CN111591695A - 吊顶输送车 - Google Patents
吊顶输送车 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111591695A CN111591695A CN202010068516.5A CN202010068516A CN111591695A CN 111591695 A CN111591695 A CN 111591695A CN 202010068516 A CN202010068516 A CN 202010068516A CN 111591695 A CN111591695 A CN 111591695A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- rail
- branch
- main
- guide
- traveling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0297—Wafer cassette
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Engine Equipment That Uses Special Cycles (AREA)
- Medicines Containing Plant Substances (AREA)
Abstract
在本发明所涉及的实施方式的一例的吊顶输送车(10)中,在沿着包括主轨道和分支轨道的输送轨道行进的吊顶输送车(10)上方分别在行进方向的左侧和右侧设置有至少一个的引导辊(32L、32R),由主轨道的主导轨(40M)或者分支轨道的分支导轨(40B)的外表面引导。该主导轨(40M)或者分支导轨(40B)设置于吊顶输送车(10)的至少一对的左右的行进车轮(18L、18R)通过的区域的上方。
Description
技术领域
本发明涉及吊顶输送车,尤其涉及沿着包括主轨道和分支轨道的输送轨道行进的吊顶输送车。
背景技术
以往,对于半导体制造工厂等的执行包括对物品进行输送的工序的作业的设备而言,有时为了物品的输送而使用如图5所示的吊顶输送车80。此外,图5是示出从其行进方向的后方观察吊顶输送车80的情形的后视图。该吊顶输送车80具有行进台车86、侧辊89L、89R以及引导辊87。行进台车86具备左右一对的车轮88。侧辊89L、89R在行进台车86的下方设置为左右一对。引导辊87在行进台车86的上方设置为能够沿左右方向滑动。并且,如图5中的虚拟线所示,在行进台车86的下方连接有物品保持部84,该物品保持部84对成为输送对象的物品82(例如对半导体基板进行收纳的壳体等)进行保持。
行进台车86的车轮88支承于左右一对的行进铁轨92、94。通过利用悬吊装置90从设备的顶壁进行悬吊等方法而将该行进铁轨92、94设置于设备的顶壁侧。并且,行进铁轨92、94沿着预先规定的输送轨道而形成吊顶输送车80的行进路径。车轮88在该行进铁轨92、94上滚动,并且侧辊89L、89R沿着行进铁轨92、94的内表面(图中内侧的侧面),由此能够使得行进台车86沿着输送轨道在设备内行进。台车86这样行进而沿着输送轨道对保持于与行进台车86连接的物品保持部84的物品82进行输送。
另外,有时输送轨道在设备内向2个方向以上的方向分岔(分支)。在这样的情况下,为了将吊顶输送车80向适当的分岔目的地(方向)引导,在分支地点的附近将引导铁轨96设置于行进铁轨92、94的上方。虽然这里并未图示,但该引导铁轨96在分支地点设置为两岔状。根据引导辊87与该两岔状的引导铁轨96的哪一侧接触并滚动(被引导)的情况而使得吊顶输送车80的行进方向发生变化。
如前所述,图5所示的引导辊87能够沿图中的左右方向滑动,从而能够选择与引导铁轨96的图中的右侧的侧面和左侧的侧面中的哪一方接触。对吊顶输送车80的动作进行控制的控制器(未图示)使引导辊87沿左右方向滑动,由此选择与物品82应当被输送的目的地相应的适当的分支目的地。
作为一例而示出了如下结构的情况:输送轨道分支出直行的主轨道和朝向右侧的分支轨道,引导铁轨96沿着该输送轨道而分支出直线状的部分和右转的部分这两个分岔部分。如图5所示,若以与引导铁轨96的右侧面接触的方式对引导辊87进行引导,则吊顶输送车80由引导铁轨96的右转部分引导而朝向右侧,从而将该吊顶输送车80向分支轨道引导。另一方面,如图5中的虚拟线所示,若以与引导铁轨96的左侧面接触的方式对引导辊87进行引导,则吊顶输送车80由引导铁轨96的直线状的部分引导而保持原样地直行,从而将该吊顶输送车80向主轨道引导。
