CN111501008B - 一种横向真空蒸镀彩虹膜生产装置及其镀膜工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及真空蒸镀技术领域,具体涉及一种横向真空蒸镀彩虹膜生产装置及其镀膜工艺;包括真空仓,真空仓中设置有放卷辊、收卷辊、若干导向辊,放卷辊上设置有蒸镀基材,真空仓的内腔下端设置有蒸镀室,蒸镀室内部转动设置有彩条控制板,彩条控制板包括中空转轴,且中空转轴的轴线方向与主鼓的轴线方向平行,中空转轴上设置均匀设置两个隔流板,中空转轴的一端连接有用于驱动彩条控制板转动的驱动电机;本发明公开的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置及其镀膜工艺能够将传统的纵向彩虹膜的真空蒸镀方式改进为横向彩虹条的真空蒸镀,其通过彩条控制板的转动挡流作用,从而实现控制蒸镀基材沿收卷方向上镀层的不同厚度,其真空镀膜方式新颖、效果优异。
Description
技术领域
本发明涉及真空蒸镀技术领域,具体涉及一种横向真空蒸镀彩虹膜生产装置及其镀膜工艺。
背景技术
在真空环境下将靶材加热升华并镀到基材表面的过程称为真空镀膜。真空镀膜顾名思义是在真空环境下将靶材(如硫化锌)加热升华镀到卷膜材料(PTE膜、PP膜、OPP膜和反光植株膜等)表面,然后通过卷膜材料上硫化锌层的呈现出颜色,使得卷膜材料外观艳丽。目前,真空蒸镀制备的反光膜分为高亮单色反光膜和多彩反光膜(即彩虹膜)。其中单色高亮反光膜在制备过程中需要保证卷膜材料表面镀上的靶材厚度均匀,从而在光线下呈现出单一颜色的膜面;而彩虹膜的制备与高亮反光膜恰恰相反,其在制备过程中需要控制卷膜材料表面镀上的靶材厚度不均匀,然后在光线照射下呈现出五颜六色的膜面。
传统的彩虹膜的蒸镀过程是通过一个牵引装置将卷膜材料匀速通过真空室中蒸发槽的上方,其蒸发槽中由于多个蒸发舟的间隔和错位设置,并且靶材蒸发时呈发散状态,从而使得靶材在蒸发升华时镀在卷膜材料上的厚度不均匀,而不同厚度的靶材镀层其对光线的干涉不同,从而在纵向上呈现出多彩膜面。例如专利号为CN109468591A的发明公开了一种真空蒸镀工艺制备幻彩反光膜的方法,将被镀植株基膜装入蒸镀室,然后主鼓进行低温冷却、在蒸发槽内放入排列有蒸镀靶材的钼舟,并保证每部分蒸镀靶材到中心主鼓底端的距离有差异,将蒸发槽关闭盖板后送入蒸镀室,对蒸镀室抽取真空;该方法蒸镀得到的反光炫彩膜效果较为优异,但是该类方法在对卷膜材料真空真镀的过程中,其得到的彩虹膜只能在纵向上呈现彩虹条,同时由于卷膜材料的宽幅有限,其得到的彩虹膜应用范围也受到限制,一般只能用于服装、运动鞋上较短的反光条,无法将其用于长度较长的织带等领域,使得真空镀彩虹膜的应用领域受到极大限制,其所带来的经济价值也得到较大的抑制。另外,上述真空蒸镀幻彩膜的工艺需要对卷膜通过蒸镀室的速度有着较高要求,需要使得卷膜匀速通过,并且其蒸发舟和靶材的摆放也需要特殊设计,其不仅操作复杂,更关键的无法制备横向彩虹膜。因此,针对现有真空镀膜只能纵向蒸镀的不足,设计一种能够横向真空蒸镀彩虹膜的生产设备以及使用该设备横向真空蒸镀彩虹膜的工艺是一项有待解决的技术难题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是设计了一种横向真空蒸镀彩虹膜生产装置以及使用该设备横向真空蒸镀彩虹膜的工艺,以解现有真空蒸镀彩虹膜技术只能纵向蒸镀彩虹膜、无法实现横向蒸镀彩虹膜的不足。
本发明是通过以下技术方案实现的:
一种横向真空蒸镀彩虹膜生产装置,包括真空仓,所述真空仓中设置有放卷辊、收卷辊、若干导向辊,所述放卷辊上设置有蒸镀基材,所述收卷辊的一端部设置有收卷电机,所述真空仓的内腔下端设置有蒸镀室,所述真空仓的外部设置有抽真空系统,所述抽真空系统与真空仓相连通,所述真空仓中设置有主鼓,所述主鼓的一端部设置有控制电机,所述主鼓的下端鼓面伸入蒸镀室中,所述主鼓的中空内腔连接有冷却系统,所述蒸镀基材依次经导向辊、主鼓、导向辊收卷到收卷辊上,位于所述主鼓正下方的蒸镀室底壁上设置有蒸发源,位于所述主鼓与蒸发源之间的蒸镀室内部转动设置有彩条控制板,所述彩条控制板包括中空转轴,且中空转轴的轴线方向与主鼓的轴线方向平行,所述中空转轴上设置有隔流板,所述中空转轴的一端连接有用于驱动彩条控制板转动的驱动电机,所述中空转轴的内腔中设置有加热装置。
作为上述方案的进一步设置,所述加热装置为导热油加热装置,所述导热油加热装置中的高温导热油通入中空转轴的内腔中;其导热油加热通过将外界高温导热油导入中空转轴的内腔中,然后通过热传导的作用使得整个彩条控制板保持较高温度。
作为上述方案的进一步设置,所述加热装置为电阻加热装置,所述电阻加热装置直接设置在中空转轴的内腔中;其电阻加热装置能够直接在中空转轴内腔中产生热量,然后通过热传导的作用使得整个彩条控制板保持较高温度。
作为上述方案的进一步设置,所述蒸发源包括蒸发槽,所述蒸发槽中设置有第一电极柱和第二电极柱,所述第一电极柱和第二电极柱之间设置有并排连续设置的蒸发舟,所述蒸发舟中放置有蒸镀靶材。
作为上述方案的进一步设置,所述抽真空系统包括设置在真空仓外部的机械泵和扩散泵,所述机械泵和扩散泵上均连接有真空管,所述真空管上设置有阀门,所述真空管的端部与真空仓相连接通;整个抽真空系统能够保证在真空蒸镀过程中,真空仓内的压强保持接近真空状态。
作为上述方案的进一步设置,所述冷却系统为氟利昂强制制冷系统,所述氟利昂强制制冷系统通过管路与主鼓的中空内腔相连接;其氟利昂强制制冷系统的制冷效果显著,本装置中的冷却系统的较优选择。
一种使用上述横向真空蒸镀彩虹膜生产装置进行的镀膜工艺,包括如下步骤:
S1:打开真空仓将蒸镀基材装在放卷辊上,并将蒸镀基材依次经导向辊、主鼓、导向辊收卷到收卷辊上,同时启动冷却系统对主鼓进行降温冷却;
S2:合上真空仓保证真空仓处于密封状态,再启动抽真空系统将真空仓内部抽至负压值为1.3×100至1.3×10-4Pa的状态;
S3:同时启动蒸发源和中空转轴内腔中的加热装置,其蒸发源中的蒸镀靶材被加热至沸点,使得蒸发靶材汽化蒸发,同时其加热装置产生的热量通过热传导作用使得整个彩条控制板温度升高;
S4:启动收卷电机、控制电机和驱动电机,其蒸镀基材在收卷辊的牵引下通过蒸镀室,并且蒸镀基材绕在主鼓的鼓面上,同时蒸发源中产生汽化的蒸镀靶材向上运动,其驱动电机控制彩条控制板转动使得不同状态下的隔流板对向上运动的蒸镀靶材其阻流效果不同,从而使得通过蒸镀室中的蒸镀基材表面的横向镀层厚度不同,达到横向真空蒸镀彩虹膜的作用,直至完成整个横向真空蒸镀彩虹膜的过程;
S5:横向真空蒸镀彩虹膜完成后,关闭收卷电机、控制电机和驱动电机,再关闭蒸发源,最后关抽取抽真空系统,待真空仓内的温度恢复至室温时打开真空仓取料即可。
传统的纵向彩虹膜真空蒸镀时,主要通过将蒸发槽中的多个蒸发舟间隔、错位设置,然后通过正负电极柱对蒸发舟通电加热,放置在蒸发舟中的蒸镀靶材(如硫化锌、氟化镁等)在高温作用下升华,并从蒸发槽中呈发散状态向上运动,直至运动至主鼓的下圆周面上的蒸镀基材(如PTE、OPP膜等)处并附着在其表面,此时由于蒸镀靶材向上运动过程中呈发散状态,导致出现相互重叠的部分,从而使得附着在蒸镀基材上的蒸镀靶材层的厚度不均匀,而不同厚度的靶材镀层对光有着不同的干涉作用,从而使得蒸镀后的膜面在纵向上呈现多种颜色(参考附图3)。但是由于蒸镀基材(如PTE、OPP膜等)宽度有限,一般不会超过1200mm,使得制备的彩虹膜在具体应用时无法将其裁剪成较长的织带或细丝,因此整个纵向彩虹膜无法应用领域有限,整个彩虹膜产品受到极大限制。
