CN111712974B - 激光振荡器单元和激光加工装置 - Google Patents

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Abstract

激光振荡器单元包括：放大单元(21)，放大激光并从发射部(20)发出放大后的激光；壳体(16)，覆盖放大单元(21)；以及外部支撑机构(17)和内部支撑机构(18)，设置于壳体(16)。壳体(16)形成有窗部(29)。外部可动腿(34)允许壳体(16)在绕外部固定腿(33)的径向方向上滑动。内部可动腿(36)允许放大单元(21)在绕内部固定腿(35)的径向方向上滑动。穿过外部固定腿(33)的中心和内部固定腿(35)的中心的直线与穿过发射部(20)和窗部(29)的直线相交，并且从发射部(20)发出的激光光轴与从窗部(29)发出的激光光轴彼此重合。

Description

激光振荡器单元和激光加工装置
技术领域
本发明涉及一种激光振荡器单元以及包括激光振荡器单元的激光加工装置。
背景技术
作为激光振荡器单元的示例，存在一种激光装置，其中共振器单元(放大单元)容纳在外壳(壳体)中(例如，专利文献1)。外壳可能会由于热而膨胀和收缩并且变形。激光装置包括多个轴承(内部可动腿)，这些轴承(内部可动腿)相对于外壳可滑动地支撑共振器单元，并且抑制共振器单元的变形。
引文列表
专利文献
专利文献1：JP-A-S63-050083
发明内容
技术问题
激光装置将从共振器单元发出的激光输出到外壳外部。因此，当外壳变形时，从外壳输出激光的部分(窗部)的位置可能会改变，并且从激光装置输出的激光的光轴可能会偏移。
这样的问题不仅可能在激光装置中发生，而且也可能在激光振荡器单元和激光加工装置中发生。
本发明的目的是提供一种激光振荡器单元和激光加工装置，该激光振荡器单元和激光加工装置可以减小由于壳体膨胀和收缩而导致的光轴偏移。
问题的解决方案
在下文中，将描述上述问题的解决方案及其作用和效果。为了解决上述问题，提供了一种激光振荡器单元，包括：放大单元，被配置为放大入射激光并从发射部发出放大后的激光；壳体，覆盖放大单元；外部支撑机构，设置在壳体的外部并相对于基座支撑壳体；以及内部支撑机构，设置在壳体的内部并相对于壳体支撑放大单元，其中，壳体形成有窗部，该窗部通过空间传输将从发射部发出的激光输出到壳体的外侧，其中，外部支撑机构包括固定到基座和壳体的外部固定腿，以及相对于基座可滑动地支撑壳体的多个外部可动腿，其中，多个外部可动腿中的至少一个外部可动腿允许壳体在绕外部固定腿的径向方向上滑动，其中，内部支撑机构包括固定到放大单元和壳体的内部固定腿，以及相对于壳体可滑动地支撑放大单元的多个内部可动腿，其中，多个内部可动腿中的至少一个内部可动腿允许放大单元在绕内部固定腿的径向方向上滑动，并且其中，穿过外部固定腿的中心和内部固定腿的中心的直线与穿过发射部和窗部的直线相交，并且从发射部发出的激光光轴和从窗部发出的激光光轴彼此重合。
壳体可以随着环境温度的变化而膨胀或收缩。在这点上，根据该配置，由于激光振荡器单元包括多个外部可动腿，所以即使当壳体膨胀或收缩时，多个外部可动腿也允许壳体膨胀和收缩，并且可以减小壳体的扭曲。由于激光振荡器单元包括多个内部可动腿，因此能够减小壳体的膨胀和收缩传递到放大单元的可能性。由于至少一个外部可动腿允许壳体在绕外部固定腿的径向方向上滑动，所以即使当壳体膨胀和收缩时，也能够减小窗部移动的可能性。由于至少一个内部可动腿允许放大单元在绕内部固定腿的径向方向上滑动，所以即使当壳体膨胀和收缩时，也能够减小发射部移动的可能性。穿过外部固定腿的中心和内部固定腿的中心的直线与穿过发射部和窗部的直线相交，并且从发射部发出的激光的光轴与从窗部发出的激光的光轴彼此重合，从而能够减小光轴在壳体膨胀和收缩时倾斜的可能性。因此，可以减小由于壳体的膨胀和收缩而导致的光轴偏移。
在上述激光振荡器单元中，优选的是，放大单元包括放大入射激光的放大部和支撑放大部的支撑部，并且壳体和支撑部由金属制成。
根据该配置，壳体和支撑部由金属制成。因此，例如与壳体和支撑部由树脂制成的情况相比，壳体和支撑部的膨胀和收缩较大，并且窗部和发射部的位置很可能会偏移。在这方面，由于激光振荡器单元包括外部支撑机构和内部支撑机构，所以能够减小光轴偏移的可能性。
在上述激光振荡器单元中，优选的是，壳体和支撑部由互不相同的金属制成。
