CN111729189B - 硅基贴片及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种硅基贴片及其制备方法，所述制备方法包括：S1、在硅片上制备具有塔尖的微针阵列结构；S2、在微针阵列结构表面制备pn结；S3、在硅片上微针阵列结构表面制备金属纳米颗粒，得到硅基贴片。本发明的制备方法工艺简单、成本低；硅基贴片可以加载药物，用于皮肤保养或治疗，阵列尖端仅进入皮肤角质层；光照后，硅片中的光生载流子能够促进药物对皮肤内层的渗透和加速毛细管微循环；Ag纳米颗粒对细菌具有良好杀灭作用，有利于防止皮肤的感染。

Description

硅基贴片及其制备方法
技术领域
本发明属于微针贴片技术领域，尤其涉及一种硅基贴片及其制备方法。
背景技术
微针的工作模式主要是经皮给药，由于皮肤角质层的阻挡作用，一般治疗和美容上使用的涂敷类药物很难达进入活性表皮层和真皮层，所以效果并不显著。微针能刺入表皮50～100纳米以下，附带将药物和护肤品载入，大大提高了活性养分穿越角质层进入表皮层及真皮层细胞的渗透能力，显著提高给药和美容的效果。另外，微针也可以应用于纹身，将染料载入，将使纹身过程变得无痛、安全、快捷。
目前公知的微针大多使用高聚糖等可降解物质通过注模成型进行制备，也有少部分使用硅等材料。其中现有的硅片微针存在的问题主要有：一、大都采用深硅干法刻蚀技术制备微针，工艺复杂、生产缓慢，成本高昂；二、二次伤害所引起的交叉感染问题，对硅基微针阵列贴片的普及造成了很大障碍。
因此，针对上述技术问题，有必要提供一种硅基贴片及其制备方法。
发明内容
针对现有技术不足，本发明的目的在于提供一种硅基贴片及其制备方法。
为了实现上述目的，本发明一实施例提供的技术方案如下：
一种硅基贴片的制备方法，所述制备方法包括：
S1、在硅片上制备具有塔尖的微针阵列结构；
S2、在微针阵列结构表面制备pn结；
S3、在硅片上微针阵列结构表面制备金属纳米颗粒，得到硅基贴片。
作为本发明的进一步改进，所述步骤S1包括：
将硅片置于碱溶液中，通过化学腐蚀工艺在硅片表面制备金字塔结构；
将硅片置于腐蚀液中，通过化学腐蚀修饰形成具有尖锐塔尖的微针阵列结构。
作为本发明的进一步改进，所述步骤S1具体为：
将(100)晶向的硅片置于碱溶液中腐蚀，碱溶液中碱浓度为0.5～10％，反应温度为40～90℃，反应时间为1～60min。
作为本发明的进一步改进，所述金字塔结构的尺寸为2～200μm。
作为本发明的进一步改进，所述步骤S1前还包括：
在硅片表面利用图形曝光、光阻显影、铬层刻蚀步骤形成阵列掩膜。
作为本发明的进一步改进，所述步骤S2具体为：
在微针阵列结构表面通过高温扩散或离子注入方式制备pn结，pn结表面的方块电阻为10～1000ohm/方块。
作为本发明的进一步改进，所述金属纳米颗粒为Ag纳米颗粒。
作为本发明的进一步改进，所述步骤S3具体为：
将硅片放入到浓度为AgNO3的水溶液或含有AgNO3的氢氟酸溶液中反应，AgNO3的浓度为0.0005mol/L～5mol/L，反应温度为25～90℃，反应时间为1min～30min，Ag离子被还原生成Ag纳米颗粒附着在微针阵列结构表面，得到硅基贴片。
本发明另一实施例提供的技术方案如下：
一种硅基贴片，所述硅基贴片通过上述的制备方法制备而得。
本发明的有益效果是：
制备方法工艺简单、成本低；
硅基贴片可以加载药物，用于皮肤保养或治疗，阵列尖端仅进入皮肤角质层；
光照后，硅片中的光生载流子能够促进药物对皮肤内层的渗透和加速毛细管微循环；
Ag纳米颗粒对细菌具有良好杀灭作用，有利于防止皮肤的感染。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明中硅基贴片制备方法的流程示意图；
图2为本发明中硅基贴片的结构示意图；
图3为本发明硅基贴片中微针阵列结构的局部结构示意图；
图4为本发明一具体实施例中硅基贴片的表面形貌图；
图5为本发明一具体实施例中硅基贴片微针3D显微镜测试图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明中的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
参图1至图3所示，本发明公开了一种硅基贴片的制备方法，法包括：
S1、在硅片10上制备具有塔尖的微针阵列结构11；
S2、在微针阵列结构11表面制备pn结，包括n-Si区111和p-Si区112；
S3、在硅片上微针阵列结构11表面制备金属纳米颗粒12，得到硅基贴片100。