而本申请的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置在对蒸镀基材进行真空蒸镀时,其蒸镀靶材并排连续设置,在蒸镀靶材升华过程中,由于受到转动状态的彩条控制板的阻挡作用加上蒸镀基材自身的收卷传动,使得在沿着收卷方向上蒸镀基材表面的靶材镀层厚度不同,同时由于中空转轴的轴线方向与主鼓的轴线方向平行设置,使得蒸镀基材上同一纵向上的蒸镀靶材厚度相同,从而呈现出横向的彩虹条(参考附图4)。本申请得到的横向蒸镀蒸镀彩虹膜在具体应用时,由于蒸镀基材(如PTE、OPP膜等)的长度(即膜卷的收卷长度)较长,因此可将其裁成较长织带、细丝等广泛应用于其他领域。
有益效果:
1、本发明公开的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置能够将传统的纵向彩虹膜的真空蒸镀方式改进为横向彩虹膜的真空蒸镀,其通过彩条控制板的转动挡流作用,从而实现控制蒸镀基材沿收卷方向上镀层的不同厚度,其真空镀膜方式新颖、效果优异。
2、本发明横向真空蒸镀彩虹膜的蒸镀工艺与现有彩虹膜镀膜工艺相比,其能够解决现有彩虹膜镀膜工艺中无法制备横向彩虹膜的不足,其制备的横向彩虹膜不仅能够用于现有纵向彩虹膜的应用领域,而且制备的横向彩虹膜上的彩条方向与蒸镀基材收卷方向相同,其在具体应用时不会受到蒸镀基材宽幅的限制,可将其裁剪成较长的织带、细丝从而应用在更多领域,其带来的经济价值巨大;另外,本发明的镀膜工艺在具体真空镀膜过程中无需准确控制蒸镀基材匀速通过蒸镀室,并且蒸镀槽中的蒸发舟、蒸镀靶材也无需特殊布置,只需要将其并排布置即可,整个镀膜的控制过程更为简单,其蒸镀的彩虹膜质量更加优异。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明中真空仓的内部平面结构图;
图2为本发明中蒸镀室的内部平面结构图;
图3为现有纵向彩虹膜的真空蒸镀原理示意图;
图4为本发明制备得到的横向真空蒸镀彩虹膜的平面示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本申请保护的范围。
需要说明的是,本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便这里描述的本申请的实施例。此外,术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含,例如,包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元,而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
在本申请中,术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本发明及其实施例,并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位,或以特定方位进行构造和操作。
并且,上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外,还可能用于表示其他含义,例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言,可以根据具体情况理解这些术语在本发明中的具体含义。
