CN111650814B - 一种掩模夹持单元及掩模拉伸装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩模夹持单元和掩模拉伸装置，属于光刻领域。该掩模夹持单元包括夹板和驱动块，夹板用于夹持掩模，夹板上设置有凸起；驱动块具有斜面，且斜面抵靠凸起；驱动块被配置为沿第一方向移动，以使凸起沿第二方向移动以夹持掩模。掩模拉伸装置包括上述掩模夹持单元。本发明通过设置具有斜面的驱动块、以及设置于夹板上的凸起，使得驱使驱动块沿第一方向驱动力转换为驱动凸起沿第二方向移动的驱动力，进而使得夹板能够实现夹持或松开，即上述掩模夹持单元在掩模夹持过程中仅仅存在夹板对掩模的夹持力，不存在其他方向扭转等附加力，保证了掩模PPA不受影响。

Description

一种掩模夹持单元及掩模拉伸装置

技术领域

本发明涉及光刻领域，尤其涉及一种掩模夹持单元及掩模拉伸装置。

背景技术

光刻设备是一种将掩模图案曝光成像到硅片上的设备。已知的光刻设备包括步进重复式和步进扫描式。在上述的光刻设备中，需具有相应的装置作为掩模和硅片的载体，装载有掩模/硅片的载体产生精确的相互运动来满足光刻需要。

掩模在被其载体固定过程中产生的变形误差直接影响了芯片制作的好坏。现有的机械夹紧式固定装置通过垂直布置于夹板上的直线驱动装置直接驱动两夹板相互靠近实现对掩模的夹持，其中直线驱动装置由电机、丝杆和丝杆螺母组成。在夹持过程中，电机带动丝杆转动时会使与丝杆螺母连接的夹板发生一定角度的偏转，进而使得被夹持掩模的掩模发生绕电机轴方向的扭转，对于精度要求较高的应用于光刻领域的掩模来讲，垂直布置的直线驱动装置影响了掩模的像素位置精度(pixel position accuracy，简称PPA)。另外，还有一种类似剪刀结构的掩模夹持单元，上夹板和下夹板通过转轴连接，但是对于精度要求较高的掩模来讲，会使得掩模在发生绕转轴的扭转，从而影响掩模的PPA。

为此，亟需提供一种掩模夹持单元及掩模拉伸装置解决上述问题。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种掩模夹持单元，以提高掩模夹持单元对被夹持物体的夹紧力。

本发明的另一个目的在于提供一种掩模拉伸装置，以防止掩模在拉伸过程中容易出现滑落进而影响掩模拉伸精度现象发生。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种掩模夹持单元，包括：

夹板，用于夹持掩模，所述夹板上设置有凸起；

驱动块，所述驱动块具有斜面，所述斜面抵靠所述凸起；

所述驱动块被配置为沿第一方向移动，以使所述凸起沿第二方向移动以夹持所述掩模。

通过设置有斜面的驱动块、以及设置于与夹板上的凸起，使得驱使驱动块沿第一方向运动的驱动力转换为驱动凸起沿第二方向移动，进而实现夹板相互夹持或松开；使得上述掩模夹持单元在掩模夹持过程中仅仅存在夹板对掩模的夹持力，不存在其他方向扭转等附加力，保证了掩模PPA不受影响，从而避免了剪刀式夹持单元以及直接在夹板上垂直设置丝杆驱动组件对掩模进行夹持的过程中存在的其他扭转力对掩模PPA的影响。

作为优选，所述驱动块连接有夹持驱动组件，所述夹持驱动组件包括驱动装置和平行于所述第一方向设置的第一导向杆，所述驱动装置与所述驱动块连接，所述第一导向杆与所述驱动块滑动连接。

