CN111721397B - 传感器及传感器固定结构 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的在于提供一种紧凑且能够容易安装的传感器。本实施方式的传感器(100)具备传感器元件(10)、配置传感器元件(10)的基板(20)、容纳基板(20)的外壳(30),其中,外壳(30)设为圆环状,并且外壳(30)具有将配线(26)与外部进行连接的连接部(40),基板(20)配置在外壳(30)的圆环状的内部空间(30a),并且在外壳(30)的圆环状的内部空间(30a),配线(26)从基板(20)的远离连接部(40)的一侧配置至连接部(40),中央筒部(32c)被基板(20)和配线(26)夹持。

Description

传感器及传感器固定结构
本申请主张基于2019年3月19日申请的日本专利申请第2019-050710号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。
技术领域
本发明涉及一种传感器及传感器固定结构。
背景技术
已知有一种安装于诊断对象装置上并且用于获取与该装置有关的信息的传感器。本申请人在专利文献1中公开了一种齿轮马达的故障诊断装置。该故障诊断装置具备:振动传感器部,设置于齿轮马达;及诊断单元,根据由振动传感器部检测到的振动来判断在齿轮马达中是否产生有异常。在该装置中,支承基板的支脚部的突出部固定成与齿轮马达接触的状态。
专利文献1:日本特开2017-142160号公报
在将传感器安装于诊断对象装置上以获取与该装置有关的各种信息时,重要的是传感器紧凑且能够容易安装。然而,以往的传感器并未充分地应对该观点。
发明内容
本发明是鉴于这种情况而完成的,其目的之一在于提供一种紧凑且能够容易安装的传感器。
为了解决上述课题,本发明的一种实施方式的传感器具备传感器元件、配置传感器元件的基板及容纳基板的外壳,其中,外壳设为圆环状,并且外壳具有连接配线与外部的连接部。基板配置在外壳的圆环状的内部空间,并且在外壳的圆环状的内部空间,配线从基板的远离连接部的一侧配置至连接部,中央筒部被基板和配线夹持。
另外,以上构成要件的任意组合或将本发明的构成要件或表现在方法、系统等之间相互置换的方式也作为本发明的实施方式而有效。
根据本发明,能够提供一种紧凑且能够容易安装的传感器。
附图说明
图1是表示第1实施方式所涉及的传感器的外观的俯视图。
图2是表示图1的传感器的卸下盖子的状态的俯视图。
图3是表示图1的传感器的侧视剖视图。
图4是表示图1的传感器的主视图。
图5是表示图1的传感器的外壳的俯视图。
图6是表示图1的传感器的基板和传感器元件的立体图。
图7是表示第2实施方式所涉及的传感器固定结构的立体图。
图8是表示图7的传感器固定结构的周边的剖视图。
图中:10-传感器元件,20-基板,24-树脂,26-配线,30-外壳,30a-内部空间,30c-中央筒部,32b-底面,32c-中央筒部,32f-平坦面,36-第1保持部,38-第2保持部,40-连接部,42-输出部,80-诊断对象装置,82-连结部件,100-传感器,200-传感器固定结构。
具体实施方式
以下,参考附图对本发明的优选实施方式进行说明。在以下实施方式及变形例中,对相同或相等的构成要件、部件标注相同的符号,并适当地省略重复说明。并且,在各附图中,为了便于理解,适当放大或缩小表示部件的尺寸。并且,在各附图中,省略了对实施方式的说明并不重要的一部分部件。
并且,包括第1、第2等编号的术语用于说明各种构成要件,但是该术语仅用于将一个构成要件区别于其他构成要件的目的,该术语并不用于限定构成要件。
[第1实施方式]