为了使上述吊顶输送车80沿着预先规定的输送轨道以准确且尽量不引起振动的方式行进,必须以准确的位置关系设置行进铁轨92、94、引导铁轨96。日本特开2018-062241号公报中公开了用于对这样的各铁轨的设置状态进行检查的铁轨检查装置。
发明内容
然而,在现有技术中,即便使用如日本特开2018-062241号公报中记载的铁轨检查装置,也难以准确地设置各铁轨。如图5中记载的那样,现有的用于对吊顶输送车80进行引导的引导铁轨96相对于左右一对的行进铁轨92、94设置于左右方向的中央上方。因此,在引导铁轨96的位置调整时,作业者必须在行进铁轨92、94彼此间的广阔范围内进行调整。并且,如上所述,引导辊87有可能与引导铁轨96的左侧面接触,也有可能与右侧面接触。因此,必须将导轨96设置为使得其左侧面和右侧面的双方处于准确的位置、朝向。难以这样将引导铁轨96设置为双方的侧面均处于准确的位置和朝向。
利用日本特开2018-062241号公报记载的铁轨检查装置能够对引导铁轨96的一侧的侧面和一侧的行进铁轨之间的宽度方向(左右方向)上的间隔进行检查,但是,至于另一侧的侧面的位置是否准确地设置,若不再次对另一侧的侧面进行检查则无法获知。并且,直至将任意侧面都设置于准确的位置为止,需要反复执行多次对铁轨位置的微调整和针对两个侧面的检查而耗费大量工时的作业。
另外,现有的吊顶输送车80还存在如下问题:引导辊87以及引导铁轨96会在输送轨道的分支地点附近产生磨损。在输送轨道的分支地点附近,在从分支源头过渡至分歧目的地的区间,有时左右一对的行进铁轨92、94中的一方暂时中断。例如在吊顶输送车80按照从直行的主轨道向朝向右侧的分支轨道分支的路径行进时,暂时从不存在图5所示的左侧的行进铁轨92的区间通过。在该区间内未受到行进铁轨92的支承的左侧的车轮88受到重力的作用,从而使得吊顶输送车80朝向图中的左下方向倾斜的力发挥作用。然而,如图5所示,若引导辊87与引导铁轨96的右侧面接触,则欲使吊顶输送车80向图中的左下方向倾斜的力由引导铁轨96的右侧面承受,从而能防止吊顶输送车80降落或倾斜。
然而,欲使吊顶输送车80向左下方向倾斜的动作会伴随有使其以右侧的车轮88与右侧的行进铁轨94的接触点为中心点而向图中的左侧转弯的力,因此会对相对于右侧的车轮88与右侧的行进铁轨94的接触点在左右方向上偏离的引导铁轨96的右侧面与引导辊87的接触点施加朝向图中的左下方向的力。
即,不仅左右方向的力,上下方向的力也作用于引导铁轨96与引导辊87之间。引导辊87的左右方向的动作由引导铁轨96限制,但上下方向的动作并未受到限制,因此,因上下方向的力发挥作用而使得引导辊87相对于引导铁轨96的右侧面沿上下方向滑动,从而有可能在引导辊87与引导铁轨96之间产生摩擦而导致引导辊87以及引导铁轨96的表面磨损。另外,若因该磨损而从引导辊87以及引导铁轨96产生粉尘,则无法满足半导体制造工厂等的输送设备所要求的高水平的清洁度。
因此,本发明的技术问题在于,提供容易调整各铁轨的位置关系、且引导辊以及引导铁轨磨损的可能性较小的吊顶输送车。
为了解决上述技术问题,本发明所涉及的吊顶输送车的实施方式的一例沿着包括多条主轨道以及将所述多条主轨道彼此连接的分支轨道在内的输送轨道行进,其特征在于,所述吊顶输送车具备:至少一对的左右的行进车轮;以及引导辊,其在所述行进车轮的上方分别在行进方向的左侧和右侧设置有至少一个,所述主轨道具备主铁轨和主导轨,所述主铁轨在其上表面对所述行进车轮进行支承,所述主导轨设置于所述主铁轨中的所述行进车轮通过的区域的上方而对所述引导辊进行引导,所述分支轨道具备分支铁轨和分支导轨,所述分支铁轨在其上表面对所述行进车轮进行支承,所述分支导轨设置于所述分支铁轨中的所述行进车轮通过的区域的上方而对所述引导辊进行引导,在针对所述主导轨以及所述分支导轨而将所述主轨道以及所述分支轨道的中心侧的侧面称为内表面、且将相反侧的侧面称为外表面的情况下,所述引导辊由所述主导轨或者所述分支导轨的外表面引导。
另外,优选地,所述吊顶输送车可以具备在所述行进车轮的下方分别设置于行进方向的左侧和右侧的侧辊,所述侧辊可以由所述主铁轨以及所述分支铁轨的内表面引导。
另外,优选地,所述侧辊可以针对所述引导辊的每一个在行进方向的前后方以2个为1组而设置。
另外,优选地,所述引导辊可以设置为:当由所述主导轨或者所述分支导轨引导时,所述引导辊与所述主导轨或者所述分支导轨的接触点在俯视时位于所述行进车轮的旋转轴上。
另外,优选地,所述主导轨以及所述分支导轨可以设置为:所述主导轨以及所述分支导轨的外表面在俯视时与所述行进车轮的行进方向中心线一致。