作为优选，所述掩模夹持单元还包括夹持框架，所述夹持驱动装置的固定端和所述第一导向杆均与所述夹持框架固定连接。

作为优选，所述掩模夹持单元设置有第二导向杆，所述第二导向杆沿所述第二方向设置，所述夹板与所述第二导向杆滑动连接。

作为优选，其特征在于，所述斜面包括夹紧斜面和行程斜面，所述夹紧斜面与所述第一方向的第一夹角小于所述行程斜面与所述第二方向的第二夹角。

作为优选，所述第一夹角小于15度。

作为优选，所述第二夹角为45度～75度。

作为优选，所述掩模夹持单元还包括位置信号开关，所述位置信号开关与控制器电连接，用于反馈所述夹板组件的工作状态。

通过在掩模夹持单元上设置位置信号开关，可以使得操作人员直观地从控制终端了解到掩模夹持单元的工作状态，从而在被夹持物夹持时可以根据位置信号开关的信号作出相应操作。

作为优选，所述驱动块沿所述第二方向凸设有信号凸起，所述位置信号开关配置为其与所述信号凸起的顶面抵接时表示所述夹板组件夹紧或打开的工作状态。

作为优选，所述驱动块设置有斜槽，所述斜面设置于所述斜槽的侧壁上，所述凸起能够伸入能伸入所述斜槽内。

通过在驱动块上的斜面设置为斜槽，使得凸起可以不单独设置驱动组件，即可通过驱动凸起使两夹板相互分离。

作为优选，所述驱动块包括间隔设置的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板均设置有所述斜槽；

所述夹板的两侧均设置有所述凸起。

一种掩模拉伸装置，包括上述的掩模夹持单元，还包括拉伸单元，所述拉伸单元与所述掩模夹持单元连接，能带动所述掩模夹持单元沿掩模的延伸方向移动。

作为优选，所述拉伸单元包括：

拉伸驱动件，用于带动所述掩模夹持单元沿所述掩模的延伸方向移动；

反馈组件，位于所述掩模夹持单元和所述拉伸驱动件之间，所述反馈组件能够反馈所述掩模被拉伸的长度；

所述拉伸驱动件和所述反馈组件均与控制器连接。

作为优选，所述反馈组件包括力传感器和弹性件，所述弹性件和所述掩模夹持单元分别位于所述力传感器的两侧，并均与所述力传感器连接，且所述弹性件的弹性刚度小于所述掩模的弹性刚度。

掩模拉伸装置中的拉伸单元通过选用刚度较低的弹性件，且弹性件的弹性刚度小于掩模的弹性刚度，使得弹性件拉伸量起到对掩模拉伸量放大的作用，当拉伸单元直接拉伸掩模夹持单元移动时，能够根据弹性件的被拉伸量确定出掩模拉伸量，从而确保掩模的拉伸精度。

作为优选，所述拉伸驱动单元还包括拉伸框架，所述拉伸框架的一侧与所述拉伸驱动件连接，另一侧与所述反馈组件连接，所述拉伸驱动件通过所述拉伸框架带动所述反馈组件移动。

作为优选，所述反馈组件还包括弹簧固定杆，所述弹簧固定杆穿过所述拉伸框架与所述力传感器连接，所述弹性件套设于所述弹簧固定杆上，且所述拉伸驱动件带动所述拉伸框架沿所述弹簧固定杆移动并压缩所述弹性件。

作为优选，所述弹簧固定杆靠近所述拉伸驱动件的一侧设置有限位环，所述拉伸框架设置有固定环，所述弹性件的一端与所述限位环抵接，另一端与所述固定环连接。

作为优选，所述掩模拉伸装置还包括导向轴，所述拉伸框架与所述导向轴滑动连接。

作为优选，所述掩模拉伸装置还包括滑动导向单元，所述滑动导向单元位于所述掩模夹持单元和所述拉伸单元之间，且所述滑动导向单元的滑动部的两端分别连接所述掩模夹持单元和所述拉伸单元。