以下,参考附图,对本发明的第1实施方式所涉及的传感器100的结构进行说明。本发明所涉及的传感器只要是安装于诊断对象装置从而能够获取与该装置有关的各种信息的传感器均可使用,其并不受特别限定。以下,作为一例,对本实施方式的传感器100为检测并输出诊断对象设备的振动的传感器的情况进行说明。
图1是表示传感器100的外观的俯视图。图2是表示传感器100的卸下盖子34的状态的俯视图。图3是表示传感器100的侧视剖视图。该图3表示沿图1的A-A线剖切的剖面。图4是表示传感器100的主视图。以下,为了便于说明,定义将水平方向设为X轴方向、将与X轴方向正交的水平方向设为Y轴方向、将铅垂方向设为Z轴方向的XYZ正交坐标系。Z轴方向与X轴方向及Y轴方向正交。X轴、Y轴、Z轴各自的正方向为各附图中的箭头所指方向,负方向为与箭头所指方向相反的方向。这种方向的概念并不用于限制传感器100的使用姿势,传感器100可以以任意姿势使用。
传感器100主要具备传感器元件10、配置传感器元件10的基板20、容纳基板20的外壳30、一端连接于基板20的配线26、连接有配线26的另一端的连接部40、保持基板20的保持部36、38。
(传感器元件)
传感器元件10检测诊断对象装置的振动,并将检测结果作为振动信息进行输出。作为一例,传感器元件10可以是MEMS型的加速度传感器。通过采用MEMS型的加速度传感器作为传感器元件10,能够以较低廉的价格构成传感器100。传感器元件10可以是能够检测单轴或多轴(例如,三轴)的振动的传感器元件。传感器元件10安装于基板20上。
(外壳)
参考图5。图5是表示外壳30的俯视图。外壳30作为容纳配置有传感器元件10的基板20的外壳而发挥功能。外壳30具有经由基板20将来自诊断对象装置的振动传递给传感器元件10的功能。外壳30具有用于安装于诊断对象装置的功能。本实施方式的外壳30呈包围贯穿孔30h(中空部)的圆环状。以下,将贯穿孔30h的周向简称为“周向”。外壳30只要是中空的环状,则并不只限于圆形或椭圆形,也可以采用三角形或四边形等各种形状。在图5的例子中,外壳30具有中空的大致圆形部分和矩形部分。
本实施方式的外壳30具有主体部32和盖子34。主体部32和盖子34划定圆环状的内部空间30a。主体部32具有周壁部32a、底面32b及中央筒部32c。周壁部32a划定内部空间30a的外周面。周壁部32a作为沿周向包围内部空间30a的周壁而发挥功能。底面32b作为划定内部空间30a的下表面的底部而发挥功能。底面32b设置成封闭周壁部32a的下表面。
周壁部32a具有俯视时呈圆弧状的圆弧部分32d、俯视时具有曲率比圆弧部分32d的曲率更小的(曲率半径更大的)形状的第1小曲率部分32p及第2小曲率部分32s。由于具有圆弧部分32d,因而能够减小俯视时的占有面积。与角部相比,圆弧部分32d能够将与其他部件碰撞时的损伤抑制为最小限度。在本实施方式中,俯视时,圆弧部分32d具有四分之三的圆弧形状。
如图5所示,第1小曲率部分32p从圆弧部分32d的图中上侧的一端沿着圆弧的切线朝向X轴方向的负方向延伸。第2小曲率部分32s从圆弧部分32d的图中左侧的一端沿着圆弧的切线朝向Y轴方向的正方向延伸。第1小曲率部分32p和第2小曲率部分32s直线状延伸并在图中左上方大致正交。在第2小曲率部分32s设置有后述的输出部42。
中央筒部32c划定内部空间30a的内周面。中央筒部32c立设于底面32b上,且其具有包围贯穿孔30h的中空圆筒形状。在中央筒部32c的外周设置有与基板20对置的平坦面32f。由于具有平坦面32f,因而中央筒部32c呈包括圆弧部和平坦部的D字状外周轮廓。平坦面32f隔着间隙而与基板20对置。平坦面32f作为将来自诊断对象装置的振动传递给传感器元件10的传递面而发挥功能。平坦面32f可以设置成与基板20平行。
