CN111744740B - 基板烘烤设备 - Google Patents

Abstract

本发明揭露一种基板烘烤设备，包含：框架结构、机台本体、至少一加热装置、移载装置及风机。机台本体设置于框架结构，机台本体内具有烘烤通道，烘烤通道的两端为基板入口及基板出口，且机台本体的底部具有容置孔。加热装置能被控制以提升烘烤通道的温度。风机包含有限位结构、风扇、导风罩、控制机组及马达。风机能通过限位结构固定设置于机台本体的底部，而马达则能对应穿出于容置孔。机台本体的一侧具有维修门。使用者可以通过开启维修门，而于烘烤通道中对风机进行安装、拆卸及维修，如此，将可大幅降低基板烘烤设备整体的高度。

Description

基板烘烤设备

技术领域

本发明涉及一种烘烤设备，特别是一种用来烘烤电路板的基板烘烤设备。

背景技术

现有的用来烘烤电路板表面涂料的基板烘烤设备，其内部具有一容置空间，而电路板将被设置于容置空间中，以进行相关的烘烤作业。一般来说，此种基板烘烤设备高度大约是2.8公尺以上，因此相关厂商必需使用高3公尺以上的货柜才可方便进行进、出口运送。

以现有常见的高3公尺以上的货柜的运送报价及高2.4公尺左右的货柜的进、出口运送的报价来说，两者价差可能高达20万元，因此，对于制作基板烘烤设备的相关厂商而言，如何降低基板烘烤设备整体的高度，成为需改善的问题之一。

发明内容

本发明公开一种基板烘烤设备，主要用以改善现有的基板烘烤设备，使用货柜进行进、出口运送时，所需的运费高昂的问题。

本发明实施例在于提供一种基板烘烤设备，其包含：一框架结构、一机台本体、至少一加热装置、一移载装置及至少一风机。机台本体固定设置于框架结构，机台本体彼此相反的两端分别具有一基板入口及一基板出口，机台本体的内部具有一烘烤通道，烘烤通道的两端为基板入口及基板出口；机台本体的一侧具有一维修门，维修门能被开启而使烘烤通道与外连通；机台本体的底部具有至少一个容置孔，烘烤通道能通过容置孔与外连通。加热装置设置于机台本体，加热装置能被控制以提升烘烤通道中的温度。移载装置设置于机台本体，移载装置能固持多个基板，且移载装置能被控制以使多个基板于烘烤通道中移动。风机包含：一限位结构、一风扇、一导风罩、一马达及一控制机组。风机能通过限位结构可拆卸地固定于机台本体的底部，且限位结构能限制风机无法由机台本体内通过容置孔移出至机台外。风扇固定设置于限位结构的一侧。导风罩固定于限位结构的一侧，且导风罩罩设风扇；导风罩用以导引风扇运作所产生的风的流动方向。马达固定设置于限位结构相反于设置有风扇的一侧，马达能被控制而作动，并据以带动风扇旋转。控制机组固定设置于限位结构相反于设置有风扇的一侧，控制机组能控制马达作动。当限位结构固定设置于机台本体的底部时，导风罩及风扇对应位于机台本体中，而控制机组及马达则对应位于机台本体外。当风机能被拆卸而与机台本体相互分离时，风机能通过被开启的维修门移出机台本体。

优选地，限位结构设置有风扇的一侧，还设置有至少一个把手结构，把手结构用以提供用户提拿风机。

优选地，限位结构具有多个第一定位结构，机台本体的底部具有多个第二定位结构，多个第二定位结构邻近容置孔设置；多个第一定位结构及多个第二定位结构能相互配合，据以限制限位结构与容置孔的相对位置。

优选地，机台本体中包含有至少一导风通道，导风通道一端连接导风罩，导风通道的另一端与烘烤通道相连通；风扇运作时，风机能吸入烘烤空间中的空气，并使空气通过导风出口及导风通道导引，而由导风通道的另一端重回至烘烤通道。

