CN111771257A - 基板处理装置和判定方法 - Google Patents

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CN111771257A CN201980015527.2A CN201980015527A CN111771257A CN 111771257 A CN111771257 A CN 111771257A CN 201980015527 A CN201980015527 A CN 201980015527A CN 111771257 A CN111771257 A CN 111771257A
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Abstract

提供一种在基板处理装置中可实现满足指定条件的OR搬送的技术。基板处理装置具有：确定部，其参考多个处理模块各自的在各处理时隙的使用状态，并从在各处理时隙能够使用的处理模块中确定能够执行待处理的控制作业中包含的各基板的处理的处理模块；计算部，其在由所述确定部所确定的处理模块的各处理时隙分配所述各基板的处理，并计算所述各基板的处理的开始至结束的时间；及决定部，其决定开始进行所述各基板的处理的开始时间，以使由所述计算部所计算的时间满足指定条件。

Description

基板处理装置和判定方法
技术领域
本发明涉及基板处理装置和判定方法。
背景技术
传统上，在基板处理装置中，当对多个(plural)基板(晶圆(wafer))进行处理时，执行“OR搬送”(不同的晶圆至不同的处理模块的搬送)，并由多个处理模块进行并行处理，由此可实现处理效率的提高。
此外，在基板处理装置中，当藉由OR搬送开始进行多个晶圆的并行处理时，可参考各处理模块的使用状态。之后，在存在能够使用的处理模块的情况下，使用该处理模块开始进行晶圆的处理，由此可实现各处理模块的运转率的提高。
另一方面，作为用于实现各晶圆的产品质量的“条件”，一般而言，可针对基板处理装置指定“工序停留时间(time-in-process)”的上下限值(所谓的“Q－time(queuetime)”)，并对基板处理装置内的各晶圆的工序停留时间进行管理。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]特开2012－216852号公报
发明内容
[本发明要解决的问题]
本公开提供一种在基板处理装置中可实现满足指定条件的OR搬送的技术。
[用于解决问题的手段]
基于本公开的一个方式的基板处理装置例如具有如下构成。即，具有：
确定部，其参考多个处理模块各自的在各处理时隙(process time slot)的使用状态，并从在各处理时隙能够使用的处理模块中确定能够执行待处理的控制作业中包含的各基板的处理的处理模块；
计算部，其将所述各基板的处理分配至由所述确定部所确定的处理模块的各处理时隙，并计算所述各基板的处理的开始至结束的时间；及
决定部，其决定开始进行所述各基板的处理的开始时间，以使由所述计算部所计算的时间满足指定条件。
[发明的效果]
根据本公开，能够提供一种在基板处理装置中可执行满足指定条件的OR搬送的技术。
附图说明
[图1]图1是基板处理系统的整体构成的一例的示意图。
[图2]图2是基板处理装置所具有的各构成要素的一例的示意图。
[图3]图3是控制装置的硬件构成的一例的示意图。
[图4]图4是表示基板处理系统中的处理流程的时序图。
[图5]图5是PJ和CJ的生成示例的示意图。
[图6]图6是结束时间预测处理的具体示例的示意图。
[图7]图7是重新排列(reorder)处理的具体示例的示意图。
[图8]图8是开始时间确定处理的具体示例的示意图。
[图9]图9是表示控制装置的控制处理流程的流程图。
具体实施方式
以下，参考附图对各实施方式进行详细说明。需要说明的是，本说明书和附图中，对具有实质相同的功能构成的构成要素赋予了相同的符号，并对重复的说明进行了省略。
[第1实施方式]
[基板处理系统的整体构成]
首先，对具有第1实施方式的基板处理装置的基板处理系统的整体构成进行说明。图1是基板处理系统的整体构成的一例的示意图。如图1所示，基板处理系统100具有管理装置110和基板处理装置120。需要说明的是，基板处理系统100中，管理装置110和基板处理装置120以经由网络140可进行通信(通讯)的方式进行了连接。