进一步地，步骤S1包括：
将硅片置于碱溶液中，通过化学腐蚀工艺在硅片表面制备金字塔结构；
将硅片置于腐蚀液中，通过化学腐蚀修饰形成具有尖锐塔尖的微针阵列结构。
其中，化学腐蚀工艺具体为：
将(100)晶向的硅片置于碱溶液中腐蚀，碱溶液中碱浓度为0.5～10％，反应温度为40～90℃，反应时间为1～60min，最终在硅片表面形成的金字塔结构的尺寸为2～200μm。
优选地，步骤S1前还包括：在硅片表面利用图形曝光、光阻显影、铬层刻蚀等步骤形成阵列掩膜。
本发明的步骤S2具体为：
在微针阵列结构表面通过高温扩散或离子注入方式制备pn结，优选地，pn结表面的方块电阻为10～1000ohm/方块。
本发明一具体实施例中的金属纳米颗粒为Ag纳米颗粒，其制备工艺具体如下：
将硅片放入到浓度为AgNO3的水溶液或含有AgNO3的氢氟酸溶液中反应，AgNO3的浓度为0.0005mol/L～5mol/L，反应温度为25～90℃，反应时间为1min～30min，Ag离子被还原生成Ag纳米颗粒附着在微针阵列结构表面。
以下结合具体实施例对本发明作进一步说明。
实施例1：
本实施例中硅基贴片的制备方法具体如下：
1、在硅片上制备具有塔尖的微针阵列结构。
首先在硅片表面利用图形曝光、光阻显影、铬层刻蚀等步骤形成阵列掩膜；
然后将(100)晶向的硅片置于碱溶液中腐蚀，碱溶液中碱浓度为5％，反应温度为70℃，反应时间为300min，最终在硅片表面形成金字塔形状的微针，微针高度为120μm，微针分布密度大约为625个/cm2。
2、在微针阵列结构表面制备pn结。
在微针阵列结构表面通过高温扩散方式制备pn结，pn结表面的方块电阻为500ohm/方块。
3、在硅片上微针阵列结构表面制备金属纳米颗粒，得到硅基贴片。
将硅片放入到浓度为AgNO3的水溶液中反应，AgNO3的浓度为3mol/L，反应温度为50℃，反应时间为20min，Ag离子被还原生成Ag纳米颗粒附着在微针阵列结构表面。
采用3D显微镜测试样品，本实施例中制备的硅基贴片的表面形貌图参图4所示，可以看出，其表面为具有塔尖的微针阵列结构；微针高度120微米，如图5所示。
实施例2：
本实施例中硅基贴片的制备方法具体如下：
1、在硅片上制备具有塔尖的微针阵列结构。
首先在硅片表面利用图形曝光、光阻显影、铬层刻蚀等步骤形成阵列掩膜；
然后将(100)晶向的硅片置于碱溶液中腐蚀，碱溶液中碱浓度为5％，反应温度为70℃，反应时间为30min，在硅片表面形成的金字塔结构的尺寸为80μm；
再通过含有添加剂的0.5％浓度的碱液腐蚀上述金字塔结构，最终在硅片表面修饰形成具有尖锐塔尖的微针阵列结构，尖锐塔尖的微针尺寸为50um，微针分布密度大约为625个/cm2。
2、在微针阵列结构表面制备pn结。
在微针阵列结构表面通过高温扩散方式制备pn结，pn结表面的方块电阻为500ohm/方块。
3、在硅片上微针阵列结构表面制备金属纳米颗粒，得到硅基贴片。
将硅片放入到浓度为AgNO3的水溶液中反应，AgNO3的浓度为3mol/L，反应温度为50℃，反应时间为20min，Ag离子被还原生成Ag纳米颗粒附着在微针阵列结构表面。
实施例3：
本实施例中硅基贴片的制备方法具体如下：
1、在硅片上制备具有塔尖的微针阵列结构。
首先在硅片表面利用图形曝光、光阻显影、铬层刻蚀等步骤形成阵列掩膜；
然后将(100)晶向的硅片置于碱溶液中腐蚀，碱溶液中碱浓度为5％，反应温度为70℃，反应时间为30min，最终在硅片表面形成的金字塔结构的尺寸为50μm。
2、在微针阵列结构表面制备pn结。
在微针阵列结构表面通过离子注入方式制备pn结，pn结表面的方块电阻为500ohm/方块。
3、在硅片上微针阵列结构表面制备金属纳米颗粒，得到硅基贴片。
将硅片放入到含有AgNO3的氢氟酸溶液中反应，AgNO3的浓度为3mol/L，反应温度为50℃，反应时间为20min，Ag离子被还原生成Ag纳米颗粒附着在微针阵列结构表面。
对比例：
通过深硅干法刻蚀工艺在硅片上制备具有塔尖的微针阵列结构，具体步骤为：
将(100)晶向的硅片置于反应离子刻蚀腔中，然后抽真空到10-3Pa，通入含氟气体并等离子体放电产生生产含F活性基团，在刻蚀基板上加-12V负偏压，刻蚀30min，最终在硅片表面形成的尖锐微针结构的尺寸为50μm。在处理过程中，需将产生的气体通入含氟废气处理系统。
通过对比例和本发明中各实施例可以看出，本发明具有以下有益效果：
微针制备方法为湿法腐蚀，工艺简单、成本低廉，无需昂贵的废气处理装置；
硅基贴片可以加载药物，用于皮肤保养或治疗，阵列尖端仅进入皮肤角质层；
