JP2020153729A - センサ、センサ固定構造 - Google Patents

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Abstract

【課題】コンパクトで容易に取り付け可能なセンサを提供することを目的とする。【解決手段】態様のセンサ100は、センサ素子10と、センサ素子10が配置される基板20と、基板20を収納するケーシング30と、を備えたセンサであって、ケーシング30は、ドーナツ型とされ、配線26を外部と接続する接続部40を有し、ケーシング30のドーナツ型の内部空間30aには、基板20が配置されるとともに、基板20の接続部40から遠い側から接続部40に配線26が配置され、基板20と配線26により中央筒部32cが挟まれる。【選択図】図2

Description

本発明は、センサおよびセンサ固定構造に関する。
診断対象装置に取り付けてその装置に関する情報を取得するためのセンサが知られている。本出願人は、特許文献1において、ギヤモータの故障診断装置を開示した。この故障診断装置は、ギヤモータに設置される振動センサ部と、振動センサ部により検知された振動に基づいてギヤモータに異常が発生しているか否かを判断する診断ユニットと、を備える。この装置では、基板を支持する脚部の突出部がギヤモータに接触した状態で固定される。
特開2017−142160号公報
センサを診断対象装置に取り付けてその装置に関する様々な情報を取得する場合、センサはコンパクトであり、容易に取付可能であることが重要である。しかし、従来のセンサはこの観点について十分に対応していなかった。
本発明は、こうした状況に鑑みてなされたものであり、コンパクトで容易に取り付け可能なセンサを提供することを目的の一つとする。
上記課題を解決するために、本発明のある態様のセンサは、センサ素子と、センサ素子が配置される基板と、基板を収納するケーシングと、を備えたセンサであって、ケーシングは、ドーナツ型とされ、配線を外部と接続する接続部を有する。ケーシングのドーナツ型の内部空間には、基板が配置されるとともに、基板の接続部から遠い側から接続部に配線が配置され、基板と配線により中央筒部が挟まれる。
なお、以上の構成要素の任意の組み合わせや、本発明の構成要素や表現を方法、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明の態様として有効である。
本発明によれば、コンパクトで容易に取り付け可能なセンサを提供できる。
第1実施形態に係るセンサの外観を示す平面図である。 図1のセンサの蓋を外した状態を示す平面図である。 図1のセンサを示す側面断面図である。 図1のセンサを示す正面図である。 図1のセンサのケーシングを示す平面図である。 図1のセンサの基板とセンサ素子を示す斜視図である。 第2実施形態に係るセンサ固定構造を示す斜視図である。 図7のセンサ固定構造の周辺を示す断面図である。
以下、本発明を好適な実施の形態をもとに各図面を参照しながら説明する。実施の形態、変形例では、同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付するものとし、適宜重複した説明は省略する。また、各図面における部材の寸法は、理解を容易にするために適宜拡大、縮小して示される。また、各図面において実施の形態を説明する上で重要ではない部材の一部は省略して表示する。
また、第1、第2などの序数を含む用語は多様な構成要素を説明するために用いられるが、この用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的でのみ用いられ、この用語によって構成要素が限定されるものではない。
[第1実施形態]
以下、図面を参照して、本発明の第1実施形態に係るセンサ100の構成を説明する。本発明に係るセンサは、診断対象装置に取り付けてその装置に関する様々な情報を取得可能なものであれば特別な限定はない。以下、一例として、本実施形態のセンサ100は、診断対象機器の振動を検知して出力するものとして説明する。
