JP2019179789A

JP2019179789A - レーザ発振器ユニット、レーザ加工装置

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Publication number: JP2019179789A
Application number: JP2018066796A
Authority: JP
Inventors: 大谷　拓; Hiroshi Otani; 拓大谷; 孝喜宮▲崎▼; Takayoshi Miyazaki; 哲司高御堂; Tetsuji Takamido
Original assignee: Panasonic Industrial Devices SUNX Co Ltd
Current assignee: Panasonic Industrial Devices SUNX Co Ltd
Priority date: 2018-03-30
Filing date: 2018-03-30
Publication date: 2019-10-17
Anticipated expiration: 2038-03-30
Also published as: CN111712974A; DE112019001697T5; US20210006028A1; JP6967480B2; WO2019187555A1; CN111712974B; US11146034B2

Abstract

【課題】ケースの伸縮に伴う光軸のずれを低減できるレーザ発振器ユニット及びレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザ光を増幅して出射部２０から出射する増幅ユニット２１と、増幅ユニット２１を覆うケース１６と、ケース１６に設けられる外側支持機構１７及び内側支持機構１８と、を備え、ケース１６には窓部２９が形成され、外側可動足３４は、外側固定足３３を中心とする半径方向にケース１６をスライド可能とし、内側可動足３６は、内側固定足３５を中心とする半径方向に増幅ユニット２１をスライド可能とし、外側固定足３３の中心と内側固定足３５の中心を通る直線は、出射部２０と窓部２９を通る直線と交差するとともに、出射部２０から出射されるレーザ光軸と窓部２９から出射されるレーザ光軸とは一致する。【選択図】図１

Description

本発明は、レーザ発振器ユニット、及びレーザ発振器ユニットを備えるレーザ加工装置に関する。

レーザ発振器ユニットの一例として、共振器ユニット（増幅ユニット）を筐体（ケース）に納めたレーザ装置がある（例えば特許文献１）。筐体は、熱により伸縮し、変形することがある。レーザ装置は、筐体に対して共振器ユニットをスライド可能に支持する複数の軸受（内側可動足）を備え、共振器ユニットの変形を抑制していた。

特開昭６３−５００８３号公報

レーザ装置は、共振器ユニットから出射されたレーザ光を筐体の外に出力する。そのため、筐体が変形すると、筐体からレーザ光が出力される部分（窓部）の位置が変化し、レーザ装置から出力されるレーザ光の光軸がずれてしまう虞があった。

こうした課題は、レーザ装置に限らず、レーザ発振器ユニット及びレーザ加工装置についても、生じる虞があった。
本発明の目的は、ケースの伸縮に伴う光軸のずれを低減できるレーザ発振器ユニット及びレーザ加工装置を提供することにある。

以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
上記課題を解決するレーザ発振器ユニットは、入射されたレーザ光を増幅して出射部から出射する増幅ユニットと、前記増幅ユニットを覆うケースと、前記ケースの外側に設けられ、ベースに対して前記ケースを支持する外側支持機構と、前記ケースの内側に設けられ、前記ケースに対して前記増幅ユニットを支持する内側支持機構と、を備え、前記ケースには、前記出射部から出射された前記レーザ光を空間伝送にて前記ケースの外に出力する窓部が形成され、前記外側支持機構は、前記ベース及び前記ケースに固定される外側固定足と、前記ベースに対して前記ケースをスライド可能に支持する複数の外側可動足と、を備え、前記複数の外側可動足のうち、少なくとも１つの外側可動足は、前記外側固定足を中心とする半径方向に前記ケースをスライド可能とし、前記内側支持機構は、前記増幅ユニット及び前記ケースに固定される内側固定足と、前記ケースに対して前記増幅ユニットをスライド可能に支持する複数の内側可動足と、を備え、前記複数の内側可動足のうち、少なくとも１つの内側可動足は、前記内側固定足を中心とする半径方向に前記増幅ユニットをスライド可能とし、前記外側固定足の中心と前記内側固定足の中心を通る直線は、前記出射部と前記窓部を通る直線と交差するとともに、前記出射部から出射されるレーザ光軸と前記窓部から出射されるレーザ光軸とは一致する。