如图2所示,在平坦面32f与基板20之间填充有树脂24。平坦面32f配置在隔着基板20及树脂24而与传感器元件10对置的位置。由于填充有树脂24,因而能够将来自诊断对象装置的振动有效地传递给传感器元件10。平坦面32f的延伸范围可以与传感器元件10的平行于基板20的表面的延伸范围的一部分或全部重叠。此时,能够进一步有效地传递振动。作为树脂24,可以使用能够维持中介状态的各种树脂。作为一例,树脂24可以使用环氧树脂。
周壁部32a、底面32b、中央筒部32c也可以分体形成后接合在一起,但是,在本实施方式中,其形成为一体。盖子34作为划定内部空间30a的上表面的盖子而发挥功能。盖子34是圆环状且在上下方向上薄的板状部件。盖子34以覆盖周壁部32a的上表面的方式嵌入于设置在周壁部32a的上表面的周向阶梯部32m。盖子34可以通过粘接或焊接等接合于主体部32。
外壳30可以由金属材料或非金属材料制成。作为一例,可以使用铁类金属并通过冲压加工、压铸加工、切削加工等公知的方法来制造外壳30。
(基板)
参考图6。图6是表示基板20的立体图。本实施方式的基板20具有大致矩形形状。在基板20上形成有配线图案(未图示)。传感器元件10所生成的振动信息经由该配线图案以及连接基板20与连接部40的配线26而传输到输出部42。
基板20的种类并不受限制,本实施方式的基板20是刚性基板。若采用挠性基板,则为了将传感器元件10保持在规定的位置而需要独立的刚性部件,而采用刚性基板则无需使用独立的刚性部件也可以保持传感器元件10。传感器元件10具有指向性,若基板的刚性低,则传感器元件10的位置及角度会发生变动,导致传感器元件10的检测精度会降低,而采用刚性基板则能够抑制检测精度的降低。
如图2所示,基板20配置成在外壳30的输出部42的附近与周壁部32a(第1小曲率部分32p)靠近。基板20的主表面与周壁部32a对置。传感器元件10配置在基板20的周壁部32a侧的空间,配线26等配置在基板20的与周壁部32a相反一侧的空间。
基板20的长度方向相对于第1小曲率部分32p的延伸方向(X轴方向)倾斜。此时,在基板20的长度方向上的宽度恒定(即,面积恒定)的条件下,与未倾斜的情况相比,能够使外壳30更加紧凑。并且,通过将基板20倾斜设置,能够在基板20与第1小曲率部分32p之间形成能够容纳传感器元件10的空间。基板20的长度方向相对于第1小曲率部分32p的倾斜角θp例如可以是10~30°。
在基板20的与平坦面32f侧相反一侧的表面上设置有传感器元件10。在基板20的与设置有传感器元件10的一侧的表面相反一侧的表面上设置有与传感器元件10的周边连接的电子组件20d。电子组件20d例如可以是电阻器或电容器。电子组件20d的一部分也可以设置在与传感器元件10相同的表面。通过将基板20设为双面基板,能够缩小基板的面积,从而能够实现传感器100的小型化。
基板20配置在外壳30的内部空间30a。配线26的一端连接于基板20。配线26的另一端连接于设置在外壳30的连接部40。配线26将来自连接部40的电力供给到基板20的电路或传感器元件10。配线26从基板20向连接部40输出基于传感器元件10的检测结果的信号。连接部40连接配线26与外部。
如图2所示,在基板20上设置有由铜板等导电性材料构成的接地部件28。图2中的被虚线E包围的部分表示从与基板20的主表面垂直的方向观察时的接地部件28的周边。接地部件28是用于将基板20的地线20g电连接于外壳30的接地部32e的部件。接地部件28是从电连接于地线20g的基端部28d延伸至电连接于接地部32e的前端部28e的板状部件。
在接地部32e形成有供螺钉28s螺合的内螺纹孔32g。在前端部28e形成有供螺钉28s插通的安装孔28h。作为一例,基端部28d通过钎焊而固定于基板20的地线20g上,前端部28e通过使螺钉28s穿过安装孔28h并螺合于内螺纹孔32g而固定于接地部32e。如此,基板20的地线20g与外壳30电连接,由此,外壳30可以作为包围基板20及传感器元件10的屏蔽箱而发挥功能。并且,基板20经由接地部件28机械地支承于外壳30的接地部32e,因此能够抑制基板20的振动。