図1は、センサ100の外観を示す平面図である。図2は、センサ100の蓋34を外した状態を示す平面図である。図3は、センサ100を示す側面断面図である。この図は、図1のA−A線に沿った断面を示す。図4は、センサ100を示す正面図である。説明の便宜上、図示のように、水平なある方向をX軸方向、X軸方向に直交する水平な方向をY軸方向、鉛直方向をZ軸方向とするXYZ直交座標系を定める。Z軸方向はX軸方向およびY軸方向に直交する。X軸、Y軸、Z軸のそれぞれの正の方向は、各図における矢印の方向に規定され、負の方向は、矢印と逆向きの方向に規定される。このような方向の表記はセンサ100の使用姿勢を制限するものではなく、センサ100は任意の姿勢で使用されうる。
センサ100は、主にセンサ素子10と、センサ素子10が配置される基板20と、基板20を収納するケーシング30と、一端が基板20に接続される配線26と、配線26の他端が接続される接続部40と、基板20を保持する保持部36、38とを備える。
(センサ素子)
センサ素子10は、診断対象装置の振動を検知して検知結果を振動情報として出力する。一例として、センサ素子10は、MEMS型の加速度センサであってもよい。センサ素子10としてMEMS型の加速度センサを採用することにより、比較的安価にセンサ100を構成できる。センサ素子10は、1軸または複数軸(例えば3軸)の振動を検知できるものであってもよい。センサ素子10は、基板20上に実装される。
(ケーシング)
図5も参照する。図5は、ケーシング30を示す平面図である。ケーシング30は、センサ素子10が配置された基板20を収納する外殻として機能する。ケーシング30は、基板20を介して診断対象装置からの振動をセンサ素子10に伝達する機能を有する。ケーシング30は、診断対象装置に取付けられるための機能を有する。本実施形態のケーシング30は、貫通孔30h(中空部)を囲むドーナツ型を呈する。以下、貫通孔30hの周方向を単に「周方向」という。ケーシング30は、中空の環状であれば円形や楕円形に限らず、三角形や四角形など種々の形状を取り得る。図5の例では、ケーシング30は、中空の略円形状の部分と矩形状の部分とを有している。
本実施形態のケーシング30は、本体部32と蓋34とを有する。本体部32と蓋34とはドーナツ型の内部空間30aを画定する。本体部32は、周壁部32aと、底面32bと、中央筒部32cとを有する。周壁部32aは、内部空間30aの外周面を画定する。周壁部32aは、内部空間30aを周方向に囲む周壁として機能する。底面32bは、内部空間30aの下面を画定する底部として機能する。底面32bは、周壁部32aの下面を塞ぐように設けられる。
周壁部32aは、平面視で円弧状の円弧部分32dと、平面視で円弧部分32dよりも曲率が小さい(曲率半径が大きい)形状を有する第1、第2小曲率部分32p、32sとを有する。円弧部分32dを有することにより、平面視における専有面積を小さくできる。円弧部分32dは角部に比べ、他の部材と衝突した場合の損傷を最小限に抑制できる。本実施形態では、円弧部分32dは、平面視で四分の三円弧形状を有する。
図5に示すように、第1小曲率部分32pは、円弧部分32dの図中上側の端から円弧の接線に沿ってX軸方向で負方向に延びる。第2小曲率部分32sは、円弧部分32dの図中左側の端から円弧の接線に沿ってY軸方向で正方向に延びる。第1小曲率部分32pと第2小曲率部分32sとは、直線状に延びて図中左上において略直交する。第2小曲率部分32sには後述する出力部42が設けられる。
中央筒部32cは、内部空間30aの内周面を画定する。中央筒部32cは、底面32bに立設され、貫通孔30hを環囲する中空円筒形状を有する。中央筒部32cの外周には、基板20と対向する平坦面32fが設けられる。平坦面32fを有することにより、中央筒部32cは円弧部と平坦部を含むDカット状の外周輪郭を呈する。平坦面32fは、基板20と隙間を介して対向する。平坦面32fは、診断対象装置からの振動をセンサ素子10に伝達する伝達面として機能する。平坦面32fは基板20と平行に設けられてもよい。