管理装置110是对基板处理装置120进行管理的装置，并具有作业(job)生成部111。作业生成部111生成表示基板处理装置120对基板(“晶圆”)所执行的处理的处理单位的作业，并将其发送至基板处理装置120。
由作业生成部111所生成的作业中包括与进行相同处理内容的处理的晶圆组(“批量(lot)”)相对应的处理单位即“处理作业”(“PJ(process job)”)。
此外，由作业生成部111所生成的作业中还包括与基板处理装置120内的一个载环(hoop)(后面将详细描述)中存放的多个晶圆组相对应且包含多个PJ的处理单位组即“控制作业”(“CJ(control job)”)。
需要说明的是，当生成作业时，作业生成部111接收Q－time的指定。Q－time是指基板处理装置120处理晶圆时作为用于实现产品质量的条件而指定的“工序停留时间”的上下限值。
这里，工序停留时间是指就一个CJ而言的从各晶圆的处理的开始至结束的时间。具体而言，在一个CJ具有多个PJ的情况下，工序停留时间是指一个CJ中包含的各晶圆中的第一个PJ中包含的第一个晶圆从载环被搬出开始至最后一个PJ中包含的最后一个晶圆返回载环为止的时间。此外，在一个CJ仅具有一个PJ的情况下，工序停留时间是指，一个PJ中包含的各晶圆中的第一个晶圆从载环被搬出开始至最后一个晶圆返回载环为止的时间。
基板处理装置120是具有多个对CJ中包含的晶圆进行处理的处理模块(“PM(process module)”)的装置。基板处理装置120具有包括该多个PM的各构成要素(图1中未图示)和对各构成要素进行控制的控制装置130。
需要说明的是，本实施方式中，控制装置130中安装(install)有包括接收判定程序、顺序确定程序及开始判定程序在内的判定程序。此外，通过执行该判定程序，控制装置130可作为接收判定部131、顺序确定部132及开始判定部133而发挥功能。
接收判定部131对作业生成部111中所生成的CJ的工序停留时间是否超过了指定的Q－time进行判定。此时，接收判定部131计算当使用能够执行CJ中包含的各晶圆的处理的所有的PM进行处理时的工序停留时间，并进行判定。
此外，在判定为作业生成部111中所生成的CJ的工序停留时间超过了指定的Q－time的情况下，接收判定部131判定为不能接收作业生成部111中所生成的作业，并拒绝接收。
另一方面，在判定为作业生成部111中所生成的CJ的工序停留时间未超过指定的Q－time的情况下，接收判定部131判定为能够接收作业生成部111中所生成的CJ，并允许接收。
在接收判定部131允许进行CJ的接收且接收判定部131所接收的CJ中包含了多个PJ的情况下，顺序确定部132在CJ内对多个PJ进行重新排列，以确定执行顺序。
针对接收判定部131允许接收的处理对象的CJ(即，待处理的CJ)中包含的各晶圆，开始判定部133一边参考PM的使用状态，一边确定开始进行处理的时间(timing)。具体而言，开始判定部133作为“确定部(identifying unit)”而发挥功能，根据基板处理装置120所具有的多个PM的使用状态，确定能够使用的且能够执行待处理的CJ中包含的各晶圆的处理的PM。需要说明的是，这里所说的PM的使用状态是指，为了处理其他CJ中包含的各晶圆而正在使用的或预定使用的PM在各处理时隙(process time slot)的状态。
此外，开始判定部133作为计算部而发挥功能，通过将待处理的CJ中包含的各晶圆的处理分配至所确定的PM的各处理时隙，对工序停留时间进行计算。这样，当开始进行待处理的CJ中包含的各晶圆的处理时，开始判定部133可对考虑了PM的使用状态的工序停留时间进行计算。
另外，开始判定部133作为“决定部(determining unit)”而发挥功能，以所计算的工序停留时间不会超过Q－time的方式，决定开始进行待处理的CJ中包含的各晶圆的处理的开始时间。因此，根据基板处理装置120，能够实现不会超过Q－time的OR搬送。
[基板处理装置的各构成要素的构成]
其次，对基板处理装置120的各构成要素进行说明。图2是基板处理装置所具有的各构成要素的一例的示意图。
如图2所示，基板处理装置120具有在平面视图中为六边形的传递模块(“TM(transfer module)”)211和与TM211的一个侧面连接的两个PM212、213。
此外，基板处理装置120具有以与两个PM212、213相对的方式而与TM211的另一个侧面连接的两个PM214、215。
