CN111781913A - 半导体设备控制系统和系统监控方法 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例公开了半导体设备控制系统和系统监控方法，系统包括：上位机单元用于定时发送测试数据到下位机单元；根据是否发送成功确定下位机单元工作状态；下位机单元用于定时判断下位机测试状态值是否发生变化，进而确定上位机单元工作状态；下位机单元还用于定时发送测试数据到硬件控制单元，根据是否发送成功确定硬件控制单元工作状态；相邻发送的数据数值不同；硬件控制单元用于定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化，进而确定下位机单元工作状态。该技术方案中，通过该系统能够在上位机单元与下位机单元之间，和/或，下位机单元与硬件控制单元之间双向监控另一方的工作状态，及时生成对应的警告信息，有效提高了系统安全性。
Description
技术领域
本发明涉及半导体设备领域，尤其涉及一种半导体设备控制系统和系统监控方法。
背景技术
半导体设备的设备控制系统通常由上位机软件、下位机软件以及硬件控制单元三部分构成，参照说明书附图中的图2所示。上位机软件控制下位机软件，下位机软件控制多个硬件控制单元，各个硬件控制单元分别控制各个硬件设备。现有的技术方案中，上位机软件能够单向监控下位机软件的工作状态，下位机软件能够单向监控硬件控制单元的工作状态。
这种单向监控的方式存在的问题在于：当上位机软件异常退出，下位机软件照常执行原本的任务时，或，当下位机软件异常退出，硬件控制单元照常执行原本的任务时，被硬件控制单元控制的硬件设备难以修改运行方式或中止运行，失去控制，存在巨大的安全风险，可能造成严重的安全事故。
发明内容
本申请实施例的目的是提供一种半导体设备控制系统和系统监控方法，用于解决现有技术中半导体设备控制系统中上位机软件与下位机软件之间，以及下位机软件与硬件控制单元之间的单向监控存在严重的安全隐患的问题。
为解决上述技术问题，本申请实施例是这样实现的：
第一方面，本申请实施例提供一种半导体设备控制系统，包括：
上位机单元，用于按照第一时间周期通过在下位机单元预先建立的第一测试通道定时发送下位机测试数据到下位机单元；根据下位机测试数据是否发送成功，确定下位机单元的工作状态；其中，相邻的第一时间周期发送的下位机测试数据的数值不同；
下位机单元，用于按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化，根据判断结果确定上位机单元的工作状态；下位机测试状态值，是将通过第一测试通道最近一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的；
下位机单元，还用于按照第三时间周期通过在硬件控制单元预先建立的第二测试通道定时发送硬件控制测试数据到硬件控制单元；根据硬件控制测试数据是否发送成功，确定硬件控制单元的工作状态；相邻的第三时间周期发送的硬件控制测试数据的数值不同；
硬件控制单元，用于按照第四时间周期定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化，根据判断结果确定下位机单元的工作状态；硬件控制测试状态值，是将通过第二测试通道最近一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的。
第二方面，本申请实施例提供一种系统监控方法，应用于如前述第一方面所述的半导体设备控制系统中的上位机单元，该方法包括：
按照第一时间周期通过在下位机单元预先建立的第一测试通道定时发送下位机测试数据到下位机单元；其中，相邻的第一时间周期发送的下位机测试数据的数值不同；
根据下位机测试数据是否发送成功，确定下位机单元的工作状态。
第三方面，本申请实施例提供一种系统监控方法，应用于如前述第一方面所述的半导体设备控制系统中的下位机单元，该方法包括：
按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化；下位机测试状态值，是将最近一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的；
根据判断结果确定上位机单元的工作状态。
第四方面，本申请实施例提供一种系统监控方法，应用于如前述第一方面所述的半导体设备控制系统中的硬件控制单元，该方法包括：
按照第四时间周期定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化；硬件控制测试状态值，是将最近一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的；
根据判断结果确定下位机单元的工作状态。
通过本发明实施例，上位机单元能够按照第一时间周期定时发送下位机测试数据到下位机单元；且能够根据下位机测试数据是否发送成功，确定下位机单元的工作状态；其中，相邻的第一时间周期发送的下位机测试数据的数值不同；下位机单元能够按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化，根据判断结果确定上位机单元的工作状态；下位机测试状态值，是将最近一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的；下位机单元还能够按照第三时间周期定时发送硬件控制测试数据到硬件控制单元，且能够根据硬件控制测试数据是否发送成功，确定硬件控制单元的工作状态；相邻的第三时间周期发送的硬件控制测试数据的数值不同；硬件控制单元能够按照第四时间周期定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化，根据判断结果确定下位机单元的工作状态；硬件控制测试状态值，是将最近一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的。该技术方案中，通过该半导体设备控制系统，能够在上位机单元与下位机单元之间，和/或，下位机单元与硬件控制单元之间，双向监控另一方的工作状态，及时生成对应的警告信息，以帮助用户及时发现该半导体设备控制系统中异常停止运行的单元，有效地提高了半导体设备控制系统的安全性。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一实施例提供的一种半导体设备控制系统的示意性框图；
图2为现有技术中的一种半导体设备控制系统的示意性框图；
图3为本发明一实施例提供的一种应用于半导体设备的上位机单元的系统监控方法的示意性流程图；
图4为本发明一实施例提供的一种应用于半导体设备的下位机单元的系统监控方法的示意性流程图；
图5为本发明一实施例提供的一种应用于半导体设备的硬件控制单元的系统监控方法的示意性流程图；
图6为本发明另一实施例提供的一种应用于半导体设备的上位机单元的系统监控方法的示意性流程图；
图7为本发明另一实施例提供的第一种应用于半导体设备的下位机单元的系统监控方法的示意性流程图；
图8为本发明另一实施例提供的第二种应用于半导体设备的下位机单元的系统监控方法的示意性流程图；
图9为本发明另一实施例提供的第三种应用于半导体设备的下位机单元的系统监控方法的示意性流程图；
图10为本发明另一实施例提供的一种应用于半导体设备的硬件控制单元的系统监控方法的示意性流程图。
图11为本发明一实施例提供的应用于半导体设备的上位机单元的系统监控设备的结构示意图；
图12为本发明一实施例提供的应用于半导体设备的下位机单元的系统监控设备的结构示意图；
图13为本发明一实施例提供的应用于半导体设备的硬件控制单元的系统监控设备的结构示意图。
具体实施方式
本申请实施例提供一种半导体设备控制系统和系统监控方法。
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
图2为现有技术中的一种半导体设备控制系统的示意性框图。
参照图2所示，上位机软件210获取用户的用户控制指令，根据用户控制指令生成下位机控制指令并发送到下位机软件220中。下位机软件220包括且不限于工艺腔室1单元、工艺腔室2单元、传输平台单元。其中，下位机软件220中的工艺腔室1单元与工艺腔室1可编程逻辑控制器230对应，工艺腔室2单元与工艺腔室2可编程逻辑控制器240对应，传输平台单元与传输平台可编程逻辑控制器250对应。工艺腔室1可编程逻辑控制器230、工艺腔室2可编程逻辑控制器240以及传输平台可编程逻辑控制器250均为硬件控制单元。下位机软件220中的各个单元根据下位机软件控制指令生成各个单元对应的可编程逻辑控制器控制指令，并分别发送到工艺腔室1可编程逻辑控制器230、工艺腔室2可编程逻辑控制器240以及传输平台可编程逻辑控制器250。各个硬件控制单元可分别用户控制对应的硬件设备260进行工作。