図2に示すように、平坦面32fと基板20との間には樹脂24が充填される。平坦面32fは、基板20および樹脂24を挟んでセンサ素子10と対向する位置に配置される。樹脂24が充填されることにより、診断対象装置からの振動を効率よくセンサ素子10に伝達できる。平坦面32fの延在範囲は、センサ素子10の基板20と平行な面の延在範囲の一部または全部と重複してもよい。この場合、さらに効率よく振動を伝達できる。樹脂24としては、介在状態を維持できる種々の樹脂を採用できる。一例として、樹脂24はエポキシ樹脂であってもよい。
周壁部32aと、底面32bと、中央筒部32cとは別体に形成されて接合されていてもよいが、本実施形態では一体的に形成されている。蓋34は、内部空間30aの上面を画定する蓋として機能する。蓋34は、ドーナツ型の上下に薄い板状の部材である。蓋34は、周壁部32aの上面を覆うように、周壁部32aの上面に設けられた周状段部32mに嵌め込まれる。蓋34は、接着や溶接などによって本体部32に接合されてもよい。
ケーシング30は、金属材料または非金属材料で形成できる。一例として、ケーシング30は、鉄系金属から、プレス加工、ダイキャスト加工、切削加工等の公知の方法で製造できる。
(基板)
図6も参照する。図6は、基板20を示す斜視図である。本実施形態の基板20は、略矩形形状を有する。基板20上には配線パターン(不図示)が形成されている。センサ素子10が生成した振動情報は、この配線パターンと、基板20と接続部40とを接続する配線26を介して出力部42に送られる。
基板20の種類に限定はないが、本実施形態の基板20はリジット基板である。フレキシブル基板では、センサ素子10を所定の位置に保持するために別個の剛性部材を要するところ、リジット基板は別個の剛性部材を用いずにセンサ素子10を保持できる。センサ素子10は指向性を有しており、基板の剛性が低いとセンサ素子10の位置や角度が変動し、センサ素子10の検知精度が低下するところ、リジット基板を用いることで検知精度の低下を抑制できる。
図2に示すように、基板20は、ケーシング30の出力部42の近傍において、周壁部32a(第1小曲率部分32p)に接近して配置される。基板20の主面は周壁部32aに対向する。基板20の周壁部32a側の空間にセンサ素子10が配置され、基板20の周壁部32aとは反対側の空間に配線26などが配置される。
基板20は、その長手方向が第1小曲率部分32pの延在方向(X軸方向)に対して傾斜している。この場合、基板20の長手方向幅が一定(つまり面積一定)の条件下で、傾斜していない場合と比べて、ケーシング30をコンパクトにできる。また、傾斜することにより、基板20と第1小曲率部分32pとの間にセンサ素子10を収容可能な空間を形成できる。基板20の長手方向の第1小曲率部分32pに対する傾斜角θpは例えば10〜30°であってもよい。
基板20の平坦面32fとは反対側の面にセンサ素子10が設けられる。基板20のセンサ素子10とは反対側の面にセンサ素子10の周辺に接続される電子部品20dが設けられる。電子部品20dは、例えば、抵抗やコンデンサであってもよい。電子部品20dの一部はセンサ素子10と同じ面に設けられてもよい。基板20を両面基板としたことにより、基板面積が小さくなり、センサ100を小型化できる。
ケーシング30の内部空間30aには、基板20が配置される。基板20には、配線26の一端が接続される。配線26の他端は、ケーシング30に設けられた接続部40に接続される。配線26は、基板20の回路やセンサ素子10に接続部40からの電力を供給する。配線26は、基板20からセンサ素子10の検知結果に基づく信号を接続部40に出力する。接続部40は、配線26と外部とを接続する。
図2に示すように、基板20には、銅板等の導電性素材からなるアース部材28が設けられる。図2の破線Eで囲む部分は、基板20の主面に垂直な方向から視たアース部材28の周辺を示している。アース部材28は、基板20のグランドライン20gをケーシング30のアース部32eに電気的に接続するための部材である。アース部材28は、グランドライン20gに電気的に接続される基端部28dから、アース部32eに電気的に接続される先端部28eまで延在する板状の部材である。