优选地，机台本体中还包含有多个隔热门，多个隔热门可拆卸地固定设置于机台本体；当至少一个隔热门被拆卸且维修门被开启时，烘烤通道能与外连通。

优选地，机台本体露出有马达的一侧，与框架结构形成有一架空空间，架空空间的高度小于风机的高度，而风机无法通过架空空间移出机台本体。

优选地，加热装置包含多个电热棒组件，多个电热棒组件的长度方向平行于烘烤通道的轴向方向。

优选地，加热装置包含有一进气装置及一电热组件，进气装置设置于机台本体的底部，电热组件用以提升进气装置由机台本体外所吸入的空气；进气装置的出风口邻近于风扇设置，而风扇运作时能吸入，由进气装置的出风口排出的经过电热组件加热后的空气。

优选地，机台本体的底部于容置孔的周围形成有一阶梯结构，阶梯结构区隔容置孔为一第一容置孔及一第二容置孔，第一容置孔邻近于烘烤通道，第一容置孔的孔径大于第二容置孔的孔径；限位结构能对应与阶梯结构相互卡合，而限位结构能限制风机无法通过第二容置孔移出机台本体。

综上所述，本发明的基板烘烤设备，通过使风机可以由烘烤通道中被安装、拆卸或维修，并使风机可以通过维修门移出机台本体的设计，将可大幅降低机台本体下方与框架结构所需要预留的空间，从而可以大幅降低基板烘烤设备的整体高度。

附图说明

图1为本发明的基板烘烤设备应用于一基板处理系统中的俯视示意图。

图2为本发明的基板烘烤设备的示意图。

图3为本发明的基板烘烤设备的维修门被开启且多个隔热门被移出的示意图。

图4为本发明的基板烘烤设备的局部剖面及局部分解示意图。

图5为图4的局部放大示意图。

图6为本发明的基板烘烤设备的局部剖面及局部分解示意图。

图7为图6的局部放大示意图。

图8～11为本发明的基板烘烤设备的风机的示意图。

图12为本发明的基板烘烤设备设置有维修门的一侧的正视图。

图13为本发明的基板烘烤设备的一端的正视图。

图14为本发明的基板烘烤设备的另一实施例的一端的正视图。

具体实施方式

于以下说明中，如有指出请参阅特定图式或是如特定图式所示，其仅是用以强调于后续说明中，所述及的相关内容大部份出现于该特定图式中，但不限制该后续说明中仅可参考所述特定图式。

请参阅图1，其显示为本发明的基板烘烤设备应用于一基板处理系统S中的示意图。如图所示，基板烘烤设备1的一端可以是连接有一基板喷涂设备S1，基板烘烤设备1的另一端则可以是连接有一出料设备S2。基板喷涂设备S1用来对基板P(如图14所示)的表面进行喷涂作业。出料设备S2用来将通过基板烘烤设备1的基板P，移载至预定的工作站。基板烘烤设备1则是用来烘烤通过基板喷涂设备S1的基板P，以使基板P的表面的涂料干燥。关于基板P如何于基板喷涂设备S1、基板烘烤设备1及出料设备S2之间移动，于此不加以限制，例如可以是利用夹具夹持基板P，并配合输送带等构件来使基板P，于基板喷涂设备S1、基板烘烤设备1及出料设备S2之间移动。需说明的是，本发明的基板烘烤设备1不局限于与基板喷涂设备S1及出料设备S2相连接，在实际应用中，基板烘烤设备1可以是依据需求与其他的设备相连接，或者基板烘烤设备1也可以是不与其他设备相连接而为独立的设备。