另外，基板处理装置120具有与PM213相邻且与TM211连接的PM216和与PM215相邻且与TM211连接的PM217。此外，基板处理装置120具有作为矩形形状的搬送室的装载模块(“LM(loader module)”)218和配置在TM211和LM218之间并对它们进行连接的两个装载锁定模块(“LLM(load lock module)”)219、220。
TM211具有配置在其内部的可自由屈伸和旋转的搬送臂221，该搬送臂221在PM212～217和LLM219、220之间对晶圆W进行搬送。
各PM212～217在其内部容纳晶圆W，并在该内部使用藉由激发处理气体而产生的等离子体对晶圆W进行等离子体处理，例如，实施干法蚀刻处理。
TM211和PM212～217的内部被维持为减压状态，TM211经由真空闸阀(gate valve)分别与PM212～217连接。
基板处理装置120中，LM218的内部压力被维持为大气压，另一方面，TM211的内部压力被维持为真空。为此，就各LLM219、220而言，在与TM211的连接部处分别具有真空闸阀，并且在与LM218的连接部处分别具有大气门阀(door valve)，由此可被构成为能够对其内部压力进行调整的真空预备搬送室。
LM218上除了LLM219、220之外例如还连接有用于承载可容纳25个晶圆W的载环222的例如三个载环承载台223。此外，LM218上还连接有用于对从载环222被搬出的晶圆W的位置进行预对齐的定向器(orientor)224。
LLM219、220与沿着LM218的长度方向的侧壁连接，并且被构成为夹着LM218与三个载环承载台223相对配置。此外，定向器224配置在LM218的长度方向的一端。
LM218具有在其内部配置的用于对晶圆W进行搬送的SCARA双臂式搬送臂225和以与各载环承载台223对应的方式而配置于侧壁的作为晶圆W的进入口(投入口)的三个装载口(load port)226。
搬送臂225从承载于载环承载台223的载环222经由装载口226取出晶圆W，并进行所取出的该晶圆W的相对于LLM219、220和定向器224的搬入和搬出。
基板处理装置120具有配置在LM218的长度方向的一端的操作面板227。操作面板227例如具有显示部，用于对由基板处理装置120的控制装置130(图2中未图示)所控制的各构成要素的动作状态进行显示。
[控制装置的硬件构成]
接着，对控制装置130的硬件构成进行说明。图3是控制装置的硬件构成的一例的示意图。如图3所示，控制装置130具有CPU(Central Processing Unit)301、ROM(Read OnlyMemory)302及RAM(Random Access Memory)303。CPU301、ROM302及RAM303形成所谓的计算机。
此外，控制装置130具有辅助存储装置304、操作面板227及I/F(Interface)装置305。需要说明的是，控制装置130的各硬件经由总线310相互连接。
CPU301是用于对辅助存储装置304内所安装的各种程序(例如，判定程序、接收判定程序、顺序确定程序及开始判定程序)等)进行执行的演算装置。
ROM302是非挥发性存储器。ROM302发挥对CPU301执行辅助存储装置304内所安装的各种程序时所需的各种程序、数据等进行保存的作为主存储装置的功能。具体而言，ROM302发挥对BIOS(Basic Input/output System)、EFI(Extensible FirmwareInterface)等的引导程序等进行保存的作为主存储装置的功能。
RAM303是DRAM(Dynamic Random Access Memory)、SRAM(Static Random AccessMemory)等的挥发性存储器。RAM303发挥对CPU301执行辅助存储装置304内所安装的各种程序时而展开的作业区域进行提供(确保)的作为主存储装置的功能。
辅助存储装置304是对各种程序和通过执行各种程序而生成的信息进行保存的辅助存储装置。
操作面板227将基板处理装置120的各构成要素的动作状态显示于显示部。I/F装置305是与基板处理装置120内的各构成要素相连且用于进行与各构成要素之间的通信的连接装置。
[基板处理系统中的处理流程]