アース部32eには、スクリュー28sが螺合されるための雌ねじ孔32gが形成される。先端部28eには、スクリュー28sが挿通されるための取付孔28hが形成される。一例として、基端部28dは、半田付けによって基板20のグランドライン20gに固定され、先端部28eは、スクリュー28sが取付孔28hを通じて雌ねじ孔32gに螺合されることによってアース部32eに固定される。このように、基板20のグランドライン20gがケーシング30に電気的に接続されることによって、ケーシング30は、基板20およびセンサ素子10を囲むシールドケースとして機能し得る。また、基板20がアース部材28を介してケーシング30のアース部32eに機械的に支持されることによって、基板20の振動を抑制することができる。
(出力部)
出力部42は、接続部40と外部機器とを接続するコネクタとして機能する。つまり、出力部42は、接続部40を介してセンサ素子10の検知結果に基づく信号を外部機器に出力することができる。出力部42が、相対的に曲率が大きい円弧部分32dに設けられると、出力部42と円弧部分32dとの間に隙間が生じやすい。このため、本実施形態では、出力部42は、相対的に曲率が小さい第2小曲率部分32sに設けられる。図2の例では、出力部42は、第2小曲率部分32sからX軸方向で負方向に突出する丸型のコネクタである。
配線26は、樹脂で被覆された導電性ワイヤを複数含む。図2に示すように、配線26は、基板20の接続部40から遠い側から接続部40に配置される。つまり、配線26の基板側の端部は接続部40から遠い側に接続される。配線26が基板20の接続部40に近い側に接続されると、その周辺が狭くなり、配線26と接続部40とを接続することが困難になるところ、遠い側に接続されることにより、周辺に余裕ができ、これらの接続が容易になる。また、接続部40の近傍において配線26の曲げ半径が大きくなるので、配線26から接続部40にかかる応力を弱めることができる。このことにより、接続部40の信頼性の面でも有利になる。
また、図2に示すように、配線26は、基板20と配線26とにより中央筒部32cを挟むように配置される。つまり、配線26は、中央筒部32cの基板とは反対側を通過するように配置される。配線26が、中央筒部32cと基板20との間に配置される場合と比べて、配線26の曲げ半径が大きくなるので、配線26の配置が容易になり、配線26への曲げ応力を小さくできる。このことにより、配線26の信頼性の面でも有利になる。
ケーシング30内の基板20の位置が変動すると、診断対象装置からケーシング30を介して伝達される振動のセンサ素子10への伝わり方が変動する。つまり、基板20の位置の変動によりセンサ素子10の検知感度が変動する。このため、本実施形態では、基板20を保持する保持部36、38を有する。保持部36、38は、ケーシング30と一体的に形成されてもよい。
図2、図3、図5に示すように、保持部36、38は、基板20の一端側20bを保持する第1保持部36と、基板20の他端側20cを保持する第2保持部38とを含む。第1保持部36と第2保持部38とは、平坦面32fの一方側(図中左側)と他方側(図中右側)に設けられている。この場合、基板20の両端を保持できるので基板20の位置変動を小さくできる。第1保持部36は、周壁部32aの内周側面において、基板20の接続部40に近い側に設けられる第1溝36gを有する。第2保持部38は、周壁部32aの内周側面において、基板20の接続部40から遠い側に設けられる第2溝38gを有する。
第1溝36gおよび第2溝38gは、基板20の厚みにマージンを加えた溝幅を有し、上下に延びる。第1溝36gおよび第2溝38gの一方は、周壁部32aの上端近傍に設けられ、他方は、底面32bに設けられてもよい。本実施形態では、第1溝36gは底面32bに設けられ、第2溝38gは周壁部32aの上端近傍に設けられる。図3の例では、第1溝36g(第1保持部36)と第2溝38g(第2保持部38)の上下方向範囲は互いに重複していない。換言すれば、第1保持部36と第2保持部38は、周壁部32aに垂直な方向から見たときに、互いに重なっていない。