作为优选，所述滑动导向单元包括气浮导轨。

通过采用气浮导轨作为滑动导向单元，对拉伸单元中反馈组件造成的误差小，从而可以尽可能确保掩模的拉伸精度。

作为优选，所述气浮导轨包括圆柱形滑动部和设置有圆柱形套筒的底座，所述圆柱形滑动部与所述圆柱形套筒滑动连接，且所述气浮导轨还设置有防扭单元，用于限制所述圆柱形滑动部相对所述圆柱形套筒转动。

作为优选，所述防扭单元包括：

连接板，其包括相互连接的连接臂和防扭臂，所述连接臂与所述圆柱形滑动部连接，所述防扭臂平行于所述圆柱形滑动部的滑动方向，且所述防扭臂能位于所述底座设置的活动通道内；

防扭凸起，位于所述活动通道的侧壁，且所述防扭臂的两侧均设置有所述防扭凸起。

本发明的有益效果：

通过设置有斜面的驱动块、以及设置于夹板上的凸起，使得驱使驱动块沿第一方向运动的驱动力转换为驱动凸起沿第二方向移动，进而实现夹板相互夹持或松开；使得上述掩模夹持单元在掩模夹持过程中仅仅存在夹板对掩模的夹持力，不存在其他方向扭转等附加力，保证了掩模PPA不受影响，从而避免了剪刀式夹持单元以及直接在夹板上垂直设置丝杆驱动组件对掩模进行夹持的过程中存在的其他扭转力对掩模PPA的影响。

附图说明

图1是本发明实施例中的掩模拉伸装置的结构示意图；

图2是本发明实施例中的掩模夹持单元的主视图；

图3是本发明实施例中的掩模夹持单元的第一视角的结构示意图；

图4是本发明实施例中的掩模夹持单元的第二视角的结构示意图；

图5是本发明实施例中的拉伸单元的主视图；

图6是本发明实施例中的滑动导向单元的第一视角的结构示意图；

图7是本发明实施例中的滑动导向单元的第二视角的结构示意图。

图中：

1、掩模夹持单元；11、夹板组件；111、夹板；112、凸起；113、滚轮；12、驱动块；121、斜槽；122、行程斜面；123、夹紧斜面；124、信号凸起；13、夹持驱动组件；131、驱动装置；132、第一导向杆；14、第二导向杆；15、位置信号开关；16、夹持框架；

2、拉伸单元；21、拉伸驱动件；22、拉伸框架；23、力传感器；24、弹性件；25、弹簧固定杆；26、固定环；

3、滑动导向单元；31、圆柱形滑动部；32、底座；321、圆柱形套筒；322、活动通道；33、连接板；331、连接臂；332、防扭臂；34、防扭凸起；

4、导向轴；5、总框架。

具体实施方式

为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本发明实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

图1是实施例中的掩模拉伸装置的结构示意图。该掩模拉伸装置包括掩模夹持单元1、拉伸单元2、以及位于掩模夹持单元1和拉伸单元2之间的滑动导向单元3。其中掩模夹持单元1完成掩模夹持后，拉伸单元2拉动滑动单元移动，进而拉动掩模夹持单元运动，实现掩模的拉伸。其中掩模夹持单元1、滑动导向单元3以及拉伸单元2三者的精度决定了直接影响掩模PPA。

其中，图2-4为掩模夹持单元不同视角的结构示意图。掩模夹持单元1包括驱动块12和用于夹持掩模的夹板组件11，夹板组件11包括能相互靠近的两个夹板111，其中一个夹板111设置有凸起112；驱动块12具有斜面，且斜面抵靠凸起112，驱动块12被配置为沿第一方向移动，以使凸起112沿第二方向移动，进而使夹板111夹持掩模。于本实施例中，第一方向和第二方向相互垂直。掩模作为有机发光显示装置的重要零部件，通过设置具有斜面的驱动块12、以及与夹板111连接的凸起112，使得夹持驱动组件13沿第一方向驱使驱动块12后，驱动块12的斜面进一步驱动凸起112沿第二方向移动，使得上述掩模夹持单元在掩模夹持过程中仅仅存在夹板对掩模的夹持力，不存在其他方向扭转等附加力，保证了掩模PPA不受影响，从而避免了剪刀式夹持单元以及直接在夹板上垂直设置丝杆驱动组件对掩模进行夹持的过程中存在的其他扭转力对掩模PPA的影响。