图1为本发明一实施例提供的一种半导体设备控制系统的示意性框图。
参照图1所示，该半导体设备控制系统100包括上位机单元102、下位机单元104以及硬件控制单元106。下面对图1的示例实施例中的半导体设备控制系统进行详细的说明。
上位机单元102，用于按照第一时间周期通过在下位机单元104预先建立的第一测试通道定时发送下位机测试数据到下位机单元；根据下位机测试数据是否发送成功，确定下位机单元的工作状态；其中，相邻的第一时间周期发送的下位机测试数据的数值不同。
在示例实施例中，预设的第一时间周期可以是2秒、5秒等，本发明不对此进行特殊限定。上位机单元102包括上位机软件，下位机单元104包括下位机软件。上位机软件可以是CTC软件，下位机软件可以是EpiTool软件。下位机测试数据的数值范围可以是0至10，也可以是5至100，还可以是-20至0，优选数值范围0至预设最大值Max，本发明不对数值范围进行特殊限定。例如，CTC软件每隔2秒发送一个下位机测试数据到EpiTool软件的逻辑测试通道中，相邻发送的下位机测试数据的数值不同，第2秒、第4秒、第6秒、第8秒……分别发送数据1、2、3、4……逻辑测试通道中的数值的初始值为0，当CTC软件启动后，逻辑测试通道中的数值大于0。
在示例实施例中，上位机单元102可以判断发送下位机测试数据是否发送成功。若成功，则确定下位机单元的工作状态为在线，若发送失败，则下位机单元的工作状态为偶发离线，需要进一步判断，若多次发送失败，可确定下位机单元的工作状态为离线。
上位机单元102具体用于：若下位机测试数据发送失败的连续次数超过第一次数阈值，则确定下位机单元的工作状态为离线。
在示例实施例中，若下位机测试数据连续多次发送失败，则可确定下位机单元的工作状态为离线。可预先设置第一次数阈值，用于判断下位机单元的工作状态。即，当若下位机测试数据发送失败的连续次数不超过第一次数阈值，则继续发送下位机测试数据，若超过第一次数阈值，则确定下位机单元的工作状态为离线。
上位机单元102还用于：若下位机测试数据下位机测试数据发生失败的连续次数仅为一次，则生成下位机低级警告信息；若下位机测试数据发生失败的连续次数超过第一次数阈值，则生成下位机高级警告信息。
在示例实施例中，若下位机测试数据下位机测试数据发生失败的连续次数仅为一次，具体地，若下位机测试数据的发送失败前的上一个第一时间周期发送的下位机测试数据发送成功，则说明这次下位机测试数据为第一次连续发生失败，有可能是下位机单元偶发性地离线，也存在其他可能性，不能完全确定下位机单元离线，需要进一步判断，故生成下位机低级警告信息。
在示例实施例中，若下位机测试数据连续多次发送失败，则可确定下位机单元的工作状态为离线。当若下位机测试数据发送失败的连续次数不超过第一次数阈值，则继续发送下位机测试数据，若超过第一次数阈值，则确定下位机单元的工作状态为离线，故生成下位机高级警告信息。
下位机单元104，用于按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化，根据判断结果确定上位机单元的工作状态；下位机测试状态值，是将通过第一测试通道最近一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的。
下位机单元104具体用于：按照第二时间周期，定时比较下位机测试状态值与下位机测试旧值；下位机测试旧值，是将通过第一测试通道上一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的；若下位机测试状态值等于下位机测试旧值，则确定上位机单元的工作状态为离线；若下位机测试状态值不等于下位机测试旧值，则确定上位机单元的工作状态为在线。
在示例实施例中，下位机单元周期性监控逻辑测试通道中的数值，即下位机测试状态值，该下位机测试状态值可视为将最近一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的。第二时间周期可根据第一时间周期预先确定，例如，第一时间周期为2秒，由于上位机单元与下位机单元之间进行数据传输可能存在延迟，可将第二时间周期确定为2.2秒，或2.5秒。第二时间周期应当与第一时间周期接近，以使下位机单元能够接收到上位机单元发送的各个测试数据。
在示例实施例中，例如，上位机单元启动，每隔2秒发送一个下位机测试数值，如1、2、3、4……下位机单元每2.2秒监控一次逻辑测试通道中的下位机测试状态值，下位机测试状态值为逻辑测试通道最近一次获取的下位机测试数值赋值得到的。比较下位机测试状态值与下位机测试旧值，比较后如果二者不等，则将下位机测试状态值赋值给下位机测试旧值，2.2秒后再次监控，再次比较逻辑测试通道最近一次获取的下位机测试数值赋值得到的新的下位机测试状态值与下位机测试旧值。如果下位机测试状态值与下位机测试旧值相等，说明上位机单元没有发送新的下位机测试数值，故可确定上位机单元的工作状态为离线；如果下位机测试状态值与下位机测试旧值不等，说明上位机单元发送了新的下位机测试数值，故可确定上位机单元的工作状态为在线。具体可参照图8所示。
在示例实施例中，下位机单元实时监控下位机测试状态值在第二时间周期内是否发生变化。若监控到一段时间内数值无变化，则确定上位机单元的工作状态为离线，生成报警信息以提示用户上位机单元离线，例如，间接控制设备的塔灯，使红灯敞亮，蜂鸣器响。
下位机单元104，还用于按照第三时间周期通过在硬件控制单元预先建立的第二测试通道定时发送硬件控制测试数据到硬件控制单元，根据硬件控制测试数据是否发送成功，确定硬件控制单元的工作状态；相邻的第三时间周期发送的硬件控制测试数据的数值不同。
在示例实施例中，预设的第三时间周期可以是2秒、5秒等，本发明不对此进行特殊限定。由于下位机单元主要部分为软件，硬件控制单元为实体设备，下位机单元与硬件控制单元之间通过测试通道传递数据通常采用实际测试通道，例如int型实际通道。该实际通道只能获取0或1，则硬件控制测试数据也只能是0或1。例如，EpiTool软件每隔5秒发送一个硬件控制测试数据到硬件控制单元的实际测试通道中，相邻发送的下位机测试数据的数值显然不同，第5秒、第10秒、第15秒、第20秒……分别发送数据1、0、1、0……
在示例实施例中，下位机单元可以判断发送硬件控制测试数据是否发送成功。若成功，则确定硬件控制单元的工作状态为在线，若发送失败，则硬件控制单元的工作状态为偶发离线，需要进一步判断，若多次发送失败，可确定硬件控制单元的工作状态为离线。
下位机单元104还用于：若硬件控制测试数据发送失败的连续次数超过第二次数阈值，则确定硬件控制单元的工作状态为离线。
在示例实施例中，若硬件控制测试数据连续多次发送失败，则可确定硬件控制单元的工作状态为离线。可预先设置第二次数阈值，用于判断硬件控制单元的工作状态。即，当若硬件控制测试数据发生失败的连续次数不超过第二次数阈值，则继续发送硬件控制测试数据，若超过第二次数阈值，则确定硬件控制单元的工作状态为离线。
下位机单元104还用于：若硬件控制测试数据发生失败的连续次数仅为一次，则生成硬件控制低级警告信息；若硬件控制测试数据发生失败的连续次数超过第二次数阈值，则生成硬件控制高级警告信息。
在示例实施例中，若硬件控制测试数据发生失败的连续次数仅为一次，具体地，若硬件控制测试数据的发送失败前的上一个第三时间周期发送的硬件控制测试数据发送成功，则说明这次硬件控制测试数据为第一次连续发生失败，有可能是硬件控制单元偶发性地离线，也存在其他可能性，不能完全确定硬件控制单元离线，需要进一步判断，故生成硬件控制低级警告信息。
在示例实施例中，若硬件控制测试数据连续多次发送失败，则可确定硬件控制单元的工作状态为离线。当若硬件控制测试数据发生失败的连续次数不超过第二次数阈值，则继续发送硬件控制测试数据，若超过第二次数阈值，则确定硬件控制单元的工作状态为离线，故生成硬件控制高级警告信息。
硬件控制单元106，用于按照第四时间周期定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化，根据判断结果确定下位机单元的工作状态；硬件控制测试状态值，是将通过第二测试通道最近一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的。
硬件控制单元106具体用于：按照第四时间周期，定时比较硬件控制测试状态值与硬件控制测试旧值；硬件控制测试旧值，是将通过第二测试通道上一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的；若硬件控制测试状态值等于硬件控制测试旧值，则确定下位机单元的工作状态为离线；若硬件控制测试状态值不等于硬件控制测试旧值，则确定下位机单元的工作状态为在线。