基板20を挿入する際には、まず基板20の他端側20cを上端近傍の第2溝38gのみに挿入すればよい。ある程度挿入されていれば、第2溝38gをガイドとして基板20を挿入し続けると、基板20の一端側20bは容易に第1溝36gに挿入される。
本発明の一態様の概要は、次の通りである。本発明のある態様のセンサ100は、センサ素子10と、センサ素子10が配置される基板20と、基板20を収納するケーシング30と、を備えたセンサであって、ケーシング30は、ドーナツ型とされ、配線26を外部と接続する接続部40を有し、ケーシング30のドーナツ型の内部空間30aには、基板20が配置されるとともに、基板20の接続部40から遠い側から接続部40に配線26が配置され、基板20と配線26により中央筒部32cが挟まれる。
この態様によれば、ケーシング30がドーナツ型とされたことによりコンパクト化が容易になる。また、ボルト等の固定具をドーナツ型の中空部を通して診断対象装置にねじ込むことにより、センサ100を診断対象装置に容易に取り付けできる。
基板20は、リジッド基板であってもよい。この場合、他の種類の基板より安価に構成でき、センサ素子10の保持位置の精度を向上できる。
基板20を保持する保持部36、38を有してもよい。この場合、保持部を有しない場合より、基板20の位置変動を小さくできるので、センサ素子10の保持位置の精度を向上できる。
保持部36、38は、ケーシング30の側面に設けられた溝38gを含んでもよい。この場合、溝38g内に、基板20をスライド挿入することにより、基板20を容易に装着できる。
保持部36、38は、基板20の一端側20bの第1保持部36と他端側20cの第2保持部38とを含み、第2保持部38はケーシング30の側面に設けられ、第1保持部36はケーシング30の底面32bに設けられてもよい。この場合、基板20の挿入初期は、基板20の他端側20cのみを第2保持部38に挿入すればよい。他端側20cをある程度挿入したら、第2保持部38をガイドにして、基板20の一端側20bを第1保持部36に容易に挿入できる。この結果、基板20は保持部36、38に容易に装着されうる。
中央筒部32cには、基板20と対向する平坦面32fが設けられてもよい。この場合、平坦面32fを有しない場合より、平坦面32fから基板20上のセンサ素子10への検知対象振動を効率よく伝達できる。また、この振動の伝わり方のバラツキを小さくできる。
第1保持部36と第2保持部38は、平坦面32fの一方側と他方側に設けられてもよい。この場合、基板20を一方側で支持する場合より、平坦面32fと基板20の位置関係を安定化でき、平坦面32fから基板20上のセンサ素子10への検知対象振動の伝わり方のバラツキを小さくできる。
基板20と平坦面32fの間に樹脂24が充填されてもよい。この場合、平坦面32fから基板20上のセンサ素子10への検知対象振動を効率よく伝達でき、振動の伝わり方のバラツキを小さくできる。
ケーシング30の外形は、円弧部分32dと、円弧部分32dよりも曲率が小さい第1、第2小曲率部分32p、32sとを有し、第2小曲率部分32sには、接続部40と外部機器とを接続するための出力部42が設けられてもよい。この場合、円弧部分32dに出力部42を設ける場合より、出力部42とケーシング30との間の隙間を小さくできる。
以上が、第1実施形態の説明である。
以上のように構成されたセンサ100の動作の一例を説明する。センサ100は、底面32bが診断対象装置(不図示)に接触した状態で動作する。センサ100は、貫通孔30hを貫通して診断対象装置にネジ止めされるボルト等の連結部材(図示せず)によって診断対象機器に取り付けられる。センサ100は、底面32bおよび中央筒部32cを介して、診断対象装置に生じている振動をセンサ素子10に伝達する。センサ素子10は、当該振動を検知して振動の大きさを示す振動情報を生成する。センサ100は、当該振動情報を接続部40および出力部42を介して外部機器(不図示)に出力する。
以上が、第1実施形態の説明である。
[第2実施形態]