具体地，驱动块12连接有夹持驱动组件131，夹持驱动组件13包括驱动装置131和平行于第一方向设置的第一导向杆132，驱动装置131的驱动端与驱动块12的一端连接，第一导向杆132与驱动块12滑动连接。第一导向杆132可以避免驱动块12在驱动装置131的推动下发生倾倒。并且掩模夹持单元1还设置有第二导向杆14，第二导向杆14沿第二方向设置，夹板111与第二导向杆14滑动连接，以确保连接有凸起112的夹板111能够沿第二方向移动，从而夹紧掩模。具体地，掩模夹持单元1包括夹持框架16，驱动装置131的固定端、第一导向杆132的两端以及第二导向杆14的一端均与夹持框架16固定连接。

其中，用于为驱动块12提供驱动力的驱动装置131可以为直线电机以及气缸等其他直线驱动装置。于本实施例中，优选滚珠丝杠驱动组件，其中滚珠丝杠组件中的电机与夹持框架16固定连接，丝杠螺母设置于夹持框架16上，丝杠穿过夹持框架16进入夹持框架16内部与丝杠螺母配合。滚珠丝杠组件通过将转动转化为直线运动，控制驱动丝杠转动的电机能使驱动装置131精确地控制驱动块12的移动距离。

进一步地，限定驱动块12的斜面与第一方向的夹角小于45度，其中驱动块12、第二导向杆14和与驱动块12连接的夹持驱动组件13可以构成增力组件，满足斜楔夹紧机构的增力原理，从而使得增力组件能够提高对被夹持物的夹紧力。具体地，假设，斜面与第一方向夹角为10度，夹持驱动组件13提供的驱动力为500N，且斜面与凸起112之间的摩擦系数、驱动块12与第二导向杆之间的摩擦系数、驱动块12与第一导向杆132之间的摩擦系数均为0时，增力组件为夹板组件11提供的驱动力是2836N，约为夹持驱动组件13提供的驱动力的5.672倍；但是实际情况中，摩擦系数必然大于0，以通常钢-钢摩擦系数为例，增力组件为夹板组件11提供的驱动力可达975N，约为夹持驱动组件13提供的驱动力的1.96倍。可见，通过该掩模夹持单元1对掩模进行夹持后，再由拉伸单元2对掩模进行拉伸时，掩模夹持单元1能够牢牢地将掩模夹紧，防止了掩模在拉伸过程中容易出现滑落从而影响掩模拉伸精度的现象发生。当然，通过将驱动块12、第二导向杆14以及夹持驱动组件13形成增力组件后，可以适当减小夹持驱动组件13沿第一方向对驱动块施加的驱动力，从而降低能耗。

优选地，参照图2，斜面包括夹紧斜面123和行程斜面122，上述限定的斜面与第一方向的夹角小于45度，相当于限定夹紧斜面123与第一方向的第一夹角小于45度。并且夹紧斜面123与第一方向的第一夹角小于行程斜面122与第二方向的第二夹角。即行程斜面122的斜率大于夹紧斜面123的斜率。通过将行程斜面122的斜率大于夹紧斜面123的斜率可以使得设置有凸起112的夹板111能被快速压制移动，从而实现两个夹板111能够快速靠近。并且，优选第一夹角小于15度，根据实际情况，选定第一夹角小于常用物体的摩擦角，可以使得增力组件达到自锁。进一步，设定第二夹角的角度为45度～75度，这样设置使得行程斜面122具有一定斜率的情况下，避免其进入另一个自锁角度范围内。