(输出部)
输出部42作为连接连接部40与外部设备的连接器而发挥功能。即,输出部42能够经由连接部40向外部设备输出基于传感器元件10的检测结果的信号。若输出部42设置于曲率相对大的圆弧部分32d上,则在输出部42与圆弧部分32d之间容易产生间隙。因此,在本实施方式中,输出部42设置于曲率相对小的第2小曲率部分32s上。在图2的例子中,输出部42是从第2小曲率部分32s朝向X轴方向的负方向突出的圆形连接器。
配线26包括多个被树脂包覆的导电性电缆。如图2所示,配线26从基板20的远离连接部40的一侧配置至连接部40。即,配线26的基板侧的端部连接于远离连接部40的一侧。若配线26连接于基板20的靠近连接部40的一侧,则其周边变窄导致难以连接配线26与连接部40,而将配线26连接于远离连接部40的一侧,则周边变得宽裕,配线26与连接部40的连接变得容易。并且,在连接部40的附近,配线26的弯曲半径变大,因此能够减小从配线26施加到连接部40的应力。由此,在连接部40的可靠性方面也变得有利。
并且,如图2所示,配线26配置成由基板20和配线26夹持中央筒部32c。即,配线26配置成通过中央筒部32c的与基板相反的一侧。与配线26配置于中央筒部32c与基板20之间的情况相比,配线26的弯曲半径变大,因此配线26的配置变得容易,并且能够减小对配线26的弯曲应力。由此,在配线26的可靠性方面也变得有利。
若外壳30内的基板20的位置出现变动,则从诊断对象装置经由外壳30传递到传感器元件10的振动的传递方式发生变动。即,基板20的位置变动会导致传感器元件10的检测灵敏度发生变动。因此,在本实施方式中,具有保持基板20的保持部36、38。保持部36、38可以与外壳30形成为一体。
如图2、图3及图5所示,保持部36、38包括保持基板20的一端侧20b的第1保持部36及保持基板20的另一端侧20c的第2保持部38。第1保持部36和第2保持部38分别设置在平坦面32f的一侧(图中左侧)和另一侧(图中右侧)。此时,能够保持基板20的两端,因此能够减小基板20的位置变动。第1保持部36具有设置在周壁部32a的内周侧面上的基板20的靠近连接部40侧的第1槽36g。第2保持部38具有设置在周壁部32a的内周侧面上的基板20的远离连接部40侧的第2槽38g。
第1槽36g及第2槽38g具有在基板20的厚度上增加余量的槽宽,并且上下延伸。第1槽36g及第2槽38g中的一个槽可以设置在周壁部32a的上端附近,另一个可以设置在底面32b。在本实施方式中,第1槽36g设置于底面32b,第2槽38g设置于周壁部32a的上端附近。在图3的例子中,第1槽36g(第1保持部36)和第2槽38g(第2保持部38)的上下方向范围并未彼此重叠。换言之,从与周壁部32a垂直的方向观察时,第1保持部36和第2保持部38并未彼此重叠。
在插入基板20时,首先,只需将基板20的另一端侧20c插入上端附近的第2槽38g中即可。若插入了一定程度,则将第2槽38g作为引导件而继续插入基板20,由此,基板20的一端侧20b容易插入到第1槽36g中。
本发明的一种实施方式的概要如下。本发明的一种实施方式的传感器100具备传感器元件10、配置传感器元件10的基板20、容纳基板20的外壳30,其中,外壳30设为圆环状,并且所述外壳30具有将配线26与外部进行连接的连接部40,基板20配置在外壳30的圆环状的内部空间30a,并且在外壳30的圆环状的内部空间30a,配线26从基板20的远离连接部40的一侧配置至连接部40,中央筒部32c被基板20和配线26夹持。
根据该实施方式,通过将外壳30设为圆环状,能够容易实现紧凑化。并且,能够将螺栓等固定工具穿过圆环状的中空部而拧入到诊断对象装置中,从而能够将传感器100容易安装于诊断对象装置。