根据本发明所涉及的吊顶输送车的实施方式的一例,用于将引导辊向主轨道引导的主导轨、和用于将引导辊向分支轨道引导的分支导轨分别单独地设置。因此,当调整主导轨的位置时,只要仅对主铁轨的内表面与主导轨的外表面的位置关系进行调整即可,无需考虑主导轨的内表面的位置和朝向。同样,当调整分支导轨的位置时,只要仅对分支铁轨的内表面与分支导轨的外表面的位置关系进行调整即可,无需考虑分支导轨的内表面的位置和朝向。进一步地,主导轨设置于主铁轨的上方,分支导轨设置于分支铁轨的上方,因此,主导轨与主铁轨的距离以及分支导轨与分支铁轨的距离缩短,各铁轨的位置关系的调整变为该短距离内的调整。因此,容易进行各铁轨的位置关系的调整。
另外,引导辊由在行进车轮通过的区域的上方设置的主导轨或者分支导轨引导。因此,无论在左右一对的行进车轮的哪一方在分支轨道中未被支承的状态下,从被支承的行进车轮与进行支承的铁轨的接触点到引导辊相对于主导轨或者分支导轨的接触点的左右方向上的距离都缩短。因此,施加于主导轨或者分支导轨的上下方向的力减小,从而引导辊、主导轨、分支导轨磨损、以及产生粉尘的可能性降低。
附图说明
图1是概要地示出供本发明所涉及的实施方式的一例的吊顶输送车行进的输送路径的一部分的俯视图。
图2是示出吊顶输送车的结构的后视图。
图3是图2的A-A向视图。
图4是概要地示出引导辊由分支导轨引导的情形的俯视图。
图5是示出现有的吊顶输送车的结构的后视图。
附图标记说明
10…吊顶输送车;18L…行进车轮;18R…行进车轮;22…主铁轨;24…分支铁轨;32L…引导辊;32R…引导辊;40M…主导轨;40B…分支导轨;50L…侧辊;50R…侧辊。
具体实施方式
在图1的俯视图中,对于本发明所涉及的实施方式的一例,概要地示出了供吊顶输送车10行进的输送轨道。该输送轨道设置于例如半导体制造工厂等的、执行包括对成为输送对象的物品12(例如对半导体基板进行收纳的壳体等)进行输送的工序在内的作业的设备内。
图1的输送轨道包括多条主轨道RM。各主轨道RM是从设备内针对物品12进行各种作业的区间通过的轨道,根据对物品12进行的作业的种类而设置有相互独立的主轨道RM。例如在半导体制造工厂的情况下,沿着主轨道RM设置有多个物品处理部,吊顶输送车10根据制造的半导体的种类、加工的阶段而从适当的主轨道RM通过。
并且,在输送轨道设置有将上述多条主轨道RM彼此连接的分支轨道RB。在输送轨道存在向主轨道RM和分支轨道RB分岔的多个分支区间,在任意主轨道RM行进的吊顶输送车10在分支区间内,根据随后应当朝向的主轨道RM(由上位系统等指定)而选择保持原样地在当前正在行进的主轨道RM行进、还是经由分支轨道RB而朝向其他主轨道RM。在下述说明中,对图1中由虚拟线包围的分支区间MB、即分支出直线状的主轨道RM和朝向右侧的分支轨道RB的区间进行说明。
图2中示出了从行进方向的后方观察位于分支区间MB的吊顶输送车10的后视图。另外,图3中示出图2中的A-A向视图。该吊顶输送车10借助具备至少一对(如图3所示,这里为两对)的左右的行进车轮18L、18R的行进台车16而在设备内行进。并且,在行进台车16的下方,连接有对成为输送对象的物品12进行保持的物品保持部14。虽然这里并未图示,但物品保持部14具备使物品12升降的机构,由此使得物品保持部14能够在输送轨道的下方针对物品12进行作业的场所(半导体制造工厂中的物品处理部等)与在顶壁侧的输送轨道行进的吊顶输送车10之间对物品12进行移载。
另外,利用具备倒U字状的框体25的悬吊装置20从设备的顶壁悬吊支承的主铁轨22和分支铁轨24沿着输送轨道而配置,分支区间MB的吊顶输送车10的行进台车16所具备的左右的行进车轮18L、18R由上述主铁轨22以及分支铁轨24支承。在图2中,左侧的行进车轮18L支承于主铁轨22上表面,右侧的行进车轮18R支承于分支铁轨24上表面。此外,在主轨道RM中,左右双方的铁轨为主铁轨22,左右的行进车轮18L、18R均由主铁轨22支承。
图3中示出了吊顶输送车10从主轨道RM进入分支区间MB的情形。图3中的右侧的铁轨在主轨道RM中为主铁轨22,在分支区间MB中则为分支铁轨24。图中描绘出了使得该主铁轨22与分支铁轨24连续的铁轨,但也可以将主铁轨22与分支铁轨24设为分体结构、且在它们的边界处形成微小的间隙。
在这些主铁轨22和分支铁轨24的内表面(图2、图3中的靠近中央的侧面、即主轨道RM或者分支轨道RB的中心侧的侧面),在行进台车16的下方设置的左右的侧辊50L、50R朝向滚动面(转动面)。在主轨道RM中,这些侧辊50L、50R由主铁轨22的内表面引导而使得吊顶输送车10沿着主轨道RM行进。
