晶圆边缘信息包括了所述晶圆的所有边缘的图像信息或者所述晶圆的一个扇区内的边缘的图像信息。
4.如权利要求3所述的激光退火设备的晶圆位置监控装置，其特征在于：所述晶圆边缘信息包括了所述晶圆的2点钟到10点钟之间的扇区内的边缘的图像信息。
5.如权利要求4所述的激光退火设备的晶圆位置监控装置，其特征在于：
如果所述晶圆边缘信息中的2点钟和10点钟位置出现偏差，则所述晶圆的中心点相对于所述真空吸盘的中心点出现左右偏离；
如果所述晶圆边缘信息中的12点钟位置出现偏差，则所述晶圆的中心点相对于所述真空吸盘的中心点出现前后偏离。
6.如权利要求5所述的激光退火设备的晶圆位置监控装置，其特征在于：所述激光退火设备中包括机械手，所述晶圆通过所述机械手放置在所述真空吸盘上；
所述机械手能进行伸缩移动和转动，通过调节所述机械手的伸缩移动大小调节所述晶圆在所述真空吸盘上的前后位置以补偿所述前后偏离，通过调节所述机械手的转动大小调节所述晶圆在所述真空吸盘上的左右位置以补偿所述左右偏离。
7.如权利要求2至5中任一权项所述的激光退火设备的晶圆位置监控装置，其特征在于：所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置的偏离大小通过对所述晶圆边缘信息的图像进行测量得到。
8.如权利要求6所述的激光退火设备的晶圆位置监控装置，其特征在于：所述真空吸盘上还包括顶针，所述顶针能进行上下移动；
所述顶针向上移动时将所述晶圆顶起，所述机械手在所述晶圆在顶起位置时实现对所述晶圆的取放；
所述顶针向下移动时将所述晶圆放置在所述真空吸盘上。
9.一种激光退火设备的晶圆位置监控方法，其特征在于，包括如下步骤
步骤一、将晶圆放置在真空吸盘上；
步骤二、通过激光光源产生激光光束对所述晶圆进行扫描式的激光退火，所述激光退火中是以所述真空吸盘的中心点作为坐标原点进行扫描；
步骤三、对经过所述激光退火后的所述晶圆进行扫描并抓取所述晶圆边缘信息；
所述晶圆上经过所述激光退火的区域和未经过所述激光退火的区域之间存在色差；所述晶圆边缘信息为晶圆边缘的色差形成的图像信息；
步骤四、根据所述晶圆边缘信息判定所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置是否偏离；如果所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置有偏离，则根据偏离大小校正所述晶圆在所述真空吸盘上的放置位置。
10.如权利要求9所述的激光退火设备的晶圆位置监控方法，其特征在于：当所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置重合时，所述晶圆的边缘存在未进行所述激光退火的区域，所述晶圆的边缘内部为经过激光退火的区域，所述晶圆边缘的未进行所述激光退火的区域的宽度为初始边缘宽度；
当所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置有偏离时，所述晶圆的边缘存在未进行所述激光退火的区域的宽度会在所述初始边缘宽度的基础上产生变化；所述晶圆的边缘存在未进行所述激光退火的区域的宽度通过所述晶圆边缘信息的图像信息观测得到。
11.如权利要求10所述的激光退火设备的晶圆位置监控方法，其特征在于：所述晶圆边缘信息包括了所述晶圆的所有边缘的图像信息或者所述晶圆的一个扇区内的边缘的图像信息。
12.如权利要求11所述的激光退火设备的晶圆位置监控方法，其特征在于：所述晶圆边缘信息包括了所述晶圆的2点钟到10点钟之间的扇区内的边缘的图像信息。
13.如权利要求12所述的激光退火设备的晶圆位置监控方法，其特征在于：
如果所述晶圆边缘信息中的2点钟和10点钟位置出现偏差，则所述晶圆的中心点相对于所述真空吸盘的中心点出现左右偏离；
如果所述晶圆边缘信息中的12点钟位置出现偏差，则所述晶圆的中心点相对于所述真空吸盘的中心点出现前后偏离。
14.如权利要求13所述的激光退火设备的晶圆位置监控方法，其特征在于：激光退火设备中包括机械手，所述晶圆通过所述机械手放置在所述真空吸盘上；
所述机械手能进行伸缩移动和转动，通过调节所述机械手的伸缩移动大小调节所述晶圆在所述真空吸盘上的前后位置以补偿所述前后偏离，通过调节所述机械手的转动大小调节所述晶圆在所述真空吸盘上的左右位置以补偿所述左右偏离。
15.如权利要求10至13中任一权项所述的激光退火设备的晶圆位置监控方法，其特征在于：所述晶圆的中心点和所述真空吸盘的中心点的位置的偏离大小通过对所述晶圆边缘信息的图像进行测量得到。
16.如权利要求14所述的激光退火设备的晶圆位置监控方法，其特征在于：所述真空吸盘上还包括顶针，所述顶针能进行上下移动；
所述顶针向上移动时将所述晶圆顶起，所述机械手在所述晶圆在顶起位置时实现对所述晶圆的取放；
所述顶针向下移动时将所述晶圆放置在所述真空吸盘上。
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