CN111775030A

CN111775030A - 一种lcd平面靶材侧边抛光工艺

Info

Publication number: CN111775030A
Application number: CN202010626350.4A
Authority: CN
Inventors: 姚力军; 窦兴贤; 王学泽; 王青松; 吴先帮
Original assignee: Hefei Jiangfeng Electronic Material Co ltd
Current assignee: Hefei Jiangfeng Electronic Material Co ltd
Priority date: 2020-07-01
Filing date: 2020-07-01
Publication date: 2020-10-16

Abstract

本发明公开了一种LCD平面靶材侧边抛光工艺。一种LCD平面靶材侧边抛光工艺，将IPA液涂于百洁布上，对LCD平面靶材的侧边进行抛光。本发明通过IPA液涂在百洁布上，对靶材的侧边进行抛光，将LCD平面靶材侧边的异物、铜锈、非靶材一体物质去除，提高了靶材抛光的周转率，降低了人工作业时间，减少了不良产品，抛光后粗糙度稳定，使得一次性通过率提高。

Description

一种LCD平面靶材侧边抛光工艺

技术领域

本发明涉及靶材加工技术领域，尤其涉及一种LCD平面靶材侧边抛光工艺。

背景技术

如今液晶显示(LCD)技术已经广泛应用到生活中，国内也有很多LCD产品的生产厂商。但是，生产使用的LCD靶材仍然需要进口，LCD靶材的自动化加工方法也掌握在他人手中，特别是LCD靶材的表面处理技术，人员加工进度缓慢，且品质难以得到稳定的保障。

目前LCD靶材的主面上的杂质、异物主要通过抛光机进行抛光去除，但是，LCD靶材的侧面的异物、氧化物、非靶材一体物质的去除，一般现有抛光方法使用手工砂纸或气动抛光机，砂纸抛光铜锈难去除，效率低，直接用砂纸或气动抛光机抛光，每枚产品在线加工时间3小时左右，且粗糙度不稳定，波动性大，导致品质不稳定，难以满足当前生产总量及品质需求。

CN110877235A公开了一种靶材背板表面的抛光处理方法，所述方法通过将靶材组件倒置在磁力抛光装置中，靶材背板朝上，进行磁力抛光处理，不仅抛光效率高，抛光后靶材背板表面的抛光纹路均匀无序，靶材背板不易生锈，而且能够将靶材背板上孔的孔内锈迹和毛刺去除干净，较好地满足了溅射靶材背板的需求，具有较高的工业应用价值。该发明对靶材的背板表面进行的抛光，但是对靶材的侧面抛光效果不好，粗糙度的稳定性欠佳。

CN110606666A公开了一种工控LCD显示面板镀膜工艺及其清理方法，包括堵透气孔、表面处理、抛光、清洗、烘干和镀膜；该发明在镀膜过程中将液晶显示屏中残存的液晶除去，从而避免影响镀膜效果，且板镀膜工艺及其清理方法与处理过程依次进行互不干扰，保证对液晶屏的成像不造成影响；与现有技术相比，该发明在除去液晶屏表面的液晶时，对液晶屏的强度进一步加强，使其提高抗冲击的能力，减少由于碰撞导致液晶屏碎裂的情况；采用清洁剂对显示屏表面进行清洗，去污能力强，清洗效果更好，且不会对液晶屏的玻璃造成俯腐蚀，鳌合剂的加入防止了金属离子在清洗对象上的再沉降。该发明的抛光工艺采用抛光机进行抛光，但是，其抛光是对LCD显示面板的主面进行抛光，对其侧面抛光及其抛光后的粗糙度并没有介绍。

因此，提供一种抛光效果好、产品良率高的LCD平面靶材侧边抛光工艺很有必要。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种LCD平面靶材侧边抛光工艺，对靶材的侧边进行抛光，将LCD平面靶材侧边的异物、铜锈、非靶材一体物质去除，提高了靶材抛光的周转率，降低了人工作业时间，减少了不良产品，抛光后粗糙度稳定，使得一次性通过率提高。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种LCD平面靶材侧边抛光工艺，所述抛光工艺为，将IPA液涂于百洁布对LCD平面靶材的侧边进行抛光。

本发明通过IPA液涂在百洁布上，对靶材的侧边进行抛光，将LCD平面靶材侧边的异物、铜锈、非靶材一体物质去除，提高了靶材抛光的周转率，降低了人工作业时间，减少了不良产品，抛光后粗糙度稳定，使得一次性通过率最高提高到95％。