在行进台车16的上方安装有引导辊装置30。该引导辊装置30具备:左右的引导辊32L、32R,它们由后述的主导轨40M或者分支导轨40B引导;引导辊驱动部34,其使得上述引导辊32L、32R移动;以及引导辊基座31,其对引导辊驱动部34进行支承。引导辊驱动部34通过使左右的引导辊32L、32R相对于引导辊装置30乃至吊顶输送车10整体的位置发生变化而能够对左侧的引导辊32L由主导轨40M引导的状态、和右侧的引导辊32R由分支导轨40B引导的状态进行切换。引导辊32L、32R设置为:在行进车轮18L、18R的上方分别在行进方向的左侧和右侧存在至少一个。在图3中,与2对行进车轮18L、18R对应地设置有两个引导辊装置30,从而在左侧和右侧分别存在2个引导辊32L、32R。
主导轨40M以及分支导轨40B分别设置于主铁轨22以及分支铁轨24的上方、且处于比吊顶输送车10高的位置。这里,在对主铁轨22、分支铁轨24进行悬吊支承的倒U字状的框体25、且在成为倒U字的上边的部分的下表面,(通过螺纹紧固等)安装有主导轨40M以及分支导轨40B。
主导轨40M以及分支导轨40B具有板状的部分,该板状的部分在相对于输送方向的左右(图2、图3中的左右)侧分别朝向两个面。将主轨道RM以及分支轨道RB的中心侧(图2、图3中的中央侧)的面作为内表面并将相反侧的面作为外表面,并设置为由外表面对引导辊32L、32R进行引导。图2、图3中示出了由分支导轨40B的外表面(图2、图3中为右侧的面)对右侧的引导辊32R进行引导的情形。
在图2、图3所示的引导辊装置30中,引导辊32L、32R分别安装于以引导辊驱动部34为基部而在水平面内旋转的臂部的前端。该臂部形成为如下尺寸:以相当于引导辊32L、32R的半径的长度而比从引导辊驱动部34中成为旋转的基部的位置(图3中为输送轨道的中心附近)至主导轨40M或者分支导轨40B为止的直线距离长。图3所示的引导辊装置30形成为如下状态:左侧的引导辊32L用的臂部形成接近行进方向的角度(相对于行进方向为锐角),右侧的引导辊32R用的臂部形成朝向右侧的角度(相对于行进方向为直角)。
吊顶输送车10在该状态下行进,从而将吊顶输送车10向朝向右侧的分支轨道RB引导。图4的俯视图中,概要地示出了右侧的引导辊32R由分支导轨40B引导的情形。为了便于说明,图4中针对吊顶输送车10而省略了输送台车16的图示,仅示出了引导辊装置30中的引导辊驱动部34和左右的引导辊32L、32R的位置。
分支导轨40B设置于沿着朝向右侧的分支轨道RB的分支铁轨24的上方,如图4所示,其俯视时形状为沿着分支轨道RB向右侧弯曲的形状。若朝向分支轨道RB的预定的吊顶输送车10(图4中仅示出了引导辊装置30)接近分支区间MB,则引导辊驱动部34使右侧的引导辊32R用的臂部旋转而形成朝向右侧的角度,从而使得引导辊装置30形成为图4中的实线所示的状态。若吊顶输送车10在该状态下前进,则右侧的引导辊32R由分支导轨40B的外表面(图4中为右侧的面)引导,由此将包括引导辊装置30的吊顶输送车10向沿着分支导轨40B的俯视时形状的方向、即朝向右侧的分支轨道RB引导。
另一方面,主导轨40M在分支区间MB设置于沿着直线状的主轨道RM的主铁轨22的上方,如图4所示,其俯视时形状也是沿着主铁轨22的直线状。若在主轨道RM直行的预定的吊顶输送车10接近分支区间MB,则如图4中的虚拟线所示,引导辊驱动部34使左侧的引导辊32L用的臂部旋转而形成朝向左侧的角度,并且使右侧的引导辊32R用的臂部旋转而形成接近行进方向的角度。若是该状态下的(虚拟线所示)引导辊装置30,则左侧的引导辊32L由主导轨40M的外表面(图4中为左侧的面)引导,右侧的引导辊未被引导。若吊顶输送车10在该状态下前进,则左侧的引导辊32L由主导轨40M的外表面引导,从而将包括引导辊装置30的吊顶输送车10向沿着主导轨40M的俯视时形状的方向、即直线状的主轨道RM引导。
此外,优选地,为了不产生对左右的引导辊32L、32R一同进行引导的状态、即左侧的引导辊32L由主导轨40M引导且右侧的引导辊32R由分支导轨40B引导这一状态,例如利用齿轮等将两个臂部的驱动机构连结而使得左侧的引导辊32L用的臂部的动作和右侧的引导辊32R用的臂部的动作联动。即,可以形成为:若某一方的臂部与行进方向成直角,则另一方的臂部形成接近行进方向的角度,从而仅对左侧和右侧的引导辊32L、32R中的某一方进行引导。
根据如上所述的本实施方式的吊顶输送车10,与现有技术相比,容易进行各铁轨的位置关系的调整。如图2所示,主导轨40M和分支导轨40B相互独立设置,因此,为了适当地将吊顶输送车10向主轨道RM引导,作业者只要对主导轨40M的位置进行调整而使得主导轨40M的外表面与主铁轨22的内表面的位置关系变得适当即可,无需考虑主导轨40M的内表面的位置和朝向。另外,为了适当地将吊顶输送车10向分支轨道RB引导,作业者只要对分支导轨40B的位置进行调整而使得分支导轨40B的外表面与分支铁轨24的内表面的位置关系变得适当即可,无需考虑分支导轨40B的内表面的位置和朝向。