进一步地，驱动块12设置有斜槽121，斜面设置于斜槽121的侧壁上；凸起112能够伸入斜槽121内。于本实施例中，斜槽121相对的两个侧壁上均设置有夹紧斜面123和行程斜面122。当夹持驱动组件13驱使驱动块12沿第一方向的正向移动时，在斜槽121内的凸起112被其中一个侧壁压紧，且被侧壁驱动向下移动，使得其中一个夹板111能向另一个夹板111靠近；当夹持驱动组件13驱使驱动块12沿第一方向反方向移动时，在斜槽121内的凸起112被另一侧壁压紧，且被该侧壁驱动向上移动，使得其中一个夹板111远离另一个夹板111。通过斜槽121的设置，使得掩模夹持单元1仅设置一组夹持驱动组件13即可实现驱动两夹板111相互靠近和分离。当然，于其他实施例中，也可以在设置有凸起112的夹板111上设置另一驱动装置，以驱动该夹板111远离另一夹板111，当两夹板111相互靠近时，由驱动块12上的驱动装置131驱动。另外，为了减小凸起112在斜槽121内移动时的摩擦，本实施例在凸起112上设置有滚轮113，实现将滑动摩擦转化为滚动摩擦。

进一步地，参照图3和图4，驱动块12包括间隔设置的第一侧板和第二侧板，第一侧板和第二侧板均设置有斜槽121；相应的，夹板111的两侧均设置有凸起112，且两侧的凸起112分别与第一侧板上的斜槽121和第二侧板上的斜槽121配合。这样设置使得驱动块12可以均匀受力，且夹板111不会发生倾斜，进而保证了夹板111的平稳靠近或平稳分离。

进一步地，再次参照图2，掩模夹持单元1还包括位置信号开关15，位置信号开关15与控制器电连接，用于反馈夹板组件11的工作状态。当被夹持物需要被夹持时，需要判定掩模夹持单元1的两夹板111处于夹紧状态还是处于打开状态，通过设置位置信号开关15可以使得操作人员直观地从控制终端了解到掩模夹持单元1的工作状态，从而进行被夹持物夹持时可以根据位置信号开关15的信号作出相应操作。具体地，位置信号开关15设置于夹持框架16上，其中一端能与驱动块12抵接，并且，驱动块12沿第二方向凸设有信号凸起124，位置信号开关15配置为其与信号凸起124的顶面抵接时表示夹板组件11夹紧或打开的工作状态。于本实施例中，驱动块12中的斜面沿第一方向的正向逐渐升高，当驱动装置131驱使驱动块12沿第一方向的正向移动时，两个夹板111逐渐靠近，并且驱动块12上凸设有信号凸起124，其中当两个夹板111处于夹紧状态时，位置信号开关15正好能与信号凸起124的顶面抵接，此时，位置信号开关15发出提示信息以表示两个夹板111处于夹紧状态；反之，则表示夹板组件11处于分离状态。其中位置信号开关15可以配置为信号灯，当夹板组件11处于夹紧状态时，位置信号开关15的信号灯处于点亮状态；当夹板组件11处于离开状态时，位置信号开关15的信号灯处于非点亮状态。当然，位置信号开关15还可以配置为其他提示装置，如语音提示、视觉提示和语音提示的结合等。

图5是本发明实施例中的拉伸单元2的主视图，拉伸单元2与掩模夹持单元1连接，能带动掩模夹持单元1沿掩模的延伸方向移动。掩模拉伸装置的拉伸精度直接影响有机发光显示装置的显示质量。当掩模夹持单元1能够保证其对掩模的夹持精度时，拉伸单元2的拉伸精度将直接影响掩模PPA。其中，本实施例中的掩模的延伸方向与第一方向相同。