ケースは、周囲の温度の変化に伴って膨張もしくは収縮することがある。その点、この構成によれば、レーザ発振器ユニットは、複数の外側可動足を備えるため、ケースが膨張もしくは収縮した場合でも、複数の外側可動足がケースの伸縮を許容してケースのねじれを低減できる。レーザ発振器ユニットは、複数の内側可動足を備えるため、ケースの伸縮が増幅ユニットに伝わる虞を低減できる。少なくとも１つの外側可動足は、外側固定足を中心とする半径方向にケースをスライド可能とするため、ケースが伸縮した場合でも窓部が移動する虞を低減できる。少なくとも１つの内側可動足は、内側固定足を中心とする半径方向に増幅ユニットをスライド可能とするため、ケースが伸縮した場合でも出射部が移動する虞を低減できる。外側固定足の中心と内側固定足の中心を通る直線は、出射部と窓部を通る直線と交差するとともに、出射部から出射されるレーザ光軸と窓部から出射されるレーザ光軸とは一致するため、ケースが伸縮した場合に光軸が傾く虞を低減できる。したがって、ケースの伸縮に伴う光軸のずれを低減できる。

上記レーザ発振器ユニットにおいて、前記増幅ユニットは、入射された前記レーザ光を増幅する増幅部と、前記増幅部を支持する支持部と、を備え、前記ケースと前記支持部は、金属により構成されることが好ましい。

この構成によれば、ケースと支持部は、金属により構成される。そのため、例えばケースと支持部を樹脂により構成する場合に比べ、ケースと支持部の伸縮が大きくなり、窓部と出射部の位置がずれやすい。その点、レーザ発振器ユニットは、外側支持機構及び内側支持機構を備えるため、光軸がずれる虞を低減できる。

上記レーザ発振器ユニットにおいて、前記ケースと前記支持部は、互いに異なる金属により構成されることが好ましい。
この構成によれば、ケースと支持部は、互いに異なる金属により構成される。そのため、例えばケースと支持部を同じ金属により構成する場合に比べ、熱膨張率の違いに伴うケースと支持部の伸縮の差が大きくなり、窓部と出射部の位置がずれやすい。その点、レーザ発振器ユニットは、外側支持機構及び内側支持機構を備えるため、光軸がずれる虞を低減できる。

上記レーザ発振器ユニットにおいて、前記外側固定足を中心とする前記半径方向に前記ケースをスライド可能に支持する前記外側可動足と前記外側固定足とを結ぶ直線は、前記内側固定足を中心とする前記半径方向に前記増幅ユニットをスライド可能に支持する前記内側可動足と前記内側固定足とを結ぶ直線と平行であることが好ましい。

この構成によれば、ケースのスライド可能な方向と、増幅ユニットのスライド可能な方向が平行である。そのため、ケースが膨張もしくは収縮した場合に、ケースと増幅ユニットとが同じようなスライド方向となるので、ケースと増幅ユニットのスライドのズレ量を抑えることができる。

上記レーザ発振器ユニットにおいて、前記複数の外側可動足は、それぞれ前記外側固定足を中心とする前記半径方向に前記ケースをスライド可能とし、前記外側可動足と前記外側固定足とを結ぶ直線同士は、鋭角に交差することが好ましい。

この構成によれば、複数の外側可動足は、それぞれ外側固定足を中心とする半径方向にケースをスライド可能とするため、ケースが伸縮する方向を規定できる。各外側可動足と外側固定足とを結ぶ直線は、互いに鋭角に交差するため、複数の外側可動足を離して配置する場合に比べてケースをスライドさせる機構を簡易な構成にできる。

上記レーザ発振器ユニットにおいて、前記複数の外側可動足は、それぞれ前記外側固定足との距離が等しいことが好ましい。
ケースが膨張もしくは伸縮した場合の伸縮量は、外側固定足から離れた部分ほど多くなる。その点、この構成によれば、複数の外側可動足は、それぞれ外側固定足との距離が等しいため、複数の外側可動足がケースをスライドさせるスライド量のばらつきを低減できる。