进一步地,由于主导轨40M设置于主铁轨22的上方、且分支导轨40B设置于分支铁轨24的上方,因此,主导轨40M与主铁轨22的距离以及分支导轨40B与分支铁轨24的距离缩短,从而各铁轨的位置关系的调整变为该短距离内的调整。因此,容易进行各铁轨的位置关系的调整。
另外,对于本实施方式的吊顶输送车10而言,在左右的行进车轮18L、18R的某一方未被支承的状态下,引导辊32L、32R、主导轨40M、分支导轨40B磨损的可能性也较小。例如如图4所示,当将吊顶输送车10向朝向右侧的分支轨道RB引导时,在从主轨道RM向分支轨道RB过渡的中途,存在位于图2的左侧的行进车轮18L暂时与主铁轨22分离而悬空(未受到支承)的时期。在这样的情况下,左侧的行进车轮18L受到重力的作用,使得吊顶输送车10朝向图中的左下方向倾斜的力发挥作用,在右侧的引导辊32R与分支导轨40B外表面的接触点、图2中示出的点P受到该力。
如图2所示,该点P处于与右侧的行进车轮18R的行进方向中心线LZ1(从行进车轮18R的左右方向尺寸的中央通过的线)一致的位置。使得吊顶输送车10向图中的左下方向倾斜的力发挥如下作用:使得吊顶输送车10以右侧的行进车轮18R与主铁轨24的接触点(位于行进方向中心线LZ1上)为中心而向左侧旋转,但由于前述的点P位于行进方向中心线LZ1上,因此,作用于点P的力仅在图中的左右方向上发挥作用,不会使上下方向的力施加于分支导轨40B的外表面。因此,引导辊32R不会相对于分支导轨40B而沿上下方向滑动,从而引导辊32R和分支导轨40B磨损的可能性较小。
同样,当在分支区间MB将吊顶输送车10向主轨道RM引导时,存在右侧的行进车轮18R悬空的时期,但是,左侧的引导辊32L与主导轨40M外表面的接触点在该时期内也处于与左侧的行进车轮18L的行进方向中心线LZ2一致的位置,因此,引导辊32L不会相对于主导轨40M而沿上下方向滑动,从而引导辊32R和主导轨40M磨损的可能性较小。
另外,在本实施方式中,在左右的行进车轮18L、18R的某一方未受到支承的状态、例如主铁轨22中断而左侧的行进车轮18L悬空的状态(悬臂状态)下,输送台车16相对于行进方向而左右振动(进行摆头运动)的可能性较小。这是因为,如图3所示,相对于由分支导轨40B引导的右侧的引导辊32R,在行进台车16下方由分支铁轨24内表面引导的侧辊50R在行进方向上的前后方以2个为1组而设置(在图3中具有2个引导辊32R,因此存在2组的4个侧辊50R)。通过这样设置侧辊50R,使得悬臂状态的行进台车16由分别配置于以点P为顶点之一的三角形的顶点的引导辊32R和2个侧辊50R支承。在该状态下,以借助图中朝向左侧的力和朝向右侧的力的双方夹持的方式进行支承而能够可靠地防止降落,并且还能防止以3点支承的方式而以点P为中心进行摆头运动。
这里,若俯视时点P位于行进车轮18L、18R的旋转轴LX上、且分支导轨40B配置为与俯视时的行进车轮18L、18R的行进方向中心线LY一致,则利用引导辊32R和两个侧辊50R对行进台车16进行支承的力以将点P作为中心而在前后左右方向上实现了均等化(未产生以点P为中心的旋转)的方式发挥作用,从而使得行进台车16的姿势更加稳定。
关于分支导轨40B、右侧的引导辊32R、右侧的侧辊50R的上述说明与左侧的行进车轮18L悬空的状态相关,在右侧的行进车轮18R悬空的状态下,若主导轨40M、左侧的引导辊32L、左侧的侧辊50L配置为与如上所述的位置关系对应,则行进台车16的姿势稳定。
需要说明的是,点P无需严格地与旋转轴LX、俯视时的行进方向中心线LY、后视时的行进方向中心线LZ1一致,只要处于以某种程度接近这些线的位置,便能够充分使得行进台车16的姿势稳定。
此外,在本实施方式中,对于从直线状的主轨道RM向朝向右侧的分支轨道RB分支的图1中的分支区间MB进行了说明,但无论是向朝向左侧的分支轨道RB分支的分支区间、还是从直线状的轨道分支出右转的转弯部和左转的转弯部这样的两岔部分的分支区间,只要在分支区间对引导辊30L、30R进行引导的导轨设置于分别对行进车轮18L、18R进行支承的行进用铁轨的上方、且根据吊顶输送车10的行进目的地而由适当的引导铁轨的外表面对引导辊30L、30R进行引导即可。
Claims (5)
1.一种吊顶输送车,其沿着包括多条主轨道以及将所述多条主轨道彼此连接的分支轨道在内的输送轨道行进,其特征在于,