此外,术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”、“套接”应做广义理解。例如,可以是固定连接,可拆卸连接,或整体式构造;可以是机械连接,或电连接;可以是直接相连,或者是通过中间媒介间接相连,又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面结合附图1-2对本发明中的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置进行详细说明。
本发明首先介绍了一种专门用于生产横向真空蒸镀彩虹膜的装置,参考附图1,其主体结构包括一个真空仓1,在真空仓1中设置有放卷辊2、收卷辊3以及多个导向辊4。在放卷辊2上设置有蒸镀基材5,其蒸镀基材5种类较多,具体地可选用PTE薄膜、PP薄膜、OPP薄膜和反光植株膜等,但是蒸镀基材5不仅限于上述材料。在收卷辊2的一端部设置有收卷电机(图中未画出),通过收卷电机的驱动作用对蒸镀基材5起到牵引作用。
在真空仓1的内腔下端设置有蒸镀室6,并在真空仓1的外部设置有抽真空系统(图中未画出),由于真空蒸镀机中的抽真空系统为现有技术,本处不做图示,简单来说整个抽真空系统包括设置在真空仓1外部的机械泵和扩散泵,在机械泵和扩散泵上均连接有真空管,真空管上设置有阀门,然后将真空管的端部与真空仓相连接通,通过机械泵、扩散泵的作用能够将真空蒸镀过程中的蒸镀室6内部压强保持在1.3×100至1.3×10-4Pa范围内。
在真空仓1中设置有主鼓7,其主鼓7的一端部设置有控制电机(图中未画出),并将主鼓7的下端鼓面伸入蒸镀室6中,在主鼓7的中空内腔连接有冷却系统,本处的冷却系统也为现有技术,本处不做图示,具体来说其冷却系统为常用的氟利昂强制制冷系统,其氟利昂强制制冷系统通过管路与主鼓7的中空内腔相连接,从而达到快速冷却效果。在真空镀膜过程中其蒸镀基材5依次经导向辊4、主鼓7、导向辊4收卷到收卷辊3上。
参考附图1和附图2,位于主鼓7正下方的蒸镀室6底壁上设置有蒸发源8,其蒸发源8与普通的真空蒸镀单色高亮膜相同,主要包括一个蒸发槽801,蒸发槽801中设置有第一电极柱802和第二电极柱803,在第一电极柱802和第二电极柱803之间设置有并排连续设置的蒸发舟804,然后在蒸发舟804中放置有蒸镀靶材(图中未画出),其蒸镀靶材最常用的有硫化锌、氟化镁、氧化锡、二氧化硅、五氧化二钽等材料。
参考附图1和附图2,本发明能够实现横向蒸镀横向彩虹膜的关键技术点在于,还在位于主鼓7与蒸发源8之间的蒸镀室6内部设置有一个彩条控制板9,具体来讲其彩条控制板9包括一根中空转轴901,并且设置时须注意其中空转轴901的轴线方向与主鼓7的轴线方向平行,然后在中空转轴901上设置一个隔流板902,并在中空转轴902的一端连接有用于驱动彩条控制板9转动的驱动电机10。本处设置的彩条控制板9在蒸镀靶材升华向上运动的过程中能够对向上运动的蒸镀靶材起到阻流作用。例如,当隔流板902转动至垂直时,其隔流板902无法对运动的蒸镀靶材起到阻挡作用,其向上运动的蒸镀靶材能够全部向上运动并镀在蒸镀基材5的表面;而当隔流板902转动至非垂直状态时,在垂直方向上其隔流板902能够对向上运动时的部分蒸镀靶材起到阻挡作用,从而使得蒸镀在蒸镀基材5表面的厚度相比较于前者更薄。根据上述原理其蒸镀基材5在牵引过程中因受到隔流板902不同角度的隔流作用,从而使得沿着蒸镀基材牵引方向(即横向)上的镀层厚度不均匀,从而在膜面上呈现出彩色。