図7、図8を参照して、本発明の第2実施形態に係るセンサ固定構造200を説明する。図7は、センサ固定構造200の周辺を示す斜視図である。この図は、診断対象装置80と、センサ100と、連結部材82とを示しており、センサ100と外部機器とを接続するためのケーブルは省略している。図8は、センサ固定構造200を示すB−B線断面図である。
センサ固定構造200は、センサ100を診断対象装置80に固定するセンサ固定構造であって、連結部材82を中央筒部32cの貫通孔30hに挿通して診断対象装置80に固定することにより、センサ100を診断対象装置80に固定する。
本実施形態の診断対象装置80は、モータ86および減速機88を含むギヤモータである。図7の例では、モータ86は電動モータであり、減速機88は、入力軸が出力軸と略直交する直交減速機である。センサ100は減速機88またはモータ86に取り付けられてもよい。なお、診断対象装置は、ギヤモータに限定されるものではなく、種々の装置に適用できる。例えば、ロボット、工作機械、射出成形機、車両などの各種装置に適用できる。
診断対象装置80におけるセンサ100の取付位置は、異常検知に適した位置を実験やシミュレーション等により定めればよい。図7の例では、センサ100は、減速機88のモータ86とは反対側の側壁部88bに固定されている。図8の例では、連結部材82は、センサ100の貫通孔30hおよび側壁部88bの貫通孔88hを貫通するボルトである。連結部材82の先端側にナット84が螺合される。接触状態を安定させるために、センサ100と側壁部88bとの間にワッシャを介在させてもよい。
センサ100は診断対象装置80に生じている振動を検知し、振動の大きさを示す振動情報を生成して外部機器(不図示)に出力する。一例として、外部機器は、センサ100から送られた振動情報に基づき、診断対象装置80に異常が発生しているか否かを判定する診断ユニットであってもよい。
図7では、診断対象装置80に1つのセンサ100が取り付けられる場合を示しているが、診断対象装置80に2つ以上のセンサ100が取り付けられてもよい。
以上、本発明の実施形態の例について詳細に説明した。前述した実施形態は、いずれも本発明を実施するにあたっての具体例を示したものにすぎない。実施形態の内容は、本発明の技術的範囲を限定するものではなく、請求の範囲に規定された発明の思想を逸脱しない範囲において、構成要素の変更、追加、削除等の多くの設計変更が可能である。前述の実施形態では、このような設計変更が可能な内容に関して、「実施形態の」「実施形態では」等との表記を付して説明しているが、そのような表記のない内容に設計変更が許容されないわけではない。また、図面の断面に付したハッチングは、ハッチングを付した対象の材質を限定するものではない。
以下、変形例を説明する。変形例の図面および説明では、実施形態と同一または同等の構成要素、部材には、同一の符号を付する。実施形態と重複する説明を適宜省略し、実施形態と相違する構成について重点的に説明する。
[変形例]
第1実施形態の説明では、センサ100が診断対象装置の振動を取得する例を示したが、本発明はこれに限定されず、センサ100は、診断対象装置に関する種々の情報を取得するものであってもよい。例えば、センサ100は、電流などの電磁気的情報、または温度などの物理的情報を取得することが可能なものであってもよい。
第1実施形態の説明では、平坦面32fと基板20との間に介在する樹脂24がエポキシ樹脂である例を示したが、本発明はこれに限定されず、樹脂24には種々の種類の樹脂を採用できる。例えば、樹脂24は、熱硬化性樹脂であってもよいし、熱可塑性樹脂であってもよいし、常温硬化型樹脂であってもよい。
第1実施形態の説明では、樹脂24が平坦面32fと基板20との間に介在する例を示したが、本発明はこれに限定されず、樹脂24はケーシング30内の他の箇所にも塗布されてもよい。例えば、樹脂24は、ケーシング30内部全体に充填されてもよい。
第1実施形態の説明では、第1溝36gと第2溝38gの上下方向範囲が重複しない例を示したが、これらの上下方向範囲は重複してもよい。
第1実施形態の説明では、センサ素子10が基板20の中央筒部30cとは反対側の面に装着される例を示したが、センサ素子10は基板20の中央筒部30c側の面に装着されてもよい。センサ素子10は基板20の中央筒部30cと対向する領域に装着されてもよい。