请一并参阅图2至图4所示，基板烘烤设备1包含一框架结构10、一机台本体11、两个加热装置(如图12所示标号12A或图14所示标号12B)、一移载装置13、一维修门17、多个隔热门15、多个导风板16及多个及两个风机14。在不同的实施例中，基板烘烤设备1也可以是不设置有隔热门15及导风板16。机台本体11固定设置于框架结构10上。框架结构10主要是用来支撑机台本体11，而使机台本体11能够稳固地设置于厂房中，关于框架结构10的外型及其尺寸于此不加以限制。

机台本体11彼此相反的两端分别具有一基板入口11A及一基板出口11B。机台本体11的内部具有一烘烤通道C，烘烤通道C的两端即为基板入口11A及基板出口11B。在具体实施中，通过基板喷涂设备S1(如图1所示)的基板P，将可被相关设备移载，而由所述基板入口11A进入烘烤通道C中，而后，当基板P在具有预定温度的烘烤通道C中停留预定时间后，移载装置13将可以被控制，而使基板P通过基板出口11B移出于烘烤通道C。

加热装置12A、12B(如图12或图14所示)设置于机台本体11，加热装置12A、12B能被控制以提升烘烤通道C中的温度。在实际应用中，加热装置12A、12B提升烘烤通道C中的温度的方式，可以是依据需求选择，于此不加以限制。

在实际应用中，移载装置13可以是依据基板P的种类、尺寸不同而有所不同，于此不加以限制移载装置13的外型及其种类，举例来说，移载装置13可以是包含有多个吊架131(如图14所示)，各个吊架131例如可以是包含有两个夹具，而两个夹具则是用来夹持基板P，多个吊架131可以是配合相对应的输送带等组件，而于烘烤通道C中移动。

机台本体11的一侧具有一维修门17，维修门17能被开启而使烘烤通道C与外连通。如图3所示，在实际应用中，机台本体11中还可以是包含有多个隔热门15。多个隔热门15可拆卸地固定设置于机台本体11。而，当至少一个隔热门15被拆卸且维修门17被开启时，烘烤通道C则能与外连通。各个隔热门15主要是用来保持烘烤通道C的温度，而降低烘烤通道C的热能向外逸散的速度。

如图4所示，两个风机14设置于机台本体11，且风机14的上方设有一导风板16，各个导风板16具有多个导风孔161。当风机14运作时，烘烤通道C中的空气，将通过各个导风板16的多个导风孔161而被吸入风机14中。通过导风板16的设计，将可以使烘烤通道C中的空气的流动性更好，而使烘烤通道C各个区域的温度更趋近于一致；更具体来说，在未设置有导风板16的情况下，当风机14开始运作时，烘烤通道C的空气将集中向风机14的位置流动，而在烘烤通道C位于相对远离风机14处的区域的空气流动性，将明显差于靠近风机14处的区域的空气流动性，从而可能导致烘烤通道C的不同区域的温度差异过大的问题。需说明的是，关于导风板16及风机14的数量不以图中所示为限；各导风板16的外型及其导风孔161的数量不以图中所示为限。需说明的是，在不同的应用中，各个风机14的上方也可以是不设置有导风板16。

请一并参阅图5至图8，机台本体11的底部111可以是具有容置孔111A，容置孔111A对应于风机14的数量，且烘烤通道C能通过各个容置孔111A与外连通。风机14固定设置于机台本体11的底部111，且风机14的一部分可以是通过容置孔111A而外露于机台本体11外。

如图6所示，相关人员欲将风机14安装于机台本体11时，维修人员可以是开启维修门17、隔热门15及导风板16，并使风机14通过维修门17的门口进入烘烤通道C中，而后使风机14在烘烤通道C中安装在机台本体11的底部111。相对地，相关维修人员欲对风机14进行维修，或是欲将风机14由机台本体11上拆卸下来时，相关维修人员同样可以是通过开启维修门17、隔热门15及导风板16，而使风机14外露于烘烤通道C，进而将风机14由机台本体11上拆卸下来。