基板20可以是刚性基板。此时,与其他种类的基板相比,能够以更加低廉的价格构成传感器100,并且能够提高传感器元件10的保持位置的精度。
传感器100可以具有保持基板20的保持部36、38。此时,与不具有保持部的情况相比,能够减小基板20的位置变动,因此能够提高传感器元件10的保持位置的精度。
保持部36、38可以包括设置在外壳30的侧面的槽38g。此时,通过将基板20滑动插入于槽38g内,能够容易安装基板20。
保持部36、38可以包括基板20的一端侧20b的第1保持部36和基板20的另一端侧20c的第2保持部38,第2保持部38可以设置在外壳30的侧面,第1保持部36可以设置在外壳30的底面32b。此时,在基板20的插入初期,只需将基板20的另一端侧20c插入于第2保持部38即可。若将另一端侧20c插入了一定程度,则可以以第2保持部38作为引导件而将基板20的一端侧20b容易插入到第1保持部36。其结果,能够将基板20容易安装于保持部36、38。
在中央筒部32c可以设置与基板20对置的平坦面32f。此时,与不具有平坦面32f的情况相比,能够更有效地传递从平坦面32f向基板20上的传感器元件10的检测对象振动。并且,能够减小该振动的传递方式的偏差。
第1保持部36和第2保持部38可以分别设置于平坦面32f的一侧和另一侧。此时,与在一侧支承基板20的情况相比,能够使平坦面32f与基板20的位置关系稳定,能够减小从平坦面32f向基板20上的传感器元件10的检测对象振动的传递方式的偏差。
在基板20与平坦面32f之间可以填充树脂24。此时,能够更有效地传递从平坦面32f向基板20上的传感器元件10的检测对象振动,并且能够减小振动的传递方式的偏差。
外壳30的外形可以具有圆弧部分32d、曲率比圆弧部分32d的曲率更小的第1小曲率部分32p及第2小曲率部分32s,在第2小曲率部分32s可以设置用于连接连接部40与外部设备的输出部42。此时,与在圆弧部分32d设置输出部42的情况相比,能够减小输出部42与外壳30之间的间隙。
以上是对第1实施方式的说明。
以下,对上述结构的传感器100的动作的一例进行说明。传感器100在底面32b接触到诊断对象装置(未图示)的状态下进行动作。传感器100通过穿过贯穿孔30h而螺纹固定于诊断对象装置的螺栓等连结部件(未图示)安装于诊断对象设备。传感器100经由底面32b及中央筒部32c将在诊断对象装置中产生的振动传递到传感器元件10。传感器元件10检测该振动以生成表示振动大小的振动信息。传感器100将该振动信息经由连接部40及输出部42输出到外部设备(未图示)。
以上是对第1实施方式的说明。
[第2实施方式]
参考图7及图8,对本发明的第2实施方式所涉及的传感器固定结构200进行说明。图7是表示传感器固定结构200的周边的立体图。该图中示出了诊断对象装置80、传感器100及连结部件82,省略了用于连接传感器100与外部设备的电缆。图8是表示传感器固定结构200的沿B-B线剖切的剖视图。
传感器固定结构200是将传感器100固定于诊断对象装置80的传感器固定结构,其通过将连结部件82插通于中央筒部32c的贯穿孔30h中并固定于诊断对象装置80,从而将传感器100固定于诊断对象装置80。
本实施方式的诊断对象装置80是包括马达86及减速机88的齿轮马达。在图7的例子中,马达86是电动马达,减速机88是输入轴与输出轴大致正交的正交减速机。传感器100可以安装于减速机88或马达86上。另外,诊断对象装置并不只限于齿轮马达,可以适用于各种装置。例如,可以适用于机器人、机床、注塑成型机、车辆等各种装置。