上記レーザ発振器ユニットにおいて、前記外側固定足の中心と前記内側固定足の中心を通る直線は、前記出射部と前記窓部を通る直線と直交することが好ましい。
この構成によれば、外側固定足の中心と内側固定足の中心を通る直線は、出射部と窓部を通る直線と直交するため、出射部と窓部のずれをより低減できる。

上記レーザ発振器ユニットにおいて、前記外側固定足と前記窓部の直線距離は、前記外側可動足と前記窓部の直線距離よりも短く構成されるとともに、前記内側固定足と前記出射部の直線距離は、前記内側可動足と前記出射部の直線距離よりも短く構成されていることが好ましい。

この構成によれば、外側固定足は、外側可動足よりも窓部に近い位置に位置し、内側固定足は、内側可動足よりも出射部に近い位置に位置する。そのため、ケースが伸縮した場合でも窓部や出射部が移動する虞を低減できる。

上記レーザ発振器ユニットにおいて、前記外側支持機構は、前記ケースにおいて前記ベースと対向する底面に設けられることが好ましい。
例えば外側支持機構をケースの側面に設ける場合、外側支持機構は、底面に沿う方向及び底面と交差する方向へのケースの伸縮を許容する必要がある。その点、この構成によれば、外側支持機構は、ケースの底面に設けられる。したがって、外側支持機構は、底面に沿う方向へのケースの伸縮を許容すればよく、外側支持機構の構成を簡素化できる。

上記課題を解決するレーザ加工装置は、上記構成のレーザ発振器ユニットと、前記レーザ発振器ユニットから出力された前記レーザ光を集光する集光レンズと、を備え、集光した前記レーザ光により加工対象を加工する。

この構成によれば、上記レーザ発振器ユニットと同様の効果を奏することができる。

本発明によれば、ケースの伸縮に伴う光軸のずれを低減できる。

レーザ加工装置の一実施形態の模式側面図。図１のレーザ加工装置が備えるレーザ発振器ユニットの模式正面図。図１のレーザ加工装置が備えるレーザ発振器ユニットの模式平面図。レーザ発振器ユニットの内部構成を示す模式平面図。

以下、レーザ発振器ユニット、レーザ加工装置の一実施形態を図面に従って説明する。
図１に示すように、レーザ加工装置１１は、レーザ光を増幅して出力するレーザ発振器ユニット１２と、レーザ発振器ユニット１２から出力されたレーザ光を集光する集光レンズ１３と、を備える。レーザ加工装置１１は、集光したレーザ光により加工対象１４を加工する。

レーザ発振器ユニット１２は、略直方体状のケース１６と、ケース１６の外側に設けられる外側支持機構１７と、ケース１６の内側に設けられる内側支持機構１８と、を備える。レーザ発振器ユニット１２は、種用レーザ光を発する光源ＬＤ（レーザダイオード）１９ａと、励起用レーザ光を発する励起用ＬＤ（レーザダイオード）１９ｂと、入射された種用レーザ光を増幅して出射部２０から出射する増幅ユニット２１と、を備える。出射部２０は、例えば反射ミラーにより構成される。

レーザ発振器ユニット１２は、光源ＬＤ１９ａと増幅ユニット２１とを接続する第１光ファイバ２２ａと、励起用ＬＤ１９ｂと増幅ユニット２１とを接続する第２光ファイバ２２ｂと、を備える。第１光ファイバ２２ａは、種用レーザ光を増幅ユニット２１に伝達し、第２光ファイバ２２ｂは、励起用レーザ光を増幅ユニット２１に伝達する。

レーザ発振器ユニット１２は、増幅ユニット２１を冷却するための冷却機構２４と、冷却機構２４と増幅ユニット２１を接続する冷却管２５と、を備える。冷却管２５は、増幅ユニット２１の周囲や内部を通って環状に設けられる。冷却機構２４は、例えば水などの液体やエアなどの気体により構成される冷却材を冷却管２５内に通して循環させることにより、増幅ユニット２１を冷却する。

