CN114434218B - 一种lcd平面靶材的修复方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种LCD平面靶材的修复方法，所述修复方法包括如下步骤：(1)对LCD平面靶材采用全自动抛光机进行抛光处理，所述抛光处理中砂带的型号包括320‑1000#，得到第一靶材；(2)将步骤(1)得到的所述第一靶材进行第一修复处理，所述第一修复处理中砂纸的型号包括320‑800#，得到第二靶材；(3)将步骤(2)得到的所述第二靶材采用气动抛光机进行第二修复处理，所述第二修复处理中砂纸的型号包括320#，得到修复后的LCD平面靶材。本发明提供的修复方法可以显著提高靶材的良品率，减少人工作业时间，大大降低了人员的劳动力度，提高生产效率至30％以上。

Description

一种LCD平面靶材的修复方法
技术领域
本发明涉及靶材领域，具体涉及一种LCD平面靶材的修复方法。
背景技术
如今液晶显示(LCD)技术已经广泛应用到生活中，国内也有很多LCD产品的生产厂商。但是，目前LCD靶材仍然需要进口，LCD靶材的修复方法也掌握在他人手中，特别是LCD靶材的修复技术，主要由人员进行加工，并且加工速度缓慢，品质难以保障。
靶材作为溅射的主要元件，其表面质量直接影响了薄膜的性能，靶材表面的质量差(如粗糙度过大、划伤、凸起等)，溅射时容易“打火”，芯片出现短路；若靶材表面质量不合格，会造成溅射薄膜均匀性差，薄膜失效。目前，传统的靶材加工方式一般为车削加工和手工打磨，但是对于铜、铝、银等软性金属，在完成精密加工后，仍然容易出现氧化、磕碰、划伤等微小的缺陷，而手工打磨的粗糙度大，均匀性差，并且表明光泽度不一。
CN206415988U公开了一种用于修复靶材表面缺陷的圆盘打磨装置，该装置通过局部打磨，打磨痕迹与修复前的车刀纹保持一致，同时打磨头可根据需要选择不同材质的打磨介质，确保打磨后痕迹与修复前机加工痕迹吻合，可保证打磨后的靶材表面质量，但是所得靶材的粗糙度比较大，难以根据不同靶材的缺陷情况灵活调节。
CN101413107B公开了一种贵金属靶材的修复方法，该方法通过氩弧焊枪的钨极使与靶材材质相同的丝材和靶材的局部熔化，并堆积在所述损耗区内，这样反复进行堆积，使所述损耗区逐渐堆平，最终成为堆积态。但是该方法处理工艺复杂，难以应用于大规模生产。
因此，如果对靶材快速修复，提高靶材的良品率和周转率是当前需要解决的问题。
发明内容
针对以上问题，本发明的目的在于提供一种LCD平面靶材的修复方法，与现有技术相比，本发明提供的修复方法提高了靶材的良品率和周转率，相对于传统的手工修复的方法，降低了人员的劳动力度，提高了生产效率。
为达到此发明目的，本发明采用以下技术方案：
本发明提供一种LCD平面靶材的修复方法，所述修复方法包括以下步骤：
(1)对LCD平面靶材采用全自动抛光机进行抛光处理，所述抛光处理中砂带的型号包括320-1000#，得到第一靶材；
(2)将步骤(1)得到的所述第一靶材进行第一修复处理，所述第一修复处理中砂纸的型号包括320-800#，得到第二靶材；
(3)将步骤(2)得到的所述第二靶材采用气动抛光机进行第二修复处理，所述第二修复处理中砂纸的型号包括320#，得到修复后的LCD平面靶材。
本发明中，通过对LCD平面靶材依次进行抛光处理、第一修复处理和第二修复处理，可以提高靶材的修复率和良品率，首先通过抛光处理去除靶材表面主要的杂质和异物，降低靶材的粗糙度；然后进行第一修复处理去除靶材表面相对较小的凹坑和划痕等缺陷；最后进行第二修复处理去除靶材表面较大的凹坑或划痕等缺陷，本发明通过以上操作的配合，可以显著提高靶材的修复速度，提高靶材的良品率。本发明控制抛光处理中砂带的型号包括320-1000#，第一修复处理中砂纸的型号包括320-800#，第二修复处理中砂纸的型号包括320#，通过对以上不同粗糙度的特定选择，控制靶材的打磨程度由粗到细，从而达到节约靶材原料，提高生产效果的目的。
所述抛光处理中砂带的型号包括320-1000#，例如可以是320#、400#、500#、600#、800#或1000#，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
所述第一修复处理中砂纸的型号包括320-800#，例如可以是320#、400#、500#、600#、800#，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(1)中所述全自动抛光机中传送带的速度为1-10m/min，例如可以是1m/min、2m/min、3m/min、4m/min、5m/min、6m/min、7m/min、8m/min、9m/min或10m/min，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
本发明优选控制传送带的转速在特定范围，可以保证靶材良品率的同时提高生产效率。
优选地，步骤(1)中所述砂带的型号包括320#、400#、600#、800#或1000#中的任意一种或至少两种的组合。
本发明优选控制步骤(1)中所述砂带的型号，可以控制靶材溅射表面的粗糙程度，节省靶材原料的同时，减少靶材的表面缺陷。