关于诊断对象装置80中的传感器100的安装位置,通过实验或模拟试验等来确定适于异常检测的位置即可。在图7的例子中,传感器100固定于减速机88的与马达86相反一侧的侧壁部88b上。在图8的例子中,连结部件82是贯穿传感器100的贯穿孔30h及侧壁部88b上的贯穿孔88h的螺栓。将螺母84螺合于连结部件82的前端侧。为了使接触状态稳定,可以在传感器100与侧壁部88b之间安装垫圈。
传感器100检测在诊断对象装置80中产生的振动以生成表示振动大小的振动信息,并将其输出给外部设备(未图示)。作为一例,外部设备可以是根据从传感器100输送过来的振动信息来判定诊断对象装置80中是否产生了异常的诊断单元。
在图7中示出了诊断对象装置80中安装有一个传感器100的情况,但是,也可以在诊断对象装置80中安装两个以上的传感器100。
以上,对本发明的实施方式的例子进行详细说明。上述的实施方式只不过是用于实施本发明的具体例。实施方式的内容并不限定本发明的技术范围,在不脱离技术方案中规定的发明的思想的范围内,能够进行构成要件的变更、追加、删除等多种设计变更。在上述的实施方式中,关于能够进行这种设计变更的内容,标注了“实施方式的”或“实施方式中”等表述进行了说明,但是这并不意味着没有这种表述的内容就不允许进行设计变更。并且,附图的剖面上附加的阴影线并不限定附加有阴影线的对象的材质。
以下,对变形例进行说明。在变形例的附图及说明中,对与实施方式相同或相等的构成要件及部件标注相同的符号。适当地省略与实施方式重复的说明,重点对与实施方式不同的结构进行说明。
[变形例]
在第1实施方式的说明中示出了传感器100获取诊断对象装置的振动的例子,但是本发明并不只限于此,传感器100也可以获取与诊断对象装置有关的各种信息。例如,传感器100也可以是能够获取电流等电磁信息或温度等物理信息的传感器。
在第1实施方式的说明中示出了存在于平坦面32f与基板20之间的树脂24是环氧树脂的例子,但是本发明并不只限于此,作为树脂24,可以使用各种树脂。例如,树脂24可以使用热固性树脂,也可以使用热塑性树脂,还可以使用常温固化性树脂。
在第1实施方式的说明中示出了树脂24存在于平坦面32f与基板20之间的例子,但是本发明并不只限于此,在外壳30内的其他部位也可以涂布树脂24。例如,树脂24可以填充于外壳30的整个内部。
在第1实施方式的说明中示出了第1槽36g和第2槽38g的上下方向范围并不重叠的例子,但是,第1槽36g和第2槽38g的上下方向范围也可以重叠。
在第1实施方式的说明中示出了传感器元件10安装于基板20的与中央筒部30c相反一侧的表面上的例子,但是传感器元件10也可以安装于基板20的中央筒部30c侧的表面上。传感器元件10可以安装于基板20的与中央筒部30c对置的区域。
在第1实施方式的说明中示出了输出部42是连接器的例子,但是本发明并不只限于此。例如,输出部42也可以是连接连接部40与外部设备的线束。
在第2实施方式的说明中示出了连结部件82螺合于螺母84的例子,但是本发明并不只限于此,连结部件82可以通过各种方式固定于诊断对象装置80。例如,连结部件82可以螺合并固定于形成在侧壁部88b上的螺纹孔。并且,连结部件82并不只限于螺栓,只要能够将传感器100固定于诊断对象装置即可,例如也可以是压入销或铆钉等。
上述各变形例也具有与上述实施方式相同的作用效果。
上述实施方式和变形例的任意组合也作为本发明的实施方式而有效。通过组合而产生的新的实施方式兼具被组合的各个实施方式及变形例的效果。

Claims (20)

1.一种传感器,其具备传感器元件、配置所述传感器元件的基板、容纳所述基板的外壳,所述传感器的特征在于,
所述外壳设为圆环状,并且所述外壳具有连接配线与外部设备的连接部,
所述基板配置在所述外壳的圆环状的内部空间,并且在所述外壳的圆环状的内部空间,所述配线从所述基板的远离所述连接部的一侧配置至所述连接部,
中央筒部被所述基板和所述配线夹持。