図１，図２に示すように、ケース１６は、有底箱状の本体２７と、本体２７の開口を覆う蓋２８と、を有する。ケース１６は、本体２７に収容された内側支持機構１８、光源ＬＤ１９ａ、励起用ＬＤ１９ｂ、増幅ユニット２１、第１光ファイバ２２ａ及び第２光ファイバ２２ｂを蓋２８により覆う。ケース１６には、レーザ光を空間伝送にてケース１６の外に出力する窓部２９が形成されている。出射部２０は、窓部２９に向けてレーザ光を出射し、窓部２９は、出射部２０から出射されたレーザ光を出力する。出射部２０から出射されるレーザ光の光軸（レーザ光軸）ＬＡと、窓部２９からケース１６の外に出力されるレーザ光の光軸（レーザ光軸）ＬＡは、一致する。そのため、出射部２０から出射されたレーザ光の光軸ＬＡは、出射部２０と窓部２９を通る直線に沿う。

図面では、窓部２９から出力されるレーザ光の光軸ＬＡが延びる方向をＸ軸で示し、Ｘ軸と直交する面に沿う方向をＹ軸及びＺ軸で示す。Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、互いに直交する。本実施形態では、Ｚ軸に沿う方向を重力の方向とし、ベース３１が有する水平面にレーザ発振器ユニット１２を載置した状態を図示するが、重力の方向は、Ｚ軸と交差する方向やＺ軸とは反対の方向としてもよい。以下の説明では、Ｘ軸に沿う方向をＸ軸方向、Ｙ軸に沿う方向をＹ軸方向、Ｚ軸に沿う方向をＺ軸方向ともいう。

外側支持機構１７は、ケース１６においてベース３１と対向する底面１６ａに設けられ、ベース３１に対してケース１６を支持する。外側支持機構１７は、ベース３１とケース１６に固定される外側固定足３３と、ベース３１に対してケース１６をスライド可能に支持する複数の外側可動足３４と、を備える。本実施形態のレーザ発振器ユニット１２は、２つの外側可動足３４を備え、外側固定足３３と外側可動足３４により３点でケース１６を支持する。

内側支持機構１８は、増幅ユニット２１において本体２７と対向する底面２１ａに設けられ、ケース１６に対して増幅ユニット２１を支持する。内側支持機構１８は、増幅ユニット２１とケース１６に固定される内側固定足３５と、ケース１６に対して増幅ユニット２１をスライド可能に支持する複数の内側可動足３６と、を備える。本実施形態のレーザ発振器ユニット１２は、２つの内側可動足３６を備え、内側固定足３５と内側可動足３６により３点で増幅ユニット２１を支持する。

外側可動足３４と内側可動足３６は、スライド機構３７を備える。外側固定足３３は、窓部２９付近に設けられ、複数の外側可動足３４は、外側固定足３３よりも窓部２９から離れた位置に配置される。外側固定足３３と窓部２９の直線距離は、外側可動足３４と窓部２９の直線距離よりも短い。内側固定足３５は、出射部２０付近に設けられ、複数の内側可動足３６は、内側固定足３５よりも出射部２０から離れた位置に配置される。内側固定足３５と出射部２０の直線距離は、内側可動足３６と出射部２０の直線距離よりも短い。

外側固定足３３と内側固定足３５は、Ｚ軸方向に本体２７を挟むように配置され、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において出射部２０と同じ位置に配置される。外側固定足３３、内側固定足３５、及び出射部２０は、Ｚ軸方向において並ぶ。そのため、外側固定足３３の中心と内側固定足３５の中心を通る直線は、Ｚ軸方向に延び、出射部２０と窓部２９を通る直線と直交する。

図３に示すように、複数の外側可動足３４は、それぞれＸＹ平面において外側固定足３３を中心とする半径方向にケース１６をスライド可能とする。外側固定足３３を中心とする半径方向とは、外側固定足３３の中心と外側可動足３４の中心とを通る方向である。外側可動足３４は、外側固定足３３と外側可動足３４とを結ぶ直線に沿ってケース１６をスライド可能に支持する。

