CN111628016B - 一种光伏发电用硅材料及其制备方法 - Google Patents

一种光伏发电用硅材料及其制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种光伏发电用硅材料,其重量按下列配比:8‑12份晶硅籽晶、3‑7份聚硅氧烷、6‑10份锂化聚乙炔、1‑5份二苯基硅二醇、1‑5份己烷、1.6‑2份甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、4‑8份保护剂、0.6~1份二硫化钼。本发明还提出了一种光伏发电用硅材料的制备方法。本发明通过加入锂化聚乙炔,锂化聚乙炔具有极高的导电性能,在锂化聚乙炔融化后混合在硅材料内,在对光电转化过程中,极大的提高了光伏电池的光电转化率,同时加入保护剂,保护剂具有较强的耐酸耐碱性能,在硅材料使用过程中,有效的保护硅材料,提高硅材料的耐腐蚀性能。

Description

一种光伏发电用硅材料及其制备方法
技术领域
本发明涉及硅材料制备技术领域,尤其涉及一种光伏发电用硅材料及其制备方法。
背景技术
由于世界经济的快速发展,世界各国对能源的需求口益增长,而且传统能源口渐枯竭,因此在当今世界,能源短缺己经成为世界各国必须面对的共同问题。为了解决能源危机,世界各国一直持续研发各种可行的替代能源,其中以光伏电池最受瞩目。
随着光伏电池的发展,目前市场上主流的光伏电池为硅光伏电池,硅材料被大量运用到电池上,现有的硅材料使得光伏电池光电转化效率低,同时耐腐蚀性差。
发明内容
本发明提出了一种光伏发电用硅材料及其制备方法,以解决上述背景技术中提出的光伏电池光电转化效率低,同时耐腐蚀性差的问题。
本发明提出了一种光伏发电用硅材料,其重量按下列配比:
8-12份晶硅籽晶、3-7份聚硅氧烷、6-10份锂化聚乙炔、1-5份二苯基硅二醇、1-5份己烷、1.6-2份甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、4-8份云母粉、0.6~1份二硫化钼。
优选的,所述二苯基硅二醇与所述己烷的质量比为1:1。
本发明还提出了一种光伏发电用硅材料的制备方法,包括如下步骤:
S1:将8-12份晶硅籽晶、3-7份聚硅氧烷、6-10份锂化聚乙炔、1-5份二苯基硅二醇、1-5份己烷、1.6-2份甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、4-8份云母粉和0.6~1份二硫化钼放入密炼机中,控制温度为1500-1600℃,加热时间为6-10min,将溶合后的原料液混合均匀,然后压制成片,制成硅材料;
S2:在硅材料冷却至常温后,将硅材料放置真空反应室,并在硅材料周围放置介质,同时在真空反应室外放置多个激光器,激光器通过旋转座进行固定;
S3:控制器控制激光器进行启动,旋转座以一定的角度进行转动,使得激光器发出的激光射线在硅材料上移动,同时介质通电产生等离子附着在硅材料上,激光器照射16-20min后停止,硅材料放置48-72h;
S4:将硅材料放入反应腔内,通入反应气体,向反应腔内加上高频电,控制压力在加入一定的保护剂,保护剂熔化冷粘附却后,得到所需的硅材料。
优选的,所述反应气体为氮气或惰性气体。
优选的,所述S1中的压制成片的过程为将混合均匀的原料液导入模具中,将模具放入控温室,对模具进行逐级降温,使得模具冷却至常温后,取出成型的硅材料,并对硅材料进行压片处理。
优选的,所述逐级降温过程为控温室的初始温度为300-400℃,保温10-14min后,控温室内温度降温至80-100℃,保温32-40min后,控温室内温度降至常温,静置模具冷却至常温。
本发明提出的一种光伏发电用硅材料及其制备方法,有益效果在于:
通过加入锂化聚乙炔,锂化聚乙炔具有极高的导电性能,在锂化聚乙炔融化后混合在硅材料内,在对光电转化过程中,极大的提高了光伏电池的光电转化率,同时加入保护剂,保护剂具有较强的耐酸耐碱性能,在硅材料使用过程中,有效的保护硅材料,提高硅材料的耐腐蚀性能。
具体实施方式
下面结合具体实施例来对本发明做进一步说明。
实施例1
本发明提出了一种光伏发电用硅材料,其重量按下列配比:
8份晶硅籽晶、3份聚硅氧烷、6份锂化聚乙炔、1份二苯基硅二醇、1份己烷、1.6份甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、4份云母粉、0.6份二硫化钼。
二苯基硅二醇与优选的己烷的质量比为1:1。
本发明还提出了一种光伏发电用硅材料的制备方法,包括如下步骤:
S1:将8份晶硅籽晶、3份聚硅氧烷、6份锂化聚乙炔、1份二苯基硅二醇、1份己烷、1.6份甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、4份云母粉和0.6份二硫化钼放入密炼机中,将原料熔化,控制温度为1500℃,加热时间为6min,将溶合后的原料液混合均匀,然后压制成片,制成硅材料;
S2:在硅材料冷却至常温后,将硅材料放置真空反应室,避免空气中的杂质对硅材料造成干扰,并在硅材料周围放置介质,同时在真空反应室外放置多个激光器,激光器通过旋转座进行固定,通过旋转座可调节激光器的照射角度;
S3:控制器控制激光器进行启动,旋转座以一定的角度进行转动,使得激光器发出的激光射线在硅材料上移动,同时介质通电产生等离子附着在硅材料上,激光器照射16min后停止,硅材料放置48h;
S4:将硅材料放入反应腔内,通入反应气体,向反应腔内加上高频电,控制压力在加入一定的保护剂,保护剂保护硅材料,提高硅材料的抗腐蚀性能,保护剂熔化冷粘附却后,得到所需的硅材料。
反应气体为氮气或惰性气体。
S1中的压制成片的过程为将混合均匀的原料液导入模具中,将模具放入控温室,对模具进行逐级降温,使得模具冷却至常温后,取出成型的硅材料,并对硅材料进行压片处理。
逐级降温过程为控温室的初始温度为300℃,保温10min后,控温室内温度降温至80℃,保温32min后,控温室内温度降至常温,静置模具冷却至常温。
实施例2
本发明提出了一种光伏发电用硅材料,其重量按下列配比:
9份晶硅籽晶、4份聚硅氧烷、7份锂化聚乙炔、2份二苯基硅二醇、12份己烷、1.7份甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、5份云母粉、0.7份二硫化钼。
二苯基硅二醇与优选的己烷的质量比为1:1。
本发明还提出了一种光伏发电用硅材料的制备方法,包括如下步骤:
S1:将9份晶硅籽晶、4份聚硅氧烷、7份锂化聚乙炔、2份二苯基硅二醇、12份己烷、1.7份甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、5份云母粉和0.7份二硫化钼放入密炼机中,将原料熔化,控制温度为1520℃,加热时间为7min,将溶合后的原料液混合均匀,然后压制成片,制成硅材料;
S2:在硅材料冷却至常温后,将硅材料放置真空反应室,避免空气中的杂质对硅材料造成干扰,并在硅材料周围放置介质,同时在真空反应室外放置多个激光器,激光器通过旋转座进行固定,通过旋转座可调节激光器的照射角度;
S3:控制器控制激光器进行启动,旋转座以一定的角度进行转动,使得激光器发出的激光射线在硅材料上移动,同时介质通电产生等离子附着在硅材料上,激光器照射17min后停止,硅材料放置54h;
S4:将硅材料放入反应腔内,通入反应气体,向反应腔内加上高频电,控制压力在加入一定的保护剂,保护剂保护硅材料,提高硅材料的抗腐蚀性能,保护剂熔化冷粘附却后,得到所需的硅材料。
反应气体为氮气或惰性气体。
S1中的压制成片的过程为将混合均匀的原料液导入模具中,将模具放入控温室,对模具进行逐级降温,使得模具冷却至常温后,取出成型的硅材料,并对硅材料进行压片处理。
逐级降温过程为控温室的初始温度为320℃,保温11min后,控温室内温度降温至85℃,保温34min后,控温室内温度降至常温,静置模具冷却至常温。
实施例3
本发明提出了一种光伏发电用硅材料,其重量按下列配比:
10份晶硅籽晶、5份聚硅氧烷、8份锂化聚乙炔、3份二苯基硅二醇、13份己烷、1.8份甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、6份云母粉、0.8份二硫化钼。
二苯基硅二醇与优选的己烷的质量比为1:1。
本发明还提出了一种光伏发电用硅材料的制备方法,包括如下步骤:
S1:将10份晶硅籽晶、5份聚硅氧烷、8份锂化聚乙炔、3份二苯基硅二醇、13份己烷、1.8份甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、6份云母粉和0.8份二硫化钼放入密炼机中,将原料熔化,控制温度为1550℃,加热时间为8min,将溶合后的原料液混合均匀,然后压制成片,制成硅材料;
S2:在硅材料冷却至常温后,将硅材料放置真空反应室,避免空气中的杂质对硅材料造成干扰,并在硅材料周围放置介质,同时在真空反应室外放置多个激光器,激光器通过旋转座进行固定,通过旋转座可调节激光器的照射角度;
S3:控制器控制激光器进行启动,旋转座以一定的角度进行转动,使得激光器发出的激光射线在硅材料上移动,同时介质通电产生等离子附着在硅材料上,激光器照射18min后停止,硅材料放置57h;
S4:将硅材料放入反应腔内,通入反应气体,向反应腔内加上高频电,控制压力在加入一定的保护剂,保护剂保护硅材料,提高硅材料的抗腐蚀性能,保护剂熔化冷粘附却后,得到所需的硅材料。
反应气体为氮气或惰性气体。
S1中的压制成片的过程为将混合均匀的原料液导入模具中,将模具放入控温室,对模具进行逐级降温,使得模具冷却至常温后,取出成型的硅材料,并对硅材料进行压片处理。
逐级降温过程为控温室的初始温度为350℃,保温12min后,控温室内温度降温至90℃,保温36min后,控温室内温度降至常温,静置模具冷却至常温。
实施例4
本发明提出了一种光伏发电用硅材料,其重量按下列配比:
11份晶硅籽晶、6份聚硅氧烷、9份锂化聚乙炔、4份二苯基硅二醇、4份己烷、1.9份甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、7份云母粉、0.9份二硫化钼。
二苯基硅二醇与优选的己烷的质量比为1:1。
本发明还提出了一种光伏发电用硅材料的制备方法,包括如下步骤:
S1:将原料放入密炼机中,将原料熔化,控制温度为1570℃,加热时间为9min,将溶合后的原料液混合均匀,然后压制成片,制成硅材料;
S2:在硅材料冷却至常温后,将硅材料放置真空反应室,避免空气中的杂质对硅材料造成干扰,并在硅材料周围放置介质,同时在真空反应室外放置多个激光器,激光器通过旋转座进行固定,通过旋转座可调节激光器的照射角度;
S3:控制器控制激光器进行启动,旋转座以一定的角度进行转动,使得激光器发出的激光射线在硅材料上移动,同时介质通电产生等离子附着在硅材料上,激光器照射19min后停止,硅材料放置66h;
S4:将硅材料放入反应腔内,通入反应气体,向反应腔内加上高频电,控制压力在加入一定的保护剂,保护剂保护硅材料,提高硅材料的抗腐蚀性能,保护剂熔化冷粘附却后,得到所需的硅材料。
反应气体为氮气或惰性气体。
S1中的压制成片的过程为将混合均匀的原料液导入模具中,将模具放入控温室,对模具进行逐级降温,使得模具冷却至常温后,取出成型的硅材料,并对硅材料进行压片处理。
逐级降温过程为控温室的初始温度为370℃,保温13min后,控温室内温度降温至95℃,保温38min后,控温室内温度降至常温,静置模具冷却至常温。
实施例5
本发明提出了一种光伏发电用硅材料,其重量按下列配比:
12份晶硅籽晶、7份聚硅氧烷、10份锂化聚乙炔、5份二苯基硅二醇、5份己烷、2份甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、8份云母粉、1份二硫化钼。
二苯基硅二醇与优选的己烷的质量比为1:1。
本发明还提出了一种光伏发电用硅材料的制备方法,包括如下步骤:
S1:将12份晶硅籽晶、7份聚硅氧烷、10份锂化聚乙炔、5份二苯基硅二醇、5份己烷、2份甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、8份云母粉和1份二硫化钼放入密炼机中,将原料熔化,控制温度为1600℃,加热时间为10min,将溶合后的原料液混合均匀,然后压制成片,制成硅材料;
S2:在硅材料冷却至常温后,将硅材料放置真空反应室,避免空气中的杂质对硅材料造成干扰,并在硅材料周围放置介质,同时在真空反应室外放置多个激光器,激光器通过旋转座进行固定,通过旋转座可调节激光器的照射角度;
S3:控制器控制激光器进行启动,旋转座以一定的角度进行转动,使得激光器发出的激光射线在硅材料上移动,同时介质通电产生等离子附着在硅材料上,激光器照射120min后停止,硅材料放置72h;
S4:将硅材料放入反应腔内,通入反应气体,向反应腔内加上高频电,控制压力在加入一定的保护剂,保护剂保护硅材料,提高硅材料的抗腐蚀性能,保护剂熔化冷粘附却后,得到所需的硅材料。
S1中的压制成片的过程为将混合均匀的原料液导入模具中,将模具放入控温室,对模具进行逐级降温,使得模具冷却至常温后,取出成型的硅材料,并对硅材料进行压片处理。
反应气体为氮气或惰性气体。
逐级降温过程为控温室的初始温度为400℃,保温14min后,控温室内温度降温至100℃,保温40min后,控温室内温度降至常温,静置模具冷却至常温。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种光伏发电用硅材料,其特征在于,其重量按下列配比:
8-12份晶硅籽晶、3-7份聚硅氧烷、6-10份锂化聚乙炔、1-5份二苯基硅二醇、1-5份己烷、1.6-2份甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、4-8份云母粉、0.6~1份二硫化钼。
2.根据权利要求1所述的一种光伏发电用硅材料,其特征在于,所述二苯基硅二醇与所述己烷的质量比为1:1。
3.根据权利要求1-2之一所述的一种光伏发电用硅材料的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1:将8-12份晶硅籽晶、3-7份聚硅氧烷、6-10份锂化聚乙炔、1-5份二苯基硅二醇、1-5份己烷、1.6-2份甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、4-8份云母粉和0.6~1份二硫化钼放入密炼机中,控制温度为1500-1600℃,加热时间为6-10min,将溶合后的原料液混合均匀,然后压制成片,制成硅材料;
S2:在硅材料冷却至常温后,将硅材料放置真空反应室,并在硅材料周围放置介质,同时在真空反应室外放置多个激光器,激光器通过旋转座进行固定;
S3:控制器控制激光器进行启动,旋转座以一定的角度进行转动,使得激光器发出的激光射线在硅材料上移动,同时介质通电产生等离子附着在硅材料上,激光器照射16-20min后停止,硅材料放置48-72h;
S4:将硅材料放入反应腔内,通入反应气体,向反应腔内加上高频电,控制压力在加入一定的保护剂,保护剂熔化冷粘附却后,得到所需的硅材料。
4.根据权利要求3所述的一种光伏发电用硅材料的制备方法,其特征在于,所述反应气体为惰性气体。
5.根据权利要求3所述的一种光伏发电用硅材料的制备方法,其特征在于,所述S1中的压制成片的过程为将混合均匀的原料液导入模具中,将模具放入控温室,对模具进行逐级降温,使得模具冷却至常温后,取出成型的硅材料,并对硅材料进行压片处理。
6.根据权利要求5所述的一种光伏发电用硅材料的制备方法,其特征在于,所述逐级降温过程为控温室的初始温度为300-400℃,保温10-14min后,控温室内温度降温至80-100℃,保温32-40min后,控温室内温度降至常温,静置模具冷却至常温。
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EP3352895B8 (en) * 2015-09-23 2020-11-04 Rhodia Operations Compostion comprising hydrophobically-modified cerium oxide particles
JP2018135224A (ja) * 2017-02-20 2018-08-30 一般財団法人ファインセラミックスセンター 炭化珪素焼結体の製造方法
CN107512718B (zh) * 2017-08-07 2019-10-11 湖北工业大学 一种高金属含量的纳米碳化硅材料的制备方法和应用
CN108102375A (zh) * 2017-12-13 2018-06-01 中国飞机强度研究所 一种阻尼硅材料及其制备方法

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