2.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,
所述基板为刚性基板。
3.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,
所述基板为双面基板,并且在其一个表面上设置有所述传感器元件,在与所述一个表面相反一侧的表面上设置有电子组件。
4.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,
所述基板经由设置于所述基板上的接地部件与所述外壳电连接和/或机械连接。
5.根据权利要求4所述的传感器,其特征在于,
所述接地部件是从连接于所述基板的地线的基端部延伸至连接于所述外壳的接地部的前端部的板状部件。
6.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,
还具有保持所述基板的保持部。
7.根据权利要求6所述的传感器,其特征在于,
所述保持部包括设置于所述外壳的侧面的槽。
8.根据权利要求6所述的传感器,其特征在于,
所述保持部包括所述基板的一端侧的第1保持部和所述基板的另一端侧的第2保持部,所述第1保持部具有设置在所述外壳的侧面的、所述基板的靠近所述连接部侧的第1槽,所述第2保持部具有设置在所述外壳的侧面的、所述基板的远离所述连接部侧的第2槽。
9.根据权利要求8所述的传感器,其特征在于,
所述第1槽和所述第2槽的上下方向范围彼此并未重叠。
10.根据权利要求6所述的传感器,其特征在于,
所述保持部包括所述基板的一端侧的第1保持部和所述基板的另一端侧的第2保持部,所述第1保持部设置于所述外壳的侧面,所述第2保持部设置于所述外壳的底面。
11.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,
在所述中央筒部设置有与所述基板对置的平坦面。
12.根据权利要求11所述的传感器,其特征在于,
所述平坦面的延伸范围与所述传感器元件的平行于所述基板的表面的延伸范围的一部分或全部重叠。
13.根据权利要求10所述的传感器,其特征在于,
在所述中央筒部设置有与所述基板对置的平坦面,
所述第1保持部和所述第2保持部分别设置于所述平坦面的一侧和另一侧。
14.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,
在所述中央筒部设置有与所述基板对置的平坦面,
在所述基板与所述平坦面之间填充有树脂。
15.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,
所述外壳的外形具有圆弧部分、曲率比所述圆弧部分的曲率更小的小曲率部分,
在所述小曲率部分设置有用于连接所述连接部与外部设备的输出部。
16.根据权利要求15所述的传感器,其特征在于,
所述圆弧部分具有四分之三的圆弧形状。
17.根据权利要求15所述的传感器,其特征在于,
所述小曲率部分由第1小曲率部分及第2小曲率部分构成,所述第1小曲率部分从所述圆弧部分的一端沿着圆弧的切线延伸,所述第2小曲率部分从所述圆弧部分的另一端沿着圆弧的切线延伸,所述第1小曲率部分和所述第2小曲率部分直线状延伸并且大致正交。
18.根据权利要求17所述的传感器,其特征在于,
所述基板的长度方向相对于所述第1小曲率部分的延伸方向倾斜。
19.根据权利要求18所述的传感器,其特征在于,
所述基板的长度方向相对于所述第1小曲率部分的延伸方向的倾斜角为10~30°。
20.一种传感器固定结构,其将权利要求1所述的传感器固定于诊断对象装置,所述传感器固定结构的特征在于,
通过将连结部件插通于所述中央筒部并固定于所述诊断对象装置,从而将所述传感器固定于所述诊断对象装置。
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