接下来，对基板处理系统100的处理中的、从管理装置110中的PJ的生成开始至控制装置130中的开始对晶圆进行处理的开始时间的确定为止的流程进行说明。图4是对基板处理系统中的处理流程进行表示的时序图。基板处理系统100中，每次生成CJ时都执行图4所示的处理，并对开始进行该CJ中包含的各晶圆的处理的开始时间进行确定。
步骤S401中，管理装置110的作业生成部111执行处理作业生成处理，并生成PJ。
步骤S402中，管理装置110的作业生成部111执行控制作业生成处理，并生成包含PJ的CJ，然后将其发送至控制装置130。
步骤S403中，管理装置110的作业生成部111执行Q－time指定处理，并接收所指定的Q－time，然后将其发送至控制装置130。
步骤S404中，控制装置130的接收判定部131执行结束时间预测处理。具体而言，接收判定部131对从控制装置130所发送的CJ的工序停留时间进行计算，并对该CJ中包含的各晶圆的处理的结束时间(预测结束时间)进行预测。
步骤S405中，控制装置130的接收判定部131执行可否进行接收的判定处理。具体而言，接收判定部131对步骤S404中所预测的预测结束时间和根据从管理装置110的作业生成部111所发送的Q－time而计算的容许结束时间进行对比，由此对可否接收CJ进行判定。
此外，接收判定部131将可否进行接收的判定结果发送至管理装置110。另外，接收判定部131在判定为可进行接收的情况下将判定结果发送至顺序确定部132。
步骤S406中，顺序确定部132执行重新排列处理。具体而言，顺序确定部132对CJ中是否包含多个PJ进行判定，在判定为包含多个PJ的情况下，对CJ中包含的多个PJ进行重新排列，并确定执行顺序。此外，顺序确定部132将包含按照所确定的执行顺序重新进行了排列的多个PJ的CJ发送至开始判定部133。
步骤S407中，开始判定部133执行开始时间确定处理。具体而言，开始判定部133参考(refer to)基板处理装置120所具有的多个PM的使用状态。此外，开始判定部133将CJ中包含的各晶圆的处理分配至能够使用的且能够执行CJ中包含的各晶圆的处理的PM的各处理时隙，由此对以现在的处理时间为开始时间时的工序停留时间进行计算。另外，开始判定部133在判定所计算的工序停留时间未超过Q－time的情况下，将现在的处理时间确定为开始进行CJ中包含的各晶圆的处理的开始时间，并开始进行CJ中包含的各晶圆的处理。
[基板处理系统中的各处理的具体示例]
接着，对图4所示的各处理中的如下处理的具体示例进行说明。
·步骤S401～402(处理作业和控制作业的生成处理)
·步骤S404(结束时间预测处理)
·步骤S406(重新排列处理)
·步骤S407(开始时间确定处理)。
(1)步骤S401～S402(处理作业和控制作业的生成处理)的具体示例
首先，对步骤S401～S402(处理作业和控制作业的生成处理)的具体示例进行说明。图5是PJ和CJ的生成示例的示意图。
图5中，CJ510(作业名＝“CJ1”)是具有一个PJ511(作业名＝“PJ1”)的CJ的一例。如图5所示，CJ510所具有的PJ511可藉由三个PM(模块名＝“PM1”、“PM2”及“PM5”)中的任意一个PM执行各晶圆的处理。需要说明的是，图5的示例中，CJ510所具有的PJ511表示每一批量的晶圆的数量为25个。
另一方面，图5中，CJ520(作业名＝“CJ1”)是具有多个PJ521～524(作业名＝“PJ1”、“PJ2”、“PJ3”及“PJ4”)的CJ的一例。
如图5所示，CJ520所具有的PJ521可藉由三个PM(模块名＝“PM1”、“PM2”及“PM5”)中的任意一个PM执行各晶圆的处理。需要说明的是，图5的示例中，CJ520所具有的PJ521表示每一批量的晶圆的数量为8个。
此外，如图5所示，CJ520所具有的PJ522(作业名＝“PJ2”)可藉由两个PM(模块名＝“PM1”和“PM2”)中的任意一个PM执行各晶圆的处理。需要说明的是，图5的示例中，CJ520所具有的PJ522(作业名＝“PJ2”)表示每一批量的晶圆的数量为6个。
另外，如图5所示，CJ520所具有的PJ523(作业名＝“PJ3”)可仅藉由一个PM(模块名＝“PM2”)执行各晶圆的处理。需要说明的是，图5的示例中，CJ520所具有的PJ523(作业名＝“PJ3”)表示每一批量的晶圆的数量为5个。
此外，如图5所示，CJ520所具有的PJ524(作业名＝“PJ4”)可仅藉由一个PM(模块名＝“PM5”)执行各晶圆的处理。需要说明的是，图5的示例中，CJ520所具有的PJ524(作业名＝“PJ4”)表示每一批量的晶圆的数量为4个。