根据该配置，壳体和支撑部由互不相同的金属制成。因此，例如与壳体和支撑部由同一金属制成的情况相比，壳体和支撑部的膨胀和收缩的差异由于热膨胀系数的差异而变大，并且窗部和发射部的位置很可能会偏移。在这方面，由于激光振荡器单元包括外部支撑机构和内部支撑机构，所以能够减小光轴偏移的可能性。
在上述激光振荡器单元中，优选的是，将外部可动腿与外部固定腿连接的直线与将内部可动腿与内部固定腿连接的直线平行，该外部可移动腿在绕外部固定腿的径向方向上可滑动地支撑壳体，该内部可动腿在绕内部固定腿的径向方向上可滑动地支撑放大单元。
根据该配置，壳体的可滑动方向与放大单元的可滑动方向平行。因此，当壳体膨胀或收缩时，壳体和放大单元具有相同的滑动方向，从而可以抑制壳体与放大单元之间的滑动的偏移量。
在上述激光振荡器单元中，优选的是，多个外部可动腿中的每一个允许壳体在绕外部固定腿的径向方向上滑动，并且将外部可动腿与外部固定腿连接的直线以锐角彼此相交。
根据该配置，由于多个外部可动腿允许壳体在绕外部固定腿的径向方向上滑动，所以可以限定壳体膨胀和收缩的方向。由于将外部可动腿与外部固定腿连接的直线以锐角彼此相交，因此与多个外部可动腿彼此分开布置的情况相比，可以使允许壳体滑动的机构更简单。
在上述激光振荡器单元中，优选的是，从多个外部可动腿到外部固定腿的距离相同。
当壳体膨胀或收缩时壳体的膨胀或收缩量随着壳体从外部固定腿远离而增加。在这点上，根据该配置，由于多个外部可动腿具有到外部固定腿的相同的距离，所以可以减小多个外部可动腿允许壳体滑动的滑动量的变化。
在上述激光振荡器单元中，优选的是，穿过外部固定腿的中心和内部固定腿的中心的直线与穿过发射部和窗部的直线正交。
根据该配置，由于穿过外部固定腿的中心和内部固定腿的中心的直线与穿过发射部和窗部的直线正交，因此可以进一步减小发射部与窗部之间的偏移。
在上述激光振荡器单元中，优选的是，外部固定腿与窗部之间的直线距离比外部可动腿与窗部之间的直线距离短，并且内部固定腿与发射部之间的直线距离比内部可动腿与发射部之间的直线距离短。
根据该配置，外部固定腿被定位为比外部可动腿更靠近窗部，并且内部固定腿被定位为比内部可动腿更靠近发射部。因此，即使当壳体膨胀和收缩时，也能够减小窗部或发射部移动的可能性。
在上述激光振荡器单元中，优选的是，外部支撑机构设置在壳体的面向基座的底面上。
例如，在将外部支撑机构设置在壳体的侧面上时，外部支撑机构需要允许壳体在沿底面的方向和与底面相交的方向上膨胀和收缩。在这方面，根据该配置，外部支撑机构没置在壳体的底面上。因此，外部支撑机构仅需要允许壳体在沿底面的方向上膨胀和收缩，并且可以简化外部支撑机构的配置。
为了解决上述问题，提供了一种激光加工装置，包括：如上所述配置的激光振荡器单元；以及聚光透镜，被配置为会聚从激光振荡器单元输出的激光。激光加工装置通过会聚后的激光对加工目标对象进行加工。
根据该结构，可以获得与激光振荡器单元的效果相同的效果。
发明的有益效果
根据本发明，可以减小由于壳体膨胀和收缩而导致的光轴偏移。
附图说明
图1是根据实施例的激光加工装置的示意性侧视图。
图2是包括在图1的激光加工装置中的激光振荡器单元的示意性正视图。
图3是包括在图1的激光加工装置中的激光振荡器单元的示意性俯视图。
图4是示出了激光振荡器单元的内部配置的示意性俯视图。
具体实施方式
在下文中，将参考附图来描述激光振荡器单元和激光加工装置的实施例。
如图1中所示，激光加工装置11包括：激光振荡器单元12，放大并输出激光；以及聚光透镜13，会聚从激光振荡器单元12输出的激光。激光加工装置11利用会聚的激光对加工目标对象14进行加工。
激光振荡器单元12包括近似长方体状的壳体16，设置在壳体16外部的外部支撑机构17，以及设置在壳体16内部的内部支撑机构18。激光振荡器单元12包括：光源激光二极管(LD)19a，发射种子激光；激发激光二极管(LD)19b，发射激发激光；以及放大单元21，放大入射的种子激光并从发射部20发射放大的激光。发射部20例如由反射镜构成。
激光振荡器单元12包括将光源LD 19a与放大单元21连接的第一光纤22a，以及将激发LD 19b与放大单元21连接的第二光纤22b。第一光纤22a将种子激光传输到放大单元21，并且第二光纤22b将激发激光传输到放大单元21。