优选地，步骤(1)中所述LCD平面靶材的型号包括G10.5、G11或G8.5中的任意一种。
优选地，步骤(2)中所述第一修复处理的时间为0.5-1h，例如可以是0.5h、0.6h、0.7h、0.8h、0.9h或1h，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(3)中所述气动抛光机的转速为11500-13300rpm，例如可以是11500rpm、11600rpm、11800rpm、12000rpm、12200rpm、12400rpm、12800rpm、13000rpm或13300rpm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
本发明优选控制气动抛光机的转速在特定范围，可以保证靶材良品率的同时提高生产效率。
优选地，步骤(3)中所述气动抛光机的磨盘直径为120-130mm，例如可以是121mm、122mm、123mm、124mm、125mm、126mm、127mm、128mm、129mm或130mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(3)中所述第二修复处理的时间为0.5-1h，例如可以是0.5h、0.6h、0.7h、0.8h、0.9h或1h，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。
作为本发明的优选技术方案，所述修复方法包括以下步骤：
(1)对LCD平面靶材采用全自动抛光机进行抛光处理，所述抛光处理中砂带的型号包括320#、400#、600#、800#或1000#中的任意一种或至少两种的组合，所述全自动抛光机中传送带的速度为1-10m/min，所述LCD平面靶材的型号包括G10.5、G11或G8.5中的任意一种，得到第一靶材；
(2)将步骤(1)得到的所述第一靶材进行第一修复处理0.5-1h，所述第一修复处理中砂纸的型号包括320#、400#、600#或800#中的任意一种或至少两种的组合，得到第二靶材；
(3)将步骤(2)得到的所述第二靶材采用气动抛光机进行第二修复处理0.5-1h，所述气动抛光机的转速为11500-13300rpm，所述气动抛光机的磨盘直径为120-130mm，所述第二修复处理中砂纸的型号包括320#，得到修复后的LCD平面靶材。
相对于现有技术，本发明具有以下有益效果：
(1)本发明提供的修复方法可以减少不良品，使产品可以更快更好周转，提高产品的良品率至90％以上，表面粗糙度达到0.35μm以下。
(2)本发明提供的修复方法可以减少人工作业时间，大大降低了人员的劳动力度，相较于手工修复的方法，可以提高生产效率至30％以上，单个靶材的加工时间可以节约10min以上。
具体实施方式
下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。本领域技术人员应该明了，所述实施例仅仅是帮助理解本发明，不应视为对本发明的具体限制。
实施例1
本实施例提供一种LCD平面靶材的修复方法，所述修复方法包括如下步骤：
(1)对LCD平面靶材采用全自动抛光机进行抛光处理，所述抛光处理中砂带的型号为320和400#，所述全自动抛光机中传送带的速度为10m/min，所述LCD平面靶材的型号为G8.5，得到第一靶材；
(2)将步骤(1)得到的所述第一靶材进行第一修复处理0.8h，所述第一修复处理中砂纸的型号为400#，得到第二靶材；
(3)将步骤(2)得到的所述第二靶材采用气动抛光机进行第二修复处理0.8h，所述气动抛光机的转速为12000rpm，所述气动抛光机的磨盘直径为125mm，所述第二修复处理中砂纸的型号为320#，得到修复后的LCD平面靶材。
本实施例中依次进行抛光处理、第一修复处理和第二修复处理的总时长为20min，相较于手工修复的方法可以节约工作时长10min。
实施例2
本实施例提供一种LCD平面靶材的修复方法，所述修复方法包括如下步骤：
(1)对LCD平面靶材采用全自动抛光机进行抛光处理，所述抛光处理中砂带的型号为400和600#，所述全自动抛光机中传送带的速度为1m/min，所述LCD平面靶材的型号为G10.5，得到第一靶材；
(2)将步骤(1)得到的所述第一靶材进行第一修复处理0.5h，所述第一修复处理中砂纸的型号为600#，得到第二靶材；
(3)将步骤(2)得到的所述第二靶材采用气动抛光机进行第二修复处理0.5h，所述气动抛光机的转速为11500rpm，所述气动抛光机的磨盘直径为120mm，所述第二修复处理中砂纸的型号为320#，得到修复后的LCD平面靶材。
实施例3
本实施例提供一种LCD平面靶材的修复方法，所述修复方法包括如下步骤：
(1)对LCD平面靶材采用全自动抛光机进行抛光处理，所述抛光处理中砂带的型号为320和600#，所述全自动抛光机中传送带的速度为3.5m/min，所述LCD平面靶材的型号为G11.5，得到第一靶材；
(2)将步骤(1)得到的所述第一靶材进行第一修复处理1h，所述第一修复处理中砂纸的型号为800#，得到第二靶材；