(2)步骤S404(结束时间预测处理)的具体示例
接下来，对由控制装置130的接收判定部131所执行的步骤S404(结束时间预测处理)的具体示例进行说明。图6是结束时间预测处理的具体示例的示意图。需要说明的是，这里为了简化说明，将仅具有一个PJ的CJ即CJ510作为待处理的CJ进行说明。
图6中，横轴表示时间，纵轴表示能够执行CJ510所具有的PJ511(作业名＝“PJ1”)中包含的各晶圆的处理的PM(模块名＝“PM1”、“PM2”及“PM5”)。
如图6所示，CJ510所具有的PJ511(作业名＝“JP1”)中包含的25个晶圆(“101”～“125”)的每个依次被分配至各PM(模块名＝“PM1”、“PM2”及“PM5”)的各处理时隙。
各PM(模块名＝“PM1”、“PM2”及“PM5”)中的晶圆的处理时间例如可根据配方(recipe)实际时间、配方剩余时间、搬送时间等预测生成。需要说明的是，图6中，“连续操作”是指，用于对晶圆进行搬送的准备时间。此外，“前往(go to)搬送时间”是指，晶圆从载环222被搬送至各PM(模块名＝“PM1”、“PM2”及“PM5”)为止的时间。
此外，“DMY”是指，各PM(模块名＝“PM1”、“PM2”及“PM5”)中处理晶圆之前对虚设(dummy)的晶圆进行处理的时间。另外，“WL”是指，各PM(模块名＝“PM1”、“PM2”及“PM5”)中在无晶圆的状态下进行干洗(dry cleaning)的时间。
图6的示例中，PM(模块名＝“PM1”)中的最长的晶圆的处理时间加上“返回(goback)搬送时间”(晶圆从模块名＝“PM1”的PM被搬送回载环222为止的时间)后的时间为工序停留时间。
图6的示例中，示出了将开始执行PJ511中包含的各晶圆的处理的时间设为“19：00”并将预测结束时间预测为“19：57”的情形。需要说明的是，如图6所示，如果假设基于Q－time而计算的容许结束时间为“20：00”，则接收判定部131判定为可对CJ510进行接收。
(3)步骤S406(重新排列处理)的具体示例
接着，对控制装置130的顺序确定部132所执行的步骤S406(重新排列处理)的具体示例进行说明。图7是重新排列处理的具体示例的示意图，示出了对CJ520的多个PJ(作业名＝“PJ1”、“PJ2”、“PJ3”及“PJ4”)进行了重新排列处理后的情形。
如图7所示，CJ520中，多个PJ521～524按照PJ521(作业名＝“PJ1”)→PJ522(作业名＝“PJ2”)→PJ523(作业名＝“PJ3”)→PJ524(作业名＝“PJ4”)的顺序进行了排列。此情况下，CJ520中包含的各晶圆(总计23个晶圆)的处理按照时间表(schedule)701所示的执行顺序被执行(时间表701的每个方格(square)表示各晶圆的各处理时隙)。
其结果为，在CJ520的情况下，CJ520中包含的各晶圆(总计23个晶圆)的工序停留时间为箭头711所示的时间。
另一方面，通过由顺序确定部132执行重新排列处理(步骤S406)，多个PJ521～524可按照CJ700所示的顺序进行重新排列。具体而言，多个PJ521～524按照PJ523(作业名＝“PJ3”)→PJ524(作业名＝“PJ4”)→PJ522(作业名＝“PJ2”)→PJ521(作业名＝“PJ1”)的顺序被重新排列。
需要说明的是，顺序确定部132中可按照如下顺序进行多个PJ521～524的重新排列。
·从能够并行执行的最少数量的PM开始的顺序(从最少的OR数量开始的顺序)
·在OR数量相同的情况下，从最多数量的晶圆开始的顺序
·在OR数量相同且晶圆的个数也相同的情况下，PJ被生成的顺序
藉由CJ520所具有的PJ521～PJ524按照图7的CJ700所示的顺序被重新排列，CJ700中包含的各晶圆(总计23个晶圆)的处理可按照时间表702所示的执行顺序被执行。其结果为，在CJ700的情况下，CJ700中包含的各晶圆(总计23个晶圆)的工序停留时间变为箭头712所示的时间。
这样，在具有多个PJ的CJ的情况下，通过对多个PJ按照上述顺序进行重新排列以确定执行顺序，可缩短该CJ的工序停留时间。
(4)步骤S407(开始时间确定处理)的具体示例
接下来，对控制装置130的开始判定部133所执行的步骤S407(开始时间确定处理)的具体示例进行说明。图8是开始时间确定处理的具体示例的示意图。