外側可動足３４と外側固定足３３とを結ぶ直線同士は、鋭角に交差する。複数の外側可動足３４は、それぞれ外側固定足３３との距離が等しい。そのため、１つの外側固定足３３の中心と２つの外側可動足３４の中心を頂点とする三角形は、頂角が鋭角の二等辺三角形となり、外側可動足３４は、二等辺三角形の斜辺に沿うようにスライドする。

複数の内側可動足３６は、それぞれＸＹ平面において、内側固定足３５を中心とする半径方向に増幅ユニット２１をスライド可能とする。内側固定足３５を中心とする半径方向とは、内側固定足３５の中心と内側可動足３６の中心とを通る方向である。内側可動足３６は、内側固定足３５と内側可動足３６を結ぶ直線に沿って増幅ユニット２１をスライド可能に支持する。

内側可動足３６と内側固定足３５とを結ぶ直線同士は、鋭角に交差する。複数の内側可動足３６は、それぞれ内側固定足３５との距離が等しい。そのため、１つの内側固定足３５の中心と２つの内側可動足３６の中心を頂点とする三角形は、頂角が鋭角の二等辺三角形となり、内側可動足３６は、二等辺三角形の斜辺に沿うようにスライドする。

外側固定足３３を中心とする半径方向及び内側固定足３５を中心とする半径方向は、外側固定足３３の中心と内側固定足３５の中心とを結ぶ直線に対して直交する方向であり、互いに一致する。

内側可動足３６の中心を通ってＺ軸に沿う直線は、外側固定足３３の中心と外側可動足３４の中心を結ぶ線分に対して直交する。したがって、外側可動足３４と外側固定足３３とを結ぶ直線は、内側可動足３６と内側固定足３５とを結ぶ直線と平行である。

図４に示すように、増幅ユニット２１は、板状の支持部３９と、第１光ファイバ２２ａが接続される種光入射部４０と、第２光ファイバ２２ｂが接続される励起光入射部４１と、入射された種用レーザ光を増幅する増幅部４２と、種用レーザ光を出射部２０へ誘導する誘導部４３と、を備える。支持部３９は、種光入射部４０、励起光入射部４１、増幅部４２、誘導部４３を支持する。

増幅部４２は、励起用レーザ光により励起される例えば結晶などのレーザ媒質４５と、励起用レーザ光を反射させる励起光用反射ミラー４６と、を備える。誘導部４３は、結晶４８と、ファラデーローテータ４９と、複数（本実施形態では５つ）の第１反射ミラー５１〜第５反射ミラー５５と、を備える。図４では、励起用レーザ光を実線の矢印で示し、種用レーザ光及び種用レーザ光を増幅したレーザ光を一点鎖線の矢印で示す。

種光入射部４０から増幅ユニット２１内に入射された種用レーザ光は、第１反射ミラー５１、第２反射ミラー５２、第３反射ミラー５３、第４反射ミラー５４の順に反射して第５反射ミラー５５により折り返され、第４反射ミラー５４、第３反射ミラー５３の順に反射して出射部２０に導かれる。第３反射ミラー５３と第４反射ミラー５４との間には、レーザ媒質４５が配置されている。種用レーザ光は、第１反射ミラー５１〜第５反射ミラー５５によりレーザ媒質４５に導かれて増幅され、増幅されたレーザ光が出射部２０から出射される。

ファラデーローテータ４９は、第３反射ミラー５３と出射部２０との間に配置される。ファラデーローテータ４９は、第２反射ミラー５２で反射して出射部２０を透過したレーザ光の偏光方向を変える。出射部２０は、増幅部４２により増幅されて出射部２０へ戻ったレーザ光を反射して窓部２９へと導く。

ケース１６と支持部３９は、互いに異なる金属により構成される。本実施形態では、支持部３９をステンレスで構成し、ケース１６をステンレスよりも比重が軽いアルミニウムで構成する。