具体的，拉伸单元2包括拉伸驱动件21和反馈组件，其中拉伸驱动件21用于带动掩模夹持单元1沿掩模的延伸方向移动；反馈组件，位于掩模夹持单元1和拉伸驱动件21之间，反馈组件能够反馈掩模被拉伸的长度；拉伸驱动件21和反馈组件均与控制器连接。通过设置反馈组件可以实时控制拉伸驱动件21对掩模夹持单元1的驱动程度，避免掩模拉伸过度或拉伸不足而影响掩模的PPA。其中反馈组件包括力传感器23和弹性件24，弹性件24和掩模夹持单元1分别位于力传感器23的两侧，并均与力传感器23连接，且弹性件24的弹性刚度小于掩模的弹性刚度。假设掩模的弹性刚度为K，掩模拉伸量为X，则掩模拉伸力F＝KX，根据力守恒定律，弹性件24的弹性刚度为P，弹性件24拉伸量为S，弹性件24的弹力为PS＝F，则KX＝F＝PS。其中掩模的拉伸量通常为纳米级别，拉伸驱动件21直接驱动掩模无法控制拉伸掩模的精度，故选用弹性刚度较低的弹性件24，掩模拉伸量X将小于弹性件24的拉伸量S，从而使得弹性件24拉伸量起到对掩模拉伸量放大的作用，当拉伸单元2直接拉伸掩模夹持单元1移动时，能够根据弹性件24的被拉伸量确定出掩模拉伸量，从而确保掩模的拉伸精度。

其中，弹性件24可以为固体弹簧、柔性橡胶块、空气弹簧和油压弹簧等。本实施例优选固体弹簧，固体弹簧结构简单，成本低，且安装方便，无需其他辅助设备。为叙述方便，固体弹簧简称弹簧。具体地，拉伸单元2还包括拉伸框架22，拉伸框架22的一侧与拉伸驱动件21连接，另一侧与反馈组件连接，拉伸驱动件21通过拉伸框架22带动反馈组件移动。其中，拉伸驱动件21与掩模夹持单元1中的驱动装置131相同，可以选用任意直线驱动装置，于本实施例中，拉伸驱动件21也选用滚珠丝杠组件。并且，反馈组件还包括弹簧固定杆25，弹簧固定杆25穿过拉伸框架22与力传感器23连接，弹性件24套设于弹簧固定杆25上，且拉伸驱动件21带动拉伸框架22沿弹簧固定杆25移动并压缩弹性件24。弹簧固定杆25靠近拉伸驱动件21的一侧设置有限位环，拉伸框架22设置有固定环26，弹性件24的一端与限位环抵接，另一端与固定环26连接。当拉伸驱动件21带动拉伸框架22沿第一方向正向移动时，拉伸框架22上的固定环26压缩弹簧，力传感器23感应弹簧的力，从而判定出掩模的拉伸量，同时带动反馈组件和掩模夹持单元沿第一方向移动。

为了避免拉伸驱动件21驱动拉伸框架22移动过程中发生倾斜，进而导致卡滞的现象发生。本实施例的掩模拉伸装置还包括导向轴4，导向轴4与总框架5固定连接，拉伸框架22与导向轴4滑动连接。其中拉伸框架22的两侧均设置有导向轴4。

本实施例中，拉伸单元2和掩模夹持单元1均沿第一方向的同一轴线设置，长度跨度较大，直接将拉伸单元2与掩模夹持单元1连接，掩模夹持单元1自由端的夹板组件11可能由于重力向下弯折，从而产生较大的弯矩，为此本实施例在掩模夹持单元1和拉伸单元2之间设置有滑动导向单元3，如图5所示。图5是本发明实施例中的掩模拉伸装置的结构示意图。滑动导向单元3包括滑动部和固定部，其中滑动部的两端分别连接掩模夹持单元1和拉伸单元2。具体地，参照图6和图7，图6是本发明实施例中的滑动导向单元3的第一视角的结构示意图；图7是本发明实施例中的滑动导向单元3的第二视角的结构示意图。本实施例中滑动导向单元3选用气浮导轨，气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。因其误差均化作用，可用比较低的制造精度来获得较高的导向精度。通过采用气浮导轨作为滑动导向单元3，对拉伸单元2中反馈组件造成的误差小，从而可以尽可能确保掩模的拉伸精度。于其他实施例中，对于拉伸精度要求较低的拉伸装置可以选用其他直线导轨。