在示例实施例中，硬件控制单元周期性监控实际测试通道中的数值，即硬件控制测试状态值，该硬件控制测试状态值可视为将最近一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的。第四时间周期可根据第三时间周期预先确定，例如，第一时间周期为5秒，由于下位机单元与硬件控制单元之间进行数据传输可能存在延迟，可将第二时间周期确定为5.2秒，或5.5秒。第四时间周期应当与第三时间周期接近，以使硬件控制单元能够接收到下位机单元发送的各个测试数据。
在示例实施例中，例如，下位机单元启动，每隔2秒发送一个硬件控制测试数值，如1、2、3、4……硬件控制单元每2.2秒监控一次实际测试通道中的硬件控制测试状态值，硬件控制测试状态值为实际测试通道最近一次获取的硬件控制测试数值赋值得到的。比较硬件控制测试状态值与硬件控制测试旧值，比较后如果二者不等，则将硬件控制测试状态值赋值给硬件控制测试旧值，2.2秒后再次监控，再次比较实际测试通道最近一次获取的硬件控制测试数值赋值得到的新的硬件控制测试状态值与硬件控制测试旧值。如果硬件控制测试状态值与硬件控制测试旧值相等，说明硬件控制单元没有发送新的硬件控制测试数值，故可确定下位机单元的工作状态为离线；如果硬件控制测试状态值与硬件控制测试旧值不等，说明下位机单元发送了新的硬件控制测试数值，故可确定下位机单元的工作状态为在线。
在示例实施例中，硬件控制单元实时监控硬件控制测试状态值在第四时间周期内是否发生变化。若监控到一段时间内数值无变化，则确定下位机单元的工作状态为离线，生成报警信息以提示用户下位机单元离线，例如，间接控制设备的塔灯，使红灯敞亮，蜂鸣器响。另外，硬件控制单元控制硬件设备停止正在进行的工艺，例如停止加热，关闭特气，使设备恢复到安全状态。
通过本发明实施例，上位机单元能够按照第一时间周期定时发送下位机测试数据到下位机单元；且能够根据下位机测试数据是否发送成功，确定下位机单元的工作状态；其中，相邻的第一时间周期发送的下位机测试数据的数值不同；下位机单元能够按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化，根据判断结果确定上位机单元的工作状态；下位机测试状态值，是将最近一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的；下位机单元还能够按照第三时间周期定时发送硬件控制测试数据到硬件控制单元，且能够根据硬件控制测试数据是否发送成功，确定硬件控制单元的工作状态；相邻的第三时间周期发送的硬件控制测试数据的数值不同；硬件控制单元能够按照第四时间周期定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化，根据判断结果确定下位机单元的工作状态；硬件控制测试状态值，是将最近一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的。该技术方案中，通过该半导体设备控制系统，能够在上位机单元与下位机单元之间，和/或，下位机单元与硬件控制单元之间，双向监控另一方的工作状态，及时生成对应的警告信息，以帮助用户及时发现该半导体设备控制系统中异常停止运行的单元，有效地提高了半导体设备控制系统的安全性。
需要注意的是，第一测试通道为逻辑测试通道，用于接收下位机测试数据，下位机测试数据为预设数值范围内按照数值大小顺序排列的多个数值；第二测试通道为实际测试通道，用于接收硬件控制测试数据，硬件控制测试数据为0与1交替排列的多个数值。
在示例实施例中，上位机单元102主要包括上位机软件，下位机单元104主要包括下位机软件。上位机软件与下位机软件之间进行数据传输时，通常可以在下位机软件上设置逻辑测试通道。预先在下位机单元104上设置int型逻辑通道，则该逻辑通道可以获取任意整数。将下位机测试数据设置为预设数值范围内按照数值大小顺序排列的多个数值，例如，0、1、2、3……10。
在示例实施例中，硬件控制单元106为实体设备,可以是可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller，PLC)。下位机单元104与硬件控制单元106进行数据传输时，通常可以在硬件控制单元106上设置实际测试通道。需要注意的是，下位机单元104与硬件控制单元106之间无法通过逻辑通道进行数据传输。预先在硬件控制单元106上设置int型实际通道，则该实际通道智能获取0或1。将硬件控制测试数据为0与1交替排列的多个数值，例如，0、1、0、1、0、1……
图3为本发明一实施例提供的一种应用于半导体设备的上位机单元的系统监控方法的示意性流程图，如图3所示，该方法包括：
在步骤S302中，按照第一时间周期通过在下位机单元预先建立的第一测试通道定时发送下位机测试数据到下位机单元；其中，相邻的第一时间周期发送的下位机测试数据的数值不同。
在示例实施例中，预设的第一时间周期可以是2秒、5秒等，本发明不对此进行特殊限定。上位机单元包括上位机软件，下位机单元包括下位机软件。上位机软件可以是CTC软件，下位机软件可以是EpiTool软件。第一测试通道可以是逻辑测试通道。下位机测试数据的数值范围可以是0至10，也可以是5至100，还可以是-20至0，优选数值范围0至预设最大值Max，本发明不对数值范围进行特殊限定。例如，CTC软件每隔2秒发送一个下位机测试数据到EpiTool软件的逻辑测试通道中，相邻发送的下位机测试数据的数值不同，第2秒、第4秒、第6秒、第8秒……分别发送数据1、2、3、4……逻辑测试通道中的数值的初始值为0，当CTC软件启动后，逻辑测试通道中的数值大于0。
在步骤S304中，根据下位机测试数据是否发送成功，确定下位机单元的工作状态。
在示例实施例中，根据下位机测试数据是否发送成功，确定下位机单元的工作状态，包括：若下位机测试数据发送失败的连续次数超过第一次数阈值，则确定下位机单元的工作状态为离线。
具体地，上位机单元可以判断发送下位机测试数据是否发送成功。若成功，则确定下位机单元的工作状态为在线，若发送失败，则下位机单元的工作状态为偶发离线，需要进一步判断，若多次发送失败，可确定下位机单元的工作状态为离线。可预先设置第一次数阈值，用于判断下位机单元的工作状态。即，当发生失败次数超过第一次数阈值时，确定下位机单元的工作状态为离线。
在示例实施例中，若下位机测试数据发生失败的连续次数仅为一次，则生成下位机低级警告信息；若下位机测试数据发生失败的连续次数超过第一次数阈值，则生成下位机高级警告信息。
在示例实施例中，若下位机测试数据发送失败的连续次数仅为一次，具体地，若下位机测试数据的发送失败前的上一个第一时间周期发送的下位机测试数据发送成功，则说明这次下位机测试数据为第一次连续发送失败，有可能是下位机单元偶发性地离线，也存在其他可能性，不能完全确定下位机单元离线，需要进一步判断，故生成下位机低级警告信息。若下位机测试数据发送失败的连续次数超过第一次数阈值，则说明下位机单元必然已离线，故生成下位机高级警告信息。
图3中的系统监控方法可以实现前述的半导体设备控制系统的实施例中的各个过程，并达到相同的效果和功能，这里不再赘述。
图4为本发明一实施例提供的一种应用于半导体设备的下位机单元的系统监控方法的示意性流程图。
参照图4所示，在步骤S402中，按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化；下位机测试状态值，是将通过预先建立的第一测试通道最近一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的。
在示例实施例中，按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化，包括：按照第二时间周期，定时比较下位机测试状态值与下位机测试旧值；下位机测试旧值，是将通过第一测试通道上一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的。
具体地，下位机单元周期性监控逻辑测试通道中的数值，即下位机测试状态值，该下位机测试状态值可视为将最近一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的。第二时间周期可根据第一时间周期预先确定，例如，第一时间周期为2秒，由于上位机单元与下位机单元之间进行数据传输可能存在延迟，可将第二时间周期确定为2.2秒，或2.5秒。第二时间周期应当与第一时间周期接近，以使下位机单元能够接收到上位机单元发送的各个测试数据。
例如，上位机单元启动，每隔2秒发送一个下位机测试数值，如1、2、3、4……下位机单元每2.2秒监控一次逻辑测试通道中的下位机测试状态值，下位机测试状态值为逻辑测试通道最近一次获取的下位机测试数值赋值得到的。比较下位机测试状态值与下位机测试旧值，比较后如果二者不等，则将下位机测试状态值赋值给下位机测试旧值，2.2秒后再次监控，再次比较逻辑测试通道最近一次获取的下位机测试数值赋值得到的新的下位机测试状态值与下位机测试旧值。