激光振荡器单元12包括用于冷却放大单元21的冷却机构24，以及将冷却机构24与放大单元21连接的冷却管25。冷却管25以环状设置在放大单元21周围并通过其内部。冷却机构24通过使包括液体(诸如，水)或气体(诸如，空气)的冷却剂在冷却管25中循环来冷却放大单元21。
如图1和图2中所示，壳体16包括有底的箱状主体27和覆盖主体27的开口的盖28。壳体16利用盖28覆盖容纳在主体27中的内部支撑机构18、光源LD 19a、激发LD 19b、放大单元21、第一光纤22a和第二光纤22b。壳体16形成有窗部29，该窗部29通过空间传输将激光输出到壳体16外部。发射部20朝窗部29发射激光，并且窗部29输出从发射部20发射的激光。从发射部20发射的激光的光轴(激光光轴)LA和从窗部29输出到壳体16外部的激光的光轴(激光光轴)LA彼此重合。因此，从发射部20发射的激光的光轴LA沿着穿过发射部20和窗部29的直线。
在附图中，从窗部29输出的激光的光轴LA延伸的方向由X轴表示，并且沿与X轴正交的平面的方向由Y轴和Z轴表示。X轴、Y轴和Z轴彼此正交。在本实施例中，沿Z轴的方向是重力方向，并且示出了将激光振荡器单元12放置在基座31的水平面上的状态，但是重力方向可以是与Z轴相交的方向或与Z轴相反的方向。在以下描述中，将沿X轴的方向称为X轴方向，将沿Y轴的方向称为Y轴方向，并且将沿Z轴的方向称为Z轴方向。
外部支撑机构17设置在壳体16的面向基座31的底面16a上，并且相对于基座31支撑壳体16。外部支撑机构17包括固定到基座31和壳体16的外部固定腿33，以及相对于基座31可滑动地支撑壳体16的多个外部可动腿34。本实施例的激光振荡器单元12包括两个外部可动腿34，并且通过外部固定腿33和外部可动腿34在三个点处支撑壳体16。
内部支撑机构18设置在放大单元21的面向主体27的底面21a上，并且相对于壳体16支撑放大单元21。内部支撑机构18包括固定到放大单元21和壳体16的内部固定腿35，以及相对于壳体16可滑动地支撑放大单元21的多个内部可动腿36。本实施例的激光振荡器单元12包括两个内部可动腿36，并且通过内部固定腿35和内部可动腿36在三个点处支撑放大单元21。
外部可动腿34和内部可动腿36各自包括滑动机构37。外部固定腿33设置在窗部29附近，并且多个外部可动腿34布置在比外部固定腿33更远离窗部29的位置。外部固定腿33与窗部29之间的直线距离比外部可动腿34与窗部29之间的直线距离短。内部固定腿35设置在发射部20附近，并且多个内部可动腿36布置在比内部固定腿35更远离发射部20的位置。内部固定腿35与发射部20之间的直线距离比内部可动腿36与发射部20之间的直线距离短。
外部固定腿33和内部固定腿35被布置为在Z轴方向上夹持主体27，并且在X轴方向和Y轴方向上布置在与发射部20相同的位置。外部固定腿33、内部固定腿35和发射部20排列在Z轴方向上。因此，穿过外部固定腿33的中心和内部固定腿35的中心的直线在Z轴方向上延伸，并且与穿过发射部20和窗部29的直线正交。
如图3中所示，多个外部可动腿34中的每一个允许壳体16在XY平面内在绕外部固定腿33的径向方向上滑动。绕外部固定腿33的径向方向是穿过外部固定腿33的中心和外部可动腿34的中心的方向。外部可动腿34沿将外部固定腿33与外部可动腿34连接的直线可滑动地支撑壳体16。
将外部可动腿34与外部固定腿33连接的直线以锐角彼此相交。从多个外部可动腿34到外部固定腿33的距离相同。因此，具有一个外部固定腿33的中心和两个外部可动腿34的中心作为顶点的三角形是具有锐角顶角的等腰三角形，并且外部可动腿34沿等腰三角形的斜边滑动。
多个内部可动腿36中的每一个允许放大单元21在XY平面内在绕内部固定腿35的径向方向上滑动。绕内部固定腿35的径向方向是穿过内部固定腿35的中心和内部可动腿36的中心的方向。内部可动腿36沿将内部固定腿35与内部可动腿36连接的直线可滑动地支撑放大单元21。
将内部可动腿36与内部固定腿35连接的直线以锐角彼此相交。从多个内部可动腿36到内部固定腿35的距离相同。因此，具有一个内部固定腿35的中心和两个内部可动腿36的中心作为顶点的三角形是具有锐角顶角的等腰三角形，并且内部可动腿36沿等腰三角形的斜边滑动。
绕外部固定腿33的径向方向和绕内部固定腿35的径向方向与将外部固定腿33的中心与内部固定腿35的中心连接的直线正交，并且彼此重合。