本実施形態の作用について説明する。
ケース１６は、周囲の気温が高い場合には膨張し、周囲の気温が低い場合には収縮する。支持部３９は、冷却機構２４により冷却されると共に、アルミニウムよりも伸縮しにくいステンレスで構成されているため、ケース１６に比べて伸縮量が少ない。

ケース１６は、外側固定足３３を中心として伸縮し、外側可動足３４と内側可動足３６は、ケース１６の伸縮を許容する。そのため、ケース１６は、ＸＹ平面に対するねじれが抑制された状態で伸縮する。増幅ユニット２１を支持する内側固定足３５は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向において外側固定足３３と同じ位置に設けられているため、増幅ユニット２１は、外側固定足３３に対する位置が維持される。

本実施形態の効果について説明する。
（１）ケース１６は、周囲の温度の変化に伴って膨張もしくは収縮することがある。その点、レーザ発振器ユニット１２は、複数の外側可動足３４を備えるため、ケース１６が膨張もしくは収縮した場合でも、複数の外側可動足３４がケース１６の伸縮を許容してケース１６のねじれを低減できる。レーザ発振器ユニット１２は、複数の内側可動足３６を備えるため、ケース１６の伸縮が増幅ユニット２１に伝わる虞を低減できる。少なくとも１つの外側可動足３４は、外側固定足３３を中心とする半径方向にケース１６をスライド可能とするため、ケース１６が伸縮した場合でも窓部２９が移動する虞を低減できる。少なくとも１つの内側可動足３６は、内側固定足３５を中心とする半径方向に増幅ユニット２１をスライド可能とするため、ケース１６が伸縮した場合でも出射部２０が移動する虞を低減できる。外側固定足３３の中心と内側固定足３５の中心を通る直線は、出射部２０と窓部２９を通る直線と交差するとともに、出射部２０から出射されるレーザ光の光軸ＬＡと窓部２９から出射されるレーザ光の光軸ＬＡとは一致するため、ケース１６が伸縮した場合に光軸ＬＡが傾く虞を低減できる。したがって、ケース１６の伸縮に伴う光軸ＬＡのずれを低減できる。

（２）ケース１６と支持部３９は、金属により構成される。そのため、例えばケース１６と支持部３９を樹脂により構成する場合に比べ、ケース１６と支持部３９の伸縮が大きくなり、窓部２９と出射部２０の位置がずれやすい。その点、レーザ発振器ユニット１２は、外側支持機構１７及び内側支持機構１８を備えるため、光軸ＬＡがずれる虞を低減できる。

（３）ケース１６と支持部３９は、互いに異なる金属により構成される。そのため、例えばケース１６と支持部３９を同じ金属により構成する場合に比べ、熱膨張率の違いに伴うケース１６と支持部３９の伸縮の差が大きくなり、窓部２９と出射部２０の位置がずれやすい。その点、レーザ発振器ユニット１２は、外側支持機構１７及び内側支持機構１８を備えるため、光軸ＬＡがずれる虞を低減できる。

（４）ケース１６のスライド可能な方向と、増幅ユニット２１のスライド可能な方向が平行である。そのため、ケース１６が膨張もしくは収縮した場合に、ケース１６と増幅ユニット２１とが同じようなスライド方向となるので、ケース１６と増幅ユニット２１のスライドのズレ量を抑えることができる。

（５）複数の外側可動足３４は、それぞれ外側固定足３３を中心とする半径方向にケース１６をスライド可能とするため、ケース１６が伸縮する方向を規定できる。各外側可動足３４と外側固定足３３とを結ぶ直線は、互いに鋭角に交差するため、複数の外側可動足３４を離して配置する場合に比べてケース１６をスライドさせるスライド機構３７を簡易な構成にできる。

（６）ケース１６が膨張もしくは伸縮した場合の伸縮量は、外側固定足３３から離れた部分ほど多くなる。その点、複数の外側可動足３４は、それぞれ外側固定足３３との距離が等しいため、複数の外側可動足３４がケース１６をスライドさせるスライド量のばらつきを低減できる。