在步骤S404中，根据判断结果确定上位机单元的工作状态。
在示例实施例中，若下位机测试状态值等于下位机测试旧值，则确定上位机单元的工作状态为离线；若下位机测试状态值不等于下位机测试旧值，则确定上位机单元的工作状态为在线。
确定上位机单元的工作状态还可以通过如下方式：下位机单元实时监控下位机测试状态值在第二时间周期内是否发生变化。若监控到一段时间内数值无变化，则确定上位机单元的工作状态为离线，生成报警信息以提示用户上位机单元离线，例如，间接控制设备的塔灯，使红灯敞亮，蜂鸣器响。
在另一实施例中，按照第三时间周期通过在硬件控制单元预先建立的第二测试通道定时发送硬件控制测试数据到硬件控制单元；相邻的第三时间周期发送的硬件控制测试数据的数值不同；根据硬件控制测试数据是否发送成功，确定硬件控制单元的工作状态。
在示例实施例中，预设的第三时间周期可以是2秒、5秒等，本发明不对此进行特殊限定。由于下位机单元主要部分为软件，硬件控制单元为实体设备，下位机单元与硬件控制单元之间通过第二测试通道传递数据通常采用实际测试通道，例如int型实际通道。该实际通道只能获取0或1，则硬件控制测试数据也只能是0或1。例如，EpiTool软件每隔5秒发送一个硬件控制测试数据到硬件控制单元的实际测试通道中，相邻发送的硬件控制测试数据的数值显然不同，第5秒、第10秒、第15秒、第20秒……分别发送数据1、0、1、0……
在示例实施例中，根据硬件控制测试数据是否发送成功，确定硬件控制单元的工作状态，包括：若硬件控制测试数据发送失败的连续次数超过第二次数阈值，则确定硬件控制单元的工作状态为离线。
具体地，下位机单元可以判断发送硬件控制测试数据是否发送成功。若成功，则确定硬件控制单元的工作状态为在线，若发送失败，则硬件控制单元的工作状态为偶发离线，需要进一步判断，若多次发送失败，可确定硬件控制单元的工作状态为离线。可预先设置第二次数阈值，用于判断硬件控制单元的工作状态。即，当发送失败次数超过第二次数阈值时，确定硬件控制单元的工作状态为离线。
在示例实施例中，若硬件控制测试数据发送失败的连续次数仅为一次，则生成硬件控制低级警告信息；若硬件控制测试数据发送失败的连续次数超过第二次数阈值，则生成硬件控制高级警告信息。
在示例实施例中，若硬件控制测试数据发送失败的连续次数仅为一次，具体地，若硬件控制测试数据的发送失败前的上一个第一时间周期发送的硬件控制测试数据发送成功，则说明这次硬件控制测试数据为第一次连续发送失败，有可能是硬件控制单元偶发性地离线，也存在其他可能性，不能完全确定硬件控制单元离线，需要进一步判断，故生成硬件控制低级警告信息。若硬件控制测试数据发送失败的连续次数超过第二次数阈值，则说明硬件控制单元必然已离线，故生成硬件控制高级警告信息。
图4中的系统监控方法可以实现前述的半导体设备控制系统的实施例中的各个过程，并达到相同的效果和功能，这里不再赘述。
图5为本发明一实施例提供的一种应用于半导体设备的硬件控制单元的系统监控方法的示意性流程图。
参照图5所示，在步骤S502中，按照第四时间周期定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化；硬件控制测试状态值，是将通过预先建立的第二测试通道最近一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的。
在示例实施例中，按照第四时间周期定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化，包括：按照第四时间周期，定时比较硬件控制测试状态值与硬件控制测试旧值；硬件控制测试旧值，是将通过第二测试通道上一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的。
具体地，硬件控制单元周期性监控实际测试通道中的数值，即硬件控制测试状态值，该硬件控制测试状态值可视为将最近一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的。第四时间周期可根据第三时间周期预先确定，例如，第一时间周期为5秒，由于下位机单元与硬件控制单元之间进行数据传输可能存在延迟，可将第二时间周期确定为5.2秒，或5.5秒。第四时间周期应当与第三时间周期接近，以使硬件控制单元能够接收到下位机单元发送的各个测试数据。
例如，下位机单元启动，每隔2秒发送一个硬件控制测试数值，如1、2、3、4……硬件控制单元每2.2秒监控一次实际测试通道中的硬件控制测试状态值，硬件控制测试状态值为实际测试通道最近一次获取的硬件控制测试数值赋值得到的。比较硬件控制测试状态值与硬件控制测试旧值，比较后如果二者不等，则将硬件控制测试状态值赋值给硬件控制测试旧值，2.2秒后再次监控，再次比较实际测试通道最近一次获取的硬件控制测试数值赋值得到的新的硬件控制测试状态值与硬件控制测试旧值。
在步骤S504中，根据判断结果确定下位机单元的工作状态。
在示例实施例中，若硬件控制测试状态值等于硬件控制测试旧值，则确定下位机单元的工作状态为离线；若硬件控制测试状态值不等于硬件控制测试旧值，则确定下位机单元的工作状态为在线。
在示例实施例中，确定下位机单元的工作状态还可以通过如下方式：硬件控制单元实时监控硬件控制测试状态值在第四时间周期内是否发生变化。若监控到一段时间内数值无变化，则确定下位机单元的工作状态为离线，生成报警信息以提示用户下位机单元离线，例如，间接控制设备的塔灯，使红灯敞亮，蜂鸣器响。另外，硬件控制单元控制硬件设备停止正在进行的工艺，例如停止加热，关闭特气，使设备恢复到安全状态。
图5中的系统监控方法可以实现前述的半导体设备控制系统的实施例中的各个过程，并达到相同的效果和功能，这里不再赘述。
需要注意的是，如图3、图4、图5所述的系统监控方法中，下位机单元可以只监控上位机单元的工作状态，也可以既监控上位机单元的工作状态，又监控硬件控制单元的工作状态，还可以只监控硬件控制单元的工作状态。即，上位机单元与下位机单元之间的双向监控，与，下位机单元与硬件控制单元之间的双向监控，是互相独立的。
综上，已经对本主题的特定实施例进行了描述。其它实施例在所附权利要求书的范围内。在一些情况下，在权利要求书中记载的动作可以按照不同的顺序来执行并且仍然可以实现期望的结果。另外，在附图中描绘的过程不一定要求示出的特定顺序或者连续顺序，以实现期望的结果。在某些实施方式中，多任务处理和并行处理可以是有利的。
图6为本发明另一实施例提供的一种应用于半导体设备的上位机单元的系统监控方法的示意性流程图。
参照图6所示，在步骤S602中，开始：上位机软件启动。
在示例实施例中，上位机软件可以是CTC，也可以是其他软件。CTC软件启动。
在步骤S604中，初始化测试数据为0。
在示例实施例中，该测试数据是由上位机软件发出的下位机测试数据value，该下位机测试数据value的数值范围可以是0-Max，Max值可以预先设置。在CTC软件启动时，对value的值进行初始化，令value＝0。
在步骤S606中，初始化断连次数为0。
在示例实施例中，该断连次数为下位机断连次数EpiToolStatusCounters，指的是上位机软件定时监控发现的下位机软件停止工作的次数。对EpiToolStatusCounters的值进行初始化，令EpiToolStatusCounters＝0。
在步骤S608中，等待2秒。
在示例实施例中，可以执行sleep(2)语句。2秒是预设的第一时间周期，即测试通道中CTCStatus的数值更新周期。
在步骤S610中，下发测试数据到逻辑测试通道。
在示例实施例中，上位机软件向下位机软件上设置的测试通道发送下位机测试数据，即CTCStatus->setValue(value)。该测试通道可以设置为int型逻辑通道CTCStatus，默认该CTCStatus的初始值为-1。
在示例实施例中，当设置了逻辑测试通道的下位机软件获取到上位机软件下发的下位机测试数据时，下位机软件，如EpiTool，可以得知上位机软件CTC已启动，下位机软件需要开始监控测试通道CTCStatus的数值。
需要注意的是，在示例实施例中，逻辑通道用于两个软件之间，实际通道用于软件与硬件之间。软件向软件上的测试通道发送测试数据，该测试通道不能采用实际通道。
在步骤S612中，判断测试数据是否下发成功。
在示例实施例中，上位机软件判断下位机测试数据是否下发成功，可根据判断结果确定下位机软件是否离线。下位机软件可以是Epitool。如果下发成功，则确定下位机软件在线，进入步骤616，如果下发失败，则下位机软件可能离线，断连次数增加，需要进行进一步地判断，进入步骤614。
在步骤S614中，断连次数加1。
在示例实施例中，下位机断连次数EpiToolStatusCounters加1。
在步骤S616中，断连次数复位。