沿Z轴通过每个内部可动腿36的中心的直线与将外部固定腿33的中心与对应的外部可动腿34的中心连接的线段正交。因此，将每个外部可动腿34与外部固定腿33连接的直线与将对应的内部可动腿36与内部固定腿35连接的直线平行。
如图4中所示，放大单元21包括：板状的支撑部39；种子光入射部40，与第一光纤22a相连；激发光入射部41，与第二光纤22b相连；放大部42，放大入射的种子激光；以及引导部43，将种子激光引导到发射部20。支撑部39支撑种子光入射部40、激发光入射部41、放大部42和引导部43。
放大部42包括由激发激光激发的诸如晶体之类的激光介质45，以及反射激发激光的激发光反射镜46。引导部43包括晶体48、法拉第旋转器49及多个(在本实施方式中为五个)的第一反射镜51至第五反射镜55。在图4中，实线箭头表示激发激光，点划线箭头表示种子激光及通过放大种子激光而获得的激光。
从种子光入射部40入射到放大单元21中的种子激光被第一反射镜51、第二反射镜52、第三反射镜53和第四反射镜54依次反射，然后被第五反射镜55折回。接下来，种子激光被第四反射镜54和第三反射镜53依次反射并引导到发射部20。激光介质45布置在第三反射镜53与第四反射镜54之间。种子激光被第一反射镜51至第五反射镜55引导到激光介质45并放大，并且放大后的激光从发射部20发出。
法拉第旋转器49布置在第三反射镜53与发射部20之间。法拉第旋转器49改变被第二反射镜52反射并透射通过发射部20的激光的偏振方向。发射部20反射由放大部42放大并返回到发射部20的激光，并且将激光引导到窗部29。
壳体16和支撑部39由互不相同的金属制成。在本实施例中，支撑部39由不锈钢制成，并且壳体16由比重比不锈钢的比重轻的铝制成。
将描述本实施例的作用。
壳体16在环境温度高时膨胀，并且壳体16在环境温度低时收缩。由于支撑部39由冷却机构24冷却并由与铝相比不易膨胀和收缩的不锈钢制成，因此膨胀和收缩的量小于壳体16膨胀和收缩的量。
壳体16绕外部固定腿33膨胀和收缩，并且外部可动腿34和内部可动腿36允许壳体16膨胀和收缩。因此，壳体16在相对于XY平面的扭曲得到抑制的状态下膨胀和收缩。由于支撑放大单元21的内部固定腿35在X轴方向和Y轴方向上设置在与外部固定腿33相同的位置，因此维持了放大单元21相对于外部固定腿33的位置。
将描述本实施例的效果。
(1)壳体16可以随环境温度的变化而膨胀或收缩。在这点上，由于激光振荡器单元12包括多个外部可动腿34，所以即使当壳体16膨胀或收缩时，多个外部可动腿34也允许壳体16膨胀和收缩，并且可以减小壳体16的扭曲。由于激光振荡器单元12包括多个内部可动腿36，因此能够减小壳体16的膨胀和收缩传递到放大单元21的可能性。由于至少一个外部可动腿34允许壳体16在绕外部固定腿33的径向方向上滑动，所以即使当壳体16膨胀和收缩时，也能够减小窗部29移动的可能性。由于至少一个内部可动腿36允许放大单元21在绕内部固定腿35的径向方向上滑动，所以即使当壳体16膨胀和收缩时，也能够减小发射部20移动的可能性。穿过外部固定腿33的中心和内部固定腿35的中心的直线与穿过发射部20和窗部29的直线相交，并且从发射部20发出的激光的光轴LA与从窗部29发出的激光的光轴LA彼此重合，从而能够减小光轴LA在壳体16膨胀和收缩时倾斜的可能性。因此，可以减小由于壳体16膨胀和收缩而导致的光轴LA偏移。
(2)壳体16和支撑部39由金属制成。因此，例如与壳体16和支撑部39由树脂制成的情况相比，壳体16和支撑部39的膨胀和收缩较大，并且窗部29和发射部20的位置很可能会偏移。在这方面，由于激光振荡器单元12包括外部支撑机构17和内部支撑机构18，所以能够减小光轴LA偏移的可能性。
(3)壳体16和支撑部39由互不相同的金属制成。因此，例如与壳体16和支撑部39由同一金属制成的情况相比，壳体16和支撑部39的膨胀和收缩的差异由于热膨胀系数的差异而变大，并且窗部29和发射部20的位置很可能会偏移。在这方面，由于激光振荡器单元12包括外部支撑机构17和内部支撑机构18，所以能够减小光轴LA偏移的可能性。
(4)壳体16的可滑动方向与放大单元21的可滑动方向平行。因此，当壳体16膨胀或收缩时，壳体16和放大单元21具有相同的滑动方向，从而可以抑制壳体16与放大单元21之间的滑动的偏移量。