另外,由于蒸镀靶材升华时温度较高,遇到温度较低物体时易凝结,从而造成大量蒸镀靶材原料浪费,因此本装置还在彩条控制板9中设置有加热装置(图中未画出)。其中,加热装置的实现方式有多种,本处例举出其中导热油加热和电阻加热两种方式,但是实际过程中不仅限与上述两种。
具体地,第一种的加热装置为导热油加热装置(图中未画出),设置时将导热油加热装置中的高温导热油通入中空转轴901的内腔中,然后通过热传导的作用使得整个彩条控制板9保持较高温度。第二种的加热装置为电阻加热装置,其在设置时直接将电阻加热装置(如电阻加热丝)设置在中空转轴901的内腔中,其电阻加热装置能够直接在中空转轴901的内腔中产生热量,然后通过热传导的作用使得整个彩条控制板9保持较高温度。
本发明还具体介绍了一种使用上述公开的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置进行真空镀膜的镀膜工艺,其具体包括如下五个步骤:
首先,作业人员打开真空仓1,并将蒸镀基材5装在放卷辊2上,然后将蒸镀基材5依次经导向辊4、主鼓7、导向辊4收卷到收卷辊3上,并启动氟利昂强制制冷系统,并将该制冷系统与主鼓7的中空内腔之间的气路相接通,从而实现对主鼓7的降温、冷却。
接着,作业人员将真空仓1合上,并保证真空仓1处于密封状态,然后启动抽真空系统,通过多个机械泵、扩散泵的作用将真空仓1的内部抽至负压值为1.3×100至1.3×10-4Pa的状态,并且一直保持抽真空系统处于工作状态,维持内部负压状态。
随后,作业人员同时启动将蒸发源8和中空转轴901内腔中的加热装置,即接通蒸发槽801中的第一电极柱802和第二电极柱803,其蒸发舟804被加热使得其中的蒸镀靶材(硫化锌)熔融、沸腾并蒸发向上运动;同时导热油加热装置中的高温导热油通入中空转轴901的内腔中,通过热传导的作用使得整个彩条控制板9升温至不低于300℃,防止因后续蒸镀过程中因彩条控制板9温度过低大量汽化蒸发的蒸镀靶材附着在其表面,较大程度上减少了后续蒸镀过程中蒸镀靶材(硫化锌)的浪费。
然后,待蒸镀靶材汽化蒸发和彩条控制板9升温预热后,作业人员启动收卷电机、控制电机和驱动电机10,其蒸镀基材5在收卷辊3的牵引下通过蒸镀室7,并且须说明的是本处收卷辊3对蒸镀基材5的牵引速度不需要精确控制其匀速通过蒸镀室6,其非匀速状态下通过蒸镀室6的方式更好,因为蒸镀基材5非匀速状态下通过蒸镀室6时,其与升华中的蒸镀靶材接触时间不同,从而能够使得沿牵引方向(即横向)上的蒸镀基材表面镀层厚度不均匀,并且在蒸镀基材5通过时其蒸镀基材5时绕在主鼓7的鼓面上对其进行冷却。此时,蒸发舟804中产生汽化的蒸镀靶材向上运动,其驱动电机10控制彩条控制板9转动,在彩条控制板9转动的过程中,不同状态下的彩条控制板9中的隔流板902对向上运动的蒸镀靶材其阻流效果不同,从而使得通过蒸镀室6中的蒸镀基材5表面的牵引方向上(即横向)镀层厚度不均匀,达到横向真空蒸镀彩虹膜的作用,直至完成整个横向真空蒸镀彩虹膜的过程;
最后,当横向真空蒸镀彩虹膜完成后,关闭收卷电机、控制电机和驱动电机10,再关闭蒸发源8,最后关抽取抽真空系统,待真空仓nebula温度恢复至室温即25±5℃时,打开真空仓1取料即可。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种横向真空蒸镀彩虹膜生产装置,包括真空仓,所述真空仓中设置有放卷辊、收卷辊、若干导向辊,所述放卷辊上设置有蒸镀基材,所述收卷辊的一端部设置有收卷电机,所述真空仓的内腔下端设置有蒸镀室,所述真空仓的外部设置有抽真空系统,所述抽真空系统与真空仓相连通,所述真空仓中设置有主鼓,所述主鼓的一端部设置有控制电机,所述主鼓的下端鼓面伸入蒸镀室中,所述主鼓的中空内腔连接有冷却系统,所述蒸镀基材依次经导向辊、主鼓、导向辊收卷到收卷辊上,位于所述主鼓正下方的蒸镀室底壁上设置有蒸发源,其特征在于,位于所述主鼓与蒸发源之间的蒸镀室内部转动设置有彩条控制板,所述彩条控制板包括中空转轴,且中空转轴的轴线方向与主鼓的轴线方向平行,所述中空转轴上设置有隔流板,所述中空转轴的一端连接有用于驱动彩条控制板转动的驱动电机,所述中空转轴的内腔中设置有加热装置;