（７）外側固定足３３の中心と内側固定足３５の中心を通る直線は、出射部２０と窓部２９を通る直線と直交するため、出射部２０と窓部２９のずれをより低減できる。
（８）外側固定足３３は、外側可動足３４よりも窓部２９に近い位置に位置し、内側固定足３５は、内側可動足３６よりも出射部２０に近い位置に位置する。そのため、ケース１６が伸縮した場合でも窓部２９や出射部２０が移動する虞を低減できる。

（９）例えば外側支持機構１７をケース１６の側面に設ける場合、外側支持機構１７は、底面１６ａに沿う方向及び底面１６ａと交差する方向へのケース１６の伸縮を許容する必要がある。その点、外側支持機構１７は、ケース１６の底面１６ａに設けられる。したがって、外側支持機構１７は、底面１６ａに沿う方向へのケース１６の伸縮を許容すればよく、外側支持機構１７の構成を簡素化できる。

本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
・外側固定足３３は、中心の位置を維持した状態でケース１６を回動可能に支持してもよい。内側固定足３５は、中心の位置を維持した状態で増幅ユニット２１を回動可能に支持してもよい。

・外側固定足３３と内側固定足３５は、Ｘ軸方向において位置が異なっていてもよい。例えば外側固定足３３は、Ｚ軸方向において窓部２９と並ぶように配置してもよい。外側固定足３３と内側固定足３５は、Ｙ軸方向において光軸ＬＡが延びる直線と同じ位置に配置され、外側固定足３３の中心と内側固定足３５の中心を通る直線は、出射部２０と窓部２９を通る直線と交差してもよい。

・外側固定足３３と外側可動足３４のうち少なくとも１つは、ケース１６の側面に設けてもよい。
・外側固定足３３と窓部２９の直線距離は、外側可動足３４と窓部２９の直線距離以上としてもよい。内側固定足３５と出射部２０の直線距離は、内側可動足３６と出射部２０の直線距離以上としてもよい。

・複数の外側可動足３４は、外側固定足３３との距離がそれぞれ異なっていてもよい。複数の内側可動足３６は、内側固定足３５との距離がそれぞれ異なっていてもよい。
・外側固定足３３と外側可動足３４とを結ぶ直線同士は、直角もしくは鈍角に交差してもよい。内側固定足３５と内側可動足３６とを結ぶ直線同士は、直角もしくは鈍角に交差してもよい。

・複数の外側可動足３４は、１つの外側可動足３４が外側固定足３３を中心とする半径方向にケース１６をスライド可能とし、他の外側可動足３４は、半径方向とは異なる方向にケース１６をスライド可能としてもよい。複数の内側可動足３６は、１つの内側可動足３６が内側固定足３５を中心とする半径方向にケース１６をスライド可能とし、他の内側可動足３６は、半径方向とは異なる方向にケース１６をスライド可能としてもよい。

・外側固定足３３の中心と外側可動足３４の中心とを結ぶ直線と、内側固定足３５と内側可動足３６の中心とを結ぶ直線は、非平行であってもよい。
・ケース１６と支持部３９は、同じ材料で構成してもよい。ケース１６と支持部３９は、例えば樹脂などの材料で構成してもよい。

・なお、実施例の支持部３９は、板状の支持部として説明したが、この限りではなく、例えば、ここでいう支持部３９（板状）の部分を底板としたケースを構成していても良い。

・レーザ加工装置１１は、加工対象１４に文字などをマーキングするレーザマーキング装置、加工対象１４を切断するレーザカッタ装置、加工対象１４同士を溶接するレーザ溶接装置、加工対象１４に穴をあけるレーザ穿孔装置などとしてもよい。レーザ発振器ユニット１２は、レーザ加工装置１１に限らず対象物の通過や対象物との距離を計測するレーザセンサなどとしてもよい。