依上所述，本发明的基板烘烤设备1是让相关维修人员可以通过维修门17，而于烘烤通道C中对风机14进行安装、拆卸或维修作业，从而可以大幅降低机台本体11的下方与框架结构10所需预留的架空空间SP(如图2所示)的高度，进而可大幅将基板烘烤设备1整体的高度，如此，将可大幅降低基板烘烤设备1的进出口运输成本。更具体来说，现有常见的烘烤设备的风机，大多是通过所述架空空间SP，来使风机14移出机台本体11，因此，现有的烘烤设备必需预留相对较高的架空空间SP，为此，导致烘烤设备整体的高度无法低于2.4公尺，进而导致必需使用更高尺寸的货柜进行运送，而更高尺寸的货柜其费用将远高于低于2.4公尺的货柜的运送费用，一般来说，至少高出20万元的运送费用。

请一并参阅图8至图11，其显示为风机14的不同视角的示意图。如图所示，风机14可以包含有一限位结构141、一风扇142、一导风罩143、一马达144及一控制机组145。限位结构141例如是片状结构。风扇142固定设置于限位结构141的一侧。导风罩143固定于限位结构141的一侧，且导风罩143罩设风扇142。导风罩143用以导引风扇142运作所产生的风的流动方向。关于导风罩143的外型及其尺寸，可以是依据需求变化，不以图中所示为限。

马达144固定设置于限位结构141相反于设置有风扇142的一侧，马达144能被控制而作动，并据以带动风扇142旋转，从而使风机14外部的空气向风扇142的方向流动。控制机组145固定设置于限位结构141相反于设置有风扇142的一侧，控制机组145用以控制马达144运转，且控制机组145能被基板烘烤设备1的相关中央控制装置控制，以于预定的时间控制马达144运转。如图6及图12所示，当风机14固定设置于烘烤通道C中时，马达144的部分可以是对应外露于架空空间SP，而控制机组145(如图8所示)则可以是对应容置于容置孔111A中。

如图7、图8及图10所示，在实际应用中，限位结构141可以是具有多个第一定位结构1411，机台本体11的底部111可以是具有相对应的多个第二定位结构112。多个第二定位结构112邻近容置孔111A设置。多个第一定位结构1411及多个第二定位结构112能相互配合，据以限制限位结构141与容置孔111A的相对位置。举例来说，多个第一定位结构1411例如可以图8及图10所示的穿孔，多个第二定位结构112例如可以是图7所示的螺杆，而风机14固定设置于机台本体11的底部111时，为螺杆的多个第二定位结构112将可对应穿过为穿孔的多个第一定位结构1411，且多个第二定位结构112可以是配合多个螺帽等锁固件，以使风机14固定设置于机台本体11。需说明的是，只要风机14可以是依据需求，以任何可拆卸的方式固定于机台本体11，不局限于利用螺帽等锁固件来固定。

在具体的实施中，限位结构141的尺寸是大于容置孔111A的孔径，而限位结构141能限制风机14无法由机台本体11内通过容置孔111A移出至机台本体11外；也就是说，本发明的基板烘烤设备1通过限位结构141的设计，限制相关维修人员仅可以通过烘烤通道C，对风机14进行安装、拆卸及维修，而相关维修人员无法通过如图2所示的架空空间SP拆装风机14。在具体的应用中，由于风机14可以于烘烤通道C中安装、拆卸或维修，因此，架空空间SP(如图2所示)的高度可以是低于风机14整体的高度，而风机14则是无法从架空空间SP移出机台本体11。

如图8及图10所示，在实际应用中，限位结构141设置有风扇142的一侧，还可以是设置有两个把手结构146，把手结构146用以提供用户提拿风机14，而相关维修人员在烘烤通道C中进行风机14的安装、拆卸或是维修作业时，将可通过握持把手结构146，而更方便地进行相关作业。当然，把手结构146设置的位置及其数量不以图中所示为限。