图8的示例中示出了CJ510(作业名＝“CJ1”)所具有的PJ511中包含的各晶圆(25个晶圆)的处理正在被执行的情形。此外，图8的示例中还示出了新生成了CJ810(作业名＝“CJ2”)并执行了开始时间确定处理(步骤S407)的情形。需要说明的是，CJ810具有一个PJ811(作业名＝“PJ1”)，PJ811表示可在三个PM(模块名＝“PM2”、“PM5”及“PM6”)中的任意一个PM中执行晶圆的处理。此外，PJ811也表示每个批量的晶圆的数量为12个。
在该前提下，对CJ810中包含的各晶圆的处理进行了分配的时间表如图8所示。
这里，图8所示的两个时间表中的时间表820是表示在生成CJ810的时间应用了开始进行CJ810中包含的各晶圆的处理的一般的开始方法的情况下的时间表。
如上所述，PJ811可藉由三个PM(模块名＝“PM2”、“PM5”及“PM6”)中的任意一个PM执行各晶圆的处理。另一方面，参考生成CJ810的时间的各PM的使用状态可知，仅能够使用模块名＝“PM6”的PM。
为此，根据时间表820，在生成CJ810的时间(T1)，开始进行由模块名＝“PM6”的PM所执行的晶圆的处理。之后，CJ510中包含的各晶圆的处理结束，变为能够使用模块名＝“PM2”和“PM5”的PM(参见时间(T2))。因此，该PM在时间(T2)可应用于CJ810中包含的各晶圆的处理。
其结果为，时间(T2)后，CJ810中包含的各晶圆可被三个PM(模块名＝“PM2”、“PM3”及“PM6”)进行并行处理。之后，CJ810中包含的各晶圆的处理在时间(T3)结束。
这样，根据时间表820，CJ810的工序停留时间(从开始进行处理的时间(T1)开始至处理结束的时间(T3)为止的时间)变为如箭头821所示的时间。
另一方面，时间表830是表示在由开始时间确定处理所确定的开始时间应用了开始进行CJ810中包含的各晶圆的处理的开始方法的情况下的时间表。
如上所述，PJ811可藉由三个PM(模块名＝“PM2”、“PM5”及“PM6”)中的任意一个PM执行各晶圆的处理。另一方面，参考生成CJ810的时间(T1)的各PM的使用状态可知，能够使用的PM仅为模块名＝“PM6”的PM。
为此，如果在生成CJ810的时间(T1)开始进行模块名＝“PM6”的处理，则工序停留时间增大，预测结束时间变为超过基于Q－time的容许结束时间。因此，开始判定部133对为了使预测结束时间不超过基于Q－time的容许结束时间的处理的开始时间进行确定。
图8的时间表830示出了判定为藉由在时间(T2)开始进行CJ810中包含的各晶圆的处理，预测结束时间未超过基于Q－time的容许结束时间的情形。如上所述，时间(T2)是CJ510中包含的各晶圆的处理结束的时间。即，作为针对CJ510中包含的各晶圆的处理，不能再使用模块名为“PM2”和“PM5”的PM的时间。
为此，如图8的时间表830所示，时间(T2)后，CJ810中包含的各晶圆可被三个PM(模块名＝“PM2”、“PM3”及“PM6”)进行并行处理。其结果为，在时间(T4)可使CJ810中包含的各晶圆的处理结束。
这样，根据时间表830，可将CJ810的工序停留时间(从开始进行处理的时间(T2)开始至处理结束的时间(T4)为止的时间)缩短至箭头831所示的时间。
其结果为，根据时间表830所示的开始方法，能够以预测结束时间未超过基于Q－time的容许结束时间的方式使各晶圆的处理结束。
[控制装置中的控制处理流程]
接着，对控制装置130所执行的控制处理流程进行说明。图9是表示由控制装置所执行的控制处理流程的流程图，以与图4所示的时序图进行对比的方式进行了表示。通过起动控制装置130中安装的判定程序，开始进行图9所示的流程。
首先，控制装置130执行基于接收判定部131的结束时间预测处理。具体而言，步骤S901中，接收判定部131从管理装置110的作业生成部111获取CJ和Q－time。此外，接收判定部131根据所获取的CJ对预测结束时间进行预测。
接下来，控制装置130执行基于接收判定部131的接收可否判定处理。具体而言，步骤S902中，接收判定部131对所计算的预测结束时间是否超过了基于Q－time的容许结束时间(是否满足了用于实现产品质量而指定的条件)进行判定。
在步骤S902中判定为超过了基于Q－time的容许结束时间的情况下(在步骤S902中为YES的情况下)，进入步骤S903。步骤S903中，接收判定部131判定为不能接收CJ，并将判定结果通知给管理装置110的作业生成部111。此情况下，控制装置130结束针对从管理装置110的作业生成部111所取得的CJ和Q－time的控制处理。