其蒸发源中设置有并排连续设置的蒸镀靶材,蒸镀靶材为对光具有干涉作用并使得膜面呈不同颜色的镀材,在蒸镀靶材升华过程中受到转动状态的彩条控制板的阻挡作用加上蒸镀基材自身的收卷传动,使得在沿着收卷方向上蒸镀基材表面的蒸镀靶材镀层厚度不同,中空转轴的轴线方向与主鼓的轴线方向平行设置,使得蒸镀基材上同一纵向上的蒸镀靶材厚度相同,最终使得膜面呈现出沿着收卷方向的彩虹条。
2.根据权利要求1所述的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置,其特征在于:所述加热装置为导热油加热装置,所述导热油加热装置中的高温导热油通入中空转轴的内腔中。
3.根据权利要求1所述的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置,其特征在于:所述加热装置为电阻加热装置,所述电阻加热装置直接设置在中空转轴的内腔中。
4.根据权利要求1所述的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置,其特征在于:所述蒸发源包括蒸发槽,所述蒸发槽中设置有第一电极柱和第二电极柱,所述第一电极柱和第二电极柱之间设置有并排连续设置的若干蒸发舟,所述蒸发舟中放置有蒸镀靶材。
5.根据权利要求1所述的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置,其特征在于:所述抽真空系统包括设置在真空仓外部的机械泵和扩散泵,所述机械泵和扩散泵上均连接有真空管,所述真空管上设置有阀门,所述真空管的端部与真空仓相连接通。
6.根据权利要求1所述的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置,其特征在于:所述冷却系统为氟利昂强制制冷系统,所述氟利昂强制制冷系统通过管路与主鼓的中空内腔相连接。
7.一种使用权利要求1~6任一所述的横向真空蒸镀彩虹膜生产装置进行的镀膜工艺,其特征在于,包括如下步骤:
S1:打开真空仓将蒸镀基材装在放卷辊上,并将蒸镀基材依次经导向辊、主鼓、导向辊收卷到收卷辊上,同时启动冷却系统对主鼓进行降温冷却;
S2:合上真空仓保证真空仓处于密封状态,再启动抽真空系统将真空仓内部抽至负压值为1.3×100至1.3×10-4Pa的状态;
S3:同时启动蒸发源和中空转轴内腔中的加热装置,其蒸发源中的蒸镀靶材被加热至沸点,使得蒸镀靶材汽化蒸发,同时其加热装置产生的热量通过热传导作用使得整个彩条控制板温度升高;
S4:启动收卷电机、控制电机和驱动电机,其蒸镀基材在收卷辊的牵引下通过蒸镀室,并且蒸镀基材绕在主鼓的鼓面上,同时蒸发源中产生汽化的蒸镀靶材向上运动,其驱动电机控制彩条控制板转动使得不同状态下的隔流板对向上运动的蒸镀靶材其阻流效果不同,从而使得通过蒸镀室中的蒸镀基材表面的横向镀层厚度不同,达到横向真空蒸镀彩虹膜的作用,直至完成整个蒸镀基材牵引镀膜的过程;
S5:整个蒸镀基材牵引镀膜完成后,关闭收卷电机、控制电机和驱动电机,再关闭蒸发源和加热装置,最后关抽取抽真空系统,待真空仓内的温度恢复至室温时打开真空仓取料即可。
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