如图5及图12所示，在实际应用中，加热装置12A可以是包含有一进气装置121A及一电热组件(图未示)，进气装置121A设置于机台本体11的底部111。进气装置121A能吸入机台本体11的空气，并由一排气结构122A排出。电热组件则是用以提升进气装置121A由机台本体11外所吸入的空气的温度，据以使由排气结构122A的空气的温度到达一预定温度。其中，所述排气结构122A邻近于风机14的风扇142设置，而风扇142运作时则能对应吸入由排气结构122A所排出的经过加热后的空气。

如图5及图13所示，各个风机14的导风罩143可以是连接一导风通道11D1，导风通道11D1相反于与导风罩143相连接的一端，则可以连接另一个导风通道11D2，导风通道11D2的出风口则是对应位于烘烤通道C的上方区域。如此，如图13(图中所示箭头是表示空气流动的方向)所示，烘烤通道C中的空气将会由位于烘烤通道C的下方区域的风机14吸入，而后经过两个导风通道11D1、11D2的导引后，由烘烤通道C的上方区域排出，从而于烘烤通道C中形成一循环路径，借此，将可使烘烤通道C各区域具有大致相同的温度。当然，在不同的实施例中，导风通道的数量及其出风口的设置位置，可以是依据需求变化，不以上述说明及图13所示为限。

如图5及图14(图中所示箭头是表示空气流动的方向)所示，其显示为本发明的基板烘烤设备1的另一实施例的前视图。如图所示，本实施例与前述实施例最大不同之处在于：加热装置12B可以是包含有多个加热棒组件121B。多个加热棒组件121B设置于机台本体11中，多个加热棒组件121B邻近风机14的风扇142的位置设置，各个加热棒组件121B能被控制以加热其周围的空气的温度。多个加热棒组件121B可以是连接另一个导风通道11D3，而导风通道11D3相反于与加热棒组件121B相邻的一端则可以是对应位于烘烤通道C的上方位置。借此，风机14将可吸入部分通过加热棒组件121B加热的空气，并使其通过导风通道11D1、11D2后，由烘烤通道C的上方区域排出，而风机14运作时，将会使导风通道11D3内的空气，趋向于向加热棒组件121B的方向流动。

特别说明的是，在实际应用中，电热棒组件121B的长度方向(即平行于图14所示坐标的X轴方向)平行于烘烤通道C的轴向方向(即平行于图14所示坐标的X轴方向)。如此，将可避免电热棒组件121B及用以使电热棒组件121B固定于机台本体11的相关结构，增加机台本体11整体的高度。

图14所示的第二实施例与前述实施例的另一不同之处在于：机台本体11的底部111于容置孔111A的周围可以是形成有一阶梯结构，阶梯结构可以是对应将容置孔111A区隔为一第一容置孔111A1及一第二容置孔111A2。第一容置孔111A1是邻近于烘烤通道C设置，且第一容置孔111A1的孔径大于第二容置孔111A2的孔径。限位结构141可以是具有对应于阶梯结构的外型，而限位结构141可以与阶梯结构相互卡合。如图5及图14所示，第二容置孔111A2的孔径可以是小于导风罩143及风扇142的尺寸，而第二容置孔111A2仅可提供马达144通过，亦即，风机14整体是无法通过第二容置孔111A2移出机台本体11。

综上所述，本发明的基板烘烤设备，让维修人员可以经维修门，而于烘烤通道中对风机进行安装、拆卸及维修的设计，可大幅降低基板烘烤设备整体的高度，从而可大幅降低基板烘烤设备的运输成本。

以上所述仅为本发明的较佳可行实施例，非因此局限本发明的专利范围，故举凡运用本发明说明书及图式内容所做的等效技术变化，均包含于本发明的保护范围内。

Claims (8)