在示例实施例中，下位机断连次数EpiToolStatusCounters复位，即令EpiToolStatusCounters＝0。
在步骤S618中，判断断连次数是否大于第一次数阈值。
在示例实施例中，第一次数阈值为预设的用于判断下位机离线的次数阈值，例如3次，意味着当下位机断连次数达到3次时可确定下位机离线。
在示例实施例中，比较下位机断连次数EpiToolStatusCounters与第一次数阈值的数值大小。若EpiToolStatusCounters大于等于第一次数阈值，则进入步骤620，若EpiToolStatusCounters小于第一次数阈值，则进入步骤624。
在步骤S620中，抛出报警提示用户下位机软件离线。
在示例实施例中，当EpiToolStatusCounters大于等于第一次数阈值时，确定下位机软件离线，上位机软件生成报警信息，提示用户下位机软件离线。
在步骤S622中，断连次数复位。
在示例实施例中，下位机断连次数EpiToolStatusCounters复位，即令EpiToolStatusCounters＝0。
在步骤S624中，测试数据的值加1。
在示例实施例中，下位机测试数据value的值加1。需要注意的是，在这里value的值加1仅为一种示例，步骤624也可以是value的值减1、value的值加2等，只要在相邻的两个第一时间周期内发送的下位机测试数据的值不同即可。
在步骤S626中，判断测试数据是否大于预设数值范围的最大值。
在示例实施例中，比较下位机测试数据value与预设的下位机测试数据的数值范围的最大值Max的大小。若value大于Max，则进入步骤S628，若value小于等于Max，则进入步骤S608。需要注意的是，如果步骤S624中变为测试数据的值减1，则步骤S626对应修改为判断测试数据是否小于预设数值范围的最小值。
在步骤S628中，测试数据复位。
在示例实施例中，将下位机测试数据复位，即令value＝0。
在步骤S630中，结束：上位机软件退出。
在示例实施例中，CTC软件退出。
图6中的系统监控方法可以实现前述的半导体设备控制系统和系统监控方法的实施例中的各个过程，并达到相同的效果和功能，这里不再赘述。
图7为本发明另一实施例提供的第一种应用于半导体设备的下位机单元的系统监控方法的示意性流程图。
参照图7所示，在步骤S702中，开始：下位机软件启动。
在示例实施例中，下位机软件可以是EpiTool，也可以是其他软件。EpiTool软件启动。
在步骤S704中，初始化逻辑测试通道。
在示例实施例中，上位机软件向下位机软件上设置的测试通道发送下位机测试数据，即CTCStatus->setValue(value)。该测试通道可以设置为int型逻辑通道CTCStatus，初始化该测试通道即CTCStatus->setValue(-1)，令该测试通道的初始值为-1。
在步骤S706中，初始化下位机测试旧值为-1。
在示例实施例中，将下位机测试旧值lastCTCStatus Value的初始值设置为-1。
在步骤S708中，初始化上位机软件监控次数为0。
在示例实施例中，将上位机软件监控次数CTCJudgeCounters的初始值设置为0。
在步骤S710中，初始化上位机软件断连次数为0。
在示例实施例中，将上位机软件断连次数CTCStatusCounters的初始值设置为0。
在步骤S712中，初始化测试标志为真。
在示例实施例中，将测试标志EpiToolTestFlag的初始值设置为true。
在步骤S714中，初始化可编程逻辑控制器断连次数为0。
在示例实施例中，将可编程逻辑控制器断连次数硬件控制StatusCounters的初始值设置为0。
在步骤S716中，开启监控。
在示例实施例中，开启监控Monitor。
在步骤S718中，按照预设周期，定期执行接口。
在示例实施例中，按照预先设定的时间周期，定时执行execute()接口，该execute()接口可参照图6、图7所示。
在步骤S720中，关闭监控。
在示例实施例中，关闭监控Monitor。
在步骤S722中，结束：下位机软件退出。
在示例实施例中，EpiTool软件退出。
图7中的系统监控方法可以实现前述的半导体设备控制系统和系统监控方法的实施例中的各个过程，并达到相同的效果和功能，这里不再赘述。
图8为本发明另一实施例提供的第二种应用于半导体设备的下位机单元的系统监控方法的示意性流程图。
参照图8所示，在步骤802中，开始：进入执行接口。
在示例实施例中，进入execute()接口，该execute()接口可用于如图7所示的系统监控方法中。
在步骤804中，判断监控次数是否等于预设次数。
在示例实施例中，监控次数即如图7所示的上位机软件监控次数CTCJudgeCounters，其初始值为0。判断上位机软件监控次数是否等于预设次数，实际上是判断上位机软件监控次数对应的时间是否到达预设的监控判断周期CTCJudgeTime。例如，每次监控耗时1秒，则当CTCJudgeCounters＝1，且预设CTCJudgeTime＝2秒时，CTCJudgeCounters对应的时间显然未达到监控判断周期；当CTCJudgeCounters＝2，且预设CTCJudgeTime＝2秒时，CTCJudgeCounters对应的时间等于监控判断周期。
在示例实施例中，由于上位机与下位机之间数据传输存在一定的时间延迟，假设上位机软件按照第一时间周期，2秒，发送下位机测试数据，则可根据该第一时间周期设置监控判断周期，例如，令CTCJudgeTime＝2秒、2.2秒或2.5秒等，确保下位机软件能够接收到变化的下位机测试数据。若预设的监控判断周期的秒数不为整数，则步骤S804可修改为判断监控次数是否大于预设次数。
在示例实施例中，若监控次数等于预设次数，则进入步骤S808，或监控次数不等于预设次数，则进入步骤S806。
在步骤S806中，监控次数加1。
在示例实施例中，上位机监控次数CTCJudgeCounters加一。
在步骤S808中，获取逻辑测试通道中的下位机测试状态值。
在示例实施例中，下位机软件获取逻辑测试通道CTCStatus中的数值CTCStatusValue，即下位机测试状态值。该下位机测试状态值可以理解为，下位机软件将逻辑测试通道CTCStatus最近一次获取的下位机测试数据赋值给CTCStatusValue。
在步骤S810中，判断下位机测试状态值是否大于等于0。
在示例实施例中，CTCStatus Value的初始值为-1。若CTCStatus Value大于等于0，即可确定上位机软件已经启动，进入步骤S812；若CTCStatus Value小于0，则确定上位机软件未启动，进入步骤S820。
在步骤S812中，判断下位机测试状态值是否等于下位机测试旧值。
在示例实施例中，下位机测试旧值lastCTCStatus Value可理解为，下位机软件将逻辑测试通道CTCStatus上一次获取的下位机测试数据赋值lastCTCStatus Value。
在示例实施例中，若CTCStatus Value等于lastCTCStatus Value，则进入步骤S818；若CTCStatus Value不等于lastCTCStatus Value，则进入步骤S814。
在步骤S814中，将下位机测试状态值赋值给下位机测试旧值。
在示例实施例中，令lastCTCStatus Value＝CTCStatus Value。
在步骤S816中，断连次数复位。
在示例实施例中，令CTCStatusCounters＝0。
在步骤S818中，断连次数加1。
在示例实施例中，令CTCStatusCounters的值增加1。
在步骤S820中，监控次数复位。
在示例实施例中，令CTCJudgeCounters＝0。
在步骤S822中，判断断连次数是否大于等于预设次数阈值。
在示例实施例中，比较CTCStatusCounters与预设次数阈值的大小，预设次数阈值用于判断上位机软件是否离线，例如，预设次数阈值为5，意味着当上位机软件断连次数大于等于5时，视为上位机软件离线。若CTCStatusCounters大于等于预设次数阈值，进入步骤824；若CTCStatusCounters小于预设次数阈值，进入步骤S804。
在步骤S824中，抛出报警提示用户上位机软件离线。
在示例实施例中，下位机软件生成报警信息，以提示用户上位机软件的工作状态为离线。
在步骤S826中，断连次数复位。
在示例实施例中，令CTCStatusCounters＝0。
在步骤S828中，下位机测试状态值复位。
在示例实施例中，CTCStatus->set Value(-1)，即令CTCStatus Value＝-1。
在步骤S830中，下位机测试旧值复位。
在示例实施例中，令lastCTCStatus Value＝-1。
在步骤S832中，结束：退出执行接口。
在示例实施例中，退出execute()接口。