再次参照图6和图7，本实施例的气浮导轨选用圆柱形滑动部31和设置有圆柱形套筒321的底座32，圆柱形滑动部31与圆柱形套筒321滑动连接，且圆柱形滑动部31的两端分别能够伸出圆柱形套筒321，并相应与掩模夹持单元1和拉伸单元2连接。气浮导轨还设置有防扭单元，用于限制圆柱形滑动部31相对圆柱形套筒321转动。具体地，防扭单元包括连接板33和防扭凸起34，连接板33包括相互连接的连接臂331和防扭臂332，连接臂331的一侧与圆柱形滑动部31连接，另一侧通过连接件与力传感器23连接；防扭臂332平行于圆柱形滑动部31的滑动方向，即平行于第一方向，且防扭臂332能位于底座32设置的活动通道322内；防扭凸起34位于活动通道322的侧壁，且防扭臂332的两侧均设置有防扭凸起34。当圆柱形滑动部31在圆柱形套筒321内有旋转趋势时，防扭臂332两侧的防扭凸起34可以限制防扭臂332发生转动。另外，气浮导轨内的圆柱形滑动部31沿第一方向往复运动时，防扭臂332也沿第一方向在活动通道322内进行往复运动，但防扭凸起34始终能对应上防扭臂332。具体地，圆柱形滑动部31一端与掩模夹持单元1中的夹持框架16连接，圆柱形滑动部31另一端通过连接臂331与拉伸单元2中的力传感器23连接。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (21)

1.一种掩模夹持单元，其特征在于，包括：

夹板(111)，用于夹持掩模，所述夹板上设置有凸起(112)；

驱动块(12)，所述驱动块(12)具有斜面，所述斜面抵靠所述凸起(112)；

所述驱动块(12)被配置为沿第一方向移动，以使所述凸起(112)沿第二方向移动以夹持所述掩模；

所述斜面包括夹紧斜面(123)和行程斜面(122)，所述夹紧斜面(123)与所述第一方向的第一夹角小于所述行程斜面(122)与所述第二方向的第二夹角。

2.根据权利要求1所述的夹持单元，其特征在于，所述驱动块连接有夹持驱动组件(13)，所述夹持驱动组件(13)包括驱动装置(131)和平行于所述第一方向设置的第一导向杆(132)，所述驱动装置(131)与所述驱动块(12)连接，所述第一导向杆(132)与所述驱动块(12)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述掩模夹持单元还包括夹持框架(16)，所述驱动装置(131)的固定端和所述第一导向杆(132)均与所述夹持框架(16)固定连接。

4.根据权利要求1所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述掩模夹持单元设置有第二导向杆(14)，所述第二导向杆(14)沿所述第二方向设置，所述夹板(111)与所述第二导向杆(14)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述第一夹角小于15度。

6.根据权利要求5所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述第二夹角为45度～75度。

7.根据权利要求1所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述掩模夹持单元还包括位置信号开关(15)，所述位置信号开关(15)与控制器电连接，用于反馈所述夹板(111)的工作状态。

8.根据权利要求7所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述驱动块(12)沿所述第二方向凸设有信号凸起(124)，所述位置信号开关(15)配置为其与所述信号凸起(124)的顶面抵接时表示所述夹板(111)夹紧或打开的工作状态。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述驱动块(12)设置有斜槽(121)，所述斜面设置于所述斜槽(121)的侧壁上，所述凸起(112)能够伸入所述斜槽(121)内。

10.根据权利要求9所述的掩模夹持单元，其特征在于，所述驱动块(12)包括间隔设置的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板均设置有所述斜槽(121)；