(5)由于多个外部可动腿34允许壳体16在绕外部固定腿33的径向方向上滑动，所以可以限定壳体16膨胀和收缩的方向。由于将外部可动腿34与外部固定腿33连接的直线以锐角彼此相交，因此与多个外部可动腿34彼此分开设置的情况相比，使壳体16滑动的滑动机构37可以更简单。
(6)壳体16膨胀或收缩时壳体16的膨胀或收缩量随着壳体16从外部固定腿33远离而增加。在这方面，由于从多个外部可动腿34到外部固定腿33的距离相同，所以可以减小多个外部可动腿34允许壳体16滑动的滑动量的变化。
(7)由于穿过外部固定腿33的中心和内部固定腿35的中心的直线与穿过发射部20和窗部29的直线正交，因此可以进一步减小发射部20与窗部29之间的偏移。
(8)外部固定腿33被定位为比外部可动腿34更靠近窗部29，并且内部固定腿35被定位为比内部可动腿36更靠近发射部20。因此，即使当壳体16膨胀和收缩的情况下，也能够减小窗部29或发射部20移动的可能性。
(9)例如，在将外部支撑机构17设置在壳体16的侧面上的情况下，外部支撑机构17需要允许壳体16在沿底面16a的方向和与底面16a相交的方向上膨胀和收缩。在这方面，外部支撑机构17设置在壳体16的底面16a上。因此，外部支撑机构17仅需要允许壳体16在沿底面16a的方向上膨胀和收缩，并且可以简化外部支撑机构17的配置。
可以如下修改和实现本实施例。只要本实施例和以下变形例没有技术上的矛盾，就可以相互组合地实施它们。
·外部固定腿33可以在维持中心位置的状态下可旋转地支撑壳体16。内部固定腿35可以在维持中心位置的状态下可旋转地支撑放大单元21。
·外部固定腿33和内部固定腿35在X轴方向上可以具有不同的位置。例如，外部固定腿33可以被布置为在Z轴方向上与窗部29对准。外部固定腿33和内部固定腿35在Y轴方向上布置在与光轴LA延伸的直线相同的位置，并且穿过外部固定腿33的中心和内部固定腿35的中心的直线可以与穿过发射部20和窗部29的直线相交。
·外部固定腿33和外部可动腿34中的至少一个可以设置在壳体16的侧面上。
·外部固定腿33与窗部29之间的直线距离可以等于或大于外部可动腿34与窗部29之间的直线距离。内部固定腿35与发射部20之间的直线距离可以等于或大于内部可动腿36与发射部20之间的直线距离。
·从多个外部可动腿34到外部固定腿33的距离可以彼此不同。从多个内部可动腿36到内部固定腿35的距离可以彼此不同。
·将外部固定腿33与外部可动腿34连接的直线可以以直角或钝角彼此相交。将内部固定腿35与内部可动腿36连接的直线可以以直角或钝角彼此相交。
·在多个外部可动腿34中，一个外部可动腿可以允许壳体16在绕外部固定腿33的径向方向上滑动，而其他外部可动腿34可以允许壳体16在与径向方向不同的方向上滑动。在多个内部可动腿36中，一个内部可动腿36可以允许壳体16在绕内部固定腿35的径向方向上滑动，而其他内部可动腿36可以允许壳体16在与径向方向不同的方向上滑动。
·将外部固定腿33的中心与外部可动腿34的中心连接的直线及将内部固定腿35与内部可动腿36的中心连接的直线可以不平行。
·壳体16和支撑部39可以由相同的材料制成。壳体16和支撑部39可以由诸如树脂的材料制成。
·尽管本实施例的支撑部39已被描述为板状的支撑部，但本发明不限于此，例如，可以构成将这里所指的支撑部39(板状)的部分作为底板的壳体。
·激光加工装置11可以是在加工目标对象14上标记文字等的激光标记装置、切割加工目标对象14的激光切割机装置、焊接加工目标对象14的激光焊接装置、在加工目标对象14上钻孔的激光钻孔装置等。激光振荡器单元12不限于激光加工装置11，并且可以是测量对象的通过或到对象的距离的激光传感器等。
本申请基于2018年3月30日递交的日本专利申请(专利申请第2018-066796号)，其内容通过引用并入本文中。
附图标记列表
11：激光加工装置
12：激光振荡器单元
13：聚光透镜
14：加工目标对象
16：壳体
16a：底面
17：外部支撑机构
18：内部支撑机构
20：发射部
21：放大单元
29：窗部
31：基座
33：外部固定腿
34：外部可动腿
35：内部固定腿
36：内部可动腿
39：支撑部
42：放大部。

Claims (42)

1.一种激光振荡器单元，包括：
放大单元，被配置为放大入射激光并从发射部发出放大后的激光；