1.一种基板烘烤设备，其特征在于，所述基板烘烤设备包含：

一框架结构；

一机台本体，其固定设置于所述框架结构，所述机台本体彼此相反的两端分别具有一基板入口及一基板出口，所述机台本体的内部具有一烘烤通道，所述烘烤通道的两端为所述基板入口及所述基板出口；所述机台本体的一侧具有一维修门，所述维修门能被开启而使所述烘烤通道与外连通；所述机台本体的底部具有至少一个容置孔，所述烘烤通道能通过所述容置孔与外连通；

至少一加热装置，其设置于所述机台本体，所述加热装置能被控制以提升所述烘烤通道中的温度；

一移载装置，其设置于所述机台本体，所述移载装置能固持多个基板，且所述移载装置能被控制以使多个所述基板于所述烘烤通道中移动；

至少一风机，其包含：

一限位结构，所述风机能通过所述限位结构可拆卸地固定于所述机台本体的所述底部，且所述限位结构能限制所述风机无法由所述机台本体内通过所述容置孔移出至所述机台外；

一风扇，其固定设置于所述限位结构的一侧；

一导风罩，其固定于所述限位结构的一侧，且所述导风罩罩设所述风扇；所述导风罩用以导引所述风扇运作所产生的风的流动方向；

一马达，其固定设置于所述限位结构相反于设置有所述风扇的一侧，所述马达能被控制而作动，并据以带动所述风扇旋转；

一控制机组，其固定设置于所述限位结构相反于设置有所述风扇的一侧，所述控制机组能控制所述马达作动；

其中，当所述限位结构固定设置于所述机台本体的所述底部时，所述导风罩及所述风扇对应位于所述机台本体中，而所述控制机组及所述马达则对应位于所述机台本体外；

所述机台本体露出有所述马达的一侧，与所述框架结构形成有一架空空间，所述架空空间的高度小于所述风机的高度，而所述风机无法通过所述架空空间移出所述机台本体；

其中，当所述风机能被拆卸而与所述机台本体相互分离时，所述风机能通过被开启的所述维修门移出所述机台本体。

2.依据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述限位结构设置有所述风扇的一侧，还设置有至少一个把手结构，所述把手结构用以提供用户提拿所述风机。

3.依据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述限位结构具有多个第一定位结构，所述机台本体的所述底部具有多个第二定位结构，多个所述第二定位结构邻近所述容置孔设置；多个所述第一定位结构及多个所述第二定位结构能相互配合，据以限制所述限位结构与所述容置孔的相对位置。

4.依据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述机台本体中包含有至少一导风通道，所述导风通道一端连接所述导风罩，所述导风通道的另一端与所述烘烤通道相连通；所述风扇运作时，所述风机能吸入烘烤空间中的空气，并使空气通过所述导风出口及所述导风通道导引，而由所述导风通道的另一端重回至所述烘烤通道。

5.依据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述机台本体中还包含有多个隔热门，多个所述隔热门可拆卸地固定设置于所述机台本体；当至少一个所述隔热门被拆卸且所述维修门被开启时，所述烘烤通道能与外连通。

6.依据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述加热装置包含多个电热棒组件，多个所述电热棒组件的长度方向平行于所述烘烤通道的轴向方向。

7.依据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述加热装置包含有一进气装置及一电热组件，所述进气装置设置于所述机台本体的所述底部，所述电热组件用以提升所述进气装置由所述机台本体外所吸入的空气；所述进气装置的出风口邻近于所述风扇设置，而所述风扇运作时能吸入，由所述进气装置的出风口排出的经过所述电热组件加热后的空气。

8.依据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述机台本体的所述底部于所述容置孔的周围形成有一阶梯结构，所述阶梯结构区隔所述容置孔为一第一容置孔及一第二容置孔，所述第一容置孔邻近于所述烘烤通道，所述第一容置孔的孔径大于所述第二容置孔的孔径；所述限位结构能对应与所述阶梯结构相互卡合，而所述限位结构能限制所述风机无法通过所述第二容置孔移出所述机台本体。

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