所述夹板(111)的两侧均设置有所述凸起(112)。

11.一种掩模拉伸装置，其特征在于，包括权利要求1-10任意一项所述的掩模夹持单元，还包括拉伸单元(2)，所述拉伸单元(2)与所述掩模夹持单元连接，能带动所述掩模夹持单元沿掩模的延伸方向移动。

12.根据权利要求11所述的掩模拉伸装置，其特征在于，所述拉伸单元(2)包括：

拉伸驱动件(21)，用于带动所述掩模夹持单元沿所述掩模的延伸方向移动；

反馈组件，位于所述掩模夹持单元和所述拉伸驱动件(21)之间，所述反馈组件能够反馈所述掩模被拉伸的长度；

所述拉伸驱动件(21)和所述反馈组件均与控制器连接。

13.根据权利要求12所述的掩模拉伸装置，其特征在于，所述反馈组件包括力传感器(23)和弹性件(24)，所述弹性件(24)和所述掩模夹持单元分别位于所述力传感器(23)的两侧，并均与所述力传感器(23)连接，且所述弹性件(24)的弹性刚度小于所述掩模的弹性刚度。

14.根据权利要求13所述的掩模拉伸装置，其特征在于，所述拉伸单元还包括拉伸框架(22)，所述拉伸框架(22)的一侧与所述拉伸驱动件(21)连接，另一侧与所述反馈组件连接，所述拉伸驱动件(21)通过所述拉伸框架(22)带动所述反馈组件移动。

15.根据权利要求14所述的掩模拉伸装置，其特征在于，所述反馈组件还包括弹簧固定杆(25)，所述弹簧固定杆(25)穿过所述拉伸框架(22)与所述力传感器(23)连接，所述弹性件(24)套设于所述弹簧固定杆(25)上，且所述拉伸驱动件(21)带动所述拉伸框架(22)沿所述弹簧固定杆(25)移动并压缩所述弹性件(24)。

16.根据权利要求15所述的掩模拉伸装置，其特征在于，所述弹簧固定杆(25)靠近所述拉伸驱动件(21)的一侧设置有限位环，所述拉伸框架(22)设置有固定环(26)，所述弹性件(24)的一端与所述限位环抵接，另一端与所述固定环(26)连接。

17.根据权利要求14所述的掩模拉伸装置，其特征在于，所述掩模拉伸装置还包括导向轴(4)，所述拉伸框架(22)与所述导向轴(4)滑动连接。

18.根据权利要求11所述的掩模拉伸装置，其特征在于，所述掩模拉伸装置还包括滑动导向单元(3)，所述滑动导向单元(3)位于所述掩模夹持单元和所述拉伸单元(2)之间，且所述滑动导向单元(3)的滑动部的两端分别连接所述掩模夹持单元和所述拉伸单元(2)。

19.根据权利要求18所述的掩模拉伸装置，其特征在于，所述滑动导向单元(3)包括气浮导轨。

20.根据权利要求19所述的掩模拉伸装置，其特征在于，所述气浮导轨包括圆柱形滑动部(31)和设置有圆柱形套筒(321)的底座(32)，所述圆柱形滑动部(31)与所述圆柱形套筒(321)滑动连接，且所述气浮导轨还设置有防扭单元，用于限制所述圆柱形滑动部(31)相对所述圆柱形套筒(321)转动。

21.根据权利要求20所述的掩模拉伸装置，其特征在于，所述防扭单元包括：

连接板(33)，其包括相互连接的连接臂(331)和防扭臂(332)，所述连接臂(331)与所述圆柱形滑动部(31)连接，所述防扭臂(332)平行于所述圆柱形滑动部(31)的滑动方向，且所述防扭臂(332)能位于所述底座(32)设置的活动通道(322)内；

防扭凸起(34)，位于所述活动通道(322)的侧壁，且所述防扭臂(332)的两侧均设置有所述防扭凸起(34)。

Images