另一方面，在步骤S902中判定为未超过基于Q－time的容许结束时间的情况下(在步骤S902中为NO的情况下)，进入步骤S904。步骤S904中，接收判定部131判定为可接收CJ，并将判定结果通知给管理装置110的作业生成部111。
接着，控制装置130执行基于顺序确定部132的重新排列处理。具体而言，步骤S905中，顺序确定部132对所取得的CJ是否具有多个PJ进行判定。在步骤S905中判定为所取得的CJ仅包含一个PJ的情况下(在步骤S905中为NO的情况下)，进入步骤S907。
另一方面，在步骤S905中判定为所取得的CJ具有多个PJ的情况下(在步骤S905中为YES的情况下)，进入步骤S906。
步骤S906中，顺序确定部132对所取得的CJ所具有的多个PJ进行重新排列以确定PJ的执行顺序。
接下来，控制装置130执行基于开始判定部133的开始时间确定处理。具体而言，步骤S907中，开始判定部133通过参考现在的PM的使用状态，对在现在的处理时间开始进行CJ中包含的各晶圆的处理的情况下的预测结束时间是否超过了基于Q－time的容许结束时间进行判定。
在步骤S907中判定为超过了的情况下(在步骤S907中为YES的情况下)，进入步骤S908。步骤S908中，开始判定部133对在现在的处理时间能够使用的PM是否增加了进行判定。
在步骤S908中判定为能够使用的PM没有增加的情况下(在步骤S908中为No的情况下)，至判定为能够使用的PM增加了为止进行等待。另一方面，在步骤S908中判定为能够使用的PM增加了的情况下(在步骤S908中为YES的情况下)，返回步骤S907。
之后，在步骤S907中再次对在现在的处理时间开始进行CJ中包含的各晶圆的处理的情况下的预测结束时间是否超过了基于Q－time的容许结束时间进行判定。在步骤S907中判定为没有超过的情况下(在步骤S907中为NO的情况下)，进入步骤S909。
步骤S909中，开始判定部133将现在的处理时间确定为开始进行CJ中包含的各晶圆的处理的开始时间，并开始进行CJ中包含的各晶圆的处理。开始进行CJ中包含的各晶圆的处理后，控制装置130结束针对从管理装置110的作业生成部111所取得的CJ和Q－time的控制处理。
[总结]
由以上的说明可知，基板处理装置120从管理装置110获取CJ和Q－time后可进行如下处理。
·参考多个PM各自的在各处理时隙的使用状态，进而从在各处理时隙能够使用的PM中确定能够执行所获取的CJ中包含的各晶圆的处理的PM。
·在所确定的PM的各处理时隙，以现在的处理时间为开始时间，分配CJ中包含的各晶圆的处理，由此计算工序停留时间。
·对基于所计算的工序停留时间的预测结束时间是否超过了基于所取得的Q－time的容许结束时间进行判定。在判定为未超过基于所取得的Q－time的容许结束时间的情况下，将现在的处理时间确定为开始进行CJ中包含的各晶圆的处理的开始时间。
这样，基板处理装置120在获取CJ时参考PM的使用状态，并在对CJ中包含的各晶圆进行处理的情况下的预测结束时间未超过基于Q－time的容许结束时间的时间，开始进行CJ中包含的各晶圆的处理。因此，根据基板处理装置120，可与能够使用的PM的较少无关地开始进行处理，避免了工序停留时间增加这样的情形，并且还可实现能够满足为了达成产品质量而指定的条件的OR搬送。
[第2实施方式]
上述第1实施方式为对基于工序停留时间的预测结束时间进行计算，并对基于Q－time的容许结束时间进行计算，然后再对两者进行对比的构成。然而，就比较对象而言，也可以不是对预测结束时间和容许结束时间进行对比，而是对工序停留时间和Q－time进行直接对比。
此外，上述第1实施方式中，对开始判定部133以现在的处理时间为开始时间来对CJ中包含的各晶圆的处理进行分配，进而对预测结束时间进行预测的情况进行了说明。然而，开始判定部133也可以将现在的处理时间之后的任意的时间作为开始时间来对CJ中包含的各晶圆的处理进行分配，进而对预测结束时间进行预测。需要说明的是，此情况下，开始判定部133将现在的处理时间之后的时间作为基准，由此对基于Q－time的容许结束时间进行计算。