(3)将步骤(2)得到的所述第二靶材采用气动抛光机进行第二修复处理1h，所述气动抛光机的转速为13300rpm，所述气动抛光机的磨盘直径为130mm，所述第二修复处理中砂纸的型号为320#，得到修复后的LCD平面靶材。
实施例4
本实施例提供一种LCD平面靶材的修复方法，与实施例1相比的区别仅在于全自动抛光机中传送带的速度为20m/min。
实施例5
本实施例提供一种LCD平面靶材的修复方法，与实施例1相比的区别仅在于气动抛光机的转速为10000rpm。
对比例1
本实施例提供一种LCD平面靶材的修复方法，与实施例1相比的区别仅在于去掉步骤(1)。
对比例2
本实施例提供一种LCD平面靶材的修复方法，与实施例1相比的区别仅在于去掉步骤(2)。
对比例3
本实施例提供一种LCD平面靶材的修复方法，与实施例1相比的区别仅在于去掉步骤(3)。
对实施例1-5和对比例1-3所得靶材进行全检，所得良品率如表1所示。
采用粗糙度仪对实施例1-5和对比例1-3所得靶材的表面粗糙度进行测定，结果如表1所示。
表1
从表1可以看出以下几点：
(1)从实施例1-5的数据可以看出，本发明提供的修复方法可以使靶材的良品率达到85％以上，表面粗糙度达到0.35μm以下，在较优条件下，良品率可以达到96％以上，表面粗糙度可以达到0.25μm以下。
(2)综合比较实施例1和实施例4的数据可以看出，实施例1中全自动抛光机中传送带的速度为10m/min，而实施例4中全自动抛光机中传送带的速度为20m/min，实施例1中所得靶材的良品率为98％，表面粗糙度为0.20μm，而实施例4中所得靶材的良品率仅为88％，表面粗糙度为0.22μm，由此表明，本发明优选控制全自动抛光机中传送带的速度，可以提高靶材的良品率，降低靶材的表面粗糙度。
(3)综合比较实施例1和实施例5的数据可以看出，实施例1中气动抛光机的转速为12000rpm，而实施例5中气动抛光机的转速为10000rpm，实施例1中所得靶材的良品率为98％，表面粗糙度为0.20μm，而实施例5中所得靶材的良品率仅为85％，表面粗糙度为0.35μm，由此表明，本发明优选控制气动抛光机的转速，可以提高靶材的良品率，降低靶材的表面粗糙度。
(4)综合比较实施例1和对比例1-3的数据可以看出，对比例1与实施例1相比的区别仅在于去掉步骤(1)，对比例2与实施例1相比的区别仅在于去掉步骤(2)，对比例3与实施例1相比的区别仅在于去掉步骤(3)，对比例1-3中的良品率均低于实施例1，表面粗糙度均高于实施例1，由此表明，本发明通过依次进行抛光处理、第一修复处理和第二修复处理的组合操作，可以提高靶材的良品率，降低靶材的表面粗糙度。
综上所述，本发明提供的修复方法可以减少不良品，使产品可以更快更好周转，提高产品的良品率至90％以上，表面粗糙度达到0.35μm以下，并且相比于手工修复的方法，可以提高30％的生产效率。
申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (8)

1.一种LCD平面靶材的修复方法，其特征在于，所述修复方法包括以下步骤：
（1）对LCD平面靶材采用全自动抛光机进行抛光处理，所述全自动抛光机中传送带的速度为1-10m/min，所述抛光处理中砂带的型号包括320-1000#，得到第一靶材；
（2）将步骤（1）得到的所述第一靶材进行第一修复处理，所述第一修复处理中砂纸的型号包括400-800#，得到第二靶材；
（3）将步骤（2）得到的所述第二靶材采用气动抛光机进行第二修复处理，所述气动抛光机的转速为11500-13300rpm，所述第二修复处理中砂纸的型号包括320#，得到修复后的LCD平面靶材。
2.根据权利要求1所述的修复方法，其特征在于，步骤（1）中所述砂带的型号包括320#、400#、600#、800#或1000#中的任意一种或至少两种的组合。
3.根据权利要求1所述的修复方法，其特征在于，步骤（1）中所述LCD平面靶材的型号包括G10.5、G11或G8.5中的任意一种。
4.根据权利要求1所述的修复方法，其特征在于，步骤（2）中所述砂纸的型号包括400#、600#或800#中的任意一种或至少两种的组合。
5.根据权利要求1所述的修复方法，其特征在于，步骤（2）中所述第一修复处理的时间为0.5-1h。
6.根据权利要求1所述的修复方法，其特征在于，步骤（3）中所述气动抛光机的磨盘直径为120-130mm。
7.根据权利要求1所述的修复方法，其特征在于，步骤（3）中所述第二修复处理的时间为0.5-1h。
8.根据权利要求1所述的修复方法，其特征在于，步骤（1）所述砂带的型号包括320#、400#、600#、800#或1000#中的任意一种或至少两种的组合，步骤（1）所述LCD平面靶材的型号包括G10.5、G11或G8.5中的任意一种；
步骤（2）所述砂纸的型号包括400#、600#或800#中的任意一种或至少两种的组合，步骤（2）所述第一修复处理的时间为0.5-1h；
步骤（3）所述气动抛光机的磨盘直径为120-130mm，步骤（3）所述第二修复处理的时间为0.5-1h。
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