１１…レーザ加工装置、１２…レーザ発振器ユニット、１３…集光レンズ、１４…加工対象、１６…ケース、１６ａ…底面、１７…外側支持機構、１８…内側支持機構、２０…出射部、２１…増幅ユニット、２９…窓部、３１…ベース、３３…外側固定足、３４…外側可動足、３５…内側固定足、３６…内側可動足、３９…支持部、４２…増幅部。

Claims

入射されたレーザ光を増幅して出射部から出射する増幅ユニットと、
前記増幅ユニットを覆うケースと、
前記ケースの外側に設けられ、ベースに対して前記ケースを支持する外側支持機構と、
前記ケースの内側に設けられ、前記ケースに対して前記増幅ユニットを支持する内側支持機構と、
を備え、
前記ケースには、前記出射部から出射された前記レーザ光を空間伝送にて前記ケースの外に出力する窓部が形成され、
前記外側支持機構は、
前記ベース及び前記ケースに固定される外側固定足と、
前記ベースに対して前記ケースをスライド可能に支持する複数の外側可動足と、
を備え、
前記複数の外側可動足のうち、少なくとも１つの外側可動足は、前記外側固定足を中心とする半径方向に前記ケースをスライド可能とし、
前記内側支持機構は、
前記増幅ユニット及び前記ケースに固定される内側固定足と、
前記ケースに対して前記増幅ユニットをスライド可能に支持する複数の内側可動足と、
を備え、
前記複数の内側可動足のうち、少なくとも１つの内側可動足は、前記内側固定足を中心とする半径方向に前記増幅ユニットをスライド可能とし、
前記外側固定足の中心と前記内側固定足の中心を通る直線は、前記出射部と前記窓部を通る直線と交差するとともに、前記出射部から出射されるレーザ光軸と前記窓部から出射されるレーザ光軸とは一致することを特徴とするレーザ発振器ユニット。
前記増幅ユニットは、
入射された前記レーザ光を増幅する増幅部と、
前記増幅部を支持する支持部と、
を備え、
前記ケースと前記支持部は、金属により構成されることを特徴とする請求項１に記載のレーザ発振器ユニット。
前記ケースと前記支持部は、互いに異なる金属により構成されることを特徴とする請求項２に記載のレーザ発振器ユニット。
前記外側固定足を中心とする前記半径方向に前記ケースをスライド可能に支持する前記外側可動足と前記外側固定足とを結ぶ直線は、前記内側固定足を中心とする前記半径方向に前記増幅ユニットをスライド可能に支持する前記内側可動足と前記内側固定足とを結ぶ直線と平行であることを特徴とする請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載のレーザ発振器ユニット。
前記複数の外側可動足は、それぞれ前記外側固定足を中心とする前記半径方向に前記ケースをスライド可能とし、
前記外側可動足と前記外側固定足とを結ぶ直線同士は、鋭角に交差することを特徴とする請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載のレーザ発振器ユニット。
前記複数の外側可動足は、それぞれ前記外側固定足との距離が等しいことを特徴とする請求項１〜請求項５のうち何れか一項に記載のレーザ発振器ユニット。
前記外側固定足の中心と前記内側固定足の中心を通る直線は、前記出射部と前記窓部を通る直線と直交することを特徴とする請求項１〜請求項６のうち何れか一項に記載のレーザ発振器ユニット。
前記外側固定足と前記窓部の直線距離は、前記外側可動足と前記窓部の直線距離よりも短く構成されるとともに、
前記内側固定足と前記出射部の直線距離は、前記内側可動足と前記出射部の直線距離よりも短く構成されていることを特徴とする請求項１〜請求項７のうち何れか一項に記載のレーザ発振器ユニット。
前記外側支持機構は、前記ケースにおいて前記ベースと対向する底面に設けられることを特徴とする請求項１〜請求項８のうち何れか一項に記載のレーザ発振器ユニット。
請求項１〜請求項９のうち何れか一項に記載のレーザ発振器ユニットと、
前記レーザ発振器ユニットから出力された前記レーザ光を集光する集光レンズと、
を備え、
集光した前記レーザ光により加工対象を加工することを特徴とするレーザ加工装置。