第1実施形態の説明では、出力部42がコネクタである例を示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、出力部42は接続部40と外部機器とを接続するワイヤーハーネスであってもよい。
第2実施形態の説明では、連結部材82はナット84に螺合される例を示したが、本発明はこれに限定されず、連結部材82は種々の手段で診断対象装置80に固定されてもよい。例えば、連結部材82は、側壁部88bに形成されたタップ孔に螺合して固定されてもよい。また、連結部材82は、ボルトに限定されるものではなく、センサ100を診断対象装置に固定できるものであればよく、例えば圧入ピンやリベットなどでもよい。
上述の各変形例は上述の実施形態と同様の作用・効果を奏する。
上述した実施形態と変形例の任意の組み合わせもまた本発明の実施形態として有用である。組み合わせによって生じる新たな実施形態は、組み合わされる各実施形態および変形例それぞれの効果をあわせもつ。
10・・・センサ素子、20・・・基板、24・・・樹脂、26・・・配線、30・・・ケーシング、30a・・・内部空間、30c・・・中央筒部、32b・・・底面、32c・・・中央筒部、32f・・・平坦面、36・・・第1保持部、38・・・第2保持部、40・・・接続部、42・・・出力部、80・・・診断対象装置、82・・・連結部材、100・・・センサ、200・・・センサ固定構造。

Claims (10)

  1. センサ素子と、前記センサ素子が配置される基板と、前記基板を収納するケーシングと、を備えたセンサであって、
    前記ケーシングは、ドーナツ型とされ、配線を外部と接続する接続部を有し、
    前記ケーシングのドーナツ型の内部空間には、前記基板が配置されるとともに、前記基板の前記接続部から遠い側から前記接続部に前記配線が配置され、
    前記基板と前記配線により中央筒部が挟まれることを特徴とするセンサ。
  2. 前記基板は、リジッド基板であることを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
  3. 前記基板を保持する保持部を有することを特徴とする請求項1または2に記載のセンサ。
  4. 前記保持部は、前記ケーシングの側面に設けられた溝を含むことを特徴とする請求項3に記載のセンサ。
  5. 前記保持部は、前記基板の一端側の第1保持部と他端側の第2保持部とを含み、前記第1保持部は前記ケーシングの側面に設けられ、前記第2保持部は前記ケーシングの底面に設けられることを特徴とする請求項3または4に記載のセンサ。
  6. 前記中央筒部には、前記基板と対向する平坦面が設けられることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のセンサ。
  7. 前記中央筒部には、前記基板と対向する平坦面が設けられ、
    前記第1保持部と前記第2保持部は、前記平坦面の一方側と他方側に設けられることを特徴とする請求項5に記載のセンサ。
  8. 前記中央筒部には、前記基板と対向する平坦面が設けられ、
    前記基板と前記平坦面との間に樹脂が充填されることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載のセンサ。
  9. 前記ケーシングの外形は、円弧部分と、前記円弧部分よりも曲率が小さい小曲率部分とを有し、
    前記小曲率部分には、前記接続部と外部機器とを接続するための出力部が設けられることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載のセンサ。
  10. 請求項1から9のいずれかに記載のセンサを診断対象装置に固定するセンサ固定構造であって、
    連結部材を前記中央筒部に挿通して前記診断対象装置に固定することにより、前記センサを前記診断対象装置に固定することを特徴とするセンサ固定構造。
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