所述吊顶输送车具备:至少一对的左右的行进车轮;以及引导辊,其在所述行进车轮的上方分别在行进方向的左侧和右侧设置有至少一个,
所述主轨道具备主铁轨和主导轨,所述主铁轨在其上表面对所述行进车轮进行支承,所述主导轨设置于所述主铁轨中的所述行进车轮通过的区域的上方而对所述引导辊进行引导,
所述分支轨道具备分支铁轨和分支导轨,所述分支铁轨在其上表面对所述行进车轮进行支承,所述分支导轨设置于所述分支铁轨中的所述行进车轮通过的区域的上方而对所述引导辊进行引导,
在针对所述主导轨以及所述分支导轨而将所述主轨道以及所述分支轨道的中心侧的侧面称为内表面、且将相反侧的侧面称为外表面的情况下,所述引导辊由所述主导轨或者所述分支导轨的外表面引导。
2.根据权利要求1所述的吊顶输送车,其特征在于,
所述吊顶输送车具备在所述行进车轮的下方分别设置于行进方向的左侧和右侧的侧辊,
所述侧辊由所述主铁轨以及所述分支铁轨的内表面引导。
3.根据权利要求2所述的吊顶输送车,其特征在于,
所述侧辊针对所述引导辊的每一个在行进方向的前后方以2个为1组而设置。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的吊顶输送车,其特征在于,
所述引导辊设置为:当由所述主导轨或者所述分支导轨引导时,所述引导辊与所述主导轨或者所述分支导轨的接触点在俯视时位于所述行进车轮的旋转轴上。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的吊顶输送车,其特征在于,
所述主导轨以及所述分支导轨设置为:所述主导轨以及所述分支导轨的外表面在俯视时与所述行进车轮的行进方向中心线一致。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019-028959 | 2019-02-21 | ||
JP2019028959A JP7103265B2 (ja) | 2019-02-21 | 2019-02-21 | 天井搬送車 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111591695A true CN111591695A (zh) | 2020-08-28 |
CN111591695B CN111591695B (zh) | 2023-03-28 |
Family
ID=72179449
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010068516.5A Active CN111591695B (zh) | 2019-02-21 | 2020-01-21 | 吊顶输送车 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7103265B2 (zh) |
KR (1) | KR20200102341A (zh) |
CN (1) | CN111591695B (zh) |
TW (1) | TWI820271B (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113526055A (zh) * | 2021-08-10 | 2021-10-22 | 广东智源机器人科技有限公司 | 输送装置及送餐系统 |
CN115042824A (zh) * | 2022-06-06 | 2022-09-13 | 成川科技(苏州)有限公司 | 一种有轨台车系统及其控制方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI733528B (zh) | 2020-04-08 | 2021-07-11 | 盟立自動化股份有限公司 | 懸吊式搬運設備、及懸吊式搬運設備的導引裝置與方向保持模組 |
TWI824903B (zh) * | 2022-01-24 | 2023-12-01 | 盟立自動化股份有限公司 | 高空行走式自動搬運車系統、自動搬運車及移動套件 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1045745A (zh) * | 1988-08-31 | 1990-10-03 | 可玛尼株式会社 | 活动墙壁的悬挂移动装置 |
JPH11240608A (ja) * | 1998-02-25 | 1999-09-07 | Nissan Diesel Motor Co Ltd | 無人搬送車の走行経路における搬送装置 |