LCD平面靶材的材质可以为铜或铝，铜可以和氧化性酸反应，铝可以和所有的酸和碱反应，而IPA液是醇类，与铜不反应，故不影响产品品质问题。优选地，所述IPA液的用量为80～100mL，例如IPA液的用量为80mL、81mL、82mL、83mL、84mL、85mL、86mL、87mL、88mL、89mL、90mL、91mL、92mL、93mL、94mL、95mL、96mL、97mL、98mL、99mL或100mL等。

其中，IPA液分批次涂于百洁布使用，可使抛光效果更佳，优选为将IPA液分三次涂于百洁布使用，每次用量相同，总的用量为80～100mL。

所述百洁布的材质为氧化铝材质；优选地，所述百洁布的型号为800#。

通过百洁布配合IPA液使用，可以将LCD平面靶材侧边的异物、铜锈、非靶材一体物质更彻底去除。

所述抛光的时间为0.8～1h，例如抛光的时间为0.8h、0.85h、0.9h、0.95h或1h等；所述抛光的温度为30℃以下。

所述LCD靶材材质为铝或铜。

所述LCD靶材为分体型LCD平面靶材。

所述LCD平面靶材为G8.5、G10.5或G11分体型LCD平面靶材中的一种。

作为本发明的优选方案，LCD平面靶材侧边抛光工艺为，将IPA液分三次涂于百洁布，对LCD平面靶材的侧边进行0.8～1h抛光；其中，IPA液的总用量为80～100mL。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

本发明的LCD平面靶材侧边抛光工艺，采用含有IPA液的百洁布擦拭侧面进行抛光，将LCD平面靶材侧边的异物、铜锈、非靶材一体物质去除，抛光后的粗糙度为2～3，抛光一枚产品在线0.8～1h抛光完成，增高产品周转率，降低人工作业时间，减少不良产品，使得一次性通过率最高提高到95％。

具体实施方式

下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

本发明的一种LCD平面靶材侧边抛光工艺，将IPA液涂于百洁布上，对LCD平面靶材的侧边进行抛光。

本发明的LCD平面靶材侧边抛光工艺，采用含有IPA液的百洁布擦拭侧面进行抛光，将LCD平面靶材侧边的异物、铜锈、非靶材一体物质去除，抛光一枚产品在线1h抛光完成，增高产品周转率，降低人工作业时间，减少不良产品，使得一次性通过率最高提高到95％。