图8中的系统监控方法可以实现前述的半导体设备控制系统和系统监控方法的实施例中的各个过程，并达到相同的效果和功能，这里不再赘述。
图9为本发明另一实施例提供的第三种应用于半导体设备的下位机单元的系统监控方法的示意性流程图。
参照图9所示，在步骤902中，开始：进入执行接口。
在示例实施例中，进入execute()接口，该execute()接口可用于如图7所示的系统监控方法中。
在步骤S904中，判断测试标志是否为真。
在示例实施例中，该步骤用于下位机软件向硬件控制单元下发硬件控制测试数据0101010101，首先，判断测试标志EpiToolTestFlag是否为true，若是，则进入步骤S906，若否，则进入步骤S910。
在步骤S906中，测试数据值为1。
在示例实施例中，硬件控制测试数据value＝1。
在步骤S908中，将测试标志设置为假。
在示例实施例中，将测试标志EpiToolTestFlag从true修改为false。需要注意的是EpiToolTestFlag只能取true或false。
在步骤S910中，测试数据值为0。
在示例实施例中，硬件控制测试数据value＝0。
在步骤S912中，将测试标志设置为真。
在示例实施例中，将测试标志EpiToolTestFlag从false修改为true。
在步骤S914中，依次下发各个测试数据到各个实际测试通道。
在示例实施例中，软件与硬件设备之间，例如下位机软件与硬件控制单元之间，传递数据无法采用逻辑测试通道，可以采用实际测试通道，例如，在硬件控制单元设置一个int型实际通道EpiToolTestDO，该实际测试通道可获取的硬件控制测试数值只有0或1。通过步骤S904、步骤S906、步骤S908、步骤S910以及步骤S912，下位机软件可以将硬件控制测试数据“0”与“1”交替下发给硬件控制单元上设置的实际测试通道。下位机软件包括的多个单元分别将“010101010101……”下发给对应的硬件控制单元上的实际测试通道，即EpiToolTestDO->setValue(value)。
在步骤S916中，判断测试数据是否下发成功。
在示例实施例中，若硬件控制测试数据下发成功，则确定硬件控制单元未离线，进入步骤S918；若硬件控制测试数据下发不成功，则硬件控制单元可能离线，需要进一步判断，进入步骤S920。
在步骤S918中，断连次数复位。
在示例实施例中，该断连次数指的是下位机软件定时监控到硬件控制单元离线的次数，即硬件控制断连次数硬件控制StatusCounters，令硬件控制StatusCounters＝0。
在步骤S920中，抛出低级别报警提示用户可编程逻辑控制器偶发离线。
在示例实施例中，下位机软件生成低级别报警信息，以提示用户硬件控制单元偶发性地离线。
在步骤S922中，断连次数加1。
在示例实施例中，令硬件控制StatusCounters的值加1。
在步骤S924中，判断断连次数是否大于等于第二次数阈值。
在示例实施例中，预设的第二次数阈值用于判断硬件控制单元是否离线，例如，预设次数阈值为5，意味着当硬件控制断连次数大于等于5时，视为硬件控制单元离线。若硬件控制StatusCounters大于等于第二次数阈值，则确定硬件控制单元离线，进入步骤S926；若硬件控制StatusCounters小于第二次数阈值，则返回步骤S904。
在步骤S926中，抛出高级别报警提示用户可编程逻辑控制器离线。
在示例实施例中，下位机软件生成高级别报警信息，以提示用户硬件控制单元离线。
在步骤S928中，中止当前工艺。
在示例实施例中，例如，工艺腔室停止加热，关闭特气等。
在步骤S930中，断连次数复位。
在示例实施例中，令硬件控制StatusCounters＝0。
在步骤S932中，结束：退出执行接口。
在示例实施例中，退出execute()接口。
图9中的系统监控方法可以实现前述的半导体设备控制系统和系统监控方法的实施例中的各个过程，并达到相同的效果和功能，这里不再赘述。
图10为本发明另一实施例提供的一种应用于半导体设备的硬件控制单元的系统监控方法的示意性流程图。
参照图10所示，在步骤S1010中，开始：可编程逻辑控制器启动。
在示例实施例中，硬件控制单元启动。
在步骤S1020中，获取实际测试通道的数值。
在示例实施例中，实际测试通道中的数值即下位机软件下发到实际测试通道中的硬件控制测试数据，例如，0或1。
在步骤S1030中，判断第四时间周期内实际测试通道的数值是否发生变化。
在示例实施例中，预先设置的第四时间周期用于判断下位机软件是否离线，例如，第四时间周期为3秒，判断3秒内实际测试通道中的数值是否在0与1之间发生改变。若数值发生改变，则确定下位机软件未离线，进入步骤S820；若未发生改变，则确定下位机软件离线，进入步骤S840。
在步骤S1040中，确定下位机软件离线或未启动。
在示例实施例中，下位机软件EpiTool的工作状态为离线。工作状态未启动也可视为离线。
在步骤S1050中，工艺腔室停止加热、关闭特气。
在示例实施例中，工艺腔室停止当前正在进行的工艺，例如停止加热，关闭特气。
在步骤S1060中，结束：可编程逻辑控制器退出。
在示例实施例中，硬件控制单元退出。
图10中的系统监控方法可以实现前述的半导体设备控制系统和系统监控方法的实施例中的各个过程，并达到相同的效果和功能，这里不再赘述。
进一步地，本发明一个实施例还提供了一种系统监控设备，图11为本发明一实施例提供的应用于半导体设备的上位机单元的系统监控设备的结构示意图。如图11所示，该设备包括：存储器1101、处理器1102、总线1103和通信接口1104。存储器1101、处理器1102和通信接口1104通过总线1103进行通信，通信接口1104可以包括输入输出接口，输入输出接口包括但不限于键盘、鼠标、显示器、麦克风、扩音器等。
图11中，存储器1101上存储有可在处理器1102上运行的计算机可执行指令，计算机可执行指令被处理器1102执行时实现以下流程：
按照第一时间周期通过在下位机单元预先建立的第一测试通道定时发送下位机测试数据到下位机单元；其中，相邻的第一时间周期发送的下位机测试数据的数值不同；
根据下位机测试数据是否发送成功，确定下位机单元的工作状态。
可选地，计算机可执行指令被处理器1102执行时，根据下位机测试数据是否发送成功，确定下位机单元的工作状态，包括：
若下位机测试数据发送失败的连续次数超过第一次数阈值，则确定下位机单元的工作状态为离线。
可选地，计算机可执行指令被处理器1102执行时，还可以实现：
若下位机测试数据发生失败的连续次数仅为一次，则生成下位机低级警告信息；
若下位机测试数据发生失败的连续次数超过第一次数阈值，则生成下位机高级警告信息。
可选地，计算机可执行指令被处理器1102执行时，
第一测试通道为逻辑测试通道，用于接收下位机测试数据，下位机测试数据为预设数值范围内按照数值大小顺序排列的多个数值；
第二测试通道为实际测试通道，用于接收硬件控制测试数据，硬件控制测试数据为0与1交替排列的多个数值。
需要说明的是，本实施例中的系统监控设备能够实现前述的半导体设备控制系统和系统监控方法的实施例中的各个过程，并达到相同的功能和效果，这里不再重复。
进一步地，本说明书另一个实施例还提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质用于存储计算机可执行指令，计算机可执行指令被处理器1102执行时实现以下流程：
按照第一时间周期通过在下位机单元预先建立的第一测试通道定时发送下位机测试数据到下位机单元；其中，相邻的第一时间周期发送的下位机测试数据的数值不同；
根据下位机测试数据是否发送成功，确定下位机单元的工作状态。
可选地，计算机可执行指令被处理器1102执行时，根据下位机测试数据是否发送成功，确定下位机单元的工作状态，包括：
若下位机测试数据发送失败的连续次数超过第一次数阈值，则确定下位机单元的工作状态为离线。
可选地，计算机可执行指令被处理器1102执行时，还可以实现：
若下位机测试数据发生失败的连续次数仅为一次，则生成下位机低级警告信息；
若下位机测试数据发生失败的连续次数超过第一次数阈值，则生成下位机高级警告信息。
可选地，计算机可执行指令被处理器1102执行时，
第一测试通道为逻辑测试通道，用于接收下位机测试数据，下位机测试数据为预设数值范围内按照数值大小顺序排列的多个数值；
第二测试通道为实际测试通道，用于接收硬件控制测试数据，硬件控制测试数据为0与1交替排列的多个数值。
需要说明的是，本实施例中的存储介质能够实现前述的半导体设备控制系统和系统监控方法的实施例中的各个过程，并达到相同的功能和效果，这里不再重复。
其中，计算机可读存储介质包括只读存储器(Read-Only Memory，简称ROM)、随机存取存储器(Random Access Memory，简称RAM)、磁碟或者光盘等。
图12为本发明一实施例提供的应用于半导体设备的下位机单元的系统监控设备的结构示意图，如图12所示，该设备包括：存储器1201、处理器1202、总线1203和通信接口1204。存储器1201、处理器1202和通信接口1204通过总线1203进行通信，通信接口1204可以包括输入输出接口，输入输出接口包括但不限于键盘、鼠标、显示器、麦克风、扩音器等。
图12中，存储器1201上存储有可在处理器1202上运行的计算机可执行指令，计算机可执行指令被处理器1202执行时实现以下流程：
按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化；下位机测试状态值，是将通过预先建立的第一测试通道最近一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的；
根据判断结果确定上位机单元的工作状态。
可选地，计算机可执行指令被处理器1202执行时，按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化，包括：
按照第二时间周期，定时比较下位机测试状态值与下位机测试旧值；下位机测试旧值，是将通过第一测试通道上一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的。
可选地，计算机可执行指令被处理器1202执行时，根据判断结果确定上位机单元的工作状态,包括：
若下位机测试状态值等于下位机测试旧值，则确定上位机单元的工作状态为离线；
若下位机测试状态值不等于下位机测试旧值，则确定上位机单元的工作状态为在线。
可选地，计算机可执行指令被处理器1202执行时，还可以实现：
按照第三时间周期通过在硬件控制单元预先建立的第二测试通道定时发送硬件控制测试数据到硬件控制单元；相邻的第三时间周期发送的硬件控制测试数据的数值不同；
根据硬件控制测试数据是否发送成功，确定硬件控制单元的工作状态。
可选地，计算机可执行指令被处理器1202执行时，根据硬件控制测试数据是否发送成功，确定硬件控制单元的工作状态，包括：
若硬件控制测试数据发送失败的连续次数超过第二次数阈值，则确定硬件控制单元的工作状态为离线。
可选地，计算机可执行指令被处理器1202执行时，还可以实现：
若硬件控制测试数据发生失败的连续次数仅为一次，则生成硬件控制低级警告信息；
若硬件控制测试数据发生失败的连续次数超过第一次数阈值，则生成硬件控制高级警告信息。
可选地，计算机可执行指令被处理器1102执行时，
第一测试通道为逻辑测试通道，用于接收下位机测试数据，下位机测试数据为预设数值范围内按照数值大小顺序排列的多个数值；
第二测试通道为实际测试通道，用于接收硬件控制测试数据，硬件控制测试数据为0与1交替排列的多个数值。
进一步地，本说明书另一个实施例还提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质用于存储计算机可执行指令，计算机可执行指令被处理器1202执行时实现以下流程：
按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化；下位机测试状态值，是将通过预先建立的第一测试通道最近一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的；
根据判断结果确定上位机单元的工作状态。
可选地，计算机可执行指令被处理器1202执行时，按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化，包括：
按照第二时间周期，定时比较下位机测试状态值与下位机测试旧值；下位机测试旧值，是将通过第一测试通道上一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的。
可选地，计算机可执行指令被处理器1202执行时，根据判断结果确定上位机单元的工作状态,包括：
若下位机测试状态值等于下位机测试旧值，则确定上位机单元的工作状态为离线；
若下位机测试状态值不等于下位机测试旧值，则确定上位机单元的工作状态为在线。
可选地，计算机可执行指令被处理器1202执行时，还可以实现：
按照第三时间周期通过在硬件控制单元预先建立的第二测试通道定时发送硬件控制测试数据到硬件控制单元；相邻的第三时间周期发送的硬件控制测试数据的数值不同；
根据硬件控制测试数据是否发送成功，确定硬件控制单元的工作状态。
可选地，计算机可执行指令被处理器1202执行时，根据硬件控制测试数据是否发送成功，确定硬件控制单元的工作状态，包括：
若硬件控制测试数据发送失败的连续次数超过第二次数阈值，则确定硬件控制单元的工作状态为离线。
可选地，计算机可执行指令被处理器1202执行时，还可以实现：
若硬件控制测试数据发生失败的连续次数仅为一次，则生成硬件控制低级警告信息；
若硬件控制测试数据发生失败的连续次数超过第一次数阈值，则生成硬件控制高级警告信息。
可选地，计算机可执行指令被处理器1202执行时，
第一测试通道为逻辑测试通道，用于接收下位机测试数据，下位机测试数据为预设数值范围内按照数值大小顺序排列的多个数值；
第二测试通道为实际测试通道，用于接收硬件控制测试数据，硬件控制测试数据为0与1交替排列的多个数值。
需要说明的是，本实施例中的存储介质能够实现前述的半导体设备控制系统和系统监控方法的实施例中的各个过程，并达到相同的功能和效果，这里不再重复。
其中，计算机可读存储介质包括只读存储器(Read-Only Memory，简称ROM)、随机存取存储器(Random Access Memory，简称RAM)、磁碟或者光盘等。
图13为本发明一实施例提供的应用于半导体设备的硬件控制单元的系统监控设备的结构示意图，如图13所示，该设备包括：存储器1301、处理器1302、总线1303和通信接口1304。存储器1301、处理器1302和通信接口1304通过总线1303进行通信，通信接口1304可以包括输入输出接口，输入输出接口包括但不限于键盘、鼠标、显示器、麦克风、扩音器等。
图13中，存储器1301上存储有可在处理器1302上运行的计算机可执行指令，计算机可执行指令被处理器1302执行时实现以下流程：
按照第四时间周期定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化；硬件控制测试状态值，是将通过预先建立的第二测试通道最近一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的；
根据判断结果确定下位机单元的工作状态。
可选地，计算机可执行指令被处理器1302执行时，按照第四时间周期定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化，包括：
按照第四时间周期，定时比较硬件控制测试状态值与硬件控制测试旧值；硬件控制测试旧值，是将通过第二测试通道上一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的。
可选地，计算机可执行指令被处理器1302执行时，根据判断结果确定下位机单元的工作状态,包括：
若硬件控制测试状态值等于硬件控制测试旧值，则确定下位机单元的工作状态为离线；
若硬件控制测试状态值不等于硬件控制测试旧值，则确定下位机单元的工作状态为在线。
可选地，计算机可执行指令被处理器1302执行时，
第一测试通道为逻辑测试通道，用于接收下位机测试数据，下位机测试数据为预设数值范围内按照数值大小顺序排列的多个数值；
第二测试通道为实际测试通道，用于接收硬件控制测试数据，硬件控制测试数据为0与1交替排列的多个数值。
进一步地，本说明书另一个实施例还提供了一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质用于存储计算机可执行指令，计算机可执行指令被处理器1302执行时实现以下流程：
按照第四时间周期定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化；硬件控制测试状态值，是将通过预先建立的第二测试通道最近一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的；
根据判断结果确定下位机单元的工作状态。
可选地，计算机可执行指令被处理器1302执行时，按照第四时间周期定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化，包括：
按照第四时间周期，定时比较硬件控制测试状态值与硬件控制测试旧值；硬件控制测试旧值，是将通过第二测试通道上一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的。
可选地，计算机可执行指令被处理器1302执行时，根据判断结果确定下位机单元的工作状态,包括：
若硬件控制测试状态值等于硬件控制测试旧值，则确定下位机单元的工作状态为离线；