壳体，覆盖所述放大单元；
外部支撑机构，设置在所述壳体的外部并相对于基座支撑所述壳体；以及
内部支撑机构，设置在所述壳体的内部并相对于所述壳体支撑所述放大单元，
其中，所述壳体形成有窗部，所述窗部通过空间传输将从所述发射部发出的所述激光输出到所述壳体的外侧，
其中，所述外部支撑机构包括：
外部固定腿，固定到所述基座和所述壳体；以及
多个外部可动腿，相对于所述基座可滑动地支撑所述壳体，其中，所述多个外部可动腿中的至少一个外部可动腿允许所述壳体在绕所述外部固定腿的径向方向上滑动，
其中，所述内部支撑机构包括：
内部固定腿，固定到所述放大单元和所述壳体；以及
多个内部可动腿，相对于所述壳体可滑动地支撑所述放大单元，
其中，所述多个内部可动腿中的至少一个内部可动腿允许所述放大单元在绕所述内部固定腿的径向方向上滑动，以及
其中，穿过所述外部固定腿的中心和所述内部固定腿的中心的直线与穿过所述发射部和所述窗部的直线相交，并且从所述发射部发出的激光光轴与从所述窗部发出的激光光轴彼此重合。
2.根据权利要求1所述的激光振荡器单元，
其中，所述放大单元包括：
放大部，放大所述入射激光；以及
支撑部，支撑所述放大部，以及
其中，所述壳体和所述支撑部由金属制成。
3.根据权利要求2所述的激光振荡器单元，
其中，所述壳体和所述支撑部由互不相同的金属制成。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的激光振荡器单元，
其中，将所述外部可动腿与所述外部固定腿连接的直线与将所述内部可动腿与所述内部固定腿连接的直线平行，所述外部可动腿在绕所述外部固定腿的所述径向方向上可滑动地支撑所述壳体，所述内部可动腿在绕所述内部固定腿的所述径向方向上可滑动地支撑所述放大单元。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的激光振荡器单元，
其中，所述多个外部可动腿中的每一个允许所述壳体在绕所述外部固定腿的所述径向方向上滑动，以及
其中，将所述外部可动腿与所述外部固定腿连接的直线以锐角彼此相交。
6.根据权利要求4所述的激光振荡器单元，
其中，所述多个外部可动腿中的每一个允许所述壳体在绕所述外部固定腿的所述径向方向上滑动，以及
其中，将所述外部可动腿与所述外部固定腿连接的直线以锐角彼此相交。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的激光振荡器单元，
其中，从所述多个外部可动腿到所述外部固定腿的距离相同。
8.根据权利要求4所述的激光振荡器单元，
其中，从所述多个外部可动腿到所述外部固定腿的距离相同。
9.根据权利要求5所述的激光振荡器单元，
其中，从所述多个外部可动腿到所述外部固定腿的距离相同。
10.根据权利要求6所述的激光振荡器单元，
其中，从所述多个外部可动腿到所述外部固定腿的距离相同。
11.根据权利要求1至3中任一项所述的激光振荡器单元，
其中，穿过所述外部固定腿的中心和所述内部固定腿的中心的直线与穿过所述发射部和所述窗部的直线正交。
12.根据权利要求4所述的激光振荡器单元，
其中，穿过所述外部固定腿的中心和所述内部固定腿的中心的直线与穿过所述发射部和所述窗部的直线正交。
13.根据权利要求5所述的激光振荡器单元，
其中，穿过所述外部固定腿的中心和所述内部固定腿的中心的直线与穿过所述发射部和所述窗部的直线正交。
14.根据权利要求6所述的激光振荡器单元，
其中，穿过所述外部固定腿的中心和所述内部固定腿的中心的直线与穿过所述发射部和所述窗部的直线正交。
15.根据权利要求7所述的激光振荡器单元，
其中，穿过所述外部固定腿的中心和所述内部固定腿的中心的直线与穿过所述发射部和所述窗部的直线正交。
16.根据权利要求8所述的激光振荡器单元，
其中，穿过所述外部固定腿的中心和所述内部固定腿的中心的直线与穿过所述发射部和所述窗部的直线正交。
17.根据权利要求9所述的激光振荡器单元，
其中，穿过所述外部固定腿的中心和所述内部固定腿的中心的直线与穿过所述发射部和所述窗部的直线正交。
18.根据权利要求10所述的激光振荡器单元，
其中，穿过所述外部固定腿的中心和所述内部固定腿的中心的直线与穿过所述发射部和所述窗部的直线正交。
19.根据权利要求1至3中任一项所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