光照后，带有pn结的硅片中产生的光生载流子能够促进药物对皮肤内层的渗透和加速毛细管微循环；
Ag纳米颗粒对细菌具有良好杀灭作用，有利于防止皮肤的感染。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (7)

1.一种硅基贴片的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
S1、在硅片上制备具有塔尖的微针阵列结构；
S2、在微针阵列结构表面制备pn结；
S3、在硅片上微针阵列结构表面制备金属纳米颗粒，得到硅基贴片；
所述金属纳米颗粒为Ag纳米颗粒，所述步骤S3具体为：
将硅片放入到浓度为AgNO3的水溶液或含有AgNO3的氢氟酸溶液中反应，AgNO3的浓度为0.0005mol/L～5mol/L，反应温度为25～90℃，反应时间为1min～30min，Ag离子被还原生成Ag纳米颗粒附着在微针阵列结构表面，得到硅基贴片。
2.根据权利要求1所述的硅基贴片的制备方法，其特征在于，所述步骤S1包括：
将硅片置于碱溶液中，通过化学腐蚀工艺在硅片表面制备金字塔结构；
将硅片置于腐蚀液中，通过化学腐蚀修饰形成具有尖锐塔尖的微针阵列结构。
3.根据权利要求2所述的硅基贴片的制备方法，其特征在于，所述步骤S1具体为：
将(100)晶向的硅片置于碱溶液中腐蚀，碱溶液中碱浓度为0.5～10％，反应温度为40～90℃，反应时间为1～60min。
4.根据权利要求3所述的硅基贴片的制备方法，其特征在于，所述金字塔结构的尺寸为2～200μm。
5.根据权利要求1所述的硅基贴片的制备方法，其特征在于，所述步骤S1前还包括：
在硅片表面利用图形曝光、光阻显影、铬层刻蚀步骤形成阵列掩膜。
6.根据权利要求1所述的硅基贴片的制备方法，其特征在于，所述步骤S2具体为：
在微针阵列结构表面通过高温扩散或离子注入方式制备pn结，pn结表面的方块电阻为10～1000ohm/方块。
7.一种硅基贴片，其特征在于，所述硅基贴片通过权利要求1～6中任一项所述的制备方法制备而得。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113230530B (zh) * 2021-04-30 2022-09-16 苏州大学 复合结构硅微针的制备方法
CN115429878A (zh) * 2022-09-09 2022-12-06 苏州大学 具有微米金字塔形结构和p-n结的抗菌表面及制备方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9805720D0 (en) * 1997-04-01 1998-05-13 Zimmermann Johann Electromagnetic pen
CN103928541A (zh) * 2014-04-29 2014-07-16 集美大学 一种具有立体微结构阵列的太阳能电池
WO2015031189A1 (en) * 2013-08-26 2015-03-05 Sienna Labs, Inc. Targeted delivery of nanoparticles to skin surface
CN110567933A (zh) * 2019-06-28 2019-12-13 华东理工大学 Sers基底及其制备方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6256533B1 (en) * 1999-06-09 2001-07-03 The Procter & Gamble Company Apparatus and method for using an intracutaneous microneedle array
ITMI20012828A1 (it) * 2001-12-28 2003-06-28 Gambro Dasco Spa Dispositivo non invasivo per il rilevamento della temperatura ematicain un circuito per la circolazione extracorporea del sangue e apparato
US7803574B2 (en) * 2003-05-05 2010-09-28 Nanosys, Inc. Medical device applications of nanostructured surfaces