若硬件控制测试状态值不等于硬件控制测试旧值，则确定下位机单元的工作状态为在线。
可选地，计算机可执行指令被处理器1302执行时，
第一测试通道为逻辑测试通道，用于接收下位机测试数据，下位机测试数据为预设数值范围内按照数值大小顺序排列的多个数值；
第二测试通道为实际测试通道，用于接收硬件控制测试数据，硬件控制测试数据为0与1交替排列的多个数值。
需要说明的是，本实施例中的存储介质能够实现前述的半导体设备控制系统和系统监控方法的实施例中的各个过程，并达到相同的功能和效果，这里不再重复。
其中，计算机可读存储介质包括只读存储器(Read-Only Memory，简称ROM)、随机存取存储器(Random Access Memory，简称RAM)、磁碟或者光盘等。
上述实施例阐明的系统、装置、模块或单元，具体可以由计算机芯片或实体实现，或者由具有某种功能的产品来实现。一种典型的实现设备为计算机。具体的，计算机例如可以为个人计算机、膝上型计算机、蜂窝电话、相机电话、智能电话、个人数字助理、媒体播放器、导航设备、电子邮件设备、游戏控制台、平板计算机、可穿戴设备或者这些设备中的任何设备的组合。
为了描述的方便，描述以上装置时以功能分为各种单元分别描述。当然，在实施本申请时可以把各单元的功能在同一个或多个软件和/或硬件中实现。
本领域内的技术人员应明白，本申请的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本申请可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本申请可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。
本申请是参照根据本申请实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
在一个典型的配置中，计算设备包括一个或多个处理器(CPU)、输入/输出接口、网络接口和内存。
内存可能包括计算机可读介质中的非永久性存储器，随机存取存储器(RAM)和/或非易失性内存等形式，如只读存储器(ROM)或闪存(flash RAM)。内存是计算机可读介质的示例。
计算机可读介质包括永久性和非永久性、可移动和非可移动媒体可以由任何方法或技术来实现信息存储。信息可以是计算机可读指令、数据结构、程序的模块或其他数据。计算机的存储介质的例子包括，但不限于相变内存(PRAM)、静态随机存取存储器(SRAM)、动态随机存取存储器(DRAM)、其他类型的随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、电可擦除可编程只读存储器(EEPROM)、快闪记忆体或其他内存技术、只读光盘只读存储器(CD-ROM)、数字多功能光盘(DVD)或其他光学存储、磁盒式磁带，磁带磁磁盘存储或其他磁性存储设备或任何其他非传输介质，可用于存储可以被计算设备访问的信息。按照本文中的界定，计算机可读介质不包括暂存电脑可读媒体(transitory media)，如调制的数据信号和载波。
还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。
本申请可以在由计算机执行的计算机可执行指令的一般上下文中描述，例如程序模块。一般地，程序模块包括执行特定任务或实现特定抽象数据类型的例程、程序、对象、组件、数据结构等等。也可以在分布式计算环境中实践本申请，在这些分布式计算环境中，由通过通信网络而被连接的远程处理设备来执行任务。在分布式计算环境中，程序模块可以位于包括存储设备在内的本地和远程计算机存储介质中。
本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于系统实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。
以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。
Claims (10)
1.一种半导体设备控制系统，包括：上位机单元、下位机单元、硬件控制单元，其特征在于，
所述上位机单元，用于按照第一时间周期通过在所述下位机单元预先建立的第一测试通道定时发送下位机测试数据到所述下位机单元；根据所述下位机测试数据是否发送成功，确定所述下位机单元的工作状态；其中，相邻的所述第一时间周期发送的所述下位机测试数据的数值不同；
所述下位机单元，用于按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化，根据判断结果确定所述上位机单元的工作状态；所述下位机测试状态值，是将通过所述第一测试通道最近一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的；
所述下位机单元，还用于按照第三时间周期通过在所述硬件控制单元预先建立的第二测试通道定时发送硬件控制测试数据到所述硬件控制单元；根据所述硬件控制测试数据是否发送成功，确定所述硬件控制单元的工作状态；相邻的所述第三时间周期发送的所述硬件控制测试数据的数值不同；
所述硬件控制单元，用于按照第四时间周期定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化，根据判断结果确定所述下位机单元的工作状态；所述硬件控制测试状态值，是将通过所述第二测试通道最近一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的。
2.一种系统监控方法，应用于如权利要求1所述的半导体设备控制系统中的所述上位机单元，其特征在于，包括：
按照第一时间周期通过在所述下位机单元预先建立的第一测试通道定时发送下位机测试数据到所述下位机单元；其中，相邻的所述第一时间周期发送的所述下位机测试数据的数值不同；
根据所述下位机测试数据是否发送成功，确定所述下位机单元的工作状态。
3.根据权利要求2所述的系统监控方法，其特征在于，所述根据所述下位机测试数据是否发送成功，确定所述下位机单元的工作状态，包括：
若所述下位机测试数据发送失败的连续次数超过第一次数阈值，则确定所述下位机单元的工作状态为离线。
4.根据权利要求2所述的系统监控方法，其特征在于，还包括：
若所述下位机测试数据发生失败的连续次数仅为一次，则生成下位机低级警告信息；
若所述下位机测试数据发生失败的连续次数超过第一次数阈值，则生成下位机高级警告信息。
5.一种系统监控方法，应用于如权利要求1所述的半导体设备控制系统中的所述下位机单元，其特征在于，包括：
按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化；所述下位机测试状态值，是将通过预先建立的第一测试通道最近一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的；
根据判断结果确定所述上位机单元的工作状态。
6.根据权利要求5所述的系统监控方法，其特征在于，所述按照第二时间周期定时判断下位机测试状态值是否发生变化，包括：
按照第二时间周期，定时比较所述下位机测试状态值与下位机测试旧值；所述下位机测试旧值，是将通过所述第一测试通道上一次获取的下位机测试数据进行赋值得到的。
7.根据权利要求6所述的系统监控方法，其特征在于，所述根据判断结果确定所述上位机单元的工作状态,包括：
若所述下位机测试状态值等于所述下位机测试旧值，则确定所述上位机单元的工作状态为离线；
若所述下位机测试状态值不等于所述下位机测试旧值，则确定所述上位机单元的工作状态为在线。
8.根据权利要求5所述的系统监控方法，其特征在于，还包括：
按照第三时间周期通过在所述硬件控制单元预先建立的第二测试通道定时发送硬件控制测试数据到所述硬件控制单元；相邻的所述第三时间周期发送的所述硬件控制测试数据的数值不同；
根据所述硬件控制测试数据是否发送成功，确定所述硬件控制单元的工作状态。
9.一种系统监控方法，应用于如权利要求1所述的半导体设备控制系统中的所述硬件控制单元，其特征在于，包括：
按照第四时间周期定时判断硬件控制测试状态值是否发生变化；所述硬件控制测试状态值，是将通过预先建立的第二测试通道最近一次获取的硬件控制测试数据进行赋值得到的；
根据判断结果确定所述下位机单元的工作状态。
10.根据权利要求2-4、5-8、9中任一项所述的系统监控方法，其特征在于，
所述第一测试通道为逻辑测试通道，用于接收所述下位机测试数据，所述下位机测试数据为预设数值范围内按照数值大小顺序排列的多个数值；
所述第二测试通道为实际测试通道，用于接收所述硬件控制测试数据，所述硬件控制测试数据为0与1交替排列的多个数值。
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