20.根据权利要求4所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
21.根据权利要求5所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
22.根据权利要求6所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
23.根据权利要求7所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
24.根据权利要求8所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
25.根据权利要求9所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
26.根据权利要求10所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
27.根据权利要求11所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
28.根据权利要求12所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
29.根据权利要求13所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
30.根据权利要求14所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
31.根据权利要求15所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
32.根据权利要求16所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
33.根据权利要求17所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
34.根据权利要求18所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部固定腿与所述窗部之间的直线距离比所述外部可动腿与所述窗部之间的直线距离短，以及
其中，所述内部固定腿与所述发射部之间的直线距离比所述内部可动腿与所述发射部之间的直线距离短。
35.根据权利要求1至3中任一项所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部支撑机构设置在所述壳体的面向所述基座的底面上。
36.根据权利要求4所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部支撑机构设置在所述壳体的面向所述基座的底面上。
37.根据权利要求5所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部支撑机构设置在所述壳体的面向所述基座的底面上。
38.根据权利要求6、8-10、12-18、20-34中任一项所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部支撑机构设置在所述壳体的面向所述基座的底面上。
39.根据权利要求7所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部支撑机构设置在所述壳体的面向所述基座的底面上。
40.根据权利要求11所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部支撑机构设置在所述壳体的面向所述基座的底面上。
41.根据权利要求19所述的激光振荡器单元，
其中，所述外部支撑机构设置在所述壳体的面向所述基座的底面上。
42.一种激光加工装置，包括：
根据权利要求1至41中任一项所述的激光振荡器单元；以及
聚光透镜，被配置为会聚从所述激光振荡器单元输出的激光，
其中，所述激光加工装置通过会聚后的激光对加工目标对象进行加工。
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