此外，上述第1实施方式中，将作业生成部111作为在管理装置110中实现的部件而进行了说明。然而，例如作业生成部111也可在基板处理装置120内实现。此外，上述第1实施方式中，对在基板处理装置120内的控制装置130中实现接收判定部131、顺序确定部132及开始判定部133的情况进行了说明。然而，例如就接收判定部131和顺序确定部132而言，也可以不在基板处理装置120内的控制装置130中实现，而是在其他装置中实现。
需要说明的是，本发明并不限定于上述实施方式中列举的构成等，也不限定于其与其他要素的组合等。就该点而言，在不脱离本发明的主旨的范围内可进行各种各样的变更，并可根据具体的应用形态进行适当的确定。
本申请主张基于2018年7月3日申请的日本国专利申请第2018－126903号的优先权，并通过引用的方式将该日本国专利申请的全部内容援引于本申请。
[符号说明]
100：基板处理系统，
110：管理装置，
111：作业生成部，
120：基板处理装置，
130：控制装置，
131：接收判定部，
132：顺序确定部，
133：开始判定部，
510、520：CJ，
521～524：PJ，
700：CJ，
701、702：时间表，
810：CJ，
811：PJ，
820、830：时间表。

Claims (8)

1.一种基板处理装置，具有：
确定部，其参考多个处理模块各自的在各处理时隙的使用状态，并从在各处理时隙能够使用的处理模块中确定能够执行待处理的控制作业中包含的各基板的处理的处理模块；
计算部，其在由所述确定部所确定的处理模块的各处理时隙分配所述各基板的处理，并计算所述各基板的处理的开始至结束的时间；及
决定部，其决定开始进行所述各基板的处理的开始时间，以使由所述计算部所计算的时间满足指定条件。
2.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，
所述决定部决定所述开始时间，以使由所述计算部所计算的时间不超过针对所述控制作业而指定的Q－time。
3.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，
在由所述计算部所计算的、将现在的处理时间作为所述开始时间时的所述各基板的处理的开始至结束的时间不满足所述指定条件的情况下，所述决定部对由所述确定部所确定的处理模块的数量是否增加了进行判定，
在由所述决定部判定为增加了的情况下，所述计算部计算将由所述决定部判定为增加了之后的处理时间作为所述开始时间时的所述各基板的处理的开始至结束的时间。
4.如权利要求1所述的基板处理装置，还具有：
顺序确定部，其在包含多个处理作业的待处理的控制作业中对该多个处理作业进行重新排列，并确定该多个处理作业的执行顺序，
其中，所述计算部按照所确定的所述执行顺序将所述多个处理作业中包含的各基板的处理分配至由所述确定部所确定的处理模块的各处理时隙，并计算所述多个处理作业中包含的各基板的处理的开始至结束的时间。
5.如权利要求4所述的基板处理装置，其中，
所述顺序确定部按照从能够并行执行的最少数量的处理模块开始的顺序对所述多个处理作业进行重新排列，在能够并行执行的处理模块的数量为相同的处理作业存在多个的情况下，按照从最大数量的基板开始的顺序对所述多个处理作业进行重新排列，在能够并行执行的处理模块的数量为相同且基板的数量也相同的处理作业存在多个的情况下，按照处理作业被生成的顺序对所述多个处理作业进行重新排列，由此确定所述多个处理作业的执行顺序。
6.如权利要求1所述的基板处理装置，还具有：
接收判定部，其将通过在能够执行所述待处理的控制作业中包含的各基板的处理的所有的处理模块的各处理时隙分配所述各基板的处理而算出的、所述各基板的处理的开始至结束的时间与所述指定条件进行对比，进而判定所述待处理的控制作业是否能被接收。
7.如权利要求6所述的基板处理装置，其中，
所述接收判定部在判定为不满足所述指定条件的情况下判定为所述待处理的控制作业不能被接收，在判定为满足所述指定条件的情况下判定为所述待处理的控制作业能被接收。
8.一种判定方法，具有：
确定步骤，参考多个处理模块各自的在各处理时隙的使用状态，并从在各处理时隙能够使用的处理模块中确定能够执行待处理的控制作业中包含的各基板的处理的处理模块；
计算步骤，在所述确定步骤中所确定的处理模块的各处理时隙分配所述各基板的处理，并计算所述各基板的处理的开始至结束的时间；及
决定步骤，决定开始进行所述各基板的处理的开始时间，以使所述计算步骤中所计算的时间满足指定条件。
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