实施例1

本实施例的LCD平面靶材侧边抛光工艺为：将IPA液涂于800#氧化铝百洁布，对G8.5分体型LCD平面铝靶材的侧边进行1h抛光。

其中，IPA液的用量为80mL，分三次使用，每次用量相同。

采用本实施例的抛光工艺，抛光时间为1h，抛光后的粗糙度2～3，产品良率95％。

实施例2

本实施例的LCD平面靶材侧边抛光工艺为：将IPA液涂于800#氧化铝百洁布，对G8.5分体型LCD平面铝靶材的侧边进行0.9h抛光。

其中，IPA液的用量为90mL，分三次使用，每次用量相同。

采用本实施例的抛光工艺，抛光时间为0.9h，抛光后的粗糙度2～3，产品良率94％。

实施例3

本实施例的LCD平面靶材侧边抛光工艺为：将IPA液涂于800#氧化铝百洁布，对G8.5分体型LCD平面铝靶材的侧边进行0.8h抛光。

其中，IPA液的用量为100mL，分三次使用，每次用量相同。

采用本实施例的抛光工艺，抛光时间为0.8h，抛光后的粗糙度2～3，产品良率95％。

实施例4

本实施例的LCD平面靶材侧边抛光工艺为：将IPA液涂于800#氧化铝百洁布，对G11分体型LCD平面铝靶材的侧边进行1h抛光。

其中，IPA液的用量为100mL。

实施例5

本实施例的LCD平面靶材侧边抛光工艺为：将IPA液涂于800#氧化铝百洁布，对G10.5分体型LCD平面铜靶材的侧边进行1h抛光。

其中，IPA液的用量为100mL。

实施例6

本实施例与实施例1的区别之处在于，IPA液的用量为20mL，其他的与实施例1的均相同。

采用本实施例的抛光工艺，抛光时间为2.4h，抛光后的粗糙度2～4，产品良率90％。

可以看出，IPA液的用量太少，即使增加抛光时间，抛光后的粗糙度和产品良率也达不到实施例1的效果。

实施例7

本实施例与实施例1的区别之处在于，IPA液的总用量不变，为一次性加入，其他的与实施例1的均相同。

采用本实施例的抛光工艺，抛光时间为1.5h，抛光后的粗糙度2～4，产品良率90％。

可以看出，如果将IPA液一次使用，抛光时间即使增加了抛光效果也达不到实施例1的效果。

实施例8

本实施例与实施例1的区别之处在于，百洁布的型号为2000#，其他的与实施例1的均相同。

采用本实施例的抛光工艺，抛光时间为2.5h，抛光后的粗糙度2～4，产品良率85％。

可以看出，如果将百洁布的型号替换为2000#，抛光时间即使增加了抛光效果同样达不到实施例1的效果。

对比例1

本对比例的LCD平面靶材侧边抛光工艺，仅采用百洁布对侧边进行抛光，抛光时间为3h，抛光后的粗糙度2～4，产品良率90％。

可以看出，仅采用百洁布抛光，未使用IPA溶液，抛光效果不佳。

对比例2

本对比例的LCD平面靶材侧边抛光工艺，仅采用IPA液对侧边进行抛光，用量与实施例1的相同，抛光时间为3h，抛光后的粗糙度2～4，产品良率89％。

可以看出，仅采用IPA溶液抛光，未使用百洁布，抛光效果同样不佳。

对比例3

本对比例的LCD平面靶材侧边抛光工艺，采用酒精对侧边进行抛光，用量与实施例1的IPA液用量相同，抛光时间为4h，抛光后的粗糙度1以下，产品良率82％。

可以看出，仅采用酒精对侧边进行抛光，抛光后的粗糙度下降很多，产品良率也不佳。

对比例4

本对比例的LCD平面靶材侧边抛光工艺，采用酒精配合百洁布使用，用量与实施例1的IPA液用量相同，对侧边进行抛光，抛光时间为4h，抛光后的粗糙度1～2，产品良率83％。

将IPA液替换成酒精后，即使延长了抛光时间，抛光后的粗糙度和产品良率也达不到实施例1的效果。

对比例5

本对比例的LCD平面靶材侧边抛光工艺，采用常规的砂纸进行抛光，抛光时间为3.5h，抛光后的粗糙度2～4，产品良率90％。

可以看出，采用常规的砂纸抛光，抛光时间长，抛光效果不佳。

对比例6

本对比例的LCD平面靶材侧边抛光工艺，采用常规的气动抛光机进行抛光，抛光时间为3.8h，抛光后的粗糙度2～4，产品良率91％。

可以看出，采用气动抛光机抛光，抛光时间长，抛光效果同样不佳。

本发明通过上述实施例来说明本发明的详细工艺设备和工艺流程，但本发明并不局限于上述详细工艺设备和工艺流程，即不意味着本发明必须依赖上述详细工艺设备和工艺流程才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明产品各原料的等效替换及辅助成分的添加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

以上详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。

Claims

1.一种LCD平面靶材侧边抛光工艺，其特征在于，所述抛光工艺为，将IPA液涂于百洁布上，对LCD平面靶材的侧边进行抛光。

2.根据权利要求1所述的抛光工艺，其特征在于，所述IPA液的用量为80～100mL。

3.根据权利要求1或2所述的抛光工艺，其特征在于，所述IPA液分批次涂于百洁布使用；

优选地，所述IPA液分三次涂于百洁布使用。

4.根据权利要求1-3之一所述的抛光工艺，其特征在于，所述百洁布的材质为氧化铝。

5.根据权利要求1-4之一所述的抛光工艺，其特征在于，所述百洁布的型号为800#。

6.根据权利要求1-5之一所述的抛光工艺，其特征在于，所述抛光的时间为0.8～1h；所述抛光的温度为30℃以下。

7.根据权利要求1-6之一所述的抛光工艺，其特征在于，所述LCD靶材材质为铝或铜。

8.根据权利要求1-7之一所述的抛光工艺，其特征在于，所述LCD靶材为分体型LCD平面靶材。

9.根据权利要求1-8之一所述的抛光工艺，其特征在于，所述LCD平面靶材为G8.5、G10.5或G11分体型LCD平面靶材中的一种。

10.根据权利要求1-9之一所述的抛光工艺，其特征在于，所述抛光工艺为，将IPA液涂于分三次涂于百洁布，分别对LCD平面靶材的侧边进行0.8～1h抛光；其中，IPA液的总用量为80～100mL。