US20060253078A1 (en) * 2005-04-25 2006-11-09 Wu Jeffrey M Method of treating skin disorders with stratum corneum piercing device
US8409263B2 (en) * 2005-08-05 2013-04-02 Gholam A. Peyman Methods to regulate polarization of excitable cells
US8460351B2 (en) * 2005-08-05 2013-06-11 Gholam A. Peyman Methods to regulate polarization and enhance function of excitable cells
JP5871907B2 (ja) * 2010-04-28 2016-03-01 キンバリー クラーク ワールドワイド インコーポレイテッド 細胞間相互作用を強化させたナノパターンド医療デバイス
ES2482612B1 (es) * 2012-10-25 2015-05-11 Universitat Pompeu Fabra Sistema para la prevención de infecciones bacterianas en trayectos de aguja
CN103219427A (zh) * 2013-04-10 2013-07-24 中国科学院微电子研究所 一种高陷光纳米结构单面制绒的实现方法
FR3026647A1 (fr) * 2014-10-07 2016-04-08 Oreal Capsule souple pour iontophorese
CN104716209A (zh) * 2015-03-20 2015-06-17 黄河水电光伏产业技术有限公司 基于硅基纳米线的太阳能电池及其制备方法
CN106063971A (zh) * 2016-05-24 2016-11-02 中山大学 基于金属多孔微针阵列的经皮电渗给药装置及给药方法
CN105963805A (zh) * 2016-06-30 2016-09-28 吴凰 一种带有无色透明纳米银抗菌涂层的皮内针
CN107338480A (zh) * 2017-08-24 2017-11-10 嘉兴尚能光伏材料科技有限公司 一种单晶硅硅片制绒方法及其制绒添加剂
CN109420246B (zh) * 2017-08-31 2021-10-15 北京纳米能源与系统研究所 可控药物释放的集成微针贴片和方法
CN108704218A (zh) * 2018-05-02 2018-10-26 上海大学 一种皮肤无痛给药贴片
CN110201296A (zh) * 2019-05-20 2019-09-06 北京化工大学 一种用于可控药物释放的导电高分子微针贴片及其制备方法
CN110025883A (zh) * 2019-05-20 2019-07-19 无锡元旭生物技术有限公司 金属储药微针贴片及其制备方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9805720D0 (en) * 1997-04-01 1998-05-13 Zimmermann Johann Electromagnetic pen
WO2015031189A1 (en) * 2013-08-26 2015-03-05 Sienna Labs, Inc. Targeted delivery of nanoparticles to skin surface
CN103928541A (zh) * 2014-04-29 2014-07-16 集美大学 一种具有立体微结构阵列的太阳能电池
CN110567933A (zh) * 2019-06-28 2019-12-13 华东理工大学 Sers基底及其制备方法

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
单片Si-FED的结构和设计;范忠等;《半导体技术》;20010503(第05期);50-54 *
硅纳米线阵列的制备及光伏性能;蒋玉荣等;《硅酸盐学报》;20130103(第01期);35-39 *
硼离子选择注入制备多孔硅微阵列;陈少强等;《半导体学报》;20040708(第07期);76-80 *

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