JP2001270434A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-02 | Shinko Electric Co Ltd | 懸垂式昇降搬送装置 |
US20020033319A1 (en) * | 2000-09-21 | 2002-03-21 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Carrying system |
JP2004314740A (ja) * | 2003-04-15 | 2004-11-11 | Asyst Shinko Inc | 有軌道搬送装置 |
CN101195437A (zh) * | 2006-11-17 | 2008-06-11 | 日本阿西斯特技术株式会社 | 轨道传送装置 |
CN203996231U (zh) * | 2014-06-19 | 2014-12-10 | 葛大力 | 一种悬挂轨道车的道岔换向系统 |
CN106005923A (zh) * | 2015-03-31 | 2016-10-12 | 村田机械株式会社 | 行走台车系统以及行走台车的行走方法 |
CN107100929A (zh) * | 2016-02-22 | 2017-08-29 | 路易斯·卡里罗·洛斯陶 | 轴承组件,用于改变带轴承组件的支架的方向的梁设置,带轴承组件和梁设置的变轨系统 |
CN108373022A (zh) * | 2017-01-31 | 2018-08-07 | 株式会社大福 | 物品搬送设备 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003160047A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-06-03 | Asyst Shinko Inc | 搬送装置 |
JP4120882B2 (ja) | 2004-04-08 | 2008-07-16 | 村田機械株式会社 | 有軌道台車システム |
KR100654838B1 (ko) | 2005-12-14 | 2006-12-08 | 삼성전자주식회사 | 이송장치 |
CN102985307B (zh) | 2010-06-18 | 2015-04-01 | 村田机械株式会社 | 有轨台车系统以及有轨台车系统中的分支控制方法 |
JP5310784B2 (ja) | 2011-05-16 | 2013-10-09 | 村田機械株式会社 | 有軌道台車システム |
JP5630661B2 (ja) * | 2011-12-19 | 2014-11-26 | 株式会社ダイフク | 天井設置型の物品搬送設備 |
-
2019
- 2019-02-21 JP JP2019028959A patent/JP7103265B2/ja active Active
- 2019-12-16 TW TW108145896A patent/TWI820271B/zh active
-
2020
- 2020-01-02 KR KR1020200000190A patent/KR20200102341A/ko not_active Application Discontinuation
- 2020-01-21 CN CN202010068516.5A patent/CN111591695B/zh active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1045745A (zh) * | 1988-08-31 | 1990-10-03 | 可玛尼株式会社 | 活动墙壁的悬挂移动装置 |
JPH11240608A (ja) * | 1998-02-25 | 1999-09-07 | Nissan Diesel Motor Co Ltd | 無人搬送車の走行経路における搬送装置 |
JP2001270434A (ja) * | 2000-03-28 | 2001-10-02 | Shinko Electric Co Ltd | 懸垂式昇降搬送装置 |
US20020033319A1 (en) * | 2000-09-21 | 2002-03-21 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Carrying system |
JP2004314740A (ja) * | 2003-04-15 | 2004-11-11 | Asyst Shinko Inc | 有軌道搬送装置 |
CN101195437A (zh) * | 2006-11-17 | 2008-06-11 | 日本阿西斯特技术株式会社 | 轨道传送装置 |
CN203996231U (zh) * | 2014-06-19 | 2014-12-10 | 葛大力 | 一种悬挂轨道车的道岔换向系统 |
CN106005923A (zh) * | 2015-03-31 | 2016-10-12 | 村田机械株式会社 | 行走台车系统以及行走台车的行走方法 |
CN107100929A (zh) * | 2016-02-22 | 2017-08-29 | 路易斯·卡里罗·洛斯陶 | 轴承组件,用于改变带轴承组件的支架的方向的梁设置,带轴承组件和梁设置的变轨系统 |
CN108373022A (zh) * | 2017-01-31 | 2018-08-07 | 株式会社大福 | 物品搬送设备 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113526055A (zh) * | 2021-08-10 | 2021-10-22 | 广东智源机器人科技有限公司 | 输送装置及送餐系统 |
CN115042824A (zh) * | 2022-06-06 | 2022-09-13 | 成川科技(苏州)有限公司 | 一种有轨台车系统及其控制方法 |
CN115042824B (zh) * | 2022-06-06 | 2024-03-29 | 成川科技(苏州)有限公司 | 一种有轨台车系统及其控制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI820271B (zh) | 2023-11-01 |
KR20200102341A (ko) | 2020-08-31 |
TW202031571A (zh) | 2020-09-01 |
CN111591695B (zh) | 2023-03-28 |
JP7103265B2 (ja) | 2022-07-20 |
JP2020131985A (ja) | 2020-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111591695B (zh) | 吊顶输送车 | |
JP5590422B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
KR101521498B1 (ko) | 반송대차 및 이를 이용하는 반송시스템 | |
CN103025629B (zh) | 物品运送设备 | |
US7677180B2 (en) | Apparatus and method for steering transport vehicles in semiconductor processing | |
KR101473832B1 (ko) | 반송시스템 | |
US9630632B2 (en) | Article conveying system and overhead carrier | |
KR101436905B1 (ko) | 반송대차 및 이를 이용하는 반송시스템 | |
JP2002087250A (ja) | 搬送設備 | |
TW201924996A (zh) | 行走台車 | |
KR20140087293A (ko) | 대차장치 및 이를 구비한 반송시스템 | |
KR101419359B1 (ko) | 반송대차 및 이를 이용하는 반송시스템 | |
KR101419358B1 (ko) | 반송시스템 | |
KR101407418B1 (ko) | 반송 시스템 | |
JP2018079989A (ja) | 物品搬送設備 | |
JP4240758B2 (ja) | 搬送設備 | |
JP2002087251A (ja) | 搬送設備 | |
JP5344366B2 (ja) | 搬送システム | |
JP2002037059A (ja) | 分岐を備えた有軌道台車システム | |
JP7276258B2 (ja) | 搬送台車及び搬送台車システム | |
KR101419357B1 (ko) | 반송시스템 | |
KR101396226B1 (ko) | 반송시스템 | |
JP2936940B2 (ja) | 自走台車使用の搬送設備 | |
KR20210140760A (ko) | 주행차 시스템 | |
JP2001071895A (ja) | 舵取り装置付の台